JP2006101480A - プラズマチャンバーとともに使用する固定インピーダンス変換回路網用の装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プラズマチャンバーに関連した電気インピーダンスとプラズマチャンバーを駆動させるために必要な電圧量とを減少させること。
【解決手段】プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置には、能動RF整合回路網306とプラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロード320とを連結するように適合された予備整合回路網308を含む。予備整合回路網308には、第1容量性素子310、第1容量性素子310に平行に接続されて、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロード320を駆動するために必要な電圧が減少するように、能動RF整合回路網306の出力部に与える平行回路を形成する誘導性素子312、および上記平行回路に連結されかつプラズマチャンバーロード320に連結されるように適合された第2容量性素子314を含む。
【選択図】図1
Description
320…プラズマチャンバーロード、322…予備整合回路網、324…整調分路コンデンサー、326…整調直列コンデンサー、328…制御器、330…接続点、350…プラズマ処理システム、352…プラズマチャンバー、354…シャワーヘッド、356…基板支持体、358…RF電源、360…RFカバーボックス、380…プラズマ処理システム。
Claims (37)
- プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置であって、
能動RF整合回路網とプラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロードとを連結するように適合された予備整合回路網を備え、
前記予備整合回路網が、
第1容量性素子と、
前記第1容量性素子に平行に接続されて、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように、能動RF整合回路網の出力部に与える平行回路を形成する誘導性素子と、
前記平行回路に連結されかつプラズマチャンバーロードに連結されるように適合され、プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応しているリアクタンスを少なくとも一部、減少させるか、または無効にする第2容量性素子と、
を備える装置。 - 第1容量性素子および第2容量性素子の少なくとも一方が、コンデンサーを含む、請求項1に記載の装置。
- 誘導性素子が、コイルを含む、請求項1に記載の装置。
- 誘導性素子が、タップ付きチョークを含む、請求項1に記載の装置。
- 予備整合回路網が、約3:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項1に記載の装置。
- 予備整合回路網が、約4:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項1に記載の装置。
- 予備整合回路網が、能動RF整合回路網と一体化されているか、またはその中にある、請求項1に記載の装置。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーと一体化されているか、またはその中にある、請求項1に記載の装置。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーに関連したRF供給ボックスと一体化されているか、またはその中にある、請求項1に記載の装置。
- プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網を設けるための方法であって、
能動RF整合回路網とプラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロードとの間に予備整合回路網を連結するステップと、
予備整合回路網の第1回路素子のあるプラズマチャンバーロードのリアクタンスを一部、減少させるステップおよび無効にするステップのうちの少なくとも一方のステップと、
予備整合回路網の第2回路素子のある能動RF整合回路網の出力部によって認められたインピーダンスを段階的に増大させるステップと、
を含む方法。 - 予備整合回路網を能動RF整合回路網と一体化するか、またはその中に入れるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 予備整合回路網をプラズマチャンバーと一体化するか、またはその中に入れるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 予備整合回路網をプラズマチャンバーに関連したRF供給ボックスと一体化するか、またはその中に入れるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置であって、
能動RF整合回路網とプラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロードとを連結するように適合された予備整合回路網を備え、前記予備整合回路網が、
プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応しているリアクタンスを少なくとも一部、減少させるか、または無効にし、かつ
増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように、能動RF整合回路網の出力部に与えるように適合されている装置。 - 予備整合回路網が、
第1容量性素子と、
前記第1容量性素子に平行に接続されて平行回路を形成する誘導性素子と、
前記平行回路に連結されかつプラズマチャンバーロードに連結されるように適合された第2容量性素子と、
を備える、請求項14に記載の装置。 - 第1容量性素子および第2容量性素子の少なくとも一方が、コンデンサーを含む、請求項15に記載の装置。
- 誘導性素子が、コイルを含む、請求項15に記載の装置。
- 誘導性素子が、タップ付きチョークを含む、請求項15に記載の装置。
- 予備整合回路網が、約3:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項14に記載の装置。
- 予備整合回路網が、約4:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項14に記載の装置。
- 予備整合回路網が、能動RF整合回路網と一体化されているか、またはその中にある、請求項14に記載の装置。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーと一体化されているか、またはその中にある、請求項14に記載の装置。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーに関連したRF供給ボックスと一体化されているか、またはその中にある、請求項14に記載の装置。
- システムであって
RF電源と、
前記RF電源に連結されかつRF電源からのRF信号を受信するように適合された能動RF整合回路網と、
プラズマチャンバーロードを有するプラズマチャンバーと、
能動RF整合回路網とプラズマチャンバーロードとの間に連結され、
プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応しているリアクタンスを少なくとも一部、減少させるか、または無効にし、かつ
増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように、能動RF整合回路網の出力部に与えるように適合されている予備整合回路網と、
を備えるシステム。 - 予備整合回路網が、
第1容量性素子と、
前記第1容量性素子に平行に接続されて平行回路を形成する誘導性素子と、
前記平行回路に連結されかつプラズマチャンバーロードに連結されるように適合された第2容量性素子と、
を備える、請求項24に記載のシステム。 - 第1容量性素子および第2容量性素子の少なくとも一方が、コンデンサーを含む、請求項25に記載のシステム。
- 誘導性素子が、コイルを含む、請求項25に記載のシステム。
- 誘導性素子が、タップ付きチョークを含む、請求項25に記載のシステム。
- 予備整合回路網が、約3:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項24に記載のシステム。
- 予備整合回路網が、約4:1のインピーダンス増大比をもたらす、請求項24に記載のシステム。
- 予備整合回路網が、能動RF整合回路網と一体化されているか、またはその中にある、請求項24に記載のシステム。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーと一体化されているか、またはその中にある、請求項24に記載のシステム。
- 予備整合回路網が、プラズマチャンバーに関連したRF供給ボックスと一体化されているか、またはその中にある、請求項24に記載のシステム。
- システムであって、
RF電源と、
前記RF電源に連結されかつRF電源からのRF信号を受信するように適合された能動RF整合回路網と、
プラズマチャンバーロードを有するプラズマチャンバーと、
能動RF整合回路網とプラズマチャンバーロードとの間に連結された予備整合回路網と、
を備え、
前記予備整合回路網が、
第1容量性素子と、
前記第1容量性素子に平行に接続されて、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように、能動RF整合回路網の出力部に与える平行回路を形成する誘導性素子と、
前記平行回路に連結されかつプラズマチャンバーロードに連結されるように適合され、プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応しているリアクタンスを少なくとも一部、減少させるか、または無効にする第2容量性素子と、
を備えるシステム。 - 第1容量性素子および第2容量性素子の少なくとも一方が、コンデンサーを含む、請求項34に記載のシステム。
- 誘導性素子が、コイルを含む、請求項34に記載のシステム。
- 誘導性素子が、タップ付きチョークを含む、請求項34に記載のシステム。
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