JP2006108319A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 レジスト部の形成を容易に且つ適切に行うことができる固体電解コンデンサの製造方法を提供する。
【解決手段】 固体電解コンデンサを製造する場合、粗面化したアルミニウムシートの表面に酸化皮膜を形成して、陽極電極シート８Ａを作製する。続いて、陽極電極シート８Ａに、コンデンサ素子の側面の一部を形成すると共にコンデンサ素子の側面にレジスト部を設けるための複数の貫通孔２２を形成する。その後、各貫通孔２２同士を結ぶように、陽極電極シート８Ａの両面及び各内壁面にレジスト部７を形成する。続いて、陰極部を形成するための陰極形成領域が陽極電極シート８Ａに形成されるように、陽極電極シート８Ａを帯状に切断する。続いて、その切断面に酸化皮膜を形成した後、陰極形成領域の酸化皮膜上に固体電解質層１１を形成する。そして、固体電解質層１１上に陰極部６（導電体層）を形成する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、陽極部と陰極部とを有するコンデンサ素子を備えた固体電解コンデンサの製造方法に関するものである。

従来における固体電解コンデンサの製造方法としては、例えば特許文献１に記載されているものが知られている。この特許文献１に記載の方法では、まずシート状のマザー金属箔に複数のコンデンサ素子箔を形成し、その後で各コンデンサ素子箔にレジスト層を形成して、陽極引出部と陽極箔部とに分離し、陽極箔部に電解重合膜を形成する。
特開平５−２８３３０４号公報

しかしながら、上記従来技術においては、マザー金属箔にコ字状の切込溝により複数のコンデンサ素子箔を形成するため、各コンデンサ素子箔はマザー金属箔に片持ち支持された状態となる。このため、その後でコンデンサ素子箔にレジスト層を形成するときに、コンデンサ素子箔が撓みやすくなり、レジスト層の形成が困難になる。特に、スクリーン印刷やオフセット印刷等といった印刷工法を用いて、コンデンサ素子の両面（上面及び下面）だけでなく、コンデンサ素子の側面にもレジスト層を形成する場合には、そのような不具合が顕著になる。

本発明の目的は、レジスト部の形成を容易に且つ適切に行うことができる固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。

本発明は、陽極部と、陰極部と、陽極部と陰極部とを電気的に絶縁するレジスト部とを有するコンデンサ素子を備えた固体電解コンデンサを製造する方法であって、弁作用金属シートの表面を粗面化し、その表面に誘電体酸化被膜を形成することにより、陽極部を形成する陽極電極シートを作製する工程と、陽極電極シートに、コンデンサ素子の側面を主として形成すると共にコンデンサ素子の側面にレジスト部を設けるための複数の貫通孔を形成する工程と、複数の貫通孔同士を結ぶように、陽極電極シートの両面と各貫通孔を形成する陽極電極シートの複数の内壁面とにレジスト部を形成する工程と、陽極電極シートにレジスト部を形成した後、陰極部を形成するための陰極形成領域が陽極電極シートに形成されるように、陽極電極シートを切断する工程と、陽極電極シートの切断面に誘電体酸化被膜を形成する工程と、陰極形成領域における誘電体酸化被膜上に固体電解質層を形成する工程と、固体電解質層上に陰極部を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。

このように本発明においては、まず陽極電極シートに複数の貫通孔を形成し、これらの貫通孔を結ぶように陽極電極シートにレジスト部を形成した後、陽極電極シートに陰極形成領域が形成されるように陽極電極シートを切断する。このため、陽極電極シートにレジスト部を形成する時点では、陽極電極シートには未だ陰極形成領域が形成されていない状態となっている。従って、陽極電極シートにレジスト部を形成する際に、陽極電極シートが撓むことは殆ど無く、陽極電極シートが取り扱いやすくなる。これにより、レジスト部の形成を容易に行うことができる。また、陽極電極シートの両面と各貫通孔を形成する陽極電極シートの各内壁面とにレジスト部を形成することにより、最終的にコンデンサ素子の両面にレジスト部が形成されるだけでなく、コンデンサ素子の側面にも確実にレジスト部が形成されるようになる。

好ましくは、陽極電極シートを切断する工程において、陽極電極シートに陰極形成領域が複数並んで形成されるように、陽極電極シートを帯状に切断し、固体電解質層を形成する工程において、帯状に切断された陽極電極シートの各陰極形成領域を固体電解質形成用重合液に浸漬させて、化学酸化重合または電解酸化重合を行うことにより、陰極形成領域における誘電体酸化被膜上に固体電解質層を形成する。

この場合には、帯状の陽極電極シートに設けられた複数の陰極形成領域をまとめて固体電解質形成用重合液に浸漬させることで、複数の陰極形成領域に対する固体電解質層の形成をまとめて一度に行うことができる。これにより、複数のコンデンサ素子を効率良く作製することが可能となる。

また、好ましくは、陽極電極シートに複数の貫通孔を形成する工程を実施した後、陽極電極シートにレジスト部を形成する工程を実施する前に、各貫通孔を形成する陽極電極シートの複数の内壁面に誘電体酸化被膜を形成する。

この場合には、各貫通孔を形成する陽極電極シートの各内壁面とレジスト部との間に、誘電体酸化被膜が設けられていることになる。これにより、陽極電極シートの各内壁面に形成されたレジスト部が万が一切れる等といった不具合が発生した場合であっても、陽極部と陰極部との導通を確実に防止することができる。

本発明によれば、陽極電極シートにレジスト部を形成するときに、陽極電極シートが撓むことが抑止されるので、レジスト部の形成を容易に且つ適切に行うことができる。これにより、１枚の陽極電極シートに対して複数のコンデンサ素子を形成するというような大量生産に非常に有利となる。

以下、本発明に係わる固体電解コンデンサの製造方法の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明に係わる固体電解コンデンサの製造方法の一実施形態により製造される固体電解コンデンサを示す断面図である。同図において、固体電解コンデンサ１は、複数（ここでは３つ）のコンデンサ素子２と、これらのコンデンサ素子２が載置・固定される基板３と、各コンデンサ素子２をモールドする樹脂モールド部４とを備えている。なお、コンデンサ素子２をモールドするのは、コンデンサ素子２を酸素や湿度、接触等から保護するためである。

コンデンサ素子２は、陽極部５と、陰極部６と、陽極部５と陰極部６とを電気的に絶縁するレジスト部７とを有している。陽極部５は、箔状または板状の陽極電極シート８により形成されている。陽極電極シート８は、図２に示すように、表面積を増やすべく表面が粗面化（拡面化）されたアルミニウムシート（弁作用金属シート）９と、このアルミニウムシート９の表面に形成された絶縁性の酸化アルミニウム被膜（誘電体酸化被膜）１０とからなっている。

レジスト部７は、陽極電極シート８の一部表面上に形成されている。レジスト部７は、陽極部５と陰極部６とを電気的に絶縁する機能（前述）の他に、導電性高分子重合工程やペースト塗布工程等の浸漬工程（後述）において液の這い上がりを防止する機能も有している。レジスト部７は、好ましくは熱硬化性エポキシ樹脂やシルコーン樹脂等で形成されている。

陽極電極シート８におけるレジスト部７の一側領域（図１で見て陽極電極シート８の右側の領域）の表面上には、導電性高分子を含む固体電解質層１１が設けられている。この固体電解質層１１は、図２に示すように、アルミニウムシート９の粗面化によって形成された微細穴８ａに入り込むように形成されている。固体電解質層１１上には、陰極部６を形成する導電体層１２が設けられている。導電体層１２は、導電性高分子よりも低抵抗であるペーストを塗布して形成される。具体的には、導電体層１２は、カーボンペースト層１３及び銀ペースト層１４を順に積層して形成されている。

このような複数のコンデンサ素子２は、積層された状態で基板３上に載置・固定される。なお、コンデンサ素子２を積層するのは、固体電解コンデンサ１の容量を稼ぐためである。基板３は、例えばエポキシ樹脂製のプリント基板である。基板３の上面には、各コンデンサ素子２の陽極部５と電気的に接続される陽極配線パターン１５と、各コンデンサ素子２の陰極部６と電気的に接続される陰極配線パターン１６とが設けられている。これらの配線パターン１５，１６は、例えば銅箔で形成されている。

最下層のコンデンサ素子２の陰極部６を構成する導電体層１２は、導電性接着剤１７により陰極配線パターン１６に接合されている。また、各コンデンサ素子２の陰極部６を構成する導電体層１２同士も、導電性接着剤１７で接合されている。導電性接着剤１７としては、例えば銀−エポキシ系接着剤が用いられる。各コンデンサ素子２の陽極部５は、基板３側に曲げて重ねた状態で、ＹＡＧレーザスポット溶接等により陽極配線パターン１５に接合されている。

基板３の下面には、陽極端子パターン１８及び陰極端子パターン１９が設けられている。これらの端子パターン１８，１９は、電子回路基板等（図示せず）に実装される部分であり、配線パターン１５，１６と同様の金属材料で形成されている。また、基板３には、陽極配線パターン１５と陽極端子パターン１８とを電気的に接続するスルーホール２０と、陰極配線パターン１６と陰極端子パターン１９とを電気的に接続するスルーホール２１とが設けられている。

次に、上述した固体電解コンデンサ１を製造する方法について図３により説明する。まず１枚のアルミニウムシートを用意する。そして、エッチング等によってアルミニウムシートの表面を粗面化すると共に、化成処理（陽極酸化）によってアルミニウムシートの表面に酸化アルミニウム皮膜を形成することにより、図４（ａ）に示すような陽極電極シート８Ａを作製する（工程１０１）。化成処理は、例えばアジピン酸アンモニウム等の電解質溶液にアルミニウムシートを浸漬、更に通電させることにより行う。

続いて、図４（ｂ）に示すように、陽極電極シート８Ａに複数の円形状貫通孔２２をマトリクス状に形成する（工程１０２）。これらの貫通孔２２は、コンデンサ素子２の両側面の一部を形成する（図６参照）と共にコンデンサ素子２の両側面にレジスト部７を設けるための穴である。貫通孔２２の形成方法としては、レーザー加工や、ピナクルダイ、金型による打ち抜き加工等が挙げられるが、金型による打ち抜き加工が好ましい。

続いて、化成処理によって、各貫通孔２２を形成する陽極電極シート８Ａの複数の内壁面２２ａ（未酸化部分）に酸化アルミニウム皮膜を形成する（工程１０３）。化成処理は、上記工程１０１と同様に、アジピン酸アンモニウム等の電解質溶液を用いて行う。なお、電解質溶液（化成液）は、加熱して使用するのが好ましい。

続いて、図４（ｃ）に示すように、マトリクス状に形成された複数の貫通孔２２の行毎に各貫通孔２２同士を結ぶように、陽極電極シート８Ａにレジスト部７を形成する（工程１０４）。このとき、図５に示すように、陽極電極シート８Ａの両面にレジスト部７を形成すると共に、陽極電極シート８Ａの両面に形成されたレジスト部７同士をつなぐように、陽極電極シート８Ａの各内壁面２２ａにもレジスト部７を形成する。

このとき、レジスト部７の形成方法としては、スクリーン印刷、グラビア印刷、ロールを用いた印刷等といった印刷法があるが、スクリーン印刷が好ましい。このような印刷工程は、陽極電極シート８Ａの両面別々に行われる。具体的には、まず陽極電極シート８Ａの内壁面２２ａを含む陽極電極シート８Ａの一面側にレジスト部７を印刷した後に、当該レジスト部７を一旦加熱硬化させる。その後、陽極電極シート８Ａの内壁面２２ａを含む陽極電極シート８Ａの他面側にレジスト部７を印刷し、当該レジスト部７を加熱硬化させる。

続いて、図６に示すように、マトリクス状に形成された複数の貫通孔２２の行毎に陽極電極シート８Ａを帯状に切断し、複数枚の陽極電極シート帯状体８Ｂを得る（工程１０５）。これらの陽極電極シート帯状体８Ｂは、櫛歯状に並んで形成された複数のコンデンサ素子形成領域２Ａを有している。各コンデンサ素子形成領域２Ａには、コンデンサ素子２の陽極部５を露出させる陽極露出領域５Ａと、コンデンサ素子２の陰極部６を形成するための陰極形成領域６Ａと、陽極露出領域５Ａと陰極形成領域６Ａとの間に位置するレジスト部７とが設けられている。このとき、陽極電極シート８Ａの切断方法としては、上記工程１０２の貫通孔２２の形成方法と同様に、レーザー加工や、ピナクルダイ、金型による打ち抜き加工等が考えられるが、金型による打ち抜き加工が好ましい。

続いて、上記工程１０３と同様の化成処理によって、陽極電極シート帯状体８Ｂの切断面（未酸化部分）に酸化アルミニウム皮膜を形成する（工程１０６）。

続いて、図７（ａ）に示すように、重合法によって、陽極電極シート帯状体８Ｂにおける陰極形成領域６Ａの酸化アルミニウム皮膜上に、導電性高分子を含む固体電解質層１１を形成する（工程１０７）。重合法としては、電解酸化重合法及び化学酸化重合法が挙げられるが、化学酸化重合法が好ましい。このとき、陽極電極シート帯状体８Ｂの各陰極形成領域６Ａを固体電解質形成用の重合液に浸漬させて化学酸化重合を行い、導電性高分子を形成する。重合液としては、モノマーと酸化剤とを含む水溶液を用いる。モノマーとしては、チオフェン、ピロール、アニリン及びそれぞれの誘電体等が好適に用いられる。酸化剤としては、Ｆｅ^３＋等の金属イオンの塩及び錯体、或いは過硫酸アンモニウム等が用いられる。その他、導電性を持たせるために、ドーピング材料を同時に用いる。ドーピング材料としては、パラトルエンスルホン酸やアルキルナフタレンスルホン酸等の芳香族スルホン酸の他、無機スルホン酸等が用いられる。

続いて、図７（ｂ）に示すように、固体電解質層１１上に、グラファイトペースト層１３及び銀ペースト層１４を積層して導電体層１２を形成することにより、陰極部６を形成する。導電体層１２の形成は、例えばスクリーン印刷法、浸漬法（ディップ法）及びスプレー塗布法等を用いて行う。これにより、陽極電極シート帯状体８Ｂに複数のコンデンサ素子２が形成されることになる。

続いて、そのようにして得られた複数のコンデンサ素子２を、陽極電極シート８Ｂの基体部Ｐ（図７（ｂ）参照）から切断して分離させる。そして、複数のコンデンサ素子２を積層した状態で、基板３上に載せる。そして、各コンデンサ素子２の陰極部６同士を導電性接着剤１７で固定すると共に、最下層のコンデンサ素子２の陰極部６を導電性接着剤１７で基板３の陰極配線パターン１６に固定する。また、各コンデンサ素子２の陽極部５同士を重ね合わせた状態で、レーザー溶接により基板３の陽極配線パターン１５に固定する（工程１０９）。

続いて、キャスティングモールド、インジェクション、トランスモールド等によって各コンデンサ素子２をモールドした樹脂モールド層４を形成する（工程１１０）。その後、樹脂モールド層４及び基板３を所望のサイズに切断する（工程１１１）。以上により、図１に示すような固体電解コンデンサ１が得られる。

なお、上記工程１０９において、複数のコンデンサ素子２を積層してなる積層体を１組だけ基板３上に載置・固定しても良いし、或いは陽極配線パターン１５及び陰極配線パターン１６が複数ずつ設けられた大サイズの基板３上に複数組の積層体を載置・固定しても良い。後者の場合には、上記工程１０９において、複数のコンデンサ素子２を陽極電極シート８Ｂの基体部Ｐから切り離さずに、陽極電極シート帯状体８Ｂのままの状態で基板３上に載置・固定し、最後の上記工程１１１において、樹脂モールド層４及び基板３を切断してコンデンサ素子２を１つずつ分離させても良い。

ここで、比較例として、従来一般の固体電解コンデンサの製造方法を図８に示す。この方法により固体電解コンデンサ１を製造する場合は、まず図３に示す工程１０１と同様にして、図９（ａ）に示すような陽極電極シート８Ａを作製する（工程２０１）。

続いて、例えば金型による打ち抜き加工によって、図９（ｂ）に示すように、陽極電極シート８Ａを帯状に切断し、複数枚の陽極電極シート帯状体８Ｂを得る（工程２０２）。これらの陽極電極シート帯状体８Ｂは、櫛歯状に並んで形成された複数のコンデンサ素子形成領域２Ａを有している。そして、化成処理によって、陽極電極シート帯状体８Ｂの切断面（未酸化部分）に酸化アルミニウム皮膜を形成する（工程２０３）。

続いて、例えばスクリーン印刷法を用いて、図９（ｃ）に示すように、陽極電極シート帯状体８Ｂの各コンデンサ素子形成領域２Ａにレジスト部７を形成し、このレジスト部７によって各コンデンサ素子形成領域２Ａを陽極露出領域５Ａと陰極形成領域６Ａとに分ける（工程２０４）。その後、図３に示す工程１０７〜１１１と同様の処理を行い（工程２０５〜２０９）、図１に示すような固体電解コンデンサ１を得る。

このように従来一般の製法では、レジスト部７の形成を、複数のコンデンサ素子形成領域２Ａが櫛歯状に形成されている陽極電極シート帯状体８Ｂの状態で行うので、スクリーン印刷等によるレジスト部７の形成時に、各コンデンサ素子形成領域２Ａの自由端側（陰極形成領域６Ａ側）が撓んでしまう。このため、レジスト部７の形成が行いにくくなり、特にコンデンサ素子２の側面に対するレジスト部７の形成が困難になる。

これに対し本実施形態では、まず陽極電極シート８Ａに複数の貫通孔２２を形成し、貫通孔２２同士を結ぶように陽極電極シート８Ａにレジスト部７を形成した後で、陰極形成領域６Ａを有するコンデンサ素子形成領域２Ａが複数組形成されるように、陽極電極シート８Ａを帯状に切断して陽極電極シート帯状体８Ｂを得る。このように陽極電極シート８Ａにレジスト部７を形成する際には、陽極電極シート８Ａが帯状に切断されておらず、複数の貫通孔２２だけが陽極電極シート８Ａに形成された状態となっている。しかも、これらの貫通孔２２は、コンデンサ素子２の側面の一部のみを形成するための小さな円形状の穴である。このため、レジスト部７の形成時に、陽極電極シート８Ａの撓みが生じることは殆ど無いため、陽極電極シート８Ａが取り扱いやすくなる。これにより、レジスト部７の形成を容易に行うことができる。また、そのような事から、各貫通孔２２を形成する陽極電極シート８Ａの各内壁面２２ａに十分にレジスト部７を十分に回り込ませる事ができるため、コンデンサ素子２の両面だけでなく、コンデンサ素子２の側面にもレジスト部７を確実に設けることができる。

また、複数のコンデンサ素子形成領域２Ａを有する陽極電極シート帯状体８Ｂを形成することにより、複数のコンデンサ素子形成領域２Ａに対して一括してレジスト部７を形成することができる。さらに、陽極電極シート帯状体８Ｂの各陰極形成領域６Ａを一緒に固体電解質形成用重合液に漬けて化学酸化重合を行うので、複数の陰極形成領域６Ａの表面上に一度にまとめて固体電解質層１１を形成することができる。従って、コンデンサ素子２の大量生産を効果的に実現することが可能であり、製造コストの削減につながる。

また、陽極電極シート８Ａに複数の貫通孔２２を形成した後に、各貫通孔２２を形成する陽極電極シート８Ａの各内壁面２２ａに酸化アルミニウム皮膜を形成し、その状態で各内壁面２２ａにレジスト部７を形成するので、作製されたコンデンサ素子２の側面とレジスト部７との間には酸化アルミニウム皮膜が存在することになる。これにより、コンデンサ素子２の側面部に設けられたレジスト部７に亀裂等が生じた場合でも、陽極部５と陰極部６とが短絡して過電流が流れてしまうことを確実に防止できる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、陽極電極シート８Ａに複数の円形状貫通孔２２を形成するようにしたが、陽極電極シート８Ａに形成する貫通孔の形状は、特に円形状には限られない。その具体例を図１０〜図１２に示す。なお、各図において、図４及び図６と同一または同等のものには同じ符号を付してある。

図１０に示す固体電解コンデンサの製造方法は、陽極電極シート８Ａに複数の矩形状貫通孔３０を形成するものである。この貫通孔３０は、図４に示す円形状貫通孔２２と同様に、コンデンサ素子２の両側面の一部を形成すると共にコンデンサ素子２の両側面にレジスト部７を設けるためのものである。

図１１に示す固体電解コンデンサの製造方法は、陽極電極シート８Ａに複数の矩形状貫通孔３１を形成するものである。この貫通孔３１は、図１０に示す貫通孔３０よりも大きな寸法を有し、コンデンサ素子２の両側面の一部を形成すると共にコンデンサ素子２の両側面にレジスト部７を設けるためのものである。

図１２に示す固体電解コンデンサの製造方法は、陽極電極シート８Ａに複数のスリット状の貫通孔３２を形成するものである。この貫通孔３２は、コンデンサ素子２の両側面全体を形成すると共にコンデンサ素子２の両側面にレジスト部７を設けるためのものである。

また、貫通孔の形状としては、上記以外にも種々変形可能であり、コンデンサ素子２の側面を主として形成すると共にコンデンサ素子２の側面にレジスト部７を設けるための貫通孔であれば良い。このとき、貫通孔の形状は、例えば印刷法によるレジスト部７の形成時に、陽極電極シート８Ａの撓みを生じさせない程度とする必要がある。そのような貫通孔としては、例えばコンデンサ素子２の両側面とコンデンサ素子２の一端面（陰極形成領域６Ａ側の端面）の一部分とを形成すると共にコンデンサ素子２の両側面にレジスト部７を設けるためのＬ字型の貫通孔等が挙げられる。

また、上記実施形態では、コンデンサ素子２の陽極部５のベースとなる弁作用金属シートとしてアルミニウムシート９を用いたが、弁作用金属シートの材料としては、アルミニウム以外に、アルミニウム合金、チタン、タンタル、ニオブ及びジルコニウムまたはこれらの合金を使用してもよい。

さらに、上記実施形態の固体電解コンデンサ１は、陽極部５及び陰極部６を１つずつ有する２端子型コンデンサであるが、本発明は、複数の陽極部を有する多端子型コンデンサにも適用可能である。また、上記の固体電解コンデンサ１は、コンデンサ素子２の積層体を基板３に固定したものであるが、本発明は、リードフレーム型の固体電解コンデンサにも適用可能である。さらに、本発明は、上記のような積層型の固体電解コンデンサに限られず、コンデンサ素子２を１枚のみとした単層型の固体電解コンデンサにも適用できることは言うまでもない。

本発明に係わる固体電解コンデンサ製造方法の一実施形態により製造される固体電解コンデンサを示す断面図である。 図１に示すコンデンサ素子の一部構造を詳細に示す拡大断面図である。 本発明に係わる固体電解コンデンサ製造方法の一実施形態の手順を示すフローチャートである。 図３に示す工程１０１〜１０４を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。 図３に示す工程１０４を実施したときの陽極電極シートの状態を示す断面図である。 図３に示す工程１０５を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。 図３に示す工程１０６〜１０８を実施したときの陽極電極シート帯状体の状態を示す平面図である。 従来一般の固体電解コンデンサ製造方法の手順を示すフローチャートである。 図８に示す工程２０１〜２０４を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。 陽極電極シートに形成する貫通孔の形状を変えて、図３に示す工程１０２〜１０５を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。 陽極電極シートに形成する貫通孔の形状を更に変えて、図３に示す工程１０２〜１０５を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。 陽極電極シートに形成する貫通孔の形状を更に変えて、図３に示す工程１０２〜１０５を実施したときの陽極電極シートの状態を示す平面図である。

符号の説明

１…固体電解コンデンサ、２…コンデンサ素子、５…陽極部、６…陰極部、６Ａ…陰極形成領域、７…レジスト部、８…陽極電極シート、８Ａ…陽極電極シート、９…アルミニウムシート（弁作用金属シート）、１０…酸化アルミニウム被膜（誘電体酸化被膜）、１１…固体電解質層、１２…導電体層、２２…貫通孔、２２ａ…内壁面、３０，３１，３２…貫通孔。

Claims (3)

1. 陽極部と、陰極部と、前記陽極部と前記陰極部とを電気的に絶縁するレジスト部とを有するコンデンサ素子を備えた固体電解コンデンサを製造する方法であって、
   弁作用金属シートの表面を粗面化し、その表面に誘電体酸化被膜を形成することにより、前記陽極部を形成する陽極電極シートを作製する工程と、
   前記陽極電極シートに、前記コンデンサ素子の側面を主として形成すると共に前記コンデンサ素子の側面に前記レジスト部を設けるための複数の貫通孔を形成する工程と、
   前記複数の貫通孔同士を結ぶように、前記陽極電極シートの両面と前記各貫通孔を形成する前記陽極電極シートの複数の内壁面とに前記レジスト部を形成する工程と、
   前記陽極電極シートに前記レジスト部を形成した後、前記陰極部を形成するための陰極形成領域が前記陽極電極シートに形成されるように、前記陽極電極シートを切断する工程と、
   前記陽極電極シートの切断面に前記誘電体酸化被膜を形成する工程と、
   前記陰極形成領域における前記誘電体酸化被膜上に固体電解質層を形成する工程と、
   前記固体電解質層上に前記陰極部を形成する工程とを含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
2. 前記陽極電極シートを切断する工程において、前記陽極電極シートに前記陰極形成領域が複数並んで形成されるように、前記陽極電極シートを帯状に切断し、
   前記固体電解質層を形成する工程において、前記帯状に切断された陽極電極シートの前記各陰極形成領域を固体電解質形成用重合液に浸漬させて、化学酸化重合または電解酸化重合を行うことにより、前記陰極形成領域における前記誘電体酸化被膜上に前記固体電解質層を形成することを特徴とする請求項１記載の固体電解コンデンサの製造方法。
3. 前記陽極電極シートに複数の貫通孔を形成する工程を実施した後、前記陽極電極シートに前記レジスト部を形成する工程を実施する前に、前記各貫通孔を形成する前記陽極電極シートの複数の内壁面に前記誘電体酸化被膜を形成することを特徴とする請求項１または２記載の固体電解コンデンサの製造方法。
   
   
   
   
   
   

Images