JP2006127609A - 磁気スライダ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】浮上面加工時に主磁極12に電位を与える防食用電極15を設けることで主磁極の腐食を防ぎ、その防食用電極に接続する導体(防食接続線)16に非磁性体を用いることにより、外部磁界13が主磁極12に集まり、放出される漏洩磁界18を少なくすることで媒体上の信号を消去することを抑制する。また、上部コアより防食用電極に接続される配線を接続することで、コイル9と記録端子119を接続する配線と同じ配線層で形成でき、製造工程を簡略化することができる。
【選択図】図4
Description
に接続するための再生用中継端子、120は、薄膜磁気ヘッド、116は、磁気記録/再生素子と記録/再生用中継端子とを電気的に接続する配線及び防食用電極と磁極とを電気的に接続する配線等の内部配線を示す。102は、基板101の磁気記録媒体1に対向する面に形成した浮上面レール、103は、浮上面レール2の磁気記録媒体に対向する浮上面、1は、これらの薄膜磁気ヘッド120、浮上面レール2、浮上面(ABS)103を有する薄膜磁気ヘッドスライダである。端子15は磁気記録素子と導通接触するように外部に形成した導体で、記録用中継端子118及び、再生用中継端子119と同一面で薄膜磁気ヘッドスライダ1としてその側面に露出して形成されるものとなる。
非磁性の配線17と補助磁極11を形成する際には、以下のように行う。まず、非磁性の配線17をめっきにより形成し、次に補助磁極11を再びめっきにより形成する。その後、アルミナ絶縁膜23をその上に形成し、その後にコイルを形成するため、下部磁極の上面をCMP研磨により平坦化する。このとき、非磁性の配線17の膜厚(高さ)を下部磁極の膜厚(高さ)より小さくすることで、下部磁極の上部を平坦化する工程における非磁性配線の断線が生じるのを防ぐことができる。防食接続線17が主磁極12に直接でなく、主磁極と電気的に接続された部位に接触しても、製造工程は複雑になるが、実施例1と同様の効果が見込める。
Claims (19)
- 磁気抵抗効果膜を備える再生ヘッドと、
主磁極と補助磁極とコイルとを具備する記録ヘッドと、
前記コイルと接続された第1配線と、
前記記録ヘッドと電気的に接続され、外部に形成された端子と、
前記端子と前記主磁極とを電気的に接続する第2配線とを有し、
前記第1と第2配線は同じ配線層に形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項1において、
前記配線層は非磁性の材料で形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項2において、
前記非磁性の材料は銅であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項1において、
前記補助磁極は前記コイルから記録端子と接続される配線との接続部の下には延在していないことを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項1において、
前記端子は前記磁気スライダの浮上面加工工程において電圧が印加するための端子であることを特徴とする磁気スライダ。 - 磁気抵抗効果膜を具備する再生ヘッドと、
主磁極と補助磁極とコイルとを具備する記録ヘッドと、
前記主磁極に電圧を印加するために外部に形成された端子と、
前記端子と前記主磁極とを電気的に接続するための配線とを有し、
前記配線は非磁性の材料で形成され、
前記補助磁極は前記配線との接続部の下には延在していないを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項6において、
前記非磁性の材料は銅であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項6において、
前記配線は、前記コイルと記録端子とを接続する配線と同層で形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 磁気抵抗効果膜を具備する再生ヘッドと、
主磁極と補助磁極とコイルとを具備する記録ヘッドと、
前記主磁極と電気的に接続され、外部に形成された端子と、
前記端子と前記主磁極とを接続する配線とを有し、
前記配線は非磁性の材料で形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項9において、
前記配線は、前記コイルと記録端子とを接続する配線と同層で形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項9において、
前記非磁性の材料は銅であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項9において、
前記補助磁極の前記主磁極との接続部より浮上面と反対側には絶縁膜が延在することを特徴とする磁気スライダ。 - 磁気抵抗効果膜を具備する再生ヘッドと、
上部磁極と下部磁極とコイルとを具備する記録ヘッドと、
前記記録ヘッドと電気的に接続され、外部に形成された端子と、
前記端子と前記上部と下部磁極とを電気的に接続する配線とを有し、
前記配線は非磁性の材料で形成され、
浮上面における主磁極の面積と補助磁極の面積の比が1:100以下であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項13において、
前記端子は、前記磁気スライダの浮上面加工工程において前記主磁極に電圧を印加するための端子であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項13において、
前記非磁性の材料は銅であることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項13において、
前記下部磁極は前記コイルから記録端子と接続される配線との接続部の下には延在していないことを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項15において、
前記非磁性体が、Cu、Au、Ru、Rh、Pd、Ta、 NiP、 NiPd、又はNiPのいずれかを含有することを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項13において、
前記配線は、前記コイルと記録端子とを接続する配線と同層で形成されることを特徴とする磁気スライダ。 - 請求項13において、
前記配線は、主磁極側より接続されることを特徴とする磁気スライダ。
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