JP2006134606A - 高周波給電装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高周波給電部30は、高周波電源32、整合器34、給電線36およびインピーダンス変換器38を有する。インピーダンス変換器38は、リアクタンス素子たとえばコンデンサ48,50,54とコイル52とで構成され、サセプタ14の直近に設置または取付された筐体46内に設けられている。インピーダンス変換器38は、整合器34からみた負荷インピーダンスをサセプタ側の実際のインピーダンスよりも高いインピーダンスに変成または変換するものであり、好ましくは給電線36の特性インピーダンスと整合をとる整合回路網として構成される。
【選択図】図1
Description
i1=(P/50)1/2 ‥‥‥‥(1)
i2={P/(rL+rS)}1/2 ‥‥‥‥(2)
I1=(P/50)1/2 ‥‥‥‥(3)
I2={P/(RL+RS)}1/2 ‥‥‥‥(4)
I2={P/(50+RS)}1/2 ‥‥‥‥(5)
14 サセプタ(下部電極)
16 上部電極(シャワーヘッド)
18 処理ガス供給部
30 高周波給電部
32 高周波電源
34 整合器
36 給電線
38 インピーダンス変換器
40,42 可変コンデンサ
44 コイル
48,50 固定コンデンサ
52 コイル
54 固定コンデンサ
Claims (13)
- プラズマ処理が行なわれるチャンバの中または外に配置される高周波電極にプラズマ生成用の高周波を給電する高周波給電装置であって、
前記高周波を出力する高周波電源と、
前記高周波電源からみた負荷インピーダンスを前記高周波電源側のインピーダンスに整合させる整合器と、
前記電極に近接または一体化して設けられ、前記整合器からみた負荷インピーダンスを前記電極側の実際のインピーダンスよりも高いインピーダンスに変換するインピーダンス変換器と、
前記整合器の出力端子から前記インピーダンス変換器の入力端子まで前記高周波を伝送する伝送線路と
を有する高周波給電装置。 - 前記インピーダンス変換器が、少なくとも1個のコンデンサと少なくとも1個のコイルとを含む請求項1に記載の高周波給電装置。
- 前記インピーダンス変換器が、前記電極側の実際のインピーダンスを前記伝送線路の特性インピーダンスに整合させる整合回路網として構成される請求項1または請求項2に記載の高周波給電装置。
- 前記整合器が、少なくとも1個の可変コンデンサと前記可変コンデンサのキャパシタンスを調整するための調整機構とを含む請求項1〜3のいずれか一項に記載の高周波給電装置。
- 前記伝送線路が同軸ケーブルからなる請求項1〜4のいずれか一項に記載の高周波給電装置。
- 被処理基板にプラズマ処理を施すための減圧された空間を与えるチャンバと、
プラズマ生成のために前記チャンバの中または内に配置された高周波電極と、
前記チャンバ内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
プラズマ生成用の高周波を出力する高周波電源と、
前記高周波電源からみた負荷インピーダンスを前記高周波電源側のインピーダンスに整合させる整合器と、
前記電極に近接または一体化して設けられ、前記整合器からみた負荷インピーダンスを前記電極側の実際のインピーダンスよりも高いインピーダンスに変換するインピーダンス変換器と、
前記整合器の出力端子から前記インピーダンス変換器の入力端子まで前記高周波を伝送する伝送線路と
を有するプラズマ処理装置。 - 前記インピーダンス変換器が、少なくとも1個のコンデンサと少なくとも1個のコイルとを含む請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記インピーダンス変換器が、前記電極側の実際のインピーダンスを前記伝送線路の特性インピーダンスに整合させる整合回路網として構成される請求項6または請求項7に記載のプラズマ装置。
- 前記整合器が、少なくとも1個の可変コンデンサと前記可変コンデンサのキャパシタンスを調整するための調整機構とを含む請求項6〜8のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記伝送線路が同軸ケーブルからなる請求項6〜9のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器内に前記高周波電極と対向電極とを平行に配置してなる請求項6〜10のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電極の上に前記被処理基板が載置され、前記対向電極に前記高周波電極に向けて前記処理ガスを吐出するための通孔が設けられる請求項11に記載のプラズマ処理装置。
- 前記対向電極の上に前記被処理基板が載置され、前記高周波電極に前記対向の電極に向けて前記処理ガスを吐出するための通孔が設けられる請求項11に記載のプラズマ処理装置。
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