KR101298158B1 - 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치, 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험 장치로 시험하기 위한 시험 방법, 및 디바이스 인터페이스 - Google Patents

광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치, 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험 장치로 시험하기 위한 시험 방법, 및 디바이스 인터페이스 Download PDF

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Abstract

시험 장치와 광 인터페이스를 가지는 피시험 디바이스와의 광입출력을 간이하게 조정한다. 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하는 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치에 있어서, 피시험 디바이스가 탑재되는 기판과, 광 신호를 전송하는 광 전송로와, 기판 상에서 광 커플러와 대향해 설치되어, 광 커플러와 광 전송로의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 집광시키는 렌즈부를 포함하는 시험 장치 및 시험 방법을 제공한다.

Description

광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치, 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험 장치로 시험하기 위한 시험 방법, 및 디바이스 인터페이스{TEST APPARATUS FOR TESTING DEVICE UNDER TEST HAVING OPTICAL COUPLER, TEST METHOD FOR TESTING DEVICE UNDER TEST HAVING OPTICAL COUPLER BY TEST APPARATUS AND DEVICE INTERFACE}
본 발명은, 시험 장치, 시험 방법, 및 디바이스 인터페이스에 관한 것이다.
종래, 시험 장치는, CPU, 메모리 등의 피시험 디바이스를 시험하였다. 또한, 피시험 디바이스에 광 인터페이스를 구비하는 것이 제안되었다(예를 들면, 특허 문헌 1, 비특허 문헌 1 및 2 참조).
국제 공개 제2007-013128호
Ian A. Young, et al., "Optical I/O Technology for Tera-Scale Computing", IEEE Journal of Solid-State Circuits, January 2010, Vol. 45, No. 1, pp.235-248 Hiren D. Thacker, James D. Meindl, "Prospects for Wafer-Level Testing of Gigascale Chips with Electrical and Optical I/O Interconnects", IEEE International Test Conference, 2006, 25-1 Shin Masuda, et al., "Liquid-crystal microlens with a beam-steering function", APPLIED OPTICS, July 1997, Vol. 36, No. 20, pp.4772-4778
광 인터페이스를 구비한 피시험 디바이스를 시험하려면, 광 신호를 시험 신호로서 이용하여 피시험 디바이스의 광 입력부에 입력시키는 동시에, 피시험 디바이스의 광 출력부로부터 출력하는 광 응답 신호를 검출해야 한다. 이러한 시험 장치는, 광 입출력의 정밀한 광축 조정이 요구되므로, 시험의 처리율이 낮아져 시험 코스트의 상승을 초래하였다. 또한, 광 인터페이스를 구비한 피시험 디바이스의 시험법으로서 광 섬유를 실장한 패키지의 형태로 시험을 실시하는 것도 가능하지만, 성능이 사양값에 미치지 못하는 경우에 패키지마다 버리는 것을 피할 수 없게 되고 제조 코스트가 증가하는 문제가 있었다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 태양에서는, 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하는 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치에 있어서, 피시험 디바이스가 탑재되는 기판과, 광 신호를 전송하는 광 전송로와, 기판 상에서 광 커플러와 대향해 설치되어, 광 커플러와 광 전송로의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 집광시키는 렌즈부를 포함하는 시험 장치 및 시험 방법을 제공한다.
덧붙여 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것은 아니다. 또한, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)와 피시험 디바이스(10)의 인터페이스의 구성례를 나타낸다.
도 2는 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작 플로우를 나타낸다.
도 3은 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 구성례를 피시험 디바이스(10)와 함께 도시한다.
이하, 발명의 실시의 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허 청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 실시 형태 중에서 설명되는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)와 피시험 디바이스(10)의 인터페이스의 구성례를 나타낸다. 시험 장치(100)는, 아날로그 회로, 디지털 회로, 메모리, 및 시스템·온·칩(SOC) 등이며, 광 인터페이스를 가지는 피시험 디바이스(10)와 광 신호 및 전기 신호를 주고 받아 시험한다. 여기서 피시험 디바이스(10)는, 광 커플러(12)를 구비한다. 또한, 피시험 디바이스(10)는, 단자(16)를 구비하여도 된다.
광 커플러(12)는, 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송한다. 광 커플러(12)는, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)의 내부에 형성된 광 전송로 또는 광 회로와 광학적으로 결합되어 구비되고, 피시험 디바이스(10)의 외부의 광 전송로 또는 광 회로와 광 신호를 주고 받는다. 광 커플러(12)는, 일례로서 미리 정해진 집광 위치 및 개구각의 조건으로 집광할 수 있는 광 빔을 입력하고, 미리 정해진 개구각 및 집광 위치의 광 빔을 출력한다. 이에 대신하여 광 커플러(12)는, 미리 정해진 집광 위치 및 광 빔 지름의 조건으로 입사하는 평행광을 입력하고, 미리 정해진 광 빔 지름의 평행광을 출력하여도 된다.
단자(16)는, 전기 신호를 전송한다. 단자(16)는, 솔더 범프, 랜드, 또는 커넥터 등이어도 된다. 단자(16)는, 전기 신호를 주고 받는 1 이상의 입력 단자 및 1 이상의 출력 단자이어도 된다.
시험 장치(100)는, 상기와 같은 피시험 디바이스(10)와 광 신호 및 전기 신호를 주고 받기 위해서, 피시험 디바이스(10)를 탑재한다. 시험 장치(100)는, 기판(110)과, 광 전송로(120)와, 렌즈부(130)와, 렌즈 제어부(140)와, 광 통신부(150)와, 전기 통신부(160)와, 이동부(170)와, 이동 제어부(180)를 구비한다.
기판(110)은, 피시험 디바이스(10)가 탑재된다. 기판(110)은, 흡착부(112)와 흡인부(113)를 구비한다. 여기서, 기판(110)은, 피시험 디바이스(10)와 전기 신호를 주고 받는 경우, 전극(119)을 가져도 된다.
흡착부(112)는, 피시험 디바이스(10)를 흡인하여 흡착한다. 흡착부(112)는, 기판(110)의 표면 상에 형성되어, 피시험 디바이스(10)와 물리적으로 접촉하여 피시험 디바이스(10)를 흡인해 흡착해도 된다. 또한, 흡착부(112)는, 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 사이가 밀폐되는 경우에, 밀폐 공간을 흡인하는 것에 의해 피시험 디바이스(10)를 흡착하여도 된다. 흡인부(113)는, 펌프 등에 접속되어 흡착부(112)로부터 공기 또는 기판(110) 상의 분위기 가스 등을 흡인한다.
전극(119)은, 전기 통신부(160)에 접속되어, 피시험 디바이스(10)의 단자(16)와 접촉한다. 전극(119)은, 단자(16)와 직접 접촉하는 단자, 프로브, 캔틸레버, 또는 멤브레인 범프 등이어도 된다. 또한, 전극(119)은, 단자(16)가 커넥터인 경우, 단자(16)와 감합하는 커넥터이어도 된다. 기판(110)은, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)가 구비한 단자(16)의 수 이상의 전극(119)을 가진다.
광 전송로(120)는, 광 신호를 전송한다. 광 전송로(120)는, 광 섬유이어도 되고, 이에 대신하여 광 도파로에서 이어도 된다. 광 전송로(120)는, 일단에 접속된 광 통신부(150)로부터의 광 신호를 전송하고, 타단으로부터 렌즈부(130)를 향해 출력한다. 광 전송로(120)는, 예를 들면, 미리 정해진 개구각으로 광 신호를 출력 한다. 또한, 광 전송로(120)는, 일단에 렌즈부(130)로부터 입력된 광 신호를, 타단에 접속된 광 통신부(150)에 전송한다.
렌즈부(130)는, 기판 상에서 광 커플러(12)와 대향해 설치되어, 광 커플러(12)와 광 전송로(120)의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 집광시킨다. 렌즈부(130)는, 1 개 이상의 광학 렌즈이어도 된다. 또한, 렌즈부(130)는, 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방이 가변인 가변 초점 렌즈를 가진다. 또한, 렌즈부(130)는, 초점 거리 및 초점 위치가 고정인 광학 렌즈와, 가변 초점 렌즈를 가져도 된다. 여기서 렌즈부(130)가 가지는 가변 초점 렌즈는, 전기 신호에 의해 액정의 배향 방향을 제어하여, 초점 거리 및 초점 위치를 변경하는 액정 렌즈이어도 된다.
이에 대신하여, 가변 초점 렌즈는, 전기 신호에 의해 굴절률이 변화하는 KTN(탄탈산니오브산칼륨), PZT(티탄산지르콘산연) 등의 전기 광학 결정을 이용한 가변 초점 렌즈이어도 된다. 이에 대신하여, 가변 초점 렌즈는, 서로 서로 섞이지 않는 액체끼리의 계면을 빛의 굴절면으로서 이용하고, 굴절면 형상을 액체의 압력으로 제어하는 다이나몰프 렌즈이어도 된다. 이에 대신하여, 가변 초점 렌즈는, 실리콘·겔을 고분자 액츄에이터에 의해 개구부에 밀어내는 것으로, 겔의 표면이 만곡해 렌즈가 되는 가변 초점 렌즈이어도 된다. 가변 초점 렌즈는, 렌즈 제어부(140)에 의해 초점이 제어되어도 된다.
렌즈 제어부(140)는, 렌즈부(130)가 가지는 가변 초점 렌즈의 초점을 제어 한다. 예를 들면, 렌즈 제어부(140)는, 렌즈부(130)의 초점 거리를 맞추어 광 결합을 확립하는 초점 거리 제어부(142)를 더 포함하여, 렌즈부(130)의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상에 맞춘다. 또한, 렌즈 제어부(140)는, 렌즈부(130)의 초점 위치를 변경해 광 결합을 확립하는 초점 위치 제어부(144)를 더 구비하여 렌즈부(130)의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상에 있는 미리 정해진 집광 위치에 맞춘다. 또한, 렌즈 제어부(140)는, 렌즈부(130)가 초점 위치가 고정인 렌즈 및 렌즈 위치를 이동하는 이동 스테이지를 가지는 경우, 이동 스테이지에 제어 신호를 송신하여 고정 렌즈의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상 및/또는 광 커플러(12)의 표면 상에 있는 미리 정해진 집광 위치에 맞추어도 된다.
광 통신부(150)는, 광 전송로(120) 및 렌즈부(130)를 통해서 피시험 디바이스(10)의 광 커플러(12)에 접속되어, 피시험 디바이스(10)와의 사이에 광 신호를 전송한다. 광 통신부(150)는 기판(110) 상에 탑재되어도 되고, 이에 대신하여 별도 기판 상에 탑재되어도 된다. 광 통신부(150)는, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)에 공급하는 전기 신호의 시험 신호를 광 신호로 변환하고, 피시험 디바이스(10)로부터 수신하는 광 응답 신호를 전기 신호의 응답 신호로 변환한다.
전기 통신부(160)는, 전극(119)을 통해서 피시험 디바이스(10)와의 사이에 전기 신호를 전송한다. 전기 통신부(160)는, 기판(110)에 탑재되어도 되고, 이에 대신하여 별도 기판으로서 시험 장치(100)에 탑재되어도 된다. 전기 통신부(160)는, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)에 전원을 공급한다. 또한, 전기 통신부(160)는, 피시험 디바이스(10)에 광 시험 신호에 비해 낮은 주파수의 클록 신호 및/또는 시험 신호를 공급하여도 된다.
이동부(170)는, 피시험 디바이스(10)를 흡착해 이동시켜, 기판(110)에 탑재한다. 이동부(170)는, 흡착부(172)와 흡인부(174)를 가진다. 흡착부(172)는, 이동부(170)의 표면 상에 형성되어, 피시험 디바이스(10)와 물리적으로 접촉하여 피시험 디바이스(10)를 흡인해 흡착하여도 된다. 흡인부(174)는, 펌프 등에 접속되어 흡착부(172)로부터 공기 또는 분위기 가스 등을 흡인한다. 이동부(170)는, XYZθ 스테이지 등을 가져, 제어부(180)의 제어 신호에 의해 이동하여도 된다.
이동 제어부(180)는, 이동부(170)에 제어 신호를 송신하여 이동부(170)를 이동시켜, 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 상대 위치를 제어한다. 이동 제어부(180)는, 이동부(170)의 이동량을 센서 등에 의해 검출해 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 상대 위치를 취득하여도 된다. 예를 들면, 시험 장치(100)는, 기판(110) 또는 이동부(170)의 재질을 적외선을 투과시키는 유리 또는 실리콘으로 하여, 이동부(170)의 상방 또는 기판(110) 하방으로부터 적외선을 피시험 디바이스(10)를 향해 조사한다. 이동 제어부(180)는, 기판(110) 또는 이동부(170)를 투과하여 피시험 디바이스(10)를 조사한 적외선의 투과광 또는 반사광을 검출함으로써, 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 상대 위치를 취득하여도 된다.
여기서, 기판(110) 및/또는 이동부(170)는, 적외광을 조사해야 할 얼라인먼트 마크를 가져도 된다. 이동 제어부(180)는, 적외광이 얼라인먼트 마크를 조사하는 기판(110) 및/또는 이동부(170)의 위치를 검출하는 것에 의해, 기판(110) 및/또는 이동부(170)의 위치의 얼라인먼트를 취하여도 된다.
도 2는, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작 플로우를 나타낸다. 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)를 이동부(170)에 흡착한다(S200). 여기서, 시험 장치(100)는, 이동부(170) 및 기판(110)의 상대 위치를 얼라인먼트하여도 된다.
이동 제어부(180)는, 이동부(170)에 제어 신호를 송신하여, 피시험 디바이스(10)를 기판(110)에 탑재하는 위치에 이동시킨다(S210). 시험 장치(100)는, 렌즈부(130)의 초점 위치를 조정할 수 있으므로, 일례로서 피시험 디바이스(10)의 단자(16)와 기판(110)의 전극(119)을 전기적으로 접속시킨 후에, 렌즈부(130)의 초점 위치를 조정한다. 거기서, 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)의 단자(16)와 기판(110)의 전극(119)을 물리적으로 접촉시키는 위치에, 피시험 디바이스(10)를 이동시킨다.
다음으로, 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)를 기판(110)에 흡착시킨다(S220). 이에 의해, 시험 장치(100)는, 전기적 접속을 확보한 채로 피시험 디바이스(10)를 기판(110)에 탑재한다.
시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)의 전기 접속을 시험한다(S230). 시험 장치(100)는, 전기 통신부(160)로부터 미리 정해진 전기 신호 즉 예를 들면, 미리 정해진 Hi/Lo 등의 논리값 또는 패턴의 전기 신호를 전극(119)을 통해서 단자(16)에 공급한다. 그리고 시험 장치(100)는, 단자(16)로부터 출력되는 응답 신호를 전극(119)을 통해서 전기 통신부(160)로 수취하여, 전기 신호의 접속 상태를 시험한다.
시험 장치(100)는, 예를 들면, 전기 통신부(160)로부터 미리 정해진 전기 신호로서 일정 전압을 공급하는 동시에, 미리 정해진 범위의 전압값을 전기 통신부(160)가 수신하는 것으로 접속 상태가 양호하다고 판단한다. 시험 장치(100)는, 양호한 접속 상태를 검출할 수 없는 경우, 피시험 디바이스(10)의 위치를 바꾼다. 즉, 시험 장치(100)는, 기판(110)의 흡착부(112)에 의한 피시험 디바이스(10)의 흡착을 해제하고(S240), 단계 S210로 돌아와 이동부(170)에 의한 피시험 디바이스(10)의 기판(110) 상에의 탑재를 재차 실행한다. 시험 장치(100)는, 전기 접속의 시험 결과가 양호해질 때까지, 단계 S210 내지 단계 S230의 과정을 반복하여도 된다.
여기서 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)의 탑재를 반복해도 전기 접속 시험 결과가 양호해지지 않는 경우, 피시험 디바이스(10)가 불량이라고 판단하여도 된다. 예를 들면, 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)의 탑재를 미리 정해진 회수 반복해도 전기 접속 시험이 불량인 경우, 피시험 디바이스(10)의 전기 인터페이스가 불량이라고 판단하여 해당 피시험 디바이스(10)의 시험을 종료한다.
시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)의 전기 접속 시험이 양호해진 경우, 렌즈부(130)의 초점을 조정한다(S250). 예를 들면, 시험 장치(100)는, 렌즈 제어부(140)의 초점 거리 제어부(142)로부터 제어 신호를 송신하고, 렌즈부(130)의 초점 거리를 광 커플러(12)의 표면 상에 맞춘다. 여기서, 초점 거리 제어부(142)는, 미리 정해진 거리에 렌즈부(130)의 초점 거리를 맞추어도 된다. 시험 장치(100)는, 미리 렌즈부(130)와 광 커플러(12)의 거리를 측정하여 기록해 두고, 기록한 거리를 독출하여 렌즈부(130)의 초점 거리와 맞추어도 된다.
이에 대신하여, 렌즈부(130)는, 광 전송로(120)로부터 출력되는 광 신호가 광 커플러(12)의 표면 상에서 반사광 또는 산란광이 되는 성분을 검출하는 광 검출부를 포함해, 초점 거리 제어부(142)는, 광 검출부가 관측하는 반사광 또는 산란광의 강도에 따라 초점 거리를 맞추어도 된다. 예를 들면, 렌즈부(130)는, 광 커플러(12)의 표면 상에 초점 거리를 맞춘 경우, 광 전송로(120)로부터 출력되는 광 신호는 광 커플러(12)의 표면 상의 1 점에 집광하므로, 반사광 및 산란광 강도는 가장 강해진다. 따라서, 시험 장치(100)는, 광 통신부(150)로부터 일정 강도의 광 출력을 출력시켜 광 전송로(120)를 통해서 광 커플러(12)의 표면으로 향해 조사하면서 렌즈부(130)의 초점 거리를 바꾸어, 광 커플러(12)의 표면에서 생기는 반사광 또는 산란광이 가장 강해지는 초점 거리에 맞추어 고정하여도 된다.
이에 대신하여, 렌즈부(130)는, 광 커플러(12)와의 거리를 측정하는 목적으로, 광 커플러(12)에 레이저 광을 조사해 광 커플러(12)의 표면에서 반사한 반사광을 수광하는 것으로 광 커플러(12)와의 거리를 관측하는 거리계를 포함하고, 초점 거리 제어부(142)는, 거리계가 관측하는 렌즈부(130)와 광 커플러(12)의 거리에 따라 초점 거리를 맞추어도 된다.
시험 장치(100)는, 렌즈부(130)의 초점 거리를 광 커플러(12)의 표면 상에 맞춘 후에, 렌즈부(130)의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상에서 변경하여, 광 커플러(12)의 표면 상에 있는 미리 정해진 집광 위치에 맞추어도 된다. 예를 들면, 시험 장치(100)는, 렌즈 제어부(140)의 초점 위치 제어부(144)로부터 제어 신호를 송신하여, 렌즈부(130)의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상에 맞춘다.
여기서, 초점 위치 제어부(144)는, 예를 들면, 렌즈부(130)의 초점 위치를 렌즈와 평행한 면 내에서 나선 형상으로 이동시키면서 광결합 상태를 검출하여, 광결합이 확립하는 초점 위치를 검출한다. 이에 대신하여, 초점 위치 제어부(144)는, 렌즈부(130)의 초점 위치를 렌즈와 평행한 면 내에서 복수의 직선 상을 이동시키면서 광결합 상태를 주사하여 검출해, 광결합이 확립하는 초점 위치를 검출하여도 된다. 이에 의해 초점 위치 제어부(144)는, 렌즈부(130)의 초점 위치를 연속적으로 주사하여 광 커플러(12)의 표면 상에 있는 미리 정해진 집광 위치에 맞추므로, 초점 위치를 고속으로 맞출 수 있다.
또한, 초점 위치 제어부(144)는, 렌즈부(130)의 초점 직경을 넓혀 광결합을 확립할 수 있는 초점 위치의 근방까지 초점을 변경해 대략 조정하고, 그 후에 초점 직경을 좁혀 초점 위치를 미세 조정하여도 된다. 이에 의해, 초점 위치 제어부(144)는, 렌즈부(130)의 초점 직경을 넓히기 전에 비해 광 커플러(12)의 표면 상을 주사하는 거리를 짧게 할 수 있어 보다 고속으로 초점 위치를 맞출 수 있다.
여기서, 피시험 디바이스(10)는, 광 커플러(12)에 입사하는 광 신호를 수광하고, 수광한 광 신호 강도가 미리 정해진 광 강도 범위 내인지 여부를 전기 신호 또는 광 신호로 시험 장치(100)에 통지하여도 된다. 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)는, 광 커플러(12)로부터 수광한 광 신호 강도를 검출하고, 전기 신호 또는 광 신호로 시험 장치(100)에 통지하여도 된다. 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)는, 광 커플러(12)로부터 수광한 광 신호의 일부를 광 신호로 시험 장치(100)에 송신하여도 된다. 이 경우, 피시험 디바이스(10)는, 광 커플러(12)로부터 수광한 광 신호를 광 분기 커플러 등으로 분기하고, 일방을 내부의 광 회로에 입사시켜 타방을 시험 장치(100)에 송신하여도 된다. 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)는, 렌즈부(130)의 초점을 조정하는 경우, 광 스위치 등으로 스위칭하여 광 커플러(12)로부터 수광한 광 신호를 시험 장치(100)에 송신하여도 된다.
시험 장치(100)는, 렌즈부(130)를 통해서 광 커플러(12)에 조사한 광 신호에 따라 피시험 디바이스(10)로부터 송신되는 전기 신호 또는 광 신호에 기초하여, 렌즈부(130)의 초점 위치를 광 커플러(12)의 표면 상에 맞추어 광 접속을 시험해도 된다(S260). 예를 들면, 피시험 디바이스(10)로부터 송신되는 신호가 전기 신호인 경우, 단계 S230까지 확립한 전기 접속을 이용하여, 전기 신호를 주고 받아 렌즈부(130)의 초점 위치가 올바르게 조정할 수 있었는지 여부를 판별한다. 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)로부터 송신되는 신호가 광 신호인 경우, 기판(110)은 해당 광 신호를 검출하는 광 검출부를 더 가져, 검출한 광 신호에 기초하여, 렌즈부(130)의 초점 위치가 올바르게 조정할 수 있었는지 여부를 판별하여도 된다.
시험 장치(100)는, 광 접속이 불량인 경우에, 렌즈부(130)의 초점 위치를 바꾼다. 즉, 시험 장치(100)는, 광 접속의 시험 결과가 양호해질 때까지, 단계 S250 내지 단계 S260의 과정을 반복하여도 된다.
여기서 시험 장치(100)는, 렌즈부(130)의 초점 위치의 변경을 반복해도 광 접속 시험 결과가 양호해지지 않는 경우, 피시험 디바이스(10)가 불량이라고 판단하여도 된다. 예를 들면, 시험 장치(100)는, 렌즈부(130)의 초점 위치의 변경을 미리 정해진 시간 또는 회수 반복해도 광 접속 시험이 불량인 경우, 피시험 디바이스(10)의 광 인터페이스 및/또는 광 인터페이스와 전기 인터페이스의 상대 위치 등이 불량이라고 판단하여 해당 피시험 디바이스(10)의 시험을 종료한다.
시험 장치(100)는, 양호한 광 접속이 얻어진 경우, 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 접속 시험을 종료시켜, 이동부(170)의 흡착을 해제한다(S270). 이상의 본 실시예에 의해, 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)와 기판(110)의 양호한 광 접속 및 전기 접속을 얻는 동시에, 광 입출력의 정밀한 광축 조정 없이 피시험 디바이스(10)를 기판(110) 상에 탑재할 수 있다. 시험 장치(100)는, 다음으로, 피시험 디바이스(10)의 동작 시험을 개시하여도 된다.
이상의 실시예에서, 시험 장치(100)는, 렌즈부(130)의 초점 거리 및 초점 위치를 조정해 광 결합을 확립하는 예에 대해 설명했다. 이에 대신하여, 시험 장치(100)는, 확립한 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방의 렌즈부(130)의 제어 정보를 미리 기억하고, 기억한 제어 정보를 독출하여 확립한 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방을 재현하여도 된다. 이에 의해, 시험 장치(100)는, 광 결합을 확립하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 시험 장치(100)는, 기억한 제어 정보에 기초하는 동일한 초점 거리 및 초점 위치를 광 결합에 이용하는 것으로, 피시험 디바이스(10)가 구비한 광 커플러(12)의 집광 위치의 정밀도 및/또는 불균형을 관측할 수 있다.
도 3은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 구성례를 피시험 디바이스(10)와 함께 도시한다. 본 실시예의 시험 장치(100)는, 도 1에 나타난 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작과 실질적으로 동일한 것에는 동일한 부호를 부여하고 설명을 생략한다. 시험 장치(100)는, 아날로그 회로, 디지털 회로, 아날로그/디지털 혼재 회로, 메모리, 및 시스템·온·칩(SOC) 등이며, 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하기 위한 광 커플러를 구비하는 피시험 디바이스(10)와 광 신호 및 전기 신호를 주고 받아 시험한다.
시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)를 시험하기 위한 시험 패턴에 기초하는 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 공급하고, 시험 신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 출력 신호에 기초하여 피시험 디바이스(10)의 양부를 판정한다. 여기서, 시험 장치(100)가 피시험 디바이스(10)에 공급하는 시험 신호는, 전기 신호 및/또는 광 신호이어도 되고, 또한, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 출력 신호도 전기 신호 및/또는 광 신호이어도 된다. 시험 장치(100)는, 신호 발생부(410)와, 신호 수신부(420)와, 비교부(430)를 더 구비한다.
신호 발생부(410)는, 시험 프로그램에 따라 피시험 디바이스(10)에 공급하는 복수의 시험 신호를 발생한다. 신호 발생부(410)는, 광 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 공급하는 경우는 시험 신호를 광 통신부(150)에 송신한다. 광 통신부(150)는, 수신한 시험 신호를 전광 변환한 광 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 공급한다. 또한, 신호 발생부(410)는, 전기 신호의 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 공급하는 경우는 시험 신호를 광 통신부(150)에 송신한다. 광 통신부(150)는, 수신한 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 공급한다. 신호 발생부(410)는, 시험 신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 응답 신호의 기대값을 생성하여 비교부(430)에 송신하여도 된다.
광 통신부(150)는, 피시험 디바이스(10)가 전기 신호 또는 광 신호의 시험 신호에 따라 출력하는 광 응답 신호를 수신한 경우, 광 응답 신호를 광전 변환한 응답 신호를 신호 수신부(420)에 송신한다. 또한, 광 통신부(150)는, 피시험 디바이스(10)가 전기 신호 또는 광 신호의 시험 신호에 따라 출력하는 전기 신호의 응답 신호를 수신한 경우, 수신한 응답 신호를 신호 수신부(420)에 송신한다. 신호 수신부(420)는, 수신한 응답 신호를 비교부(430)에 송신하여도 된다. 또한, 신호 수신부(420)는, 수신한 응답 신호를 기록 장치에 기록하여도 된다.
비교부(430)는, 신호 발생부(410)로부터 수신한 기대값과 비교부(430)로부터 수신한 응답 신호를 비교한다. 시험 장치(100)는, 비교부(430)의 비교 결과에 기초하여, 피시험 디바이스(10)의 양부를 판정하여도 된다. 이에 의해 시험 장치(100)는, 광 커플러를 구비하는 피시험 디바이스(10)와 광 신호 및 전기 신호를 주고 받아 시험할 수 있다.
또한, 시험 장치(100)는, 전기 신호에서는 전송하는 것이 곤란한, 예를 들면 수 백 MHz 이상의 고주파 신호를 광 신호로 하여 전송하는 것에 의해, 피시험 디바이스(10)와의 시험 신호 및 응답 신호를 고속으로 주고 받을 수 있다. 이에 의해, 시험 장치(100)는, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)를 실제의 동작 속도로 동작시켜 시험을 실시시킬 수도 있다.
이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용해 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능하다라고 하는 것이 당업자에게 분명하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 특허 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.
특허 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중에서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「앞서며」등으로 명시하고 있지 않고, 또한, 전의 처리의 출력을 후의 처리에 이용하지 않는 한, 임의의 순서로 실현할 수 있다는 것에 유의해야 한다. 특허 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중의 동작 플로우에 관해서, 편의상 「우선,」, 「다음으로,」등을 이용하여 설명했다고 해도, 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.
10 피시험 디바이스
12 광 커플러
16 단자
100 시험 장치
110 기판
112 흡착부
113 흡인부
119 전극
120 광 전송로
130 렌즈부
140 렌즈 제어부
142 초점 거리 제어부
144 초점 위치 제어부
150 광 통신부
160 전기 통신부
170 이동부
172 흡착부
174 흡인부
180 이동 제어부
410 신호 발생부
420 신호 수신부
430 비교부

Claims (16)

  1. 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하는 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치에 있어서,
    상기 피시험 디바이스가 탑재되는 기판;
    상기 광 신호를 전송하는 광 전송로;
    상기 기판 상에서 상기 광 커플러와 대향해 설치되어, 상기 광 커플러와 상기 광 전송로의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 집광시키는 렌즈부; 및
    상기 렌즈부의 초점 거리를 상기 광 커플러의 표면상에 맞추어, 상기 피시험 디바이스와 상기 기판의 양호한 광 결합을 얻는 동시에, 광 입출력의 정밀한 광축 조정 없이 상기 피시험 디바이스를 상기 기판 상에 탑재 가능한 상태를 나타내는 광결합을 확립하는 초점 거리 제어부
    를 포함하고,
    상기 렌즈부는, 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방이 가변인 가변 초점 렌즈를 포함하며,
    상기 시험 장치는 광 신호를 시험 신호로서 이용하여 상기 피시험 디바이스의 광 입력부에 입력시키는 동시에, 상기 피시험 디바이스의 광 출력부로부터 출력하는 광 응답 신호를 검출하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광 전송로를 통해서 상기 피시험 디바이스의 상기 광 커플러에 접속되어, 상기 피시험 디바이스와의 사이에 광 신호를 전송하는 광 통신부
    를 더 포함하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가변 초점 렌즈는, 전기 신호에 의해 액정의 배향 방향을 제어하여, 초점 거리 및 초점 위치를 변경하는 액정 렌즈인,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈부의 초점 위치를 변경해 광결합을 확립하는 초점 위치 제어부를 더 포함하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 초점 위치 제어부는, 상기 렌즈부의 초점 위치를 렌즈와 평행한 면 내 에서 나선 형상으로 이동시키면서 광결합 상태를 검출하여, 광 결합이 확립하는 초점 위치를 검출하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 초점 위치 제어부는, 상기 렌즈부의 초점 직경을 넓혀 광결합을 확립할 수 있는 초점 위치의 근방까지 초점을 변경하여 조정하고, 그 후에 초점 직경을 좁혀 초점 위치를 미세 조정하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 피시험 디바이스는, 전기 신호를 전송하기 위한 단자를 더 포함하고,
    상기 시험 장치는, 상기 피시험 디바이스와의 사이에 전기 신호를 전송하는 전기 통신부를 더 포함하고,
    상기 기판은, 상기 전기 통신부에 접속되어 상기 피시험 디바이스의 단자와 접촉하는 전극을 포함하고,
    상기 시험 장치는, 상기 피시험 디바이스의 단자와 상기 기판의 전극을 전기적으로 접속시킨 후에, 상기 렌즈부의 초점 위치를 조정하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈부는, 초점 거리 및 초점 위치가 고정인 광학 렌즈와, 가변 초점 렌즈를 포함하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판은, 상기 피시험 디바이스를 흡인해 흡착하는 흡착부를 포함하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  12. 제1항, 제2항, 제4항 및 제6항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시험 장치는, 상기 피시험 디바이스를 상기 기판에 탑재시키도록 상기 피시험 디바이스를 이동시키는 이동부를 더 포함하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치.
  13. 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하는 광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 장치로 상기 피시험 디바이스를 시험하기 위한 시험 방법에 있어서,
    상기 피시험 디바이스가 기판에 탑재되는 기판 탑재 단계;
    상기 광 신호를 광 전송로로 전송하는 광 전송 단계;
    상기 기판 상에서 상기 광 커플러와 대향해 설치되어, 상기 광 커플러와 상기 광 전송로의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 렌즈부로 집광시키는 집광 단계; 및
    상기 렌즈부의 초점 거리를 상기 광 커플러의 표면상에 맞추어, 상기 피시험 디바이스와 상기 기판의 양호한 광 결합을 얻는 동시에, 광 입출력의 정밀한 광축 조정 없이 상기 피시험 디바이스를 상기 기판 상에 탑재 가능한 상태를 나타내는 광결합을 확립하는 초점 거리 제어 단계
    를 포함하고,
    상기 렌즈부는, 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방이 가변인 가변 초점 렌즈를 포함하고,
    상기 기판 탑재 단계, 상기 광 전송 단계, 상기 집광 단계 및 상기 초점 거리 제어 단계는, 상기 시험 장치에 의해 수행되며,
    상기 시험 장치는 광 신호를 시험 신호로서 이용하여 상기 피시험 디바이스의 광 입력부에 입력시키는 동시에, 상기 피시험 디바이스의 광 출력부로부터 출력하는 광 응답 신호를 검출하는,
    광 커플러를 가지는 피시험 디바이스를 시험 장치로 시험하기 위한 시험 방법.
  14. 디바이스 면과 수직 방향으로 광 신호를 전송하는 광 커플러를 가지는 디바이스와 광 신호를 주고 받는 디바이스 인터페이스에 있어서,
    상기 디바이스가 탑재되는 기판;
    상기 광 신호를 전송하는 광 전송로;
    상기 기판 상에서 상기 광 커플러와 대향해 설치되어, 상기 광 커플러와 상기 광 전송로의 단부의 일방으로부터의 광 신호를 타방으로 집광시키는 렌즈부; 및
    상기 렌즈부의 초점 거리를 상기 광 커플러의 표면상에 맞추어, 피시험 디바이스와 상기 기판의 양호한 광 결합을 얻는 동시에, 광 입출력의 정밀한 광축 조정 없이 상기 피시험 디바이스를 상기 기판 상에 탑재 가능한 상태를 나타내는 광결합을 확립하는 초점 거리 제어부; 및
    광 신호를 시험 신호로서 이용하여 피시험 디바이스의 광 입력부에 입력시키는 동시에, 피시험 디바이스의 광 출력부로부터 출력하는 광 응답 신호를 검출하는 시험 장치
    를 포함하고,
    상기 렌즈부는, 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방이 가변인 가변 초점 렌즈인,
    디바이스 인터페이스.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 디바이스 인터페이스는, 상기 렌즈부의 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방을 조정해 광 결합을 확립하는,
    디바이스 인터페이스.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서,
    상기 디바이스 인터페이스는, 확립한 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방의 상기 렌즈부의 제어 정보를 미리 기억하고, 기억한 제어 정보를 독출하여 상기 확립한 초점 거리 및 초점 위치의 적어도 일방을 재현하는,
    디바이스 인터페이스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6390355B2 (ja) * 2014-11-06 2018-09-19 オムロン株式会社 給電装置および給電方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003254905A (ja) * 2001-03-22 2003-09-10 Fuji Photo Film Co Ltd 測定装置
KR20030080934A (ko) * 2002-04-11 2003-10-17 주식회사 마크로젠 바이오 형광 측정용 마이크로 측정시스템
KR20070118594A (ko) * 2005-01-21 2007-12-17 존슨 앤드 존슨 비젼 케어, 인코포레이티드 가변 초점 거리를 갖는 적응성 전기 활성 렌즈
KR20100035660A (ko) * 2007-08-23 2010-04-05 가부시키가이샤 어드밴티스트 시험 시스템 및 도터 유닛

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003254905A (ja) * 2001-03-22 2003-09-10 Fuji Photo Film Co Ltd 測定装置
KR20030080934A (ko) * 2002-04-11 2003-10-17 주식회사 마크로젠 바이오 형광 측정용 마이크로 측정시스템
KR20070118594A (ko) * 2005-01-21 2007-12-17 존슨 앤드 존슨 비젼 케어, 인코포레이티드 가변 초점 거리를 갖는 적응성 전기 활성 렌즈
KR20100035660A (ko) * 2007-08-23 2010-04-05 가부시키가이샤 어드밴티스트 시험 시스템 및 도터 유닛

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