JP5314634B2 - 試験装置、試験方法、およびデバイスインターフェイス - Google Patents
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Description
特許文献1 国際公開第2007−013128号
非特許文献1 Ian A. Young, et al., "Optical I/O Technology for Tera-Scale Computing", IEEE Journal of Solid-State Circuits, January 2010, Vol. 45, No. 1, pp.235-248
非特許文献2 Hiren D. Thacker, James D. Meindl, "Prospects for Wafer-Level Testing of Gigascale Chips with Electrical and Optical I/O Interconnects", IEEE International Test Conference, 2006, 25-1
非特許文献3 Shin Masuda, et al., "Liquid-crystal microlens with a beam-steering function", APPLIED OPTICS, July 1997, Vol. 36, No. 20, pp.4772-4778
Claims (16)
- デバイス面と垂直方向に光信号を伝送する光カプラを有する被試験デバイスを試験するための試験装置であって、
前記被試験デバイスが搭載される基板と、
前記光信号を伝送する光伝送路と、
前記基板上において前記光カプラと対向して設けられ、前記光カプラと前記光伝送路の端部の一方からの光信号を他方へと集光させるレンズ部と、
を備える試験装置。 - 前記光伝送路を介して前記被試験デバイスの前記光カプラに接続され、前記被試験デバイスとの間で光信号を伝送する光通信部を更に備える請求項1に記載の試験装置。
- 前記レンズ部は、焦点距離および焦点位置の少なくとも一方が可変の可変焦点レンズを有する請求項1または2に記載の試験装置。
- 前記可変焦点レンズは、電気信号により液晶の配向方向を制御して、焦点距離および焦点位置を変更する液晶レンズである請求項3に記載の試験装置。
- 前記レンズ部の焦点距離を合わせて光結合を確立する焦点距離制御部をさらに備える請求項3または4に記載の試験装置。
- 前記レンズ部の焦点位置を変更して光結合を確立する焦点位置制御部をさらに備える請求項3から5のいずれかに記載の試験装置。
- 前記焦点位置制御部は、前記レンズ部の焦点位置をレンズと平行な面内においてらせん状に移動させながら光結合の状態を検出し、光結合が確立する焦点位置を検出する請求項6に記載の試験装置。
- 前記焦点位置制御部は、前記レンズ部の焦点直径を広げて光結合を確立できる焦点位置の近傍まで焦点を変更して粗調整し、その後に焦点直径を狭めて焦点位置を微調整する請求項6または7に記載の試験装置。
- 前記被試験デバイスは、電気信号を伝送するための端子を更に有し、
当該試験装置は、前記被試験デバイスとの間で電気信号を伝送する電気通信部とを更に備え、
前記基板は、前記電気通信部に接続され、前記被試験デバイスの端子と接触する電極を有し、
当該試験装置は、前記被試験デバイスの端子と前記基板の電極とを電気的に接続させた後に、前記レンズ部の焦点位置を調整する請求項6から8のいずれかに記載の試験装置。 - 前記レンズ部は、焦点距離および焦点位置が固定の光学レンズと、可変焦点レンズとを有する請求項3から9のいずれかに記載の試験装置。
- 前記基板は、前記被試験デバイスを吸引して吸着する吸着部を有する請求項1から10のいずれかに記載の試験装置。
- 前記試験装置は、前記被試験デバイスを前記基板に搭載させるように前記被試験デバイスを移動させる移動部をさらに備える請求項1から11のいずれかに記載の試験装置。
- デバイス面と垂直方向に光信号を伝送する光カプラを有する被試験デバイスを試験するための試験方法であって、
前記被試験デバイスが基板に搭載される基板搭載段階と、
前記光信号を光伝送路で伝送する光伝送段階と、
前記基板上において前記光カプラと対向して設けられ、前記光カプラと前記光伝送路の端部の一方からの光信号を他方へとレンズ部で集光させる集光段階と、
を備える試験方法。 - デバイス面と垂直方向に光信号を伝送する光カプラを有するデバイスと光信号を授受するデバイスインターフェイスであって、
前記デバイスが搭載される基板と、
前記光信号を伝送する光伝送路と、
前記基板上において前記光カプラと対向して設けられ、前記光カプラと前記光伝送路の端部の一方からの光信号を他方へと集光させるレンズ部と、
を備え、
前記レンズ部は、焦点距離および焦点位置の少なくとも一方が可変の可変焦点レンズであるデバイスインターフェイス。 - 前記デバイスインターフェイスは、前記レンズ部の焦点距離および焦点位置の少なくとも一方を調整して光結合を確立する請求項14に記載のデバイスインターフェイス。
- 前記デバイスインターフェイスは、確立した焦点距離および焦点位置の少なくとも一方の前記レンズ部の制御情報を予め記憶し、記憶した制御情報を読み出して前記確立した焦点距離および焦点位置の少なくとも一方を再現する請求項14または15に記載のデバイスインターフェイス。
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