JP2006067530A - 弾性表面波デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 弾性表面波デバイス素子(10)と、この弾性表面波デバイス素子を収納するパッケージ(20、32)とを有し、前記パッケージは、両面の少なくとも一部に金属配線(21、22)が形成された樹脂基板(20)と、樹脂キャップ(32)とを含み、前記弾性表面波デバイス素子は、前記樹脂基板の一方の金属配線上に搭載され、前記樹脂キャップは、前記弾性表面波デバイス素子を覆うように前記樹脂基板に接着され、前記樹脂基板の各端面と前記樹脂キャップの各端面とがそれぞれ同一面上にある。
【選択図】 図2
Description
特許文献1には、シート状のセラミックス基板上の行と列とに周期的に圧電振動子素子を多数個配置し、この圧電振動子素子を覆うセラミックス製のキャップをセラミックス基板上に接着固定した後に、セラミックス基板上に設けられたレーザースリットにより割断することにより、個別の圧電振動子を完成する技術が開示されている。
このセラミックスキャップは個々の圧電振動子素子を1つずつ覆うように個片のキャップから構成されている。キャップにエポキシなどの接着剤を塗布し、セラミックス基板上に搭載することによりセラミックス基板と接着し、圧電振動子を気密封止している。
上述した問題を従来のSAWデバイスの製造プロセスに照らし合わせて説明する。
貫通配線は、弾性表面波デバイス素子の下に位置していることが好ましい。この配置により、弾性表面波デバイスを小型化することができる。
10 SAWデバイス素子
12 金属細線
20 樹脂基板
21 表金属配線
22 裏金属配線
23 貫通配線
24 樹脂フィルム
25,26 金属めっき
27 樹脂枠
32 シートキャップ
33 窪み
34 樹脂
35 金属キャップ
36 シート樹脂
Claims (12)
- 弾性表面波デバイス素子と、該弾性表面波デバイス素子を収納するパッケージとを有し、
前記パッケージは、両面の少なくとも一部に金属配線が形成された樹脂基板と、樹脂キャップとを含み、
前記弾性表面波デバイス素子は、前記樹脂基板の一方の金属配線上に搭載され、
前記樹脂キャップは、前記弾性表面波デバイス素子を覆うように前記樹脂基板に接着され、
前記樹脂基板の各端面と前記樹脂キャップの各端面とがそれぞれ同一面上にあることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記樹脂基板の両面の金属配線は、前記樹脂基板の少なくとも1つの端面に形成された1または複数の配線により接続され、
前記配線は、メタライズ処理された溝を含むことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。 - 前記配線の前記弾性表面波デバイス素子側の端に樹脂フィルムの蓋が設けられていることを特徴とする請求項2記載の弾性表面波デバイス。
- 前記メタライズ処理された溝は樹脂で塞がれており、
前記樹脂は、前記樹脂基板の端面と同一面上に切断面を有することを特徴とする請求項2記載の弾性表面波デバイス。 - 前記樹脂の両端に金属めっきによる蓋が設けられていることを特徴とする請求項4記載の弾性表面波デバイス。
- 前記樹脂基板の両面の金属配線は、メタライズ処理が施された1または複数の貫通配線により接続され、
前記樹脂基板を貫通する前記貫通配線は、前記樹脂キャップと前記樹脂基板とが接着される部分を除いた領域に形成されていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。 - 前記貫通配線は、前記弾性表面波デバイス素子の下に位置していることを特徴とする請求項6記載の弾性表面波デバイス。
- 前記樹脂キャップは、前記樹脂基板上であって前記金属配線が設けられていない部分に接着されることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 前記弾性表面波デバイス素子と前記樹脂基板の一方の金属配線とを接続する金属細線をさらに含み、
前記樹脂キャップの内部天井断面形状は、前記金属細線のループ形状を避けるような窪み形状となっていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。 - 前記弾性表面波デバイス素子と前記樹脂基板の一方の金属配線とを接続する金属細線をさらに含み、
前記樹脂キャップの前記弾性表面波デバイス素子を覆う部分は、金属からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。 - 両面に金属配線が形成され一方の金属配線上に弾性表面波デバイス素子が行と列とに周期的に複数搭載された第1の樹脂基板と、前記弾性表面波デバイス素子を覆うように前記第1の樹脂基板と同周期で行と列とに窪みが形成された第2の樹脂基板とを、前記窪みに前記弾性表面波デバイス素子が覆われるように互いに向かい合わせて接着剤により接着する工程と、
前記弾性表面波デバイス素子を一つずつ有するように前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板とを同時に切断する工程とを含むことを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。 - 両面に形成された金属配線の一方の上に弾性表面波デバイス素子が行と列とに周期的に多数搭載されかつ前記弾性表面波デバイス素子を1つずつ囲むように樹脂枠が形成された樹脂基板と、前記弾性表面波デバイス素子及び前記樹脂枠を覆う樹脂蓋とを、前記樹脂枠を介して接着剤により接着する工程と、
前記弾性表面波デバイス素子を一つずつ有するように前記樹脂基板と前記樹脂蓋とを同時に切断する工程とを含むことを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。
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