JPH11142473A - 電気的特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 膨大な接点数に相当する機械接点およびその
切換を不要にして、ＯＮ／ＯＦＦ設定情報を記録し、誤
り無く再現することを可能にし、半導体素子に適合する
フィクスチャを個々に作成するための多大な費用と手間
を不要にすること。 【解決手段】 半導体素子の電気的特性測定を実施する
電気的特性測定装置において、時系列的に変化する入力
パルスを発生させるパルス発生手段１と、該パルス発生
手段１に接続された入力端子と被測定半導体素子に接続
された出力端子との接続関係を任意に設定できる接続関
係設定手段２と、上記配線経路を任意に設定するコンフ
ィグレーション手段３と、前記被測定半導体素子４を物
理的に着脱または一時固定する固定手段５と、前記接続
関係設定手段２に接続された前記固定手段５に固定され
た前記被測定半導体素子４の半導体特性を測定する測定
手段６とから成る電気的特性測定装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子の電気
的特性測定を実施する電気的特性測定装置において、時
系列的に変化する入力パルスを発生させ、該パルス発生
手段に接続された入力端子と被測定半導体素子に接続さ
れた出力端子との接続関係を任意に設定し、該接続関係
設定手段に接続された前記被測定半導体素子の半導体特
性を測定する電気的特性測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の電気的特性測定装置（特開平５−
３２２９７９、特開平６−３４２０３７）は、最近の半
導体素子特にデジタルＩＣの例えば入出力電圧−電流特
性その他の電気的特性の測定を実施する場合、被測定体
である前記半導体素子への入力パルスの切換えをスイッ
チまたはリレー等機械接点機構によって実現するもので
あった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】半導体素子の発展に伴
いその機能も複雑化し、３００ピンを越える多ピン半導
体素子も出現している。これら、多ピン半導体素子に対
応するオンオフを機械接点機構にて実現するには、膨大
な接点数に相当する機械接点が必要となり、機構上実現
するのは難しいとともに、又多ピン半導体素子それぞれ
に対応するスイッチ素子のＯＮ／ＯＦＦ設定情報を記録
し、誤り無く再現するのは実用上極めて困難であるとい
う問題があった。

【０００４】具体例として例えば４０ピンのＬＳＩ素子
に汎用的に対応する為には、１，６００個（４０入力×
４０出力）の機械接点が必要である。同様に、１００ピ
ンのＬＳＩ素子には１０，０００個（１００×１００）
の機械接点が必要であり、実用的ではない。

【０００５】前記半導体素子の機能の複雑化に伴い、目
的とする電気的特性を測定するためには、例えばパルス
を出力する装置を使用し、複数の測定点および測定点以
外の端子に対し多数の入力パルスを事前に入力した後、
該当測定端子を測定する作業が必要となる場合がある。

【０００６】例えばＣＰＵの事例においては、Ｉ／Ｏポ
ートの電気的特性を測定する目的のために、クロック入
力し、リセット動作を行い、Ｉ／Ｏポートのモードセッ
ト等の作業である。

【０００７】パルス入力および目的とする電気的測定を
実現するためには、パターンジェネレータおよび測定装
置と被測定半導体素子間を、個々の被測定半導体素子毎
にパッケージおよび端子配列に併せて配線したソケット
とスイッチ要素を組み合わせた個々の専用測定用治具
（以下フィクスチャと表す）が必要である。昨今の半導
体技術の進歩は目覚ましく、日々数多くの半導体素子お
よびパッケージが市場に提供されている現状において、
パッケージおよび端子配列の異なるそれら半導体素子に
適合するフィクスチャを個々に作成するのは、多大な費
用と手間が必要となるという問題があった。

【０００８】そこで本発明者は、半導体素子の電気的特
性測定を実施する電気的特性測定装置において、時系列
的に変化する入力パルスを発生させ、パルス発生手段に
接続された入力端子と被測定半導体素子に接続された出
力端子との接続関係を任意に設定し、前記被測定半導体
素子の半導体特性を測定するという本発明の技術的思想
に着眼し、さらに研究開発を重ねた結果、膨大な接点数
に相当する機械接点およびその切換を不要にして、ＯＮ
／ＯＦＦ設定情報を記録し、誤り無く再現することを可
能にし、パッケージおよび端子配列の異なるそれら半導
体素子に適合するフィクスチャを個々に作成するための
多大な費用と手間を不要にするという目的を達成する本
発明に到達したものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の電気的特性測定装置は、半導体素子の電
気的特性測定を実施する電気的特性測定装置において、
時系列的に変化する入力パルスを発生させるパルス発生
手段と、該パルス発生手段に接続された入力端子と被測
定半導体素子に接続された出力端子との接続関係を任意
に設定できる接続関係設定手段と、該接続関係設定手段
に接続された前記被測定半導体素子の半導体特性を測定
する測定手段とから成るものである。

【００１０】本発明（請求項２に記載の第２発明）の電
気的特性測定装置は、前記第１発明において、前記接続
関係設定手段が、プログラムに従い入力端子と出力端子
との接続関係である配線経路を任意に設定することがで
きるプログラマブル素子によって構成されているもので
ある。

【００１１】本発明（請求項３に記載の第３発明）の電
気的特性測定装置は、前記第２発明において、上記配線
経路を任意に設定するコンフィグレーション手段を備え
ているものである。

【００１２】本発明（請求項４に記載の第４発明）の電
気的特性測定装置は、前記第３発明において、前記コン
フィグレーション手段が、コンフィグレーションデータ
を収納するＲＯＭを備えたコンフィグレーション回路に
よって構成されているものである。

【００１３】本発明（請求項５に記載の第５発明）の電
気的特性測定装置は、前記第４発明において、前記コン
フィグレーション回路が、前記ＲＯＭに収納されたコン
フィグレーションデータを用いて前記プログラマブル素
子を制御するコンフィグレーション制御回路を備えてい
るものである。

【００１４】本発明（請求項６に記載の第６発明）の電
気的特性測定装置は、前記第５発明において、前記プロ
グラマブル素子が、プログラマブルスイッチング回路に
よって構成されているものである。

【００１５】本発明（請求項７に記載の第７発明）の電
気的特性測定装置は、前記第６発明において、前記被測
定半導体素子を物理的に着脱または一時固定する固定手
段を備えているものである。

【００１６】

【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
電気的特性測定装置は、半導体素子の電気的特性測定を
実施する電気的特性測定装置において、前記パルス発生
手段が時系列的に変化する入力パルスを発生し、前記接
続関係設定手段が該パルス発生手段に接続された入力端
子と被測定半導体素子に接続された出力端子との接続関
係を任意に設定し、前記測定手段が前記該接続関係設定
手段に接続された前記被測定半導体素子の半導体特性を
測定するので、膨大な接点数に相当する機械接点および
その切換を不要にするという効果を奏する。

【００１７】上記構成より成る第２発明の電気的特性測
定装置は、前記第１発明において、前記接続関係設定手
段を構成する前記プログラマブル素子が、プログラムに
従い入力端子と出力端子との接続関係である配線経路を
任意に設定するので、膨大な接点数に相当する機械接点
およびその切換を不要にし、誤り無く再現することを可
能にするという効果を奏する。

【００１８】上記構成より成る第３発明の電気的特性測
定装置は、前記第２発明において、前記コンフィグレー
ション手段が、プログラムに従い上記配線経路を任意に
設定および変更するので、フレキシブルであり、機械接
点およびその切換を不要にするという効果を奏する。

【００１９】上記構成より成る第４発明の電気的特性測
定装置は、前記第３発明において、前記コンフィグレー
ション回路が備える前記ＲＯＭによって収納されている
前記コンフィグレーションデータを用いて上記配線経路
を任意に設定および変更するので、ＯＮ／ＯＦＦ設定情
報を記録し、誤り無く再現することを可能にするという
効果を奏する。

【００２０】上記構成より成る第５発明の電気的特性測
定装置は、前記第４発明において、前記コンフィグレー
ション回路が備える前記コンフィグレーション制御回路
が、前記ＲＯＭに収納されたコンフィグレーションデー
タを用いて前記プログラマブル素子を制御するので、上
記配線経路の最適設定および変更を可能にするという効
果を奏する。

【００２１】上記構成より成る第６発明の電気的特性測
定装置は、前記第５発明において、前記プログラマブル
素子が、プログラマブルスイッチング回路によって構成
されているので、記録された前記ＯＮ／ＯＦＦ設定情報
により、前記プログラマブルスイッチング回路のオンオ
フを誤り無く再現することを可能にするという効果を奏
する。

【００２２】上記構成より成る第７発明の電気的特性測
定装置は、前記第６発明において、前記被測定半導体素
子を物理的に着脱または一時固定する固定手段を備えて
いるので、パッケージおよび端子配列の異なる各半導体
素子に適合するフィクスチャを個々に作成するための多
大な費用と手間を不要にするという効果を奏する。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき、
図面を用いて説明する。

【００２４】（第１実施形態）本第１実施形態の電気的
特性測定装置は、図１ないし図１０に示されるように半
導体素子の電気的特性測定を実施する電気的特性測定装
置において、時系列的に変化する入力パルスを発生させ
るパルス発生手段１と、該パルス発生手段１に接続され
た入力端子と被測定半導体素子に接続された出力端子と
の接続関係を任意に設定できる接続関係設定手段２と、
上記配線経路を任意に設定するコンフィグレーション手
段３と、前記被測定半導体素子４を物理的に着脱または
一時固定する固定手段５と、前記接続関係設定手段２に
接続された前記固定手段５に固定された前記被測定半導
体素子４の半導体特性を測定する測定手段６とから成る
ものである。

【００２５】パルス発生手段１は、前記被測定半導体素
子４の電気的特性時に事前に必要となる時系列的に変化
する多数の入力パルスを発生する例えばヒューレット
パッカード社（ＨＰ社）のＨＰ１６５２２Ａ等を使用し
たパルスジェネレータ１０によって構成される。

【００２６】接続関係設定手段２は、プログラムに従い
入力端子と出力端子との接続関係である配線経路を任意
に設定することができるプログラマブル素子によって構
成され、前記プログラマブル素子が、プログラマブルス
イッチング回路２０によって構成されている。

【００２７】前記プログラマブルスイッチング回路２０
は、前記パルスジェネレータ１０の出力端子と前記被測
定半導体素子４のパターン入力すべき入力端子を接続す
る回路構成であり、アイ キューブ社（Ｉ−Ｃｕｂｅ，
Ｉｎｃ，）の半導体プログラマブルスイッチマトリック
ス素子ＩＱ３２０等を使用する。

【００２８】前記コンフィグレーション手段３は、コン
フィグレーションデータを収納するＲＯＭ３１と、該Ｒ
ＯＭ３１に収納されたコンフィグレーションデータを用
いて前記プログラマブル素子を制御するコンフィグレー
ション制御回路３２を備えたコンフィグレーション回路
３０によって構成されている。

【００２９】前記コンフィグレーション回路３０は、前
記被測定半導体素子４と前記パルスジェネレータ１０の
出力を接続する接続結線情報を、前記プログラマブルス
イッチング回路２０に書き込み、設定を実施する回路構
成である。

【００３０】前記コンフィグレーション回路３０は、図
２に示されるように前記ＲＯＭ３１が、予めキー入力さ
れ図９および図１０に示されるコンフィグレーションフ
ァイルがソフトウエアに従いＲＯＭのデータ形式である
機械言語に変換されたオブジェクトコードとして格納さ
れているＵＶＥＰＲＯＭによって構成され、前記コンフ
ィグレーション制御回路３２が、発振器３２１と該発振
器３２１と前記ＵＶＥＰＲＯＭに接続されたプログラマ
ブル・ロジック・デバイス３２２によって構成されてい
る。

【００３１】前記固定手段５は、図１および図７に示さ
れるように前記プログラマブル・ロジック・デバイス３
２２に接続され、前記被測定半導体素子４を物理的に着
脱出来るソケット５０によって構成されている。

【００３２】前記被測定半導体素子４の具体例として、
測定対象例として同形状で入出力端子配列、機能の異な
る図３ないし図６のピン配列およブロック図に示される
東芝製のＴＭＰ８２Ｃ５５のＰＣ７端子出力特性測定お
よびＴＭＰ８２Ｃ７９のＩＲＱ端子出力特性測定によっ
て例示する。

【００３３】上記測定対象である２例の出力特性測定を
実施する為には、それぞれのＬＳＩ素子の機能設定（モ
ード設定）を実施しなければならない。その為には、そ
れぞれの入力端子（別紙１−Ｃ 計１４本、別紙１−Ｄ
計２４本）に時系列的に変化するデジタル信号を入力
する事が必要である。同デジタル信号を時系列的にどの
様に与えるべきかは、各ＬＳＩ素子毎に同メーカーより
規定されているので、それに従って実施するものであ
る。

【００３４】すなわち、ステップ１０において図９およ
び図１０のソースリスト中に示されるようにＰ０ないし
Ｐ３９端子が、パルスジェネレータ１０からの出力が入
力される入力端子となるように設定される。

【００３５】また、ステップ１１において図９および図
１０のソースリストに示されるようにＰ４０ないしＰ７
９端子が、パルスジェネレータ１０からの出力が前記被
測定半導体素子４の入力端子へ入力されるように設定さ
れる。

【００３６】さらにステップ１６ないしステップ３０ま
たはステップ４１において、前記設定した入力端子にお
ける結線情報が示され、例えば図９におけるステップ１
６において、図８に示されるように端子Ｐ０とＰ３４端
子の交点のスイッチがオンになり結線されるすなわち前
記端子Ｐ０に接続されたパルスジェネレータ１０の１端
子とＰ３４端子のＤ０が結線されることになる。

【００３７】また図１０におけるステップ１６におい
て、図８に示されるように端子Ｐ０とＰ１２端子の交点
のスイッチがオンになり結線されるすなわち前記端子Ｐ
０に接続されたパルスジェネレータ１０の１端子とＰ１
２端子のＤＢ０が結線されることになる。

【００３８】上述したように、出力特性測定を実施する
為に必要となるそれぞれのＬＳＩ素子の機能設定を実現
する為に、パルスジェネレータ装置１０より出力される
デジタル信号を、任意の被測定ＬＳＩ素子の入力端子に
容易に間違える事無く接続することである。

【００３９】前記測定手段６を構成する半導体特性測定
装置６０は、前記被測定半導体素子の電気的特性測定を
実施する測定装置であり、例えばＨＰ社 ＨＰ４１５５
Ａ半導体パラメータアナライザ等を使用することができ
る。

【００４０】上記構成より成る第１実施形態における測
定作業の実施内容について、以下に述べる。すなわち、
対象となる前記被測定半導体素子４の電気的特性を実施
する手順の概要である。

【００４１】先ず前記被測定半導体素子４を、前記被測
定半導体素子用ソケット５に装着する。次に前記コンフ
ィグレーション回路３を動作させ、前記プログラマブル
スイッチング回路２０の配線経路を設定し、前記パルス
ジェネレータ１０の出力と前記被測定半導体素子４の入
力端子を接続する。

【００４２】前記被測定半導体４の被測定点に、前記電
気的特性測定装置６の測定用プローブを接続した後、前
記パルスジェネレータ１０を動作させ、前記被測定半導
体素子４に測定するために必要となるパターンデータを
入力して、前記被測定半導体４の被測定点より、目的と
なる電気的特性を測定するものである。

【００４３】上記作用を奏する第１実施形態の電気的特
性測定装置は、前記プログラマブルスイッチング回路２
０に本例Ｉ−Ｃｕｂｅ，Ｉｎｃ，ＩＱ３２０のような半
導体素子にて構成することにより、上述した従来の機械
的リレー回路を廃止することが出来るため、膨大な接点
数に相当する機械接点およびその切換を不要にするとい
う効果を奏する。

【００４４】また前記プログラマブルスイッチング回路
２０のＯＮ／ＯＦＦコンフィグレーション設定情報を、
図９および図１０に示されるようにデータファイルにて
管理出来る為、その管理が大変容易であり、誤り無く瞬
時に設定する事が出来るという効果を奏する。

【００４５】さらに上述した本実施形態では、説明を簡
素化する為に、比較的端子数の少ない素子にて説明した
が、例えば３００ピンを越える多ピンの半導体素子に於
いても、前記図２に示される回路例及び回路構成にて容
易に対応する事が出来る。すなわち、前記プログラマブ
ルスイッチング回路２０を構成する１個のＩＱ３２０
で、最大３２０入出力ピンを持つ半導体素子迄対応可能
であり、又同回路を並べていけば事実上被測定半導体素
子の端子数に制限無く対応する事が出来る。

【００４６】また第１実施形態の電気的特性測定装置
は、上記回路構成および上記作業内容の通り、デジタル
ＬＳＩ等の事前にパルス入力の必要な前記被測定半導体
素子４の電気的特性測定について、個々の半導体素子毎
にフィクスチャを用意することなく、フィクスチャを共
用することのできる汎用フィクスチャを実現することが
出来るため、フィクスチャ作成費用および手間を大幅に
削減させることが出来る。

【００４７】さらに、前記被測定対象半導体素子４のパ
ッケージが異なる場合でも、上記例の被測定半導体素子
用ソケットブッシユを着脱式に構成し、プログラマブル
スイッチング回路２０、同ソケット部間の接続経路を標
準化することにより、被測定対象半導体素子毎のパッケ
ージ毎の違いを容易に吸収することが出来る。

【００４８】またＬＳＩ素子の入出力端子配列は、同一
形状、同一端子数であっても各ＬＳＩ素子毎にＬＳＩメ
ーカーの方で規定されており一律ではない。よって、前
記被測定素子４の電気的特性測定を実現する為には、各
被測定素子（ＬＳＩ）４毎に、被測定ＬＳＩ素子４の機
能設定を実施する目的で使用されるパルスジェネレータ
装置１０の各出力端子と、被測定ＬＳＩ素子４の各入力
端子を結線する図１において破線で包囲されたフィクス
チャ（結線接触回路及びＩＣソケット等その機構）が必
要となる。

【００４９】しかし、従来のように前記フィクスチャを
被測定ＬＳＩ素子４毎に用意することは、検査コスト面
で大変不利である。そこで、結線を任意に変更出来るプ
ログラマブルスイッチング回路２０を使用すれば、結線
状態を任意に変更出来る為、同一形状、同一端子数の被
測定対象素子であれば、被測定対象素子毎に被測定対象
素子の入出力に１つのフィクスチャで実現する事が出来
る為、検査コストを大幅に低減させるとともに、フィク
スチャ本体の信頼性を著しく向上させることが出来る効
果がある。

【００５０】半導体素子の発展に伴い、その機能も複雑
化し、３００ピンを越える多ピン半導体素子も出現して
いる。これら、多ピン半導体素子に対応するスイッチ回
路の切換を機械接点機構にて実現するには、膨大な接点
数に相当する機械接点が必要となり、機構上実現するの
は難しい。又、多ピン半導体素子それぞれに対応するス
イッチ素子のＯＮ／ＯＦＦ設定情報を記録し、誤り無く
再現するのは実務上極めて困難である。

【００５１】具体例として、本例である４０ピンのＬＳ
Ｉ素子に汎用的に対応する為には、１，６００個（４０
入力×４０出力）の機械接点が必要である。同様に、１
００ピンのＬＳＩ素子には１０，０００個（１００×１
００）のスイッチ、リレー等の機械接点が必要であり、
実現は事実上不可能である。本第１実施形態において
は、従来技術の上記欠点を排し、現行及び１０００ピン
を越えると推定されている多ピン半導体素子にも対応出
来るスイッチの切換を可能にし、プログラマブルスイッ
チ回路の提供を可能にするものである。

【００５２】（第２実施形態）本第２実施形態の電気的
特性測定装置は、図１１ないし図１４に示されるように
被測定対象素子をモトローラ製の同形状である多数のナ
ンド回路より成るＭＣ７４ＨＣ００および多数のノア回
路より成るＭＣ７４ＨＣ０２に変更した相違点であり、
基本的回路は同様であり以下相違点を中心に説明する。

【００５３】図１１は、プログラマブルスイッチング回
路の原理を説明するための説明図で、丸印（○）は、一
方の端子に接続するリード線と他方の端子に接続するリ
ード線との交点に配設されたスイッチを示す。図１１お
よびず１２において、説明を簡略化する為に、測定対象
ＩＣの１〜３番ピンに代表的に着目しているが、全ピン
同様の考え方で構成されている。

【００５４】ＰＧ１出力〜ＰＧ３出力は、パルスジェネ
レータ装置１０の出力部に接続されている。被測定対象
素子であるＩＣ４に対応するＩＣ１ｐｉｎ〜３ｐｉｎ
は、測定対象素子が着脱可能なＩＣソケット等５を介し
て被測定対象ＩＣ４の１〜３番ピンに接続される。

【００５５】プログラマブルスイッチング回路２０は、
図１１に示されるように任意の番号のパルスジェネレー
タ１０の出力と任意の番号の被測定対象素子であるＩＣ
４のピン番号に接続出来る機能を有する。

【００５６】次に上述した２例の被測定対象素子として
の具体例素子の測定について述べる。前記ＭＣ７４ＨＣ
００の場合において、入力ピンは１、２番ピン、出力ピ
ン（測定対象ピン）は３番ピンであるので、プログラマ
ブルスイッチング回路２０は以下例の様に設定され測定
される。

【００５７】スイッチ番号１、２はＯＮ（接続）であ
り、その他はＯＦＦ（開放）である。測定出力端子であ
るＩＣ３番ピンに半導体特性測定装置（図示せず）を接
続する。被測定素子ＭＣ７４ＨＣ００をソケットに装着
される。図１３に示されるようにパルスジェネレータ装
置１０の端子ＰＧ１、ＰＧ２より信号が入力され、測定
出力端子であるＩＣ３番ピンより、半導体特性が測定さ
れる。

【００５８】前記ＭＣ７４ＨＣ０２の場合において、入
力ピンは２、３番ピンであり、出力ピン（測定対象ピ
ン）は１番ピンであるので、プログラマブルスイッチン
グ回路２０は以下例の様に設定され測定される。

【００５９】スイッチ番号３、５ＯＮ（接続）であり、
その他はＯＦＦ（開放）である。測定出力端子であるＩ
Ｃ１番ピンに半導体特性測定装置（図示せず）を接続す
る。前記被測定素子ＭＣ７４ＨＣ０２をソケットに装着
される。図１４に示されるようにパルスジェネレータ装
置１０の端子ＰＧ１、ＰＧ２より信号が入力され、測定
出力端子であるＩＣ３番ピンより、半導体特性が測定さ
れる。

【００６０】本第２実施形態の電気的特性測定装置は、
上述の通り前記プログラマブルスイッチング回路２０を
使用すれば、同一形状、同一ピン数の被測定対象素子で
あれば、被測定対象素子毎に被測定対象素子の入出力に
対応して結線されたフィクスチャ（結線接触回路及びＩ
Ｃソケット等その機構）を用意せず、同一形状、同一ピ
ン数毎に１つのフィクスチャで実現する事が出来る効果
を奏する。

【００６１】本第２実施形態においては、従来技術の上
記欠点を排し、現行及び１０００ピンを越えると推定さ
れている多ピン半導体素子にも対応出来るプログラマブ
ルスイッチ回路を提供することを可能にするという効果
を奏する。

【００６２】またプログラマブルスイッチング回路２０
のＯＮ／ＯＦＦコンフィグレーション（設定）情報をデ
ータファイルにて管理出来る為、その管理が大変容易で
あり、誤り無く瞬時に設定する事が出来る。

【００６３】さらに本実施形態では、説明を簡素化する
為に、端子数の少ない素子にて説明したが、例えば３０
０ピンを越える多ピンの半導体素子においても、上述し
た回路例及び回路構成にて容易に対応する事が出来る。
例えば、ＩＱ３２０が１個で、最大３２０入出力ピンを
持つ半導体素子迄対応可能であり、同回路を並べていけ
ば、事実上被測定半導体素子の端子数に制限無く対応す
る事が出来る。

【００６４】上述の実施形態および実施例は、説明のた
めに例示したもので、本発明としてはそれらに限定され
るものでは無く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明お
よび図面の記載から当業者が認識することができる本発
明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の電気的特性測定装置を
示すブロック図である。

【図２】本第１実施形態装置のコンフィグレーション回
路を示すブロック図である。

【図３】本第１実施形態における一方の被測定対象素子
のピン接続図である。

【図４】本第１実施形態における一方の被測定対象素子
を示すブロック図である。

【図５】本第１実施形態における他方の被測定対象素子
のピン接続図である。

【図６】本第１実施形態における他方の被測定対象素子
を示すブロック図である。

【図７】本第１実施形態におけるプログラマブルスイッ
チ回路とソケットとの接続関係を示すブロック図であ
る。

【図８】本第１実施形態におけるプログラマブルスイッ
チ回路の動作原理を説明するための説明図である。

【図９】本第１実施形態における一方の被測定対象素子
用のコンフィグレーションファイルを示すソースリスト
である。

【図１０】本第１実施形態における他方の被測定対象素
子用のコンフィグレーションファイルを示すソースリス
トである。

【図１１】本発明の第２実施形態におけるプログラマブ
ルスイッチ回路の動作原理を説明するための説明図であ
る。

【図１２】本第２実施形態におけるプログラマブルスイ
ッチ回路の接続関係を示すブロック図である。

【図１３】本第２実施形態における一方の被測定対象素
子用のコンフィグレーションファイルを示すソースリス
トである。

【図１４】本第２実施形態における他方の被測定対象素
子用のコンフィグレーションファイルを示すソースリス
トである。

【符号の説明】

１ パルス発生手段 ２ 接続関係設定手段 ３ コンフィグレーション手段 ４ 被測定半導体素子 ５ 固定手段 ６ 測定手段

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体素子の電気的特性測定を実施する
   電気的特性測定装置において、 時系列的に変化する入力パルスを発生させるパルス発生
   手段と、 該パルス発生手段に接続された入力端子と被測定半導体
   素子に接続された出力端子との接続関係を任意に設定で
   きる接続関係設定手段と、 該接続関係設定手段に接続された前記被測定半導体素子
   の半導体特性を測定する測定手段とから成ることを特徴
   とする電気的特性測定装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記接続関係設定手段が、プログラムに従い入力端子と
   出力端子との接続関係である配線経路を任意に設定する
   ことができるプログラマブル素子によって構成されてい
   ることを特徴とする電気的特性測定装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、 上記配線経路を任意に設定するコンフィグレーション手
   段を備えていることを特徴とする電気的特性測定装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記コンフィグレーション手段が、コンフィグレーショ
   ンデータを収納するＲＯＭを備えたコンフィグレーショ
   ン回路によって構成されていることを特徴とする電気的
   特性測定装置。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記コンフィグレーション回路が、前記ＲＯＭに収納さ
   れたコンフィグレーションデータを用いて前記プログラ
   マブル素子を制御するコンフィグレーション制御回路を
   備えていることを特徴とする電気的特性測定装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、 前記プログラマブル素子が、プログラマブルスイッチン
   グ回路によって構成されていることを特徴とする電気的
   特性測定装置。
7. 【請求項７】 請求項６において、 前記被測定半導体素子を物理的に着脱または一時固定す
   る固定手段を備えていることを特徴とする電気的特性測
   定装置。