JP2004062946A

JP2004062946A - 磁気ヘッド、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ、磁気記録装置およびそれらの製造方法、ならびに磁気記録装置の制御方法

Info

Publication number: JP2004062946A
Application number: JP2002216993A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Ichihara; 市原　貴幸; Masabumi Mochizuki; 望月　正文; Yoshiaki Kawato; 川戸　良昭
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2002-07-25
Filing date: 2002-07-25
Publication date: 2004-02-26

Abstract

【課題】主磁極の残留磁化により先端から発生する磁界を抑制し、記録された磁化情報が破壊されない単磁極型ヘッドおよび垂直磁気記録装置を提供する。
【解決手段】媒体に情報の記録を行う主磁極と、主磁極を励磁して情報の記録を行うコイルと、絶縁層を介して少なくとも主磁極先端近傍に導電層を具備し、コイルへの電流遮断直後において導電層に主磁極高さ方向に電流を流して主磁極の磁化をトラック幅方向に向け、主磁極先端の磁荷を小さくする。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、垂直磁気記録技術に適用される磁気ヘッド、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ、これを用いた磁気記録装置、これらの製造方法および磁気記録装置の制御方法に係り、特に狭トラック幅、たとえば、トラック幅が１μｍ以下の単磁極型垂直磁気記録ヘッドに関わる。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置等に採用される磁気記録技術において、記録密度が飛躍的に向上しており、これに伴い、高い記録密度において記録された磁化をより安定に保つことが可能な垂直磁気記録方式が注目されている。
【０００３】
垂直磁気記録に用いられる磁気記録ヘッドと記録媒体の組み合わせとして、単磁極型記録ヘッドと、媒体面に垂直な磁気異方性を有する記録層および軟磁性裏打ち層からなる２層膜媒体が有望視されており、従来より様々なヘッド形状や媒体構造が提案されている。
【０００４】
単磁極型ヘッドによる垂直磁気記録方式において、主磁極近傍に配置した励磁コイルに電流を流して磁界を発生し、記録媒体対向面（ＡＢＳ面）に垂直な方向（主磁極高さ方向）に主磁極を磁化させ、主磁極先端ＡＢＳ面側から発生する磁界により垂直磁気記録媒体内の磁性体を媒体面に垂直な方向に磁化し、コイルの電流を変化させて上記媒体の磁化の向きを交互に反転することにより情報の記録を行う。また、磁化された媒体表面から発生する磁界を再生ヘッドによって電気信号に変換し、情報の読み出しを行う。
【０００５】
上記の単磁極ヘッドにおいて、十分な記録磁界を主磁極先端部に集中させるために、主磁極は図１３、１４に示すようにＡＢＳ面側先端部で絞り込まれた形状になっているのが一般的である。また、通常は、トラック幅の機械加工精度および記録磁界分布の最適化を目的として、主磁極先端部のＡＢＳ面から所定の距離（主磁極先端部高さ）にわたりトラック幅方向の幅が一定になるように加工される。ここで記録直後における単磁極ヘッド先端部の磁化状態のシミュレーション結果を図１３および図１４に示している。図１３ではトラック幅が０．８μｍ、主磁極１１の先端部高さが０．５μｍの時の主磁極先端部の磁化ベクトルの方向を、図１４ではトラック幅が０．２５μｍ、主磁極１１の先端部高さが０．５μｍの時の主磁極先端部の磁化ベクトルの方向をそれぞれ模式的に示している。図１３、図１４ともに、主磁極１１にはトラック幅方向に磁化容易軸を有する磁気異方性が付与されている。主磁極先端部高さに対しトラック幅が大きい場合、図１３に示すように主磁極の磁化はトラック幅方向に向いて安定し、主磁極からの漏洩磁界は十分小さくなって、媒体に記録された磁化を変化させることはない。しかし高トラック密度化に伴い、トラック幅が主磁極先端部高さよりも小さくなると、記録直後の主磁極先端部の磁化は図１４に示すように主磁極高さ方向に向きやすくなり、主磁極先端ＡＢＳ面側の磁荷が大きくなる。特に２層膜媒体を用いた場合、前記磁化から軟磁性裏打ち層に向かって強い磁界が発生し、媒体記録層に既に記録された磁化を反転して誤った情報が記録され、情報を破壊するといった問題が生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この問題に対し、特開平５−１２０６１３公報、および、特開平７―１３４８０４公報においては、記録後、記録ヘッドコイルにより、ＡＣ消磁を行う技術が開示されている。しかし、これらの開示技術は、発生磁界による再生出力変動や記録電流回路の複雑化にともなう高速化への障害等の新たな問題を伴う。また、特開平７−０１４１１８公報には主磁極に部分的に反強磁性層を設ける対策技術が開示されている。しかし、この技術は記録磁界の減少という問題を伴う。
【０００７】
本発明は、狭トラック幅、たとえば０．５μｍ以下のトラック幅の垂直磁気記録装置に用いられる単磁極型ヘッドにおいて、非記録時における主磁極の残留磁化により主磁極先端から発生する磁界を抑制し、記録媒体に記録した磁化情報を破壊しない単磁極型ヘッドおよび垂直磁気記録装置、およびこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、磁気ヘッドとして、主磁極と、前記主磁極を励磁して、媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させるコイルと、前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面の少なくとも一側面上に絶縁層を介して形成された導電層とを有する垂直磁気記録ヘッドを備えるようにした。
【０００９】
また、前記導電層は、前記一側面の媒体対向側に形成されているようにした。
【００１０】
さらに、前記導電層は、前記記録磁界の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子を有するようにした。
【００１１】
また、前記磁気ヘッドは磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを備えるようにした。
【００１２】
また、ヘッド・ジンバル・アッセンブリにおいて、前記磁気ヘッドを塔載し、且つ前記導電層に前記記録磁界の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子を有する磁気ヘッドスライダと、該スライダを保持するジンバルと、該ジンバルを保持し前記電流端子に印加される電流が流れる配線を有するサスペンションとを備えるようにし、また、前記配線を介して前記導電層に電流を供給する電流制御手段、および、前記磁気ヘッドの入出力信号を処理する能動回路を備えるようにした。
【００１３】
さらにまた、磁気記録装置において、前記磁気ヘッドと、前記導電層に前記記録磁界の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子と前記電流端子に印加される電流が流れる配線と、前記配線を介して前記導電層に電流を供給する電流制御手段と、磁気記録媒体とを備えるようにした。さらに、磁気ヘッドの入出力信号を処理する能動回路、および、前記コイルに電流を供給する記録電流制御手段を備えるようにした。
【００１４】
さらにまた、主磁極を励磁して媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させるコイルに、記録電流を印加するステップと、前記コイルに印加した記録電流を遮断するステップと、前記一側面上に絶縁層を介して形成された導電層に、前記記録磁界の方向に対して平行な方向に電流を印加するステップとにより磁気記録装置を制御するようにした。
【００１５】
さらに、主磁極を形成する工程と、前記主磁極に一方向に磁気異方性を付与する工程と、前記主磁極の一主面側にコイルを形成する工程と、前記主磁極の前記一主面側あるいは他主面側に導電層を形成する工程と、前記主磁極、前記導電層ならびに前記コイルとを電気的に絶縁する絶縁層を形成する工程とにより磁気ヘッドの製造を行うようにした。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に、本発明の磁気ヘッドの第１の実施例の断面構造概略図を示している。図２は、図１に示される磁気ヘッドの正面概略図を示している。図１に示す磁気ヘッド１において、基板１０上に、再生ヘッド部１７、補助磁極１５、補助磁極１５と励磁コイル１３を電気的に絶縁する絶縁層１６１、励磁コイル１３、励磁コイル１３と主磁極１１を電気的に絶縁する絶縁層１６２、主磁極１１、主磁極１１と導電体１２を電気的に絶縁する絶縁層１６３、導電体１２、電極以外の部分を保護、絶縁する絶縁層１６４を順次積層製膜した。図１において、図の下側が媒体対向面側、上側が媒体対向面側と反対側となる。本図において導電体１２、すなわち、導電層は媒体対向面側に設けられている。
【００１７】
再生ヘッド部１７は磁気シールド層１７２、１７３および該シールド１７２、１７３の間に、センス電流を流すための配線（図示せず）が接続された磁気抵抗素子１７１を備えるようにした。磁気抵抗素子１７１としては、巨大磁気抵抗素子（ＧＭＲ素子）やスピントンネル磁気抵抗素子（ＴＭＲ素子）などを用いることができる。なお、図２では、再生ヘッド部１７および絶縁層１６１〜１６４を省略している。各々の層および複数の層を電気的、磁気的に結合するための絶縁層のコンタクト穴はスパッタ法やメッキ法などの薄膜堆積法と、フォトリソグラフィー工程を併用して形成した。導電体１２の主磁極側先端部端子１２１に配線１４１を接続し、端子１２１に対し主磁極高さ方向に設けられた導電体１２の端子１２２に配線１４２を接続するようにした。配線１４１および配線１４２は、主磁極層１１や励磁コイル層１３などと同様に、薄膜プロセスによって形成したが、ボンディング形成してもよい。また、導電体１２と、配線１４１、配線１４２のいずれか、または両方を薄膜プロセスにより一体形成してもよい。主磁極１１、補助磁極１５は鉄、ニッケル、コバルト等を含む軟磁性材料で形成され、主磁極１１において、主磁極１１となる軟磁性薄膜堆積中に基板に磁場を印加する等の工程により、トラック幅方向に磁化容易軸を有する磁気異方性が付与されている。励磁コイル１３、導電層１２および配線１４１、１４２は銅、金等の非磁性かつ電気抵抗の低い材料で形成した。絶縁層材料としてはアルミナや酸化シリコン、フォトレジストなどを用いた。
【００１８】
図３は、本発明の磁気ヘッドの第２の実施例の断面構造概略図を示している。図３においても、図の下側が媒体対向面側、上側が媒体対向面側と反対側になる。図４には、図３に示される単磁極ヘッドの正面概略図を示している。ここで図１と図３の共通部分には、同じ参照番号を付して説明を省略する。図３に示す構成では、導電層１２と励磁コイル１３が、主磁極１１に対し同じ側に形成した。されている。なお、図１、図３において、補助磁極１５および励磁コイル１３を主磁極１１に対し基板１０寄りに形成した例を示したが、励磁コイル１３および補助磁極１５を、主磁極１１に対し基板１０の反対側、あるいは両側に形成することも可能であることは自明である。
【００１９】
図１および図３の単磁極ヘッドにおいて、媒体に情報を記録する動作中は励磁コイル１３に記録電流を流し、主磁極１１を主磁極高さ方向に励磁する。記録動作を停止し励磁コイル１３への電流を遮断した直後に、配線１４１と配線１４２を通して導電体１２に電流を主磁極高さ方向に印加する。ここで導電体１２と主磁極１１の距離をＬ、導電体のトラック幅方向の長さをＷ、導電体の厚さをＤ、導電体に印加する電流をＩとすると、主磁極１１の記録トラック幅Ｔｗに対してＷが十分大きい場合、電流Ｉにより主磁極１１の先端部に印加されるトラック幅方向の磁界Ｈは式１で近似される。
Ｈ＝Ｉ／２（Ｗ＋Ｄ＋２Ｌ）　・・・（１）
図１５（グラフ）に本発明第１の実施例における情報誤消去抑止効果を示す。図１５において、従来の構造の単磁極ヘッドにおいてトラック幅Ｔｗが６０ｎｍ一定のときの、主磁極先端部高さを変化させた時の記録直後の主磁極先端から発生する残留磁界の関係のシミュレーション結果をプロットし、さらに本発明第１の実施例において、Ｗ＝１μｍ、Ｄ＝０．２μｍ、Ｌ＝０．２μｍ、Ｉ＝０．５Ａとしたときの、主磁極先端部高さ１２０ｎｍにおける主磁極先端から発生する残留磁界のシミュレーション結果をプロットしている。従来の単磁極ヘッドにおいて、主磁極先端部高さが大きくなるにつれて先端部残留磁界が増加し、主磁極先端部高さ１２０ｎｍにおいて約３０００Ｏｅの残留磁界が生じる。一方、本発明のヘッドにおいて、印加した電流によってトラック幅方向の磁界が主磁極先端部に印加され、残留磁界は約６００Ｏｅまで減少し、媒体に記録された磁化を破壊しない。
【００２０】
上記のシミュレーション結果により、極めて狭いトラック幅に対する記録においても、本発明の磁気ヘッド構造で配置した導電層への電流印加により発生する磁界によって主磁極１１の磁化はトラック幅方向に向き、主磁極１１の先端部の磁荷が減少して、主磁極１１の先端部から発生する漏洩磁界が媒体の保磁力に対し十分小さくなり、従来構造の磁気ヘッドにおいて狭トラック幅での記録を行う際に問題となった媒体の磁化情報の破壊が抑止されることが明らかとなった。
【００２１】
図５には、本発明の磁気ヘッドを搭載するスライダの概略図を示している。スライダ２には、磁気ヘッド１の励磁コイル１３、磁気抵抗素子１７１、導電層１２の各端子に接続された端子２１〜２６を備えている。スライダのＡＢＳ面には、媒体表面から所定の高さで浮上走行するための凹凸加工（図示せず）が施されている。図６には、本発明の磁気ヘッドを搭載するヘッド・ジンバル・アッセンブリの概略図を示す。図６のヘッド・ジンバル・アッセンブリ３において、磁気ヘッド１を搭載したスライダ２と、スライダ２を支持するジンバル３２と、ジンバル３２を支持する板バネ状のサスペンション３１と、スライダ２の端子２１〜２６に接続し、磁極ヘッド１のコイル１３、磁気抵抗素子１７１、および導電体１２に電流を供給するための配線３３および端子３４を有する。記録時は配線３３を通してコイル１３に記録電流を印加し、再生時は再生ヘッド素子１７１からの出力を配線３３を通して検出する。記録電流を遮断した直後、配線３３を通して導電体１２に電流を印加する。
【００２２】
図７には、本発明のヘッド・ジンバル・アッセンブリにおいて、サスペンション上にヘッドアンプおよび導電層への電流制御回路を備えた例を示している。サスペンション３１上には出入力信号を処理する能動回路として主に記録用スイッチング回路およびセンス電圧増幅回路からなるプリアンプ回路４１、磁気ヘッド１上の導電層１２に電流を印加する電流制御回路４２、さらに、回路４１、４２に電源、ライトデータ信号、ライトゲート信号を供給し、回路４１で増幅された再生信号を転送する配線３３および端子３４を備えている。ここで回路４１、４２を統合し、１つのＩＣとすることも可能である。回路４１、４２をサスペンション３１上に搭載することにより、ＩＣからヘッド素子まで配線長が短くなり、インピーダンスが低減して高周波特性が改善し、さらに隣接した配線の電流による誘導起電力が減少し、再生ノイズが低減し、過剰な誘導電流により磁気抵抗素子が破壊されることを防止できる。
【００２３】
図８には、本発明の磁気ヘッドによる記録、再生に用いるプリアンプの概略図を示している。プリアンプ４において、磁気ヘッド１の励磁コイル１３に電流を供給する記録電流制御回路４１１、出力信号増幅回路４１２および磁気ヘッド１の導電層１２に電流を供給する電流制御回路４２を有することを特徴とする。
【００２４】
図９には、本発明の磁気ヘッドに印加する電流のタイミングチャートを示している。ライトゲート信号入力端子４３４からライトゲート信号５２を入力し、ライトゲート信号５２がＬレベルになると書き込み許可状態となり、ライトデータ入力端子４３３から入力されたライトデータ信号に応じた記録電流５３が磁気ヘッド１の記録コイル１３に流れる。ライトゲート信号５２がＨレベルになったとき、記録電流５３を０にすると同時に電流制御回路４２からヘッド１の導電層１２に電流５４を供給する。タイマなどの時間制御により、次にライトゲート信号５２がＬレベルになる以前に電流制御回路４２により導電層電流５４を０にする。以上の手順により非記録時にのみ導電層１２へ電流５４を印加することにより、該電流が磁気ヘッド１の記録動作に与える影響を無くし、不要な電力消費を抑制することができる。
【００２５】
図１０には、本発明の垂直磁気記録装置の媒体面から見た外観図を示している。図１１には、本発明の垂直磁気記録装置の媒体側面から見た外観図を示している。筐体６０内には垂直磁気記録媒体６１、媒体６１を支持、回転する手段としてのスピンドルモータ６２、媒体６１に対して情報の記録および再生を行う磁気ヘッド１（図示せず）を搭載したスライダ２、スライダ２を先端に搭載したヘッド・ジンバル・アッセンブリ３、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ３を回転自在に支持する回転軸６３、回転軸６３を介してヘッド・ジンバル・アッセンブリ３を回転させ、かつ磁気ヘッド１の記録媒体６１上での位置決めを行うボイスコイルモータ６４、およびプリアンプ４が収納されている。筐体６０外部には、信号処理回路、ディスク回転制御回路、ヘッド位置決め制御回路などが実装されたパッケージボード６５が搭載されている。スピンドルモータ６２によって回転する媒体６１上でスライダ２が極低位置で浮上走行することにより、磁気ヘッド１の主磁極１１および補助磁極１５が、媒体６１表面で近接対向している。図１２には垂直記録媒体６１として用いられる垂直２層膜媒体の断面構造図を示している。垂直記録媒体６１は、本発明の垂直磁気記録装置の情報の記録対象であり、アルミニウムやガラスからなる基板上６１０上に、パーマロイやＣｏ系アモルファスを用いた軟磁性裏打ち層６１１、ＣｏＣｒ系合金やＣｏ／Ｐｔ人工格子多層膜などを用いた垂直磁気異方性を有する記録層６１２、カーボン膜などによる保護層６１３、潤滑層６１４が順に積層されている。軟磁性裏打ち層６１１、記録層６１２の結晶配向制御や磁区制御等を目的とした下地層を有してもよい。軟磁性裏打ち層６１１には、記録時に磁気ヘッド１の主磁極１１からの記録磁界を誘導し、記録層６１２に印加される記録磁界の媒体面垂直成分を強める働きと、記録された磁化によって記録層６１２の基板６１０側に生じる磁荷をキャンセルして、より安定に記録状態を保つ働きを有している反面、記録直後の主磁極１１の残留磁荷によって記録層６１２に印加される磁界も強め、記録層６１２に記録された磁化情報を破壊しやすいという欠点もある。従って、本発明による、記録直後における主磁極１１の先端の磁荷低減は、上記垂直２層膜媒体との組み合わせにおいて特に効果を有する。
【００２６】
以上に述べた、本発明実施例の磁気ヘッド、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ、これらを用いた磁気記録装置において、狭トラック幅、例えば、０．５μｍから０．１μｍのトラック幅の垂直磁気記録において、従来技術では問題とされていた、記録後の誤消去を大幅に低減することが出来、記録した情報の破壊を回避することが可能となった。なお、本発明の第１の実施例および第２の実施例の磁気ヘッドは同様の記録後の誤消去低減効果を示した。
【００２７】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明では、記録直後に主磁極近傍に配置した導電体に主磁極高さ方向に電流を印加し、この電流から発生する磁界により主磁極の磁化を媒体面に平行な方向に向けて主磁極先端の磁荷を低減し、非記録時における主磁極先端からの漏洩磁界を低減して、情報の破壊を回避することができる。また、電流による主磁極の磁区制御を非記録時にのみ行うことにより、記録性能に影響を与えず、高周波での記録に適したヘッド設計が容易である。さらに上記導電体は記録コイルと同様のプロセスにより比較的容易に作製することが可能であり、低コストで安定した記録を行う垂直磁気記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の磁気ヘッドの断面概略図である。
【図２】本発明の第１の実施例の磁気ヘッドの正面概略図である。
【図３】本発明の第２の実施例の磁気ヘッドの断面概略図である。
【図４】本発明の第２の実施例の磁気ヘッドの正面概略図である。
【図５】本発明の磁気ヘッドスライダの正面概略図である。
【図６】本発明のヘッド・ジンバル・アッセンブリの概略図である。
【図７】プリアンプ回路および導電層電流制御回路を搭載した、本発明のヘッド・ジンバル・アッセンブリの概略図である。
【図８】本発明のプリアンプの概略図である。
【図９】記録コイルと導電層に印加する電流のタイミングチャートである。
【図１０】本発明の磁気ディスク装置の媒体面から見た概略図である。
【図１１】本発明の磁気ディスク装置の媒体側面から見た概略図である。
【図１２】本発明の磁気ディスク装置の記録媒体の断面概略図である。
【図１３】トラック幅の広い単磁極ヘッド先端部の磁区構造の概念図である。
【図１４】トラック幅の狭い単磁極ヘッド先端部の磁区構造の概念図である
【図１５】従来構造及び本発明の構造の磁気ヘッドを用いた場合の狭トラック幅記録における主磁極先端部残留磁界の主磁極先端部高さ依存性をシミュレーションにより比較した図である。。
【符号の説明】
１…磁気ヘッド、２…スライダ、３…ヘッド・ジンバル・アッセンブリ、４…プリアンプ、６…磁気ディスク装置、１０…ヘッド基板、１１…主磁極、１２…導電層、１３…励磁コイル、１５…補助磁極、１７…再生ヘッド部、２１〜２６…端子、３１…サスペンション、３２…ジンバル、３３…配線、３４…端子、４１…プリアンプ部、４２…導電層電流制御回路、５１…ライトデータ信号、５２…ライトゲート信号、５３…記録電流、５４…導電層電流、６０…筐体、６１…垂直磁気記録媒体、６２…スピンドルモータ、６３…回転軸、６４…ボイスコイルモータ、６５…パッケージボード、１２１〜１２２…導電層端子、１４１〜１４２…配線、１６１〜１６４…絶縁層、１７１…磁気抵抗素子、１７２〜１７３…磁気シールド、４１１…再生出力増幅回路、４１２…記録電流制御回路、４３１…電源端子、４３２…再生出力端子、４３３…ライトデータ入力端子、４３４…ライトゲート信号入力端子、６１０…媒体基板、６１１…軟磁性裏打ち層、６１２…垂直記録層、６１３…保護層、６１４…潤滑層。

Claims

主磁極と、前記主磁極を励磁することにより、媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させる励磁コイルと、前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面のうち少なくとも一側面上に絶縁層を介して形成された導電層とを有する垂直磁気記録ヘッドを備えることを特徴とする磁気ヘッド。
前記導電層は、前記一側面の媒体対向側に形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
前記導電層は、前記記録磁束の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子を有することを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッド。
さらに、磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気ヘッド。
主磁極、前記主磁極を励磁することにより、媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させる励磁コイル、及び前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面のうち少なくとも一側面上に絶縁層を介して形成された導電層とを有する垂直磁気記録ヘッドを備えることを特徴とする磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを塔載し、且つ前記導電層に前記記録磁界の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子を有する磁気ヘッドスライダと、該スライダを保持するジンバルと、該ジンバルを保持し前記電流端子に印加される電流が流れる配線を有するサスペンションとを備えることを特徴とするヘッド・ジンバル・アッセンブリ。
前記導電層は、前記一側面の媒体対向面側に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のヘッド・ジンバル・アッセンブリ。
前記配線を介して前記導電層に電流を供給する電流制御手段を備えることを特徴とする請求項５または６に記載のヘッド・ジンバル・アッセンブリ。
前記磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを備えることを特徴とする請求項５から７のいずれか１項に記載のヘッド・ジンバル・アッセンブリ。
前記磁気ヘッドの入出力信号を処理する能動回路を備えることを特徴とする請求項８に記載のヘッド・ジンバル・アッセンブリ。
主磁極、前記主磁極を励磁することにより、媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させる励磁コイル、及び前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面の少なくとも一側面上に絶縁層を介して形成された導電層とを有する垂直磁気記録ヘッドを備えることを特徴とする磁気ヘッドと、
前記導電層に前記記録磁界の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子と
前記電流端子に印加される電流が流れる配線と、
前記配線を介して前記導電層に電流を供給する電流制御手段と、
磁気記録媒体とを備えることを特徴とする磁気記録装置。
前記導電層は、前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面のうち少なくとも一側面の媒体対向面側に形成されていることを特徴とする請求項１０記載の磁気記録装置。
前記磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを備えることを特徴とする請求項１０または１１に記載の磁気記録装置。
前記磁気ヘッドの入出力信号を処理する能動回路を有するヘッド・ジンバル・アッセンブリを備えることを特徴とする請求項１２記載の磁気記録装置。
前記コイルに電流を供給する記録電流制御手段を備えることを特徴とする請求項１０から１４のいずれか１項に記載の磁気記録装置。
主磁極を励磁して媒体対向面に対して垂直方向に記録磁界を発生させるコイルに、記録電流を印加するステップと、
前記コイルに印加した記録電流を遮断するステップと、
前記主磁極の媒体対向面に垂直な側面の少なくとも一側面上に絶縁層を介して形成された導電層に、前記記録磁界の方向に対して平行な方向に電流を印加するステップとを含むことを特徴とする磁気記録装置の制御方法。
主磁極を形成する工程と、
前記主磁極に一方向に磁気異方性を付与する工程と、
前記主磁極の一主面側に励磁コイルを形成する工程と、
前記主磁極の前記一主面側あるいは他主面側に導電層を形成する工程と、
前記主磁極、前記導電層ならびに前記励磁コイルとを電気的に絶縁する絶縁層を形成する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
基板上に、再生ヘッド部、補助磁極、補助磁極と励磁コイルを電気的に絶縁する絶縁層、励磁コイルを順次形成する工程と、
励磁コイルと主磁極を電気的に絶縁する絶縁層、主磁極、主磁極と導電層を電気的に絶縁する絶縁層、導電層を順次形成する工程、あるいは、励磁コイルと導電層を電気的に絶縁する絶縁層、導電層、主磁極と導電層を電気的に絶縁する絶縁層、主磁極、励磁コイルと主磁極を電気的に絶縁する絶縁層、励磁コイルを順次形成する工程と、
前記主磁極形成工程中に磁場を印加し、主磁極に一方向に磁気異方性を付与する工程とにより磁気ヘッドを形成する工程と、
前記導電層に前記記録磁束の方向に対して平行な方向に印加される電流を引き込むための電流端子を形成する工程と、
前記電流端子に印加される電流が流れる配線を形成する工程と、
前記配線を介して前記導電層に電流を供給する電流制御手段を形成するする工程とを含むことを特徴とする磁気記録装置の製造方法。