JP2005527406A - スタンプから基板にパターンを転写する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示す種類であるが、図15に示す毛細管を有する波印刷装置を用いて液体層を転写した。毛細管は低圧の空気で満たした。ベース層及びスタンピング層を真空吸引により一緒に保持した。スタンピング面は、毛細管に空気を供給することを介して、受容面に向かって運ばれた。Fe(NO3)39H2Oの水溶液をスタンピング面に供給した。その後、溶媒を約30秒間受動的に蒸発させた。スタンピング面の局所領域が、波パターンに従って次々と受容面に移動された。約2×2ミクロンの正方形を含むスタンピング面のパターンに従い、硝酸鉄の液体層が受容面に転写された。続いて、カーボンナノチューブが選択的に育成された。転写領域のみに付着することが分かった。これは、液体層の転写が成功し、所望のパターンが与えられたことを示す。
実施例1に用いたものと同一の波印刷が、線の印刷に好適なパターンを有するスタンピング面に設けられた。この実施例において、有機金属化合物の極性溶媒溶液が用いられた。この場合、金属化合物は銀であった。コロイド銀(6g、メルクから)を水20gに加え、ローラーコンベア上で一晩回転させ、ゾル分散液を20nmフィルタでろ過した。組成物は、40mgのメチルトリメトキシシラン(MTMS)、0.86gのテトラエトキシシラン(TES)、32gの水、4.5gのエタノール及び0.14gの氷酢酸を含有していた。これを48時間加水分解した。0.09gのこの加水分解混合物を、連続的な撹拌の下で4gの上記の銀ゾル分散液に加えると、10体積%のMTMS(密度が2g/molのMTMSと仮定した)を含む銀含有層が得られた。銀含有層は、1%HFで洗浄した板ガラス上にスピンコートした。この層を100℃で乾燥した。その後、スタンピング面を、銀ゾルを局所領域に有する板ガラスに接触させた。スタンピング面のパターンに従い、銀ゾルがスタンプのスタンピング面に転写された。銀ゾルの付着は、幾つかの材料をスタンピング面に堆積させるのに十分であり、かつ印刷可能な材料を受容面に転写するのに十分低い。この転写は引き続いて行われた。最後に、銀ゾルを250℃で30分間硬化させた後、350、450、500及び550℃で30分間の熱処理を行った。得られたパターンは、約40μmの幅を有する銀線を示した。線の膨らみや変形は見られなかった。
Claims (21)
- スタンピング面を有するスタンプが用いられ、前記スタンピング面及び基板の受容面の少なくとも一方が可撓性である、基板の受容面にパターンを転写する方法において、該方法が、
スタンピング面と受容面が互いに対向するような形で、スタンプ及び基板を互いに対して位置決めするステップと、
受容面が延在する方向に、スタンプ及び基板の位置を互いに対して固定するステップと、
第1転写期間中にスタンピング面と受容面の間に第1転写領域を形成し、スタンプが基板にパターンを局所的に転写することができるように、実質的に受容面に直交する方向に、スタンピング面及び受容面の少なくとも一方の第1部分を前後に移動させるステップと、
その後、第2転写期間中にスタンピング面と受容面の間に第2転写領域を形成し、スタンプが基板にパターンを局所的に転写することができるように、実質的に受容面に直交する方向に、スタンピング面及び受容面の少なくとも一方の第2部分を前後に移動させるステップとを含む方法。 - 第1転写期間の持続時間及び第2転写期間の持続時間が実質的に互いに等しい、請求項1に記載の方法。
- 第1転写期間と第2転写期間が部分的に重複する、請求項2に記載の方法。
- 第1部分と第2部分が隣接する部分である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- パターンがスタンプのスタンピング面に設けられる、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも第2転写領域がリング状に形成される、請求項1に記載の方法。
- 第1転写領域と第2転写領域が直線状である、請求項1に記載の方法。
- 第1部分と第2部分に連続的に圧力をかけて、第1部分と第2部分を連続的に移動させる、請求項1に記載の方法。
- 特に請求項1〜8に記載の方法に従い、スタンプのスタンピング面から基板の受容面にパターンを転写する装置において、
パターンを含むスタンピング面を有するスタンプと、
スタンピング面と受容面の少なくとも一方の個々の部分を実質的に受容面に直交する方向に連続的に前後に移動させることができるように配置された手段とを具えることを特徴とする装置。 - スタンピング面を有するスタンプを用いる、基板の受容面にパターンを転写する装置において、
スタンピング面を有するスタンプと、
スタンピング面と受容面の少なくとも一方の個々の部分を実質的に受容面に直交する方向に連続的に前後に移動させることができるように配置された手段と、
所望のパターンに関連する制御プログラムを記憶し、前述の手段を制御する制御デバイスとを具えることを特徴とする装置。 - 前記手段が個別に制御可能である、請求項9又は10に記載の装置。
- 前記手段は、実質的に受容面に直交する方向に作用するように配置される、請求項9又は10に記載の装置。
- 前記手段が複数のアクチュエーターを具え、各アクチュエーターはスタンピング面と受容面の少なくとも一方の個々の部分と連動する、請求項9又は10に記載の装置。
- 前記手段が真空チャンバに関連するチャネルを具える、請求項9又は10に記載の装置。
- スタンピング面及び受容面を互いに対して整列させる整列手段をさらに具える、請求項9又は10に記載の装置。
- パターンを含むスタンピング面を有するスタンプにおいて、
ベースシートと、
頂部にパターンの一部が設けられ、底部がベースシートに連結された、ベースシートの少なくとも一部を覆う、隣接する個々のスタンピング部とを具えることを特徴とするスタンプ。 - ベースシートが閉ループ状に形成されている、請求項16に記載のスタンプ。
- チャネルを設けた圧力シートを具え、パターンを含むスタンピング面を有するスタンプ。
- チャネルが実質的にスタンピング面に直交する方向に延びる、請求項18に記載のスタンプ。
- チャネルの長さが圧力シートの厚みに対応する、請求項18又は19に記載のスタンプ。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板の受容面にパターンを転写するステップを具える、電子機器を製造する方法。
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