JP2005510737A - 時間分解非侵入性診断システム - Google Patents
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Abstract
Description
図4に、本発明の他の実施形態を示す。図4では、ナビゲーションおよびターゲット捕捉が、共焦点レーザ走査型顕微鏡(LSM)400を用いて行なわれる。走査型顕微鏡に関する一般的な情報は、「ヘテロダイン干渉分光計およびデジタル・フィルタリングによる共焦点顕微鏡の普及(Generalizing the Confocal Microscope via Heterodyne Interferometry and Digital Filtering)」:P.C.D.ホッブス(P.C.D.Hobbs)およびG.S.キノ(G.S.Kino)、ジャーナル・オブ・マイクロスコピィ(Journal of Microscopy)Vol.130、Pt.3、1990、pp245−264
および米国特許第5,532,873号明細書で見つけることができる。キノの本を参照して、ホッブスは省いても良い。
105…自動テスト機器
110、260…DUT
115…テスト・ベンチ
120、685、996…集光光学部材
124…テスト・ヘッド
125…アダプタ
130、605…照明源
135、435、625、695、725、825、927、995、1255、1265…ミラー
140…フォーカシング・システム
145、1210…イメージャ
150、420、450、698、998、1280、1450…検出器
155…高速データ取得エレクトロニクス
160、160’…偏光子ミラー
162…波長板
165…ビーム・スプリッタ・ミラー
170、470、670、770、870…アパーチャ
175…ステージ
180、181…コントローラ
185…開口部
190…Zアクチュエータ
195、465、765…視野レンズ
210、220…冷却板
235…窓
240…出口
250…入口
265…周辺デバイス
280…Yアクチュエータ
370、460、560…液浸レンズ
375…センタ・マーキング
385…凸状底面
400…共焦点レーザ走査型顕微鏡
405…赤外レーザ・ダイオード
410…レンズ・システム
415…波長板
430…走査器
440…活性デバイス冷却システム
445、645、672、696、745、1125、1200…対物レンズ
455…収差補正リング
465…対物レンズ・タレット
505…対物レンズ・ハウジング
510…スリーブ
515、1175…バルブ
627、727…ダイクロイック・ミラー
628…カメラ
630…軸
665、1270、1324…レンズ
671、705、771、805、871、1250…光源
690、990…光ファイバ
697…マイクロ・クーラ
728、828、928…カメラ
1100…テスト・アダプタ
1110…Oリング
1115…DUT
1120…SIL
1135…間隙
1140…スプレイ・ハウジング
1145…配管
1150…熱交換器
1160、1165…ポンプ
1170…通路
1220…導体リング
1220a…ハーフ・ミラー
1220b…ソリッド・ミラー
1230…絶縁リング
1240…導電性シールド
1260…レーザ源
1400…ATE
1420…トリガリング回路
1430…遅延回路
1440…ゲート回路
1460…捕捉回路
1470…クエンチ
1500…ピコセカンド・タイミング・アナライザ
1510…時間デジタル変換器
1520…マルチチャネル・アナライザ
Claims (25)
- 動作条件をシミュレートするように刺激される集積回路チップをテストするための一体型システムであって、
その上にチップを配置するためのテスト・ベンチと、
集光光学部材と、
両凸の固体液浸レンズと、
ナビゲーション・モードにおいて前記集光光学部材を通して前記チップを照明するための主照明源と、
前記チップから反射されて両凸の固体液浸レンズによって集光された光を用いて前記チップをイメージングするためのイメージャと、
チップから放出されたフォトンを検出して対応する電気信号を生成するように検出モードにおいて動作可能なフォトン・センサと、
前記電気信号を受け取って前記フォトンのタイミング情報を生成するシステム・コントローラと、を備え、
前記光源は、前記検出モードの間、前記チップの照明を停止するインテグレーテッド・システム。 - 前記テスト・ベンチに下側から接続される可動ステージであって、前記集光光学部材が取り付けられた可動ステージをさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 冷却メカニズムをさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 照明システムからの光を前記チップ上へまたはチップから放出されたフォトンを前記フォトン・センサ上へ選択的に送るように動作可能な光学素子をさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 前記イメージャがビジコン・カメラを含む請求項1に記載のシステム。
- 前記光学要素が切り替え可能なミラーを含む請求項4に記載のシステム。
- 前記フォトン・センサが、アバランシェ・フォトダイオードを含む請求項1に記載のシステム。
- 前記集光光学部材の像面内に位置する機械化されたアパーチャをさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 前記集光光学部材を通して前記チップを照明するための副照明源をさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 前記集光光学部材と、前記フォトン・センサ(検出器)および副照明源の少なくとも一方との間の光路をもたらす光ファイバをさらに備える請求項9に記載のシステム。
- 前記冷却メカニズムがマイクロ・スプレイ冷却システムを含む請求項3に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記フォトン・センサをゲート制御するためのゲート・タイマをさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 前記集光光学部材のフォーカシングをもたらすための前記集光光学部材を支持するZアクチュエータをさらに備える請求項1に記載のシステム。
- 前記Zアクチュエータを制御するオートフォーカスをさらに備える請求項13に記載のシステム。
- 前記フォトン検出器によって検出されるフォトンの周期的なカウントに基づいて、前記オートフォーカスがフォーカス条件を決定する請求項14に記載のシステム。
- 集積回路チップをテストするための一体型システムであって、前記チップは、前記チップに刺激信号を送って前記チップの動作条件をシミュレートするための自動テスト機器(ATE)に結合され、
前記ATEから同期信号を受け取るコントローラと、
前記チップの選択されたデバイスを選択的にイメージングするための光学イメージング・システムと、
前記チップからの光放出を集光して、前記光放出を示す時間分解信号を生成するための集光システムと、
前記光学イメージング・システムと前記集光システムとを、前記選択されたデバイスに対して配向するためのナビゲーション・システムと、
前記コントローラによって指定された温度まで前記チップを冷却するための冷却システムと、を備えるシステム。 - 前記光学イメージング・システムが、前記光学イメージング・システムによって規定される視野内から対象領域を選択するように動作可能な機械式アパーチャを備える請求項16に記載のシステム。
- 前記冷却システムがマイクロ・スプレイ冷却システムを備える請求項17に記載のシステム。
- 前記集光システムが液浸レンズを備える請求項18に記載のシステム。
- 前記液浸レンズが両凸の液浸レンズである請求項19に記載のシステム。
- 前記チップからの光放出を集光するための前記集光システムがさらに、前記光放出の周期的な集光に基づいてフォーカシング信号を与える請求項16に記載のシステム。
- 前記集光システムが両凸の液浸レンズを備える請求項21に記載のシステム。
- 前記冷却システムがマイクロ・スプレイ冷却システムを備える請求項22に記載のシステム。
- 前記光学イメージング・システムが、前記チップ上の選択されたデバイスを照明するための光ファイバ・ケーブルに結合された照明源を備える請求項23に記載のシステム。
- 前記照明源が、赤外スペクトルの光を与える請求項24に記載のシステム。
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A761 | Written withdrawal of application |
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