JP2006066511A - 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜装置100は、製品ウェハ107およびダミーウェハ109が収容される成長炉101、製品ウェハ107およびダミーウェハ109が設置されるボート105、および成長炉101の外側に炉壁103に沿って設けられたヒータ111を有する。また、成膜装置100は、high−k原料供給管113とSiO2原料供給管115とを有するガス供給系、およびガス供給系から成長炉101へのガスの供給を制御する制御部121を有する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本実施形態に係る成膜装置の構成を模式的に示す断面図である。図1に示す成膜装置100は、複数の半導体基板、ここではシリコンウェハに対して同時に成膜処理を施すバッチ式のCVD成膜装置である。
図1に示した成膜装置100は、SiO2原料供給管115をhigh−k原料供給管113とは別個に有する。そして、製品ウェハの成膜ごとにダミーウェハ109のプリコートを行う。プリコート膜のプリコートを行うことにより、図4のステップS104における成膜開始直前の成長炉101内の表面を均一に酸化された状態とすることができる。このため、高誘電率膜、ここではHfSiOx膜を製品ウェハ107の枚数によらず所定の膜厚で再現性よく形成することができる。
第一の実施形態では、製品ウェハ107の被成膜面にHfSiON膜以外の膜を成膜する。製品ウェハ107上に設ける膜の成膜種は、たとえば他のhigh−k材料とすることができる。high−k材料は、たとえば比誘電率10以上の材料とすることができる。たとえば、製品ウェハ107の表面に形成する膜は、HfおよびZrからなる群から選択される一または二以上の金属元素を含む材料により構成することができる。具体的には、Hf、Al、およびZrからなる群から選択される一または二以上の金属元素を含む酸化膜、シリケート膜等とすることができる。さらに具体的には、HfO2、Al2O3、ZrO2、ZrSiOx(xは正の整数、以下同じ。)またはZrSiONとすることができる。
以上の実施形態においては、製品ウェハ107の被成膜面がSiO2膜の表面であり、ボート105、成長炉101の内壁およびダミーウェハ109の表面に下地SiO2膜125をプリコートする場合を例示したが、成膜装置100の構成は、製品ウェハ107の被成膜面が他の膜の表面である場合も適用できる。
TaN膜、WN膜等の金属窒化膜;または
TiO2膜、RuOx(xは正の整数、以下同じ。)膜、IrOx(xは正の整数、以下同じ。)膜等の金属酸化膜;
とすることもできる。これらの場合にも、プリコート膜として製品ウェハ107の被成膜面をなす膜と同種の膜をプリコート膜としてプリコートすることにより、高誘電率膜の成膜における膜厚の再現性を向上させることができる。
本実施例では、第一の実施形態に記載の成膜装置100(図1)を用いた成膜シーケンス(図2〜図6)に従って成膜を行った。成膜手順を下記(i)〜(x)に示す。
(i)前のバッチの成膜終了(図2(a))
(ii)ダミーウェハおよび製品ウェハのアンロード(図2(a))
(iii)ダミーウェハのロード(図2(b))
(iv)ダミーウェハおよびバッチ炉内をプリコートし、1〜10nm程度のSiO2で覆う(図2(b))
(v)ダミーウェハのアンロード(図3(a))
(vi)製品ウェハ(表面SiO2)およびダミーウェハをバッチ炉内に導入(図3(a))
(vii)HfSiOx成膜(1.5nm)(図3(b))
(viii)窒化(図3(b))
(ix)ダミーウェハおよび製品ウェハのアンロード(図2(a))
(x)膜厚測定
図6(a)および図6(b)を用いて前述した従来の成膜シーケンスに従って成膜を行った。成膜手順を下記(I)〜(VII)に示す。
(I)前のバッチの成膜終了
(II)ダミーウェハ209および製品ウェハ207のアンロード
(III)製品ウェハ207(表面SiO2)およびダミーウェハ209を成長炉201に導入(図6(a))
(IV)HfSiOx成膜(1〜2nm)(図6(b))
(V)窒化(図6(b))
(VI)ダミーウェハ209および製品ウェハ207のアンロード
(VII)膜厚測定
101 成長炉
103 炉壁
105 ボート
107 製品ウェハ
109 ダミーウェハ
111 ヒータ
113 high−k原料供給管
115 SiO2原料供給管
121 制御部
123 HfSiON膜
125 下地SiO2膜
Claims (14)
- 複数の半導体ウェハへの成膜が同時に行われるバッチ式の半導体製造装置であって、
製品ウェハおよびダミーウェハが収容される成長炉と、
前記成長炉内に第一のガスを供給する第一のガス供給系と、
前記成長炉内に第二のガスを供給する第二のガス供給系と、
を備え、
前記第一のガスは、前記製品ウェハの被成膜面の上に成膜される所定の膜の原料ガスであり、
前記第二のガスは、前記ダミーウェハ上に成膜され、前記所定の膜とは異なる種類のプリコート膜の原料ガスであることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1に記載の半導体製造装置において、前記所定の膜が、Hf、Al、およびZrからなる群から選択される一または二以上の金属と、Oとを含むことを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項1または2に記載の半導体製造装置において、
前記製品ウェハの前記被成膜面が、金属、金属酸化物、および金属窒化物のうちのいずれかの膜の表面であり、
前記第二のガス供給系は、前記製品ウェハの前記被成膜面の成膜種と同種の膜を前記成長炉の内部にプリコートするように構成されたことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項3に記載の半導体製造装置において、
前記製品ウェハの前記被成膜面がSiO2膜の表面であり、
前記プリコート膜がSiO2膜であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項3に記載の半導体製造装置において、
前記製品ウェハの前記被成膜面がTiN膜の表面であり、
前記プリコート膜がTiN膜であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の半導体製造装置において、前記第一のガス供給系と前記第二のガス供給系とを制御する制御部を有し、
前記制御部は、
前記ダミーウェハが前記成長炉に収容された状態で、前記第二のガス供給系から前記成長炉の内部に前記第二のガスを供給するとともに、
表面に前記プリコート膜を有する前記ダミーウェハと、前記製品ウェハとが前記成長炉に収容された状態で、前記第一のガス供給系から前記成長炉の内部に前記第一のガスを供給するように構成されていることを特徴とする半導体製造装置。 - 複数の半導体ウェハの表面上に所定の膜を一括して形成する成膜工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記成膜工程は、
前記所定の膜とは異なる種類のプリコート膜を有する少なくとも一枚のダミーウェハを準備する工程と、
ダミーウェハを準備する工程で準備された前記ダミーウェハと製品ウェハとの表面に前記所定の膜を同時に設ける工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
ダミーウェハを準備する前記工程は、前記ダミーウェハの表面に、前記製品ウェハの被成膜面の材料と同種の材料からなる前記プリコート膜を設ける工程を含み、
所定の膜を同時に設ける前記工程は、前記製品ウェハの前記被成膜面の材料と異なる材料からなる膜を設ける工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法において、
ダミーウェハを準備する前記工程は、複数の半導体ウェハへの成膜が同時に行われるバッチ式の成長炉に前記ダミーウェハを収容し、前記ダミーウェハの表面および前記成長炉の壁面に前記プリコート膜を設ける工程を含み、
所定の膜を同時に設ける前記工程を、前記プリコート膜が設けられた前記成長炉内で行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7乃至9いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、所定の膜を同時に設ける前記工程は、前記ダミーウェハと前記製品ウェハとの表面に、Hf、Al、およびZrからなる群から選択される一または二以上の金属と、Oとを含む膜を設ける工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項10に記載の半導体装置の製造方法において、前記所定の膜はSiまたはNのいずれかまたは両方の元素をさらに含む膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項7乃至11いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、前記製品ウェハの被成膜面が金属、金属酸化物、金属窒化物のいずれかの膜の表面であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項7乃至12いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記製品ウェハの被成膜面がSiO2膜の表面であり、
ダミーウェハを準備する前記工程は、前記ダミーウェハの表面にSiO2膜をプリコートする工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7乃至12いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記製品ウェハの被成膜面がTiN膜の表面であり、
ダミーウェハを準備する前記工程は、前記ダミーウェハの表面にTiN膜をプリコートする工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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