JP2006073903A - セラミック多層基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のセラミック多層基板10は、ガラスAを含む複数のセラミック層11Aからなる積層体11と、上下のセラミック層11Aの層間に設けられ且つガラスBを含む厚膜抵抗体12と、厚膜抵抗体12と上下のセラミック層11Aとの間に設けられ且つガラスCを主成分とする拡散防止層13、14と、を有する。
【選択図】 図1
Description
本実施例では、下記組成を有する、抵抗ペースト、セラミックグリーンシートA、B及び絶縁体ガラスペーストを用いて図1に示すセラミック多層基板10を作製した。
a)導電性成分;RuO2+Ag(但し、RuO2が99重量%以上)
b)非晶質ガラス成分;B2O3−SiO2−PbO−CaO−Al2O3系ガラス
c)導電性成分:非晶質ガラス成分(重量比)=35:65
d)非晶質ガラスの軟化温度TgB=480℃
a)セラミック成分;Al2O3
b)結晶化ガラス成分;B2O3−SiO2−CaO系ガラス
但し、B2O3=5重量%、SiO2=50重量%、CaO=45重量%
c)セラミック成分:結晶化ガラス成分(重量比)=1:1
d)結晶化ガラスの軟化温度TgA=805℃
a)セラミック成分;TiO2−CaTiSiO5
b)非晶質ガラス成分;SiO2−B2O3−ZnO−CaO系ガラス
但し、SiO2=8重量%、B2O3=35重量%、ZnO=41重量%、CaO=16重量%
c)セラミック成分:非晶質ガラス成分(重量比)=7:3
d)結晶化ガラスの軟化温度TgA=500℃
a)セラミック成分;Al2O3
b)結晶化ガラス成分;B2O3−SiO2−CaO系ガラス
但し、B2O3=10重量%、SiO2=45重量%、CaO=45重量%
c)セラミック成分:結晶化ガラス成分(重量比)=1:1
d)結晶化ガラスの軟化温度Tg=870℃
結晶化開始温度=460℃
予め調製されたセラミックグリーンシートB上にスクリーン印刷によって絶縁体ガラスペースト、抵抗ペースト及びAg系の導電性ペーストの順にそれぞれ印刷し、乾燥させた。抵抗ペースト膜12’の乾燥膜厚は13μm、絶縁体ガラスペースト膜13’の乾燥膜厚は10μmであった。また、絶縁体ガラスペースト膜13’は、抵抗ペースト膜12’の150%の面積を有し、抵抗ペースト膜12’を完全に覆っている。即ち、抵抗ペースト膜12’の下側にのみ拡散防止層となる絶縁体ガラスペースト膜13’を印刷した。また、セラミックグリーンシートA、Bには所定のパターンで面内配線導体用の導電性ペースト15’を印刷すると共に所定のパターンで形成されたビアホール内に導電性ペースト16’を充填した。尚、図4では焼成前は生の積層体を11’として示し、図3の(a)では焼成後は積層体11として示す。
試料No.1〜4のセラミック多層基板それぞれの厚膜抵抗体12について四端子法による抵抗値の測定を行い、その結果を表1に示した。また、試料No.1〜4のセラミック多層基板それぞれの波長分散型X線分析法(WDX)によって、厚膜抵抗体にのみ含まれるガラス成分Pbの分析を行うことによってセラミック層11Aへのガラス成分の拡散度合いを調べた。
本比較例では、拡散防止層を設けないこと以外は実施例1と同一要領でセラミック基板(試料No.1’〜4’)を作製し、実施例1と同様に抵抗値を測定し、その結果を表2に示した。また、試料No.1’〜4’のセラミック多層基板についてWDX分析を行って厚膜抵抗体のガラスBの拡散について観察した。
本実施例では、図1の(a)、(b)に示すように拡散防止層13、14を厚膜抵抗体12の上下両面に設けたこと以外は実施例1と同様のセラミック多層基板10を作製した。即ち、実施例1と同様に、セラミックグリーンシートB上にスクリーン印刷によって絶縁体ガラスペースト、抵抗ペースト及びAg系の導電性ペーストの順に印刷し、更に導電性ペースト上に絶縁体ガラスペースト印刷し、実施例1と同一要領でセラミックグリーンシートを積層、圧着し、焼成することによって、上下の拡散防止層で厚膜抵抗体が挟まれた、図1に示すセラミック多層基板を得た。
本実施例では、実施例1における拡散防止層13を形成する絶縁体ガラスペーストの結晶化ガラスに代えて下記組成を有する非晶質ガラスを用いた以外は、実施例1と同一の要領で試料No.5〜8のセラミック多層基板を作製した。
a)セラミック成分;Al2O3
b)非晶質ガラス成分;B2O3−SiO2系ガラス
但し、B2O3=30重量%、SiO2=40重量%、ZnO=30重量%
c)セラミック成分:非晶質ガラス成分(重量比)=1:1
d)非晶質ガラスの軟化温度Tg=870℃
11 積層体
11A セラミック層
12 厚膜抵抗体
13 拡散防止層
Claims (8)
- ガラスAを含む複数のセラミック層からなる積層体と、
上記複数のセラミック層の層間に設けられ且つガラスBを含む厚膜抵抗体と、
上記厚膜抵抗体と上記セラミック層との間に設けられ且つガラスCを主成分とする拡散防止層と、
を有することを特徴とするセラミック多層基板。 - 上記ガラスCは結晶化ガラスであり、この結晶化ガラスは、少なくとも一部がガラスAの軟化温度及びガラスBの軟化温度で結晶化し得ることを特徴とする請求項1に記載のセラミック多層基板。
- 上記ガラスCは非晶質ガラスであり、この非晶質ガラスは、その軟化温度をTgCとしたとき、TgA<TgC及びTgB<TgC(但し、TgAはセラミック層中のガラスAの軟化温度を表し、TgBは厚膜抵抗体中のガラスBの軟化温度を表す)の関係を満足することを特徴とする請求項1に記載のセラミック多層基板。
- (TgC−TgA)が200℃以上であり、且つ、(TgC−TgB)が200℃以上であることを特徴とする請求項3に記載のセラミック多層基板。
- TgB<TgAであることを特徴とする請求項3または4に記載のセラミック多層基板。
- 上記拡散防止層は、上記厚膜抵抗体の面積よりも大きく、且つ、上記厚膜抵抗体の全面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のセラミック多層基板。
- 上記厚膜抵抗体は、その両端がそれぞれ配線導体と接続されており、上記拡散防止層は、上記配線導体をも覆うように形成されていることを特徴とする請求項6に記載のセラミック多層基板。
- ガラスAを含む、若しくは焼成によってガラスAが染み出す材料で形成されたセラミックグリーンシート上にガラスBを含む抵抗体ペースト膜を形成する工程と、上記セラミックグリーンシートと他のセラミックグリーンシートを積層して抵抗体ペーストを含む生の積層体を形成する工程と、上記生の積層体を焼成する工程と、を有し、少なくとも一つの厚膜抵抗体を有するセラミック多層基板を製造する方法であって、
上記抵抗体ペースト膜と上記セラミックグリーンシートとの間に上記抵抗体ペースト膜の少なくとも一部を覆うガラスCを主成分とする絶縁体ペースト膜を形成する工程を有することを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。
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