JP2006107695A - 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁極層16は、非磁性材料よりなる磁極層収容層12の溝部12a内に、非磁性膜14を介して配置されている。磁極層収容層12の上面の上には、非磁性導電材料よりなる研磨停止層13が配置されている。研磨停止層13は、磁極層16の厚みを制御する研磨の停止位置を示す。研磨停止層13は、貫通する開口部13aを有し、この開口部13aの縁は、磁極層収容層12の上面における溝部12aの縁の真上に配置されている。
【選択図】図1
Description
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
非磁性材料よりなり、上面で開口し磁極層を収容する溝部を有する磁極層収容層と、
非磁性導電材料よりなり、磁極層収容層の上面の上に配置された非磁性導電層とを備えている。
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
非磁性材料よりなり、上面で開口し磁極層を収容する溝部を有する磁極層収容層とを備えている。
後に溝部が形成されることにより磁極層収容層となる非磁性層を形成する工程と、
非磁性導電材料よりなり、磁極層の平面形状に対応した形状の貫通する開口部を有し、後に行われる研磨の停止位置を示す研磨停止層を、非磁性層の上面の上に形成する工程と、
非磁性層が磁極層収容層になるように、非磁性層のうち研磨停止層の開口部から露出する部分を選択的にエッチングすることによって、非磁性層に溝部を形成する工程と、
磁極層となる磁性層を、溝部を埋め、且つその上面が研磨停止層の上面よりも上側に配置されるように形成する工程と、
磁性層および研磨停止層を覆うように、被覆層を形成する工程と、
磁性層が磁極層になるように、研磨停止層が露出するまで、被覆層および磁性層を研磨する工程と、
コイルを形成する工程と
を備えている。
後に溝部が形成されることにより磁極層収容層となる非磁性層を形成する工程と、
磁極層の平面形状に対応した形状の貫通する開口部を有し、後に行われる第2の研磨工程における研磨の停止位置を示す下部研磨停止層を、非磁性層の上面の上に形成する工程と、
非磁性層が磁極層収容層になるように、非磁性層のうち下部研磨停止層の開口部から露出する部分を選択的にエッチングすることによって、非磁性層に溝部を形成する工程と、
溝部を形成する工程の前または後で、下部研磨停止層の上に、所定の厚みのスペーサ層を形成する工程と、
スペーサ層の上に、後に行われる第1の研磨工程における研磨の停止位置を示す上部研磨停止層を形成する工程と、
溝部を形成する工程および上部研磨停止層を形成する工程の後で、磁極層となる磁性層を、溝部を埋め、且つその上面が上部研磨停止層の上面よりも上側に配置されるように形成する工程と、
磁性層および上部研磨停止層を覆うように、被覆層を形成する工程と、
上部研磨停止層が露出するまで、被覆層および磁性層を研磨する第1の研磨工程と、
第1の研磨工程の後で、上部研磨停止層を除去する工程と、
磁性層が磁極層になるように、下部研磨停止層が露出するまで、スペーサ層および磁性層を研磨する第2の研磨工程と、
コイルを形成する工程と
を備えている。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1および図2を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図2は本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図2は媒体対向面および基板の面に垂直な断面を示している。また、図2において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。
次に、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。まず、図16ないし図23を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。図16ないし図21において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の上面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(c)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。また、図22および図23において、(a)は、積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図16ないし図23では、磁極層収容層12よりも基板1側の部分を省略している。
次に、本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。まず、図25ないし図30を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。図25ないし図28において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の上面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(c)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。また、図29および図30において、(a)は、積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図25ないし図30では、磁極層収容層12よりも基板1側の部分を省略している。
次に、本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。まず、図32ないし図38を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。図32ないし図38において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図32ないし図38では、磁極層収容層12よりも基板1側の部分を省略している。
次に、本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。始めに、図39および図40を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図39は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図40は本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図40は媒体対向面および基板の面に垂直な断面を示している。また、図40において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。
次に、本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。まず、図48ないし図57を参照して、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。図48ないし図57において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図48ないし図57では、絶縁層51よりも基板1側の部分を省略している。
Claims (29)
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
非磁性材料よりなり、上面で開口し前記磁極層を収容する溝部を有する磁極層収容層と、
非磁性導電材料よりなり、前記磁極層収容層の上面の上に配置された非磁性導電層とを備え、
前記非磁性導電層は、貫通する開口部を有し、この開口部の縁は、前記磁極層収容層の上面における前記溝部の縁の真上に配置されていることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - 更に、前記磁極層収容層、磁極層、非磁性導電層およびコイルが積層される基板を備え、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面は、前記基板に近い第1の辺と、第1の辺とは反対側の第2の辺と、第1の辺の一端と第2の辺の一端とを結ぶ第3の辺と、第1の辺の他端と第2の辺の他端とを結ぶ第4の辺とを有し、
前記第2の辺は、トラック幅を規定し、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面の幅は、前記第1の辺に近づくに従って小さくなることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - 更に、非磁性材料よりなり、前記溝部内において、前記磁極層収容層と前記磁極層との間に配置された非磁性膜を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
非磁性材料よりなり、上面で開口し前記磁極層を収容する溝部を有する磁極層収容層とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法であって、
後に前記溝部が形成されることにより前記磁極層収容層となる非磁性層を形成する工程と、
非磁性導電材料よりなり、前記磁極層の平面形状に対応した形状の貫通する開口部を有し、後に行われる研磨の停止位置を示す研磨停止層を、前記非磁性層の上面の上に形成する工程と、
前記非磁性層が前記磁極層収容層になるように、前記非磁性層のうち前記研磨停止層の開口部から露出する部分を選択的にエッチングすることによって、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程と、
前記磁極層となる磁性層を、前記溝部を埋め、且つその上面が前記研磨停止層の上面よりも上側に配置されるように形成する工程と、
前記磁性層および研磨停止層を覆うように、被覆層を形成する工程と、
前記磁性層が前記磁極層になるように、前記研磨停止層が露出するまで、前記被覆層および磁性層を研磨する工程と、
前記コイルを形成する工程と
を備えたことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 更に、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程の後であって、前記磁性層を形成する工程の前に、非磁性材料よりなり、前記溝部内において、前記磁極層収容層と前記磁極層との間に配置される非磁性膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項4記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 更に、前記被覆層および磁性層を研磨する工程の後で、前記研磨停止層を除去する工程を備えたことを特徴とする請求項4または5記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記研磨停止層を除去する工程は、イオンビームエッチングによって、前記研磨停止層を除去すると共に前記磁性層の一部をエッチングすることを特徴とする請求項6記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 更に、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程の後であって、前記磁性層を形成する工程の前に、電子顕微鏡を用いて、前記研磨停止層の開口部の幅を測定する工程を備えたことを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、前記磁極層収容層、磁極層およびコイルが積層される基板を備え、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面は、前記基板に近い第1の辺と、第1の辺とは反対側の第2の辺と、第1の辺の一端と第2の辺の一端とを結ぶ第3の辺と、第1の辺の他端と第2の辺の他端とを結ぶ第4の辺とを有し、
前記第2の辺は、トラック幅を規定し、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面の幅は、前記第1の辺に近づくに従って小さくなることを特徴とする請求項4ないし8のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 更に、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程の後であって、前記磁性層を形成する工程の前に、前記磁極層収容層の上面における前記溝部の幅と溝部の底部の幅とを測定する工程を備えたことを特徴とする請求項9記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記非磁性層は、Al2O3によって形成され、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程は、反応性イオンエッチングを用いて前記非磁性層をエッチングし、前記反応性イオンエッチングで使用されるエッチングガスは、塩素または臭素を含む第1のガスとフッ素を含む第2のガスとを含むものであることを特徴とする請求項9または10記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスは、BCl3、Cl2、BBr3、HClのいずれかを含み、前記第2のガスは、CF4、C2F6、SF6、CHF3のいずれかを含むことを特徴とする請求項11記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスはBCl3ガスとCl2ガスの混合ガスであり、前記第2のガスはCF4ガスであり、且つ第1のガスの流量は第2のガスの流量の4倍から20倍の範囲内であることを特徴とする請求項11記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスは、BCl3ガスとCl2ガスの混合ガスであり、且つBCl3ガスの流量はCl2ガスの流量の1倍から20倍の範囲内であることを特徴とする請求項11記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
非磁性材料よりなり、上面で開口し前記磁極層を収容する溝部を有する磁極層収容層とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法であって、
後に前記溝部が形成されることにより前記磁極層収容層となる非磁性層を形成する工程と、
前記磁極層の平面形状に対応した形状の貫通する開口部を有し、後に行われる第2の研磨工程における研磨の停止位置を示す下部研磨停止層を、前記非磁性層の上面の上に形成する工程と、
前記非磁性層が前記磁極層収容層になるように、前記非磁性層のうち前記下部研磨停止層の開口部から露出する部分を選択的にエッチングすることによって、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程と、
前記溝部を形成する工程の前または後で、前記下部研磨停止層の上に、所定の厚みのスペーサ層を形成する工程と、
前記スペーサ層の上に、後に行われる第1の研磨工程における研磨の停止位置を示す上部研磨停止層を形成する工程と、
前記溝部を形成する工程および前記上部研磨停止層を形成する工程の後で、前記磁極層となる磁性層を、前記溝部を埋め、且つその上面が前記上部研磨停止層の上面よりも上側に配置されるように形成する工程と、
前記磁性層および上部研磨停止層を覆うように、被覆層を形成する工程と、
前記上部研磨停止層が露出するまで、前記被覆層および磁性層を研磨する前記第1の研磨工程と、
前記第1の研磨工程の後で、前記上部研磨停止層を除去する工程と、
前記磁性層が前記磁極層になるように、前記下部研磨停止層が露出するまで、前記スペーサ層および磁性層を研磨する前記第2の研磨工程と、
前記コイルを形成する工程と
を備えたことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記下部研磨停止層は、非磁性導電材料によって形成されることを特徴とする請求項15記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 更に、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程の後であって、前記磁性層を形成する工程の前に、電子顕微鏡を用いて、前記下部研磨停止層の開口部の幅を測定する工程を備えたことを特徴とする請求項16記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記スペーサ層は、絶縁材料または半導体材料によって形成されることを特徴とする請求項15ないし17のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記スペーサ層は、前記溝部内にも形成されることを特徴とする請求項15ないし18のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記上部研磨停止層は、非磁性導電材料によって形成されることを特徴とする請求項15ないし19のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記上部研磨停止層は、前記溝部内にも形成されることを特徴とする請求項15ないし20のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 更に、前記第2の研磨工程の後で、前記下部研磨停止層を除去する工程を備えたことを特徴とする請求項15ないし21のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記下部研磨停止層を除去する工程は、イオンビームエッチングによって、前記下部研磨停止層を除去すると共に前記磁性層の一部をエッチングすることを特徴とする請求項22記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、前記磁極層収容層、磁極層およびコイルが積層される基板を備え、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面は、前記基板に近い第1の辺と、第1の辺とは反対側の第2の辺と、第1の辺の一端と第2の辺の一端とを結ぶ第3の辺と、第1の辺の他端と第2の辺の他端とを結ぶ第4の辺とを有し、
前記第2の辺は、トラック幅を規定し、
前記媒体対向面に配置された前記磁極層の端面の幅は、前記第1の辺に近づくに従って小さくなることを特徴とする請求項15ないし23のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 更に、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程の後であって、前記磁性層を形成する工程の前に、前記磁極層収容層の上面における前記溝部の幅と溝部の底部の幅とを測定する工程を備えたことを特徴とする請求項24記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記非磁性層は、Al2O3によって形成され、前記非磁性層に前記溝部を形成する工程は、反応性イオンエッチングを用いて前記非磁性層をエッチングし、前記反応性イオンエッチングで使用されるエッチングガスは、塩素または臭素を含む第1のガスとフッ素を含む第2のガスとを含むものであることを特徴とする請求項24または25記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスは、BCl3、Cl2、BBr3、HClのいずれかを含み、前記第2のガスは、CF4、C2F6、SF6、CHF3のいずれかを含むことを特徴とする請求項26記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスはBCl3ガスとCl2ガスの混合ガスであり、前記第2のガスはCF4ガスであり、且つ第1のガスの流量は第2のガスの流量の4倍から20倍の範囲内であることを特徴とする請求項26記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1のガスは、BCl3ガスとCl2ガスの混合ガスであり、且つBCl3ガスの流量はCl2ガスの流量の1倍から20倍の範囲内であることを特徴とする請求項26記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287313A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Headway Technologies Inc | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
JP2009277333A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
JP2011023104A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Headway Technologies Inc | 記録磁極の形成方法 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI268972B (en) * | 2002-11-27 | 2006-12-21 | Kimberly Clark Co | Rolled tissue products having high bulk, softness, and firmness |
US7468864B2 (en) * | 2004-07-01 | 2008-12-23 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same |
US7333296B2 (en) * | 2004-10-07 | 2008-02-19 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording including pole-layer-encasing layer that opens in the top surface thereof and nonmagnetic conductive layer disposed on the top surface of the pole-layer-encasing layer |
US7558020B2 (en) * | 2004-11-12 | 2009-07-07 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head structure having a magnetic pole tip with an even width portion method of manufacturing thereof, and thin-film magnetic head having a magnetic pole tip with an even width portion |
US7444740B1 (en) * | 2005-01-31 | 2008-11-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Damascene process for fabricating poles in recording heads |
US7518824B2 (en) * | 2005-03-07 | 2009-04-14 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording that has a pole layer having a shape for easy forming, reducing track width and improved writing characteristics |
US7468863B2 (en) * | 2005-07-05 | 2008-12-23 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head structure adapted to manufacture a thin-film head having a base magnetic pole part, a yoke magnetic pole part, and an intervening insulative film |
US7492555B2 (en) * | 2005-07-13 | 2009-02-17 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head structure, method of manufacturing the same, and thin-film magnetic head |
US20070183093A1 (en) * | 2006-02-07 | 2007-08-09 | Quang Le | Protective layer for CMP assisted lift-off process and method of fabrication |
US7768741B2 (en) * | 2006-05-22 | 2010-08-03 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic write head design for reducing wide area track erasure |
US7684148B2 (en) * | 2006-06-16 | 2010-03-23 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with a conductive underlayer above substrate |
US7796361B2 (en) * | 2007-03-26 | 2010-09-14 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same |
US8027125B2 (en) * | 2007-06-21 | 2011-09-27 | Headway Technologies, Inc. | PMR with improved writability and process controllability by double layer patterning |
US7957097B2 (en) * | 2007-06-28 | 2011-06-07 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same |
US8176623B2 (en) | 2007-12-21 | 2012-05-15 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing a magnetic head for perpendicular magnetic recording |
JP2009238335A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Fujitsu Ltd | 磁気記録ヘッドのモニター素子および磁気記録ヘッド製造方法 |
US7910011B2 (en) * | 2008-05-28 | 2011-03-22 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head for perpendicular magnetic recording |
US8066893B2 (en) * | 2008-12-23 | 2011-11-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for creating a magnetic write pole having a stepped perpendicular pole via CMP-assisted liftoff |
US8470185B2 (en) * | 2009-05-29 | 2013-06-25 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Perpendicular magnetic recording head and method of manufacturing the same |
US8339737B2 (en) * | 2009-06-12 | 2012-12-25 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Perpendicular magnetic recording head including non-magnetic protruding layer |
WO2011041797A1 (en) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Panasonic Avionics Corporation | System and method for interacting with information systems |
US8287748B2 (en) * | 2009-12-23 | 2012-10-16 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head for perpendicular magnetic recording |
US8248728B2 (en) * | 2010-02-01 | 2012-08-21 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head having a magnetic pole formed of a plating film |
US8305711B2 (en) * | 2010-03-03 | 2012-11-06 | Headway Technologies, Inc. | Process of octagonal pole for microwave assisted magnetic recording (MAMR) writer |
US8189293B1 (en) * | 2011-04-28 | 2012-05-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording head having a grooved wrap around shield and method for manufacturing the same |
US9666212B2 (en) | 2012-12-05 | 2017-05-30 | Seagate Technology Llc | Writer with protruded section at trailing edge |
CN103107085B (zh) * | 2013-01-31 | 2016-02-10 | 电子科技大学 | 一种NiCr薄膜的干法刻蚀工艺 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3566848D1 (en) * | 1984-05-04 | 1989-01-19 | Siemens Ag | Thin-layer double-gap magnetic head for a perpendicularly magnetized recording medium |
US4656546A (en) * | 1985-01-22 | 1987-04-07 | Digital Equipment Corporation | Vertical magnetic recording arrangement |
JPS61289516A (ja) | 1985-06-14 | 1986-12-19 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
JPS62204419A (ja) | 1986-03-03 | 1987-09-09 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
JPH07245306A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-09-19 | Sony Corp | 半導体装置における膜平坦化方法 |
JP2784431B2 (ja) * | 1994-04-19 | 1998-08-06 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 薄膜磁気書込みヘッド、読取り/書込み磁気ヘッド、ディスク駆動装置及び薄膜磁気書込みヘッドの製造方法 |
JPH10105921A (ja) | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Toshiba Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JPH10283611A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Hitachi Metals Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
US5968842A (en) * | 1997-09-12 | 1999-10-19 | United Semiconductor Corp. | Techniques for reduced dishing in chemical mechanical polishing |
JP2000031147A (ja) | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2000285411A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよび薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
JP3843195B2 (ja) | 1999-06-25 | 2006-11-08 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
JP2001043510A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
US6504675B1 (en) * | 2000-01-12 | 2003-01-07 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording heads with write pole shaped to reduce skew effects during writing |
JP2002076472A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Alps Electric Co Ltd | スピンバルブ型薄膜磁気素子およびこのスピンバルブ型薄膜磁気素子を備えた薄膜磁気ヘッド |
US6710973B2 (en) * | 2000-09-18 | 2004-03-23 | Hitachi, Ltd. | Single pole type recording head including tapered edges |
JP2002092821A (ja) | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Hitachi Ltd | 単磁極型磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 |
JP3691780B2 (ja) * | 2001-11-01 | 2005-09-07 | Tdk株式会社 | パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 |
JP2003203311A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Tdk Corp | 磁性層パターンの形成方法および薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
JP4088453B2 (ja) * | 2002-02-14 | 2008-05-21 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 |
JP2004165434A (ja) | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
US7120988B2 (en) * | 2003-09-26 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for forming a write head having air bearing surface (ABS) |
US7333296B2 (en) * | 2004-10-07 | 2008-02-19 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording including pole-layer-encasing layer that opens in the top surface thereof and nonmagnetic conductive layer disposed on the top surface of the pole-layer-encasing layer |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287313A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Headway Technologies Inc | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
US8174790B2 (en) | 2006-04-19 | 2012-05-08 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head having remnant coating and remnant insulating film, head gimbal assembly and hard disk drive |
JP2009277333A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
JP4633163B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2011-02-16 | ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
JP2011034669A (ja) * | 2008-05-12 | 2011-02-17 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
US8221636B2 (en) | 2008-05-12 | 2012-07-17 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head for perpendicular magnetic recording |
JP2011023104A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Headway Technologies Inc | 記録磁極の形成方法 |
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