JP2006023696A - 着色感光性樹脂組成物、着色感光性樹脂組成物の塗布膜、感光性樹脂転写材料、感光性樹脂層の形成方法、カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置。 - Google Patents
着色感光性樹脂組成物、着色感光性樹脂組成物の塗布膜、感光性樹脂転写材料、感光性樹脂層の形成方法、カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含むR、G、又はBの着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤として特定の顔料を、特定の量含有することを特徴とする着色感光性樹脂組成物、及び、R、G、Bの各感光性樹脂層の形成に該着色感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするカラーフィルター等。
【選択図】なし
Description
これに対し、透過モードでの鮮やかさを増すため、従来からカラーフィルターの色を濃くする方法が考えられている。しかし、その場合、反射モードでの使用時において、外光がカラーフィルタを通過して反射板で反射され、再びカラーフィルタを通過して観察者に届く(つまり2度通過する)ため、明るさが極端に減り、かえって鮮やかさが低減してしまうといった問題があった。
<1> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.R.254であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.R.254の含有量が0.300〜0.367g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物である。
<2> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.G.36と、顔料C.I.P.Y.139であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.G.36の含有量が0.438〜0.535g/m2であり、前記顔料C.I.P.Y.139の含有量が0.072〜0.088g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物である。
<3> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.B.15:6であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.B.15:6の含有量が0.297〜0.364g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物である。
<4> 界面活性剤を含むことを特徴とする前記<1>〜<3>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物である。
<5> 前記光重合開始剤又は光重合開始剤系として、少なくとも2種の光重合開始剤を含有することを特徴とする前記<1>〜<4>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物である。
<6> 仮支持体上に、少なくとも、前記<1>〜<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて、感光性樹脂層を設けたことを特徴とする感光性樹脂転写材料である。
<7> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.R.254であり、且つ前記顔料C.I.P.R.254の含有量が0.300〜0.367g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜である。
<8> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.G.36と、顔料C.I.P.Y.139であり、且つ前記顔料C.I.P.G.36の含有量が0.438〜0.535g/m2であり、前記顔料C.I.P.Y.139の含有量が0.072〜0.088g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜である。
<9> 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.B.15:6であり、且つ前記顔料C.I.P.B.15:6の含有量が0.297〜0.364g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜である。
<10> 前記光重合開始剤又は光重合開始剤系として、少なくとも2種の光重合開始剤を含有することを特徴とする前記<7>〜<9>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜である。
<11> レッド(R)感光性樹脂層の形成に前記<1>、<4>又は<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、グリーン(G)感光性樹脂層の形成に前記<2>、<4>又は<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、ブルー(B)感光性樹脂層の形成に前記<3>、<4>又は<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、それぞれ用いることを特徴とするカラーフィルターである。
<12> レッド(R)感光性樹脂層の形成に前記<7>又は<10>に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、グリーン(G)感光性樹脂層の形成に前記<8>又は<10>に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、ブルー(B)感光性樹脂層の形成に前記<9>又は<10>に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、それぞれ用いることを特徴とするカラーフィルターである。
<13> 前記<1>〜<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、スリット状ノズルにより塗布し乾燥して得られることを特徴とする前記<7>〜<10>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜である。
<14> 前記<6>に記載の感光性樹脂転写材料をラミネーターにより基板に貼り付ける工程を含むことを特徴とする感光性樹脂層の形成方法である。
<15> 少なくとも1回の感光性樹脂層の形成工程と、少なくとも1回の露光工程と、少なくとも1回の現像工程と、少なくとも1回のベークエ程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、前記感光性樹脂層が、前記<1>〜<5>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物、又は、前記<7>〜<10>若しくは<13>の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を用いて形成され、或いは、前記<14>に記載の感光性樹脂層の形成方法により形成されていることを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
<16> 前記<15>に記載の製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルターである。
<17> 透過型反射型兼用であることを特徴とする前記<16>に記載のカラーフィルターである。
<18> 前記<16>又は<17>に記載のカラーフィルターを用いたことを特徴とする液晶表示装置である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、該着色剤として特定の顔料を特定の含有量で用いることを特徴とする。
まず、上記(1)〜(4)の必須成分について説明する。
(1)アルカリ可溶性バインダー
本発明におけるアルカリ可溶性バインダー(以下、単に「バインダー」ということがある。)としては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報、及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
本発明におけるモノマー又はオリゴマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
更に特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報及び特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報及び特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。
これらのモノマー又はオリゴマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は5〜50質量%が一般的であり、10〜40質量%が好ましい。また、該モノマー又はオリゴマーと、前記バインダーとの合計含有量が、全固形分に対して、30〜90質量%であることが好ましく、40〜80質量%がより好ましく、50〜70質量%が特に好ましい。尚、モノマー又はオリゴマー/バインダー比は、0.5〜1.2が好ましく、0.55〜1.1がより好ましく、0.6〜1.0が特に好ましい。
本発明における光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとして挙げることができる。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよいが、特に2種類以上を用いることが好ましい。少なくとも2種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
また、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、0.5〜20質量%が一般的であり、1〜15質量%が好ましい。
これらの光重合開始剤は特開平1−152449号公報、特開平1−254918号公報、特開平2−153353号公報に記載されている。
また、固形分全体に占める顔料の割合が15〜25質量%付近の場合、上記光重合開始剤に、クマリン系化合物を混合することによっても同様の効果が得られる。クマリン系化合物としては、7−[2−[4−(3−ヒドロキシメチルピペリジノ)−6−ジエチルアミノ]トリアジニルアミノ]−3−フェニルクマリンが最も良い。これらの光重合開始剤とクマリン系化合物の比率は、光重合開始剤/クマリン系化合物の質量比率で、好ましくは20/80〜80/20、より好ましくは30/70〜70/30、最も好ましくは40/60〜60/40である。
本発明における着色剤としては、(i)Rの着色感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・レッド(C.I.P.R.)254を用い、(ii)Gの着色感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・グリーン(C.I.P.G.)36及びC.I.ピグメント・エロー(C.I.P.Y.)139を併用して用い、(iii)Bの着色感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・ブルー(C.I.P.B.)15:6を用いる。
尚、上記(i)におけるC.I.P.R.254の含有量は、着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合おいて、0.300〜0.367g/m2であることが必須であり、0.307〜0.360g/m2であることがより好ましく、0.317〜0.350g/m2であることが特に好ましい。
また、上記(ii)におけるC.I.P.G.36の含有量は、着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合おいて、0.438〜0.535g/m2であることが必須であり、0.448〜0.525g/m2であることがより好ましく、0.462〜0.511g/m2であることが特に好ましい。
また、上記(ii)におけるC.I.P.Y.139の含有量は、0.072〜0.088g/m2であることが必須であり、0.074〜0.086g/m2であることがより好ましく、0.076〜0.084g/m2であることが特に好ましい。尚、(ii)において、C.I.P.G.36/C.I.P.Y.139比率は、5.4〜6.7であることが好ましく、5.6〜6.6がより好ましく、5.8〜6.4が特に好ましい。
また、上記(iii)におけるC.I.P.B.15:6の含有量は、着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合おいて、0.297〜0.364g/m2であることが必須であり、0.304〜0.357g/m2であることがより好ましく、0.314〜0.347g/m2であることが特に好ましい。
本発明で用いる着色剤(顔料)は、粒径0.1μm以下、特には粒径0.08μm以下であることが好ましい。
−溶媒−
本発明の着色感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
本発明のカラーフィルター又は本発明の感光性樹脂転写材料においては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、着色感光性樹脂組成物を基板又は仮支持体に塗布することができるが、該着色感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
尚、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、0.001〜1%が一般的であり、0.01〜0.5%が好ましく、0.03〜0.3%が特に好ましい。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
尚、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、0.01〜1%が一般的であり、0.02〜0.7%が好ましく、0.05〜0.5%が特に好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じ前記着色剤(顔料)に加えて、公知の着色剤(染料、顔料)を添加することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、着色感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒径が0.1μm以下、特には0.08μm以下であることが好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、モノライト・エローGT(C.I.ピグメントエロー12)、パーマネント・エローGR(C.I.ピグメント・エロー17)、パーマネント・エローHR(C.I.ピグメント・エロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド11)、ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81)、モナストラル・ファースト・ブルー(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック1)及びカーボン、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド192、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー22、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメント・ブルー64、C.I.ピグメント・バイオレット23等が挙げられる。
尚、上記公知の染料ないし顔料の内、Rの着色感光性樹脂組成物において好ましく添加できるものとしてはC.I.ピグメント・バイオレット23が挙げられ、その量は、R顔料(C.I.P.R.254)の0.5〜5質量%である。また、Bの着色感光性樹脂組成物において好ましく添加できるものとしては、C.I.ピグメント・バイオレット23が挙げられ、その量は、B顔料(C.I.P.B.15:6)の0.2〜10質量%である。
本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジ−フェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
尚、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、0.5〜15%が一般的であり、1〜12%が好ましく、1.2〜10%が特に好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物の塗布膜は、少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、該着色剤として特定の顔料を特定の含有量で用いることを特徴とする。
上記(1)〜(4)の必須成分やその他の成分については、既に<着色感光性樹脂組成物>の項において記載したものと同様である。
尚、上記塗布膜は、本発明の着色感光性樹脂組成物を、公知の塗布方法により塗布し乾燥することによって形成することができるが、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコータが好適に用いられる。
次に、本発明の感光性樹脂転写材料について説明する。
本発明の感光性樹脂転写材料は、特開平5−72724号公報に記載されている感光性樹脂転写材料、すなわち一体型となったフイルムを用いて形成することが好ましい。該一体型フイルムの構成の例としては、仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂層/保護フイルムを、この順に積層した構成が挙げられる。
尚、本発明の感光性樹脂転写材料は、前述の本発明の着色感光性樹脂組成物を用いることによって感光性樹脂層を設けることが必須である。
本発明において仮支持体としては、可撓性を有し、加圧若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。尚、熱可塑性樹脂層の乾燥厚さは、2〜30μmが一般的であり、5〜20μmが好ましく、7〜16μmが特に好ましい。
本発明の感光性樹脂転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。尚、中間層の乾燥厚さは、0.2〜5μmが一般的であり、0.5〜3μmが好ましく、1〜2.5μmが特に好ましい。
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、保護フイルムの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層及び中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
(感光性樹脂層)
本発明のカラーフィルターは、レッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)の各感光性樹脂層が、それぞれ、着色剤としてC.I.P.R.254を用いた前記着色感光性樹脂組成物又はその塗布膜、C.I.P.G.36及びC.I.P.Y.139を併用して用いた前記着色感光性樹脂組成物又はその塗布膜、C.I.P.B.15:6を用いた前記着色感光性樹脂組成物又はその塗布膜、によって形成されたものであることを特徴とする。
上記要件を満たすことにより、D65光源視野2度において良好な色度を有し、透過モード及び反射モードのいずれにおいても鮮明な色を表示することができる。
尚、ΔE値5以内が好ましいことの妥当性については、20人の被験者による官能試験によって確認した。
上記の製造方法において、基板上に上記感光性樹脂層を形成する方法としては、(a)上記の各着色感光性樹脂組成物を公知の塗布装置等によって塗布する方法、及び(b)前述の感光性樹脂転写材料を用い、ラミネーターによって貼り付ける方法などが挙げられる。
本発明のカラーフィルターの製造方法における、着色感光性樹脂組成物の塗布には、公知の塗布装置を用いることができるが、中でも特に、既に<着色感光性樹脂組成物の塗布膜>の項において説明した、スリットコータが好適に用いることができる。尚、スリットコータの好ましい具体例等は、前記と同様である。
前述の感光性樹脂転写材料を用い、フイルム状に形成した感光性樹脂層を、後述する基板上に加熱及び/又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって、貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
本発明において、カラーフィルターが形成される基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、着色感光性樹脂組成物、又は感光性樹脂転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033記載の方法が好適に用いられる。
本発明のカラーフィルターは、感光性樹脂層を、着色感光性樹脂組成物の塗布によって形成する場合において、該感光性樹脂層上に更に酸素遮断膜を設けることができる。これにより、露光感度をアップすることができ、該酸素遮断膜としては、既に<感光性樹脂転写材料>の(中間層)の項において説明したものと同様のものが挙げられる。
上記基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介してマスク上方から露光し、次いで現像液による現像を行う、という工程を色の数だけ繰り返すことにより、本発明のカラーフィルターを得ることができる。
ここで、前記露光の光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常5〜200mJ/cm2程度であり、好ましくは10〜100mJ/cm2程度である。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。
本発明においてカラーフィルターは、少なくとも1回の感光性樹脂層の形成工程と、少なくとも1回の露光工程と、少なくとも1回の現像工程と、少なくとも1回のベーク工程と、を経ることによって製造することができ、特に感光性樹脂層の形成工程としては、前述の方法等が挙げられる。
ここで、カラーフィルターの製造方法の一例を以下に示す。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
i)基板洗浄
無アルカリガラス基板を用いるが、表面の汚れを除去するために洗浄を行う。例えば、25℃に調整したガラス洗浄剤液(商品名:T−SD1、T−SD2 富士写真フイルム(株))をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有す回転ブラシで洗浄し、更に純水シャワー洗浄を行う。
ラミネートによる感光性樹脂層の密着を増すためにシランカップリング処理を実施することが好ましい。シランカップリング剤としては、感光性樹脂と相互作用する官能基を有するものが好ましい。例えばシランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄する。この後、加熱により反応させる。
加熱槽を用いてもよいが、ラミネーターの基板予備加熱でも反応を進めることができる。
通常は最初にラミネートする色のみ実施するが、ラミネート後の密着が弱い場合必要に応じて.他の色でも実施することが有る。
この基板を基板予備加熱装置で100℃2分で加熱して次のラミネーターに送る。これによりラミネートを均一に行うことができる。
感光性樹脂転写材料の保護フイルムを剥離後、ラミネーターを用い、前記100℃に加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートする。ゴムローラーは150℃以上では、転写材料にシワがはいり、100℃以下では感光性樹脂層の密着が弱くなる。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機で、露光する。基板サイズが50センチメートル以上の場合、マスクの撓み防止の観点で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で露光するのが好ましい。露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離は短いほど解像は良いが、異物が付着しやすいので、100〜300μmに設定する。露光量は10〜80mJ/cm2である。これによりパターン状に露光される。
トリエタノールアミン系現像液(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD1、富士写真フイルム(株))などで熱可塑性樹脂層と中間層を除去する。この時、理想的には、感光性樹脂層は全く現像されることがない様、条件他が設定される。例えば30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワーにて供給される。
引き続き感光性樹脂層をアルカリにて現像して画像を形成する。例えば炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株))が用いられる。
条件としては例えば35℃35秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像する。現像液としてはKOH系、TMAΗ系を用いてもよい。
引き続き洗浄剤(燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−SD1、富士写真フイルム(株)、または炭酸ナトリウム、フェノキシポリオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名:T−SD2、富士写真フイルム(株))等を用いる。条件は33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行う。これにより未露光部における感光性樹脂層の残成分が除去される。
引き続き基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2程度、ポスト露光される。両面から実施してもよく、また100〜800mJ/cm2の範囲で選択してもよい。ポスト露光の実施により、その後のベークでの重合効果が高まる他、ポスト露光の量により、画素のベーク後の断面形状を調整することができる。
モノマー又はオリゴマーを反応させて硬い膜とするためベークを行う。色と色の間のベークは200〜240℃、10〜20分程度。全色を形成後、更に200〜240℃で30〜180分熱処理することが好ましい。これらの温度と時間は、ベークにより黄ばみの発生が少なく、かつ、生産タクトを落さないよう、高めの温度で、かつ短めの時間に設定される。
以上の工程によって、本発明のカラーフィルターを製造することができる。
本発明の液晶表示装置は、D65光源視野2度において良好な色度を有する本発明のカラーフィルターを用いることを特徴とし、これにより、透過モード及び反射モードのいずれにおいても鮮明な色を表示することができ、透過モードと反射モードを兼用する携帯端末や携帯ゲーム機等の機器に好適に用いることができる。
(実施例1)
[カラーフィルターの作製(スリット状ノズルを用いた塗布による作製)]
−ブラック(K)画像の形成−
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
該基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)にて、下記表2に記載の組成よりなる下記着色感光性樹脂組成物K1を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置、東京応化社製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、120℃3分間プリベークして膜厚2μmの感光性樹脂層K1を得た。
前記Kの画像を形成した基板に、下記表3に記載の組成よりなる下記着色感光性樹脂組成物R1を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みR画像を形成した。
該R1感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.R.254)の塗布量を表6に示す。
前記KとRの画像を形成した基板に、下記表4に記載の組成よりなる下記着色感光性樹脂組成物G1を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みG画像を形成した。
該G1感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.G.36及びC.I.P.Y.139)の塗布量を表7に示す。
前記K、R及びGの画像を形成した基板に、下記表5に記載の組成よりなる下記着色感光性樹脂組成物B1を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みB画像を形成し、目的のカラーフィルターを得た。
該B1感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.B.15:6)の塗布量を表8に示す。
着色感光性樹脂組成物K1は、まず表2に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、表2に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー2、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
K顔料分散物1の組成は、
・カーボンブラック(デグッサ社製) 13.1%
・分散剤 0.65%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53%
バインダー2の組成は、
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万) 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73%
DPHA液の組成は、
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、
日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 24%
界面活性剤1の組成は、
・下記構造物1 30%
・メチルイソブチルケトン 70%
R顔料分散物1の組成は、
・C.I.P.R.254(チバスペシャリティケミカルズ社製) 8%
・分散剤 0.8%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物) 8%
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 83.2%
R顔料分散物2の組成は、
・C.I.P.R.254(チバスペシャリティケミカルズ社製) 5.3%
・アクリル酸モノ(ジメチルアミノプロピル)アミド/
メタクリル酸(ポリエチレングリコールモノメチルエーテル)エステル/
メタクリル酸(ポリメチルメタクリレート含有アルコール)エステル 1.6%
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 93.1%
R顔料分散物3の組成は、
・C.I.P.R.209(クラリアント社製) 14%
・分散剤 4%
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 82%
バインダー1の組成は、
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート
=38/25/37のランダム共重合物、分子量3.8万) 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73%
G顔料分散物1の組成は、
・C.I.P.G.36(東洋インキ社製、分散物) 18%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万) 12%
・シクロヘキサノン 35%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 35%
Y顔料分散物1の組成は、
・C.I.P.Y.139(BASF社製、商品名:パリオロールエローL1820)
18%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万) 15%
・シクロヘキサノン 15%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 52%
Y顔料分散物2の組成は、
・C.I.P.Y.138(住化カラー社製 10.4%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万) 3.1%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 86.5%
B顔料分散物1の組成は、
・C.I.P.B.15:6(東洋インキ社製) 10%
・分散剤1 0.5%
・分散剤2 0.63%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物) 12.5%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 76.37%
B顔料分散物2の組成は、
・C.I.P.B.15:6(東洋インキ社製) 8.5%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物) 9.4%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 82.1%
実施例1において用いた着色感光性樹脂組成物R1、G1、B1の組成を、それぞれ前記表3〜5に記載の着色感光性樹脂組成物R2〜14、G2〜14、B2〜14の組成に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルターを得た。
R、G、Bそれぞれの感光性樹脂層膜厚、及びそれぞれの顔料の塗布量を表6〜8に示す。
−色度の測定−
上記より得られたカラーフィルターの色度を、顕微分光光度計(オリンパス光学社製;OSP100)を用い、ピンホール径5μmにて測定し、D65光源視野2度の結果として計算した。結果(xyY値、及び目標色度との差ΔE値)を表6〜8に示す。
R、G、B各色の着色感光性樹脂組成物を塗布した直後の基板を、暗室でNaランプを斜め方向から照射し、目視及びルーペにて観察し、ムラの発生の有無を判断した。
パターニングが終了した画素つきの基板を、暗室でNaランプを斜め方向から照射し、目視及びルーペにて観察し、ムラの発生の有無を判断した。
上記の評価より、カラーフィルターの総合的な判定を、以下の基準で行った。
○:ΔEの値、塗布ムラ、表示ムラのいずれも良好である
△:ΔEの値は良好であるが、若干の塗布ムラないし表示ムラの発生が観察された
×:ΔEの値、塗布ムラ、表示ムラのいずかにおいて、極めて難有り
以上の評価結果を、表6〜8に示す。
実施例1〜10のカラーフィルター、及び比較例1〜4のカラーフィルターを用いてLEDバックライトを有する反射、透過兼用の液晶表示装置を形成し、比較例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置と比較して、実施例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。
[カラーフィルターの作製(感光性樹脂転写材料のラミネートよる作製)]
−感光性樹脂転写材料の作製−
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、前記着色感光性樹脂組成物K1を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、乾燥膜厚が2μmの感光性樹脂層を設け、保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)とブラック(K)の感光性樹脂層とが一体となった感光性樹脂転写材料を作製し、サンプル名を感光性樹脂転写材料K1とした。
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 6.36部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル
メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=55/30/10/5、分子量=10万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=65/35、分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリートを
2当量脱水縮合した化合物(新中村化学(株)製BPE−500) 9.1部
・弗素系ポリマー(C6F13CH2CH2OCOCH=CH2 40部と
H(O(CH3)CHCH2)7OCOCH=CH2 55部と
H(OCHCH2)7OCOCH=CH2 5部との共重合体、
分子量3万、メチルイソブチルケトン30%溶液、
大日本インキ製、商品名:メガファックF780F) 0.54部
・PVA205(ポリビニルアルコール、
クラレ(株)製、鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(BASF社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
尚、着色感光性樹脂組成物R101、G101及びB101の調製方法は、それぞれ前記着色感光性樹脂組成物R1、G1及びB1の調製方法に準ずる。
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱して次のラミネーターに送った。
前記感光性樹脂転写材料R101の保護フイルムを剥離後、ラミネーター(日立テクノ社製)を用い、前記100℃に加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立デコ社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量40mJ/cm2でパターン露光した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株))を用い、35℃35秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
引き続き洗浄剤(燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−SD1、富士写真フイルム(株)、或いは、炭酸ナトリウム、フェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名:T−SD2、富士写真フイルム(株))を用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、レッド(R)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、15分熱処理(ベーク)した。
該R101感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.R.254)の塗布量を表12に示す。
このRの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記感光性樹脂転写材料G101を用い、前記感光性樹脂転写材料R101と同様の工程で、熱処理済みのグリーン(G)の画像を得た。但し露光量は40mJ/cm2、現像は34℃45秒とした。
該G101の感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.G.36及びC.I.P.Y.139)の塗布量を表13に示す。
このRとGの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記感光性樹脂転写材料B101を用い、前記感光性樹脂転写材料R101と同様の工程で、熱処理済みのブルー(B)の画像を得た。但し露光量は30mJ/cm2、現像は36℃40秒とした。
該B101感光性樹脂層膜厚、及び顔料(C.I.P.B.15:6)の塗布量を表14に示す。
このRとGとBの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記感光性樹脂転写材料K1を用い、前記感光性樹脂転写材料R101と同様の工程で、熱処理済みのブラック(K)の画像(カラーフィルターの額縁部分を形成)を得た。露光量は70mJ/cm2、現像は29℃30秒とした。
このRとGとBとKの画像を形成した基板を220℃で120分ベークして、目的のカラーフィルターを得た。
実施例11において用いた着色感光性樹脂組成物R101、G101、B101を、それぞれ前記表9〜11に記載の着色感光性樹脂組成物R102〜114、G102〜114、B102〜114に変更した以外は、実施例11と同様の方法にて目的のカラーフィルターを得た。
R、G、Bそれぞれの感光性樹脂層膜厚、及びそれぞれの顔料の塗布量を表12〜14に示す。
色度の測定、及び表示ムラの発生を、前記と同様の方法にて行った。
また、感光性樹脂転写材料の作製時における、R、G、B各色の着色感光性樹脂組成物の塗布直後における塗布ムラの発生を、前記と同様の方法にて行った。
更に、上記の評価より、総合的な判定を、前記と同様の基準にて行った。
評価結果を、表12〜14に示す。
実施例11〜20のカラーフィルター、及び比較例5〜8のカラーフィルターを用いてLEDバックライトを有する反射、透過兼用の液晶表示装置を形成し、比較例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置と比較して、実施例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。
実施例3において用いた着色感光性樹脂組成物B3の組成を、下記表15に記載の着色感光性樹脂組成物B21の組成に変更した以外は、実施例3と同様の方法にて目的のカラーフィルターを得た。また、B画素に関して、実施例3と同様の方法により色度の測定、塗布ムラ、表示ムラの評価を行い、カラーフィルターの総合的な判定を行った。
Bの感光性樹脂層膜厚、及び顔料の塗布量とあわせて、結果を表16に示す。
実施例13において用いた着色感光性樹脂組成物B13の組成を、下記表15に記載の着色感光性樹脂組成物B121の組成に変更した以外は、実施例13と同様の方法にて目的のカラーフィルターを得た。また、B画素に関して、実施例13と同様の方法により色度の測定、塗布ムラ、表示ムラの評価を行い、カラーフィルターの総合的な判定を行った。
Bの感光性樹脂層膜厚、及び顔料の塗布量とあわせて、結果を表16に示す。
実施例21及び22のカラーフィルターを用いてLEDバックライトを有する反射、透過兼用の液晶表示装置を形成し、前述の比較例1〜4及び5〜8のカラーフィルターを用いた液晶表示装置と比較して、実施例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。
実施例11〜20及び比較例5〜8においてそれぞれ用いた着色感光性樹脂組成物R101〜114の組成を、下記表17に記載の着色感光性樹脂組成物R201〜214の組成に変更した以外は、実施例11〜20及び比較例5〜8と同様の方法にて目的のカラーフィルターを得た。また、R画素に関して、実施例11〜20及び比較例5〜8と同様の方法により色度の測定、塗布ムラ、表示ムラの評価を行い、カラーフィルターの総合的な判定を行った。
Rの感光性樹脂層膜厚、及び顔料の塗布量とあわせて、結果を表18に示す。
実施例23〜32のカラーフィルター、及び比較例9〜12のカラーフィルターを用いてLEDバックライトを有する反射、透過兼用の液晶表示装置を形成し、比較例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置と比較して、実施例のカラーフィルターを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。
Claims (18)
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.R.254であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.R.254の含有量が0.300〜0.367g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.G.36と、顔料C.I.P.Y.139であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.G.36の含有量が0.438〜0.535g/m2であり、前記顔料C.I.P.Y.139の含有量が0.072〜0.088g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤が顔料C.I.P.B.15:6であり、且つ前記着色感光性樹脂組成物を1〜3μmの乾燥膜厚で塗布した場合における前記顔料C.I.P.B.15:6の含有量が0.297〜0.364g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- 界面活性剤を含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 前記光重合開始剤又は光重合開始剤系として、少なくとも2種の光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 仮支持体上に、少なくとも、請求項1〜5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて、感光性樹脂層を設けたことを特徴とする感光性樹脂転写材料。
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.R.254であり、且つ前記顔料C.I.P.R.254の含有量が0.300〜0.367g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜。
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.G.36と、顔料C.I.P.Y.139であり、且つ前記顔料C.I.P.G.36の含有量が0.438〜0.535g/m2であり、前記顔料C.I.P.Y.139の含有量が0.072〜0.088g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜。
- 少なくとも、(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、(4)着色剤と、を含む着色感光性樹脂組成物の塗布膜であって、前記着色剤が顔料C.I.P.B.15:6であり、且つ前記顔料C.I.P.B.15:6の含有量が0.297〜0.364g/m2であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の塗布膜。
- 前記光重合開始剤又は光重合開始剤系として、少なくとも2種の光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項7〜9の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜。
- レッド(R)感光性樹脂層の形成に請求項1、4又は5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、グリーン(G)感光性樹脂層の形成に請求項2、4又は5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、ブルー(B)感光性樹脂層の形成に請求項3、4又は5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、それぞれ用いることを特徴とするカラーフィルター。
- レッド(R)感光性樹脂層の形成に請求項7又は10に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、グリーン(G)感光性樹脂層の形成に請求項8又は10に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、ブルー(B)感光性樹脂層の形成に請求項9又は10に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を、それぞれ用いることを特徴とするカラーフィルター。
- 請求項1〜5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を、スリット状ノズルにより塗布し乾燥して得られることを特徴とする請求項7〜10の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜。
- 請求項6に記載の感光性樹脂転写材料をラミネーターにより基板に貼り付ける工程を含むことを特徴とする感光性樹脂層の形成方法。
- 少なくとも1回の感光性樹脂層の形成工程と、少なくとも1回の露光工程と、少なくとも1回の現像工程と、少なくとも1回のベークエ程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、前記感光性樹脂層が、請求項1〜5の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物、又は、請求項7〜10若しくは13の何れか1項に記載の着色感光性樹脂組成物の塗布膜を用いて形成され、或いは、請求項14に記載の感光性樹脂層の形成方法により形成されていることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
- 請求項15に記載の製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
- 透過型反射型兼用であることを特徴とする請求項16に記載のカラーフィルター。
- 請求項16又は17に記載のカラーフィルターを用いたことを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004322641A JP4502784B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-11-05 | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004169268 | 2004-06-07 | ||
JP2004322641A JP4502784B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-11-05 | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006023696A true JP2006023696A (ja) | 2006-01-26 |
JP4502784B2 JP4502784B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=35796975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004322641A Expired - Fee Related JP4502784B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-11-05 | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4502784B2 (ja) |
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---|---|
JP4502784B2 (ja) | 2010-07-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100210 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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