JP2006135080A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被処理基板上に感光性樹脂膜を形成する工程と、前記感光性樹脂膜にエネルギー線を選択照射して、複数の露光領域に所望の潜像パターンをそれぞれ形成する工程と、前記潜像パターンの形成後、前記被処理基板を熱板上に設置されたスペーサー上に載置する工程と、前記熱板を用いて前記感光性樹脂膜を加熱する工程と、前記潜像パターンに対応する感光性樹脂膜パターンを形成するために前記感光性樹脂膜を現像する工程とを含むパターン形成方法であって、前記エネルギー線の照射時、前記被処理基板裏面と前記熱板表面との距離が大きい露光領域での前記エネルギー線の照射量が、前記被処理基板裏面と前記熱板表面との距離が小さい露光領域での前記エネルギー線の照射量よりも相対的に大きくなるように、各露光領域でのエネルギー線の照射量条件を設定する。
【選択図】 図8
Description
被処理基板である直径200mmの半導体基板(以下ウエハと称す)上に反射防止膜形成用塗布材料を回転塗布法により、塗布する。190℃、60秒の条件でベーク処理して、膜厚80nmの反射防止膜を形成する。
本実施形態では、処理ウエハの反り量を露光前の段階で計測し、その計測結果に基づき露光量条件を設定する。また、本実施形態では、補正露光量の算出方法だけが実施形態1と異なるため、重複する部分は省略した。
各ウェハショット位置に対してそれぞれ算出された補正露光量を用いて露光処理を行う(ステップST105)。露光後加熱処理(PEB)を行い(ステップST106)、現像する(ステップST107)。
Claims (7)
- 被処理基板上に感光性樹脂膜を形成する工程と、
前記感光性樹脂膜にエネルギー線を選択照射して、複数の露光領域に所望の潜像パターンをそれぞれ形成する工程と、
前記潜像パターンの形成後、前記被処理基板を熱板上に設置されたスペーサー上に載置する工程と、
前記熱板を用いて前記感光性樹脂膜を加熱する工程と、
前記潜像パターンに対応する感光性樹脂膜パターンを形成するために前記感光性樹脂膜を現像する工程とを含むパターン形成方法であって、
前記エネルギー線の照射時、前記被処理基板裏面と前記熱板表面との距離が大きい露光領域での前記エネルギー線の照射量が、前記被処理基板裏面と前記熱板表面との距離が小さい露光領域での前記エネルギー線の照射量よりも相対的に大きくなるように、各露光領域でのエネルギー線の照射量条件を設定することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記照射量が、前記感光性樹脂膜形成後の前記被処理基板の反り量の分布と前記反り量に対する最適露光量との関係から、設定されることを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記最適露光量が、フォトマスクに設けられた露光量モニターパターンに対応して前記感光性樹脂膜に形成された露光量モニターマークの潜像の寸法に対応する量から算出されることを特徴とする請求項2記載のパターン形成方法。
- 前記潜像パターンの形成が、被処理基板及びフォトマスクが一方向に平行な方向に水平移動する走査型露光装置を用いて行なわれることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記照射量条件の設定が、前記露光領域内において行われることを特徴とする請求項4に記載のパターン形成方法。
- 前記感光性樹脂膜の現像を、前記感光性樹脂膜の局所的な領域を現像する現像液の供給/回収を行う現像液供給/回収ノズルが前記感光性樹脂膜上を走査することによって前記感光性樹脂膜の略全面を現像する現像装置を用いて行い、
前記現像時の前記現像液供給/回収ノズルの走査方向を、前記走査型露光装置での前記一方向と直交する方向に設定し、かつ、前記現像液供給/回収ノズルの走査速度を前記被処理基板裏面と前記熱板表面との距離が大きい露光領域における前記現像液供給/回収ノズルの走査速度を前記距離が小さい露光領域よりも相対的に遅くなるように設定することことを特徴とする請求項5に記載のパターン形成方法。 - 請求項1〜6の何れかに記載されたパターン形成方法を用いて、半導体基板を含む前記被処理基板上に前記感光性樹脂膜パターンを形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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