JP2003194880A - 光デバイス搬送用トレイ、該トレイを用いる光デバイス自動検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバ等を備えた光デバイスを簡単に収
容でき、測定に係る作業手順を効率化できる光デバイス
搬送用トレイと、この搬送用トレイを用いる事により、
測定精度の高精度化、部品点数の削減による低コスト化
が図れること。 【解決手段】 トレイ２０は、基台と可動台で構成さ
れ、光電変換素子７１、光ファイバ、光コネクタを備え
てなる光デバイス７０を収容する。搬送部１０は、トレ
イ２０を測定部６まで搬送方向Ｘに搬送させる。測定部
６に搬送させる際、トレイ２０の可動台２２のみ下方に
回動させ光電変換素子７１の下面を空ける。光電変換素
子７１は、可動台２２の回動前に保持部１３で吸着さ
れ、測定部６のテストフィクスチャ１５に直接載せるこ
とができるため、高精度な特性測定が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光デバイスを搬送
し検査するための光デバイス搬送用トレイと、検査装置
に係り、特に、光デバイス、光ファイバ、コネクタが一
体化された光デバイスを効率よく検査するための光デバ
イス搬送用トレイ、該トレイを用いる光デバイス自動検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１４は、光デバイスの一例を示す斜視
図である。図示の光デバイス７０は、光信号と電気信号
を相互に入出力変換する光電変換素子７１と、光コネク
タ７２と、光電変換素子７１と光コネクタ７２間に設け
られる光ファイバ７３で構成される。光電変換素子７１
には、複数の電気接続端子（リード）７４が設けられ
る。

【０００３】光電変換素子７１は、リード７４に電気信
号が入力され、電気−光変換して光信号を光コネクタ７
２から出力する。逆に、光コネクタ７２から入力された
光信号を光−電気変換して電気信号をリード７４から出
力する。このように、光電変換素子７１は、双方向の光
電変換を行う。なお、光電変換素子７１内部には、光出
力用のレーザダイオード（ＬＤ）の他、ＬＤの光出力を
モニタするフォトダイオード（ＰＤ）、温度検出用のサ
ーミスタ等が内蔵されている。なお、リード７４は、サ
ーミスタ出力、ＬＤのバイアス，アノード，カソード、
ＰＤアノード，カソード、アース等の各端子からなる。

【０００４】図１５は、従来の電子部品検査装置を示す
側面図である。この検査装置８０は、大別して、ローダ
部８１、トレイ受け渡し部８２、測定部８３、印字部８
４、トレイ受け渡し部８５、アンローダ部８６、搬送部
８７で構成されている。

【０００５】ローダ部８１には、光デバイス７０が予め
装着されたトレイ８８が積載され、下方から１個ずつト
レイ８８をトレイ受け渡し部８２に供給する。トレイ受
け渡し部８２は、ローダ部８１から供給されたトレイ８
８を受け取り搬送部８７に受け渡す。搬送部８７はトレ
イ８８を搬送方向Ｘに搬送させる。

【０００６】搬送部８７の搬送経路中に設けられる測定
部８３では、光デバイス７０の特性を測定する。次に、
印字部８４で製造番号や測定結果等が光電変換素子７１
のパッケージ表面に印字される。次に、トレイ受け渡し
部８５でトレイ８８をアンローダ部８６に受け渡す。ア
ンローダ部８６は、受け渡されたトレイ８８を順次上方
に積載する。

【０００７】図１６は、従来の検査装置８０で用いられ
るトレイ８８を示す図である。図１６（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。トレイ８８は、内部に光デバイ
ス７０全体を複数個（図示の例では５個）収容するた
め、中空の箱形状に形成されている。光デバイス７０
は、上記のように、光ファイバ７２を備えており、この
光ファイバ７２が所定長さと撓み特性を有して取り扱い
にくいことから、トレイ８８に収容して検査するように
なっている。トレイ８８内部には、テストフィクスチャ
（ソケット）９０が設けられ、図示しないレバー操作で
ソケット９０上に光電変換素子７１を着脱可能に固定保
持する。

【０００８】また、トレイ８８の一側面８８ａには、光
デバイス７０に対する電源、電気信号入出力、光入出力
用の各接続端子９１，９２，９３が設けられている。電
源端子９１、電気信号入出力端子９２は、接続ケーブル
９４，９５を介してそれぞれソケット９０に接続され、
ソケット９０から光デバイス７０のリード７４に電気的
に接続される。光入出力用の光接続端子９３の内部側に
は、光デバイス７０の光コネクタ７２が接続される。

【０００９】このように、トレイ８８の一側面８８ａに
光デバイス７０の測定用の接続端子９１，９２，９３を
設けることにより、測定部８３では、この一側面８８ａ
側に向けてプローブが移動して、簡単に電気的（光を含
め）接続が図れるようになっている。なお、トレイ８８
には、複数の光デバイス７０用にそれぞれ、接続端子９
１，９２，９３が設けられており、搬送部８７は、測定
部８３部分でトレイ８８をこの光デバイス７０（接続端
子９１，９２，９３）の配置ピッチＡに対応して移動さ
せ、各光デバイス７０を順次測定するようになってい
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来の検査装置は、光
デバイス７０の測定に係る構成が複雑であり、以下に説
明するような問題があった。 １）トレイ８８の一側面８８ａに全ての接続端子９１，
９２，９３を設けるため、電気信号入出力端子９２、お
よび光コネクタ７２部分での信号損失が生じた。特に、
近年は、光デバイス７０の高周波化が進んでおり、高周
波になるほど、電気信号入出力端子９２を設けると、こ
の部分での反射、減衰が生じて正確な測定が行えなくな
る。

【００１１】２）トレイ８８内でソケット９０から電源
端子９１、電気信号入出力端子９２間を接続する接続ケ
ーブル９４，９５と、電源端子９１、電気信号入出力端
子９２を設ける必要があり、部品数が多くコスト高とな
る。

【００１２】３）トレイ８８内に組み込む光デバイス７
０の個数分のソケット９０が必要となる。測定時には、
ソケット９０が個々に有する特性のばらつきを測定部８
３の図示しない測定回路が電気的に補正するよう構成さ
れているが、ソケット９０の個数が増えると、その個数
分の補正値を予め格納し、読み出し補正する等の処理が
必要となる。１つのトレイ８８あたり５個のソケット９
０であるが、実際には、図１５に示すように、検査効率
を向上させるため、ローダ部８１には、複数個のトレイ
８８を積載して運用している。この場合、ソケット９０
の個数は、（トレイ８８の個数×５）となり、多数のソ
ケット９０毎の補正を個々に行わねばならず、ソケット
９０の特定作業も含め、補正の為の処理が複雑になっ
た。また、ソケット９０の個数が多くコスト高となっ
た。

【００１３】４）トレイ８８に対する光デバイス７０の
装着に手間がかかった。トレイ８８に対する光デバイス
７０の装着時、光電変換素子７１をソケット９０に取り
付け、レバー固定する操作と、光コネクタ７２を光接続
端子９３に装着する２つの作業が必要であり、検査後に
いずれも取り外す操作が必要であった。なお、光デバイ
ス７０の装着前においても、トレイ８８内でソケット９
０から電源端子９１、電気信号入出力端子９２間を接続
ケーブル９４，９５で接続する作業と、電源端子９１、
電気信号入出力端子９２をトレイ８８の一側面８８ａに
固定する作業が必要である。

【００１４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、光ファイバ等を備えた光デバイスを簡
単に収容でき、測定に係る作業手順を効率化できる光デ
バイス搬送用トレイと、この搬送用トレイを用いる事に
より、測定精度の高精度化、部品点数の削減による低コ
スト化が図れる光デバイス自動検査装置を提供すること
を目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光デバイス搬送用トレイは、予め光部品７
１，７２，７４と所定長の光ファイバ７３が組み合わせ
形成されている光デバイス７０の各種特性を自動測定す
るために該光デバイスを収容保持する光デバイス搬送用
トレイ２０において、基台２１と、該基台と連接され、
該基台と略面一な面を有して前記光デバイスを支持し、
前記光デバイスの一部を露出するように作動可能な可動
台２２とを備えたことを特徴とする。

【００１６】また、前記基台２１の面に対し、前記可動
台２２の面が折曲する方向に回動自在に構成してもよ
い。

【００１７】また、前記基台２１に対し、前記可動台２
２が前記基台側に収容される方向にスライド自在に構成
してもよい。

【００１８】また、前記基台２１の面に対し、前記可動
台２２が面一な状態で前記基台に対し垂直な軸を中心に
回動自在に構成してもよい。

【００１９】また、前記光デバイス７０を複数収容可能
であり、１つの基台２１に対し、前記可動台２２が前記
光デバイスの収容個数に応じて分割され、個々に移動可
能に構成してもよい。

【００２０】また、前記光デバイス７０は、光−電気信
号の変換を行い電気信号入出力用のリード７４を有する
光電変換素子７１と、該光電変換素子に一端が接続され
た光ファイバ７３、および該光ファイバの他端に設けら
れる光コネクタ７２で構成され、前記基台２１には、前
記光コネクタと、該光コネクタに一端が接続された前記
光ファイバが収容され、前記可動台２２には、前記光フ
ァイバの一部と、光電変換素子が載置され、該可動台
は、前記光電変換素子のリードを測定に用いるテストフ
ィクスチャ１５に装着する際に、該テストフィクスチャ
に干渉しないよう移動可能に構成してもよい。

【００２１】また、前記光デバイス７０は、光信号をア
イソレートする光アイソレータ７４と、該光アイソレー
タに一端が接続された一対の光ファイバ７３ａ，７３ｂ
と、前記光ファイバの他端に同軸に設けられる融着接続
用の固定金具７５ａ、７５ｂで構成され、前記基台２１
の両側部には、一対の前記可動台２２が移動自在に設け
られ、前記基台には、前記光アイソレータと、該光アイ
ソレータに一端が接続された前記一対の光ファイバが収
容され、前記一対の可動台には、前記光ファイバの一部
と、前記固定金具が収容され、該一対の可動台は、前記
光アイソレータに接続された前記一対の光ファイバ７３
ａ、７３ｂを特性測定に用いる一対の融着用光ファイバ
５５，５６に融着接続する際に、前記融着用光ファイバ
を支持し融着する融着器５８に干渉しないよう移動可能
に構成してもよい。

【００２２】本発明の光デバイス自動検査装置は、前記
請求項１〜７のいずれかに記載の光デバイス搬送用トレ
イ２０を用い、前記光デバイス７０の搬送および特性測
定を行う光デバイス自動検査装置であって、前記トレイ
を搬送する搬送部１０と、前記搬送部の搬送方向Ｘ上に
設けられ、前記光デバイスの特性を測定する測定部６
と、前記測定部で前記光デバイスを測定する際に、前記
トレイの可動台２２を移動させる移動機構と、前記可動
台上に載置された前記光部品７１，７５ａ、７５ｂを吸
着保持し、前記トレイの可動台の移動後の前記光部品を
該吸着状態で前記測定部まで搬送させる保持部１３と、
を備えたことを特徴とする。

【００２３】また、他の発明は、前記光電変換素子７１
を備えた光デバイス７０を収容するトレイ２０を用い、
該光デバイスの搬送および特性測定を行う光デバイス自
動検査装置であって、前記トレイを搬送する搬送部１０
と、前記搬送部の搬送方向Ｘ上に設けられ、前記光デバ
イスの特性を測定する測定部６と、前記測定部で前記光
デバイスを測定する際に、前記トレイの可動台２２を移
動させる移動機構と、前記可動台上に載置された前記光
電変換素子７１を吸着保持し、前記トレイの可動台の移
動後の前記光電変換素子７１を該吸着状態で前記測定部
まで搬送させる保持部１３とを備え、前記測定部６に前
記トレイが搬送された際、前記保持部は、前記光電変換
素子を吸着してリードを該測定部のテストフィクスチャ
１５の接触端子に電気的接触させ、前記基台２１に設け
られた前記光コネクタに対し、接続用の光コネクタ３７
が移動して光接続させ、前記テストフィクスチャを介し
た電気信号と、前記光コネクタを介した光信号を測定回
路３３により入出力させて前記光電変換素子を含む光デ
バイスの特性測定を行う構成としてもよい。

【００２４】また、他の発明は、前記光アイソレータ７
５を備えた光デバイス７０を収容するトレイ２０を用
い、該光デバイスの搬送および特性測定を行う光デバイ
ス自動検査装置であって、前記トレイを搬送する搬送部
１０と、前記搬送部の搬送方向Ｘ上に設けられ、前記光
デバイスの特性を測定する測定部６と、前記測定部で前
記光デバイスを測定する際に、前記トレイの可動台２２
を移動させる移動機構と、前記可動台上に載置された前
記一対の融着接続用の固定金具７５ａ、７５ｂを吸着保
持し、前記トレイの可動台の移動後の前記光部品を該吸
着状態で前記測定部まで搬送させる保持部１３とを備
え、前記測定部６に前記トレイ２０が搬送された際、前
記保持部１３は、一対の前記固定金具５７ａ，５７ｂを
吸着して一対の光ファイバ７３ａ，７３ｂを該測定部の
前記融着器５８の融着用光ファイバ５５，５６に対向配
置させて対向同士の光ファイバを融着可能にさせ、前記
融着された１本の光ファイバに測定回路３３が光信号を
入出力させて前記光アイソレータを含む光デバイスの特
性測定を行う構成としてもよい。

【００２５】また、前記搬送部１０の前段および後段に
は、それぞれ前記トレイ２０を複数収容し、１個ずつ該
搬送部との間で受け渡すローダ３とアンローダ９を備え
た構成にもできる。

【００２６】また、前記測定部６の搬送方向Ｘ前段に
は、該測定部に対し、前記光デバイス７０のうち精密な
位置決めが必要な光部品７１の位置決めを行う位置決め
部５を設けた構成にもできる。

【００２７】また、前記位置決め部５は、前記保持部１
３による前記光部品７１の保持状態を検出部１４で検出
し位置決めする構成としてもよい。

【００２８】上記構成によれば、光電変換素子７１を含
む光デバイス７０を収容したトレイ２０を用いる自動検
査装置１は、トレイ２０を搬送後、可動台２２を移動さ
せ光電変換素子７１下面を空けて露出させるため、測定
部６のテストフィクスチャ１５に直接光電変換素子７１
を載せることができ、高精度な測定が可能となる。この
際、光電変換素子７１は保持部１３で吸着されてテスト
フィクスチャ１５に載せられる。

【００２９】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）図１は、本発明
の光デバイス自動検査装置の全体構成を示す側面図であ
る。自動検査装置１は全体がカバー２で覆われており、
左端には、上記の光デバイス７０を検査のために供給す
るローダ部３が、また、右端には検査後の光デバイス７
０を取り出すアンローダ部９が設けられている。中央部
には、装置を操作するキー、表示ユニットからなる操作
パネル１２が設けられる。

【００３０】図２は、自動検査装置１の各部の配置を示
す側面図である。ローダ部３には、光電変換素子７１が
予め装着されたトレイ（詳細は後述する）２０が積載さ
れ、下方から１個ずつトレイ２０をトレイ受け渡し部４
に供給する。トレイ受け渡し部４は、ローダ部３から供
給されたトレイ２０を受け取り搬送部１０に受け渡す。
搬送部１０は、トレイ２０を搬送方向Ｘに搬送させる。

【００３１】搬送部１０の搬送経路中には、位置決め部
５，測定部６，印字部７が設けられる。位置決め部５
は、光デバイス７０の光電変換素子７１を保持する保持
部（例えば吸着ノズル）１３と、検出部（例えば下方か
ら撮像するＣＣＤ）１４を有し、光電変換素子７１の保
持状態を検出して測定部６で測定可能な状態となるよ
う、Ｘ−Ｙ軸、および角度θを調整（位置決め）して、
この位置決め状態を保持したまま測定部６に移動させ
る。なお、吸着ノズル１３は、搬送方向Ｘに対するトレ
イ２０（光デバイス７０の光コネクタ７２，光ファイバ
７３）の移動とともに同搬送方向Ｘに対し測定部６を過
ぎた位置までの間で往復移動可能である。

【００３２】測定部６は、光電変換素子７１が装着可能
なテストフィクスチャ（測定治具）１５を有し、光電変
換素子７１に対し電気、および光信号を入出力し特性を
測定する。光電変換素子７１は、吸着ノズル１３により
上方からテストフィクスチャ１５に所定の力で押圧され
て各リード７４がテストフィクスチャ１５の接触端子
（不図示）に接触し、電源供給、および電気信号が入出
力される。なお、テストフィクスチャ１５の接触端子
（信号および電源）は、予め測定回路（不図示）との間
で接続ケーブルにより予め接続されている。

【００３３】この際、同時に、測定部６の光接続端子３
７がトレイ２０の光接続端子２４（いずれも後述する）
方向に移動し接続され、光電変換素子７１に対する光入
出力が行われるようになっている（測定時の接続構成は
後述する）。

【００３４】測定部６での測定後、トレイ２０は、印字
部７に移動し、製造番号や測定結果等が印字機構３９に
より光電変換素子７１のパッケージ表面に印字される。
次に、トレイ受け渡し部８でトレイ２０をアンローダ部
９に受け渡す。アンローダ部９は、受け渡されたトレイ
２０を順次積載する。

【００３５】図３は、自動検査装置１の電気的構成を示
すブロック図である。シーケンサ３０は、ローダ部３、
トレイ受け渡し部４，８、位置決め部５、印字部７、ア
ンローダ９、搬送部１０等、装置各部の動作を統括制御
する。また、トレイ２０が印字部７に位置したとき、光
電変換素子７１に対し印字するための印字情報を印字プ
リンタコントローラ３１に出力する。

【００３６】測定制御部（ＰＣ）３２は、測定部６にお
ける光デバイス７０の特性測定のための手順を制御し、
測定回路３３を介して測定信号（光および電気信号）を
光デバイス７０に供給する。測定回路３３で得られた特
性結果は、測定制御部３２に格納される。

【００３７】図３に示すように、測定部６は、光デバイ
ス７０に対する電源供給、および光、電気信号の入出力
用の構成を備えている。測定部６のテストフィクスチャ
１５には、電源ライン３５と、電気信号入出力ライン３
６の一端が接続される。電気信号入出力ライン３６の他
端は、測定回路３３に接続される。

【００３８】また、トレイ２０の光接続端子２４方向に
向けて、外側から光接続端子３７が移動、装着可能に構
成されている。光接続端子３７は、光ファイバ３８を介
して測定回路３３に接続される。

【００３９】これにより、測定回路３３は、電気信号入
出力ライン３６〜テストフィクスチャ１５を介して電気
的な測定信号を光デバイス７０の光電変換素子７１に供
給することができる。この際、光デバイス７０の光電変
換素子７１が電気→光に光電変換した光信号は、光ファ
イバ７３〜光コネクタ７２〜光接続端子２４〜光接続端
子３７〜光ファイバ３８を介して測定結果として得るこ
とができる。

【００４０】上記入出力を逆にして、光信号を光ファイ
バ７３から光電変換素子７１に供給し、光電変換された
電気信号をテストフィクスチャ１５からの出力で得るこ
とにより、光→電気に関する特性測定も行える。

【００４１】図４は、トレイ２０を示す図である。図４
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。トレイ２０
は、基台２１と、基台２１に対し移動可能な可動台２２
からなり、内部に１個の光デバイス７０を収容する。光
デバイス７０の光ファイバ７２は、所定長さと撓み特性
を有して取り扱いにくいことから、このトレイ２０に収
容して検査する。

【００４２】基台２１と可動台２２の間はヒンジ２３で
軸支され、基台２１に対し可動台２２は、下方に回動自
在である。また、ヒンジ２３部分には、バネ部材２３ａ
が設けられ、可動台２２はこのバネ力で常時上方向に付
勢されている。この際、可動台２２の回動角度は、突起
（不図示）により、基台２１と面一（水平）となるよう
設定されている。基台２１の両側部には、規制板２１ａ
が設けられ、光デバイス７０の光ファイバ７３を図示の
ように巻回した状態で基台２１上からはみ出ないよう収
容する。また、基台２１の背面には光接続端子２４が設
けられ、光デバイス７０の光コネクタ７２が内部側から
接続される。

【００４３】可動台２２には、光電変換素子７１を粗位
置決めした状態で収容するために、この光電変換素子７
１の外形（厳密には光電変換素子７１から突出する光フ
ァイバ７２の接続部を含む）に沿って所定深さの位置決
め溝２２ａが設けられている。上記構成により、トレイ
２０上に光デバイス７０の各部を安定して収容すること
ができる。

【００４４】次に、上記トレイ２０を用いた自動検査装
置１の動作を説明する。図２に示すように、ローダ部３
には、光デバイス７０を収容した状態のトレイ２０が上
下に複数個積載される。この際、トレイ２０は基台２１
と可動台２２が面一位置にある（図４参照）。

【００４５】次に、ローダ部３は、最下部から１個ずつ
トレイ２０を取り出しトレイ受け渡し部４に受け渡す。
トレイ受け渡し部４は、受け取ったトレイ２０を搬送部
１０上に渡し、この搬送部１０によりトレイ２０を搬送
方向Ｘに搬送可能にする。次に、搬送部１０は、トレイ
２０を位置決め部５まで移動させる。

【００４６】位置決め部５にトレイ２０が位置すると、
図５に示すように、吸着ノズル１３が光デバイス７０の
光電変換素子７１部分に下降して光電変換素子７１を吸
着保持する。この後、図６に示すように、トレイ２０の
可動台２２は、図示しない移動機構によりバネ部材２３
ａのバネ力に抗してヒンジ２３を中心として下方に回動
する。この状態で、光電変換素子７１の下面は空き可動
台２２上から他に移載可能となる。そして、この際、光
電変換素子７１は、吸着ノズル１３に吸着保持されてお
り、図示のように、光電変換素子７１は可動台２２上に
載置されていた位置を保持できる。

【００４７】この後、位置決め部５は、光電変換素子７
１の位置決めを行う。この位置決めは、測定部６のテス
トフィクスチャ１５に対して光電変換素子７１が正確に
載置できる位置となるよう、測定部６の前段階である、
この位置決め部５で行われる。位置決めは、吸着ノズル
１３を平面上で直交するＸ−Ｙ軸と、回転方向θに移動
させ、検出部１４で光電変換素子７１の状態を検出し、
位置決め回路（例えば測定制御部３２）が吸着ノズル１
３を移動制御して行われる。

【００４８】位置決め部５での位置決め後、光デバイス
７０は測定部６に搬送される。この搬送時、トレイ２０
は、搬送部１０により、可動台２２が図６に示す回動し
た状態のまま測定部６まで搬送方向Ｘに沿って搬送され
る。この際、吸着ノズル１３は、トレイ２０と同様に搬
送方向Ｘに移動する。

【００４９】これにより、光デバイス７０のうち、光電
変換素子７１が吸着ノズル１３に吸着され、光コネクタ
７２が基台２１に載った状態で、光ファイバ７３がこれ
ら光電変換素子７１と光コネクタ７２との間で繋がった
状態で測定部６部分に位置する。この際、トレイ２０
は、可動台２２が下方に回動しており、テストフィクス
チャ１５に干渉しない。

【００５０】この後、光デバイス７０は、測定部６で測
定可能なよう電気および光接続がなされる。まず、図７
に示すように、吸着ノズル１３で吸着されている光電変
換素子７１がテストフィクスチャ１５に向け下降し、所
定の圧力で装着される。この際、光電変換素子７１の各
リード７４は、前述の如く位置決め部５で位置決めされ
ており、テストフィクスチャ１５の接触端子に対し正確
に装着することができる。

【００５１】この後、図８に示すように、測定部６の光
接続端子３７が図示しない移動機構によりトレイ２０に
設けられた光接続端子２４方向に移動し、互いに光接続
される。この状態で、図３に示す如く、光デバイス７０
は、光および電気信号が測定回路３３に接続され測定可
能となり、各種特性が測定される。この測定時には、図
８に示すように、恒温槽カバー４０によってテストフィ
クスチャ１５部分を覆い、恒温状態で特性測定される。

【００５２】測定部６で測定後、測定部６の光接続端子
３７が退避し、吸着ノズル１３により再度、光電変換素
子７１が吸着され上昇する。この後、トレイ２０および
吸着ノズル１３は、印字部７に向け搬送方向Ｘに移動
し、テストフィクスチャ１５を通過した後、移動機構に
よる可動台２２に対する回動付勢が解除されて、可動台
２２は、基台２１と面一状態に復帰する（図４の状
態）。

【００５３】これにより、光電変換素子７１は、再び可
動台２２の位置決め溝２２ａ部分に装着される。この
後、吸着ノズル１３は、初期位置（位置決め部５）まで
復帰移動する。

【００５４】次に、搬送部１０はトレイ２０を印字部７
まで移動させ、印字機構３９により製造番号や測定結果
等が光電変換素子７１のパッケージ表面に印字される。
この後、トレイ受け渡し部８でトレイ２０をアンローダ
部９に受け渡し、アンローダ部９は、受け渡されたトレ
イ２０を順次積載する。自動検査後の光デバイス７０が
収容されたトレイ２０は、アンローダ部９の上方から１
個ずつ取り出すことができる。

【００５５】上記一連の工程により光デバイス７０を搬
送させ特性測定を行うことができる。上記説明では、１
つのトレイ２０の移動について説明したが、自動検査装
置１は、複数個のトレイ２０を順次搬送させて、各光デ
バイス７０の特性測定を行うことができる。例えば、測
定部６部分にトレイ７０が位置しているとき、次のトレ
イ２０は、前段の位置決め部５に位置している。

【００５６】そして、上記の構成によるトレイ２０を用
いることにより、トレイ２０に対する光デバイス７０の
装着の容易化、測定部６での測定の高精度化と高周波帯
域の対応、全体コストの低減化等が図れるようになる。

【００５７】１）トレイ２０を用いた作用効果等 トレイ２０に対し、光デバイス７０の光電変換素子７１
と光ファイバ７３は、上方から装着するだけで収容で
き、光コネクタ７２をトレイ２０に設けられた１個の光
接続端子２４に接続させるだけでよいため、装着を容易
化できる。特にトレイ２０は、光ファイバ７３に対して
は撓み分に着目して規制板２１ａを設け、光電変換素子
７１は位置決め溝２２ａで粗位置決めするだけでよく、
トレイ２０の構造自体を簡素化できる。また、トレイ２
０には、光デバイス７０に対する信号の入出力用のコネ
クタとして１個の光接続端子２４だけを設ければよい。
これらにより、トレイ２０を小型化、低コスト化でき
る。併せて、搬送部１０もこの小型なトレイ２０を搬送
させるものを用いることができ、装置全体を低コスト化
できる。

【００５８】２）測定部６での測定の高精度化等の作用
効果 光電変換素子７１に対する電気的接続は、直接リード７
４が測定部６に設けられた１個のテストフィクスチャ１
５に接続されるため、従来の如く信号入出力用のコネク
タが不要で信号損失を最小限に抑えることができ、測定
精度を向上でき、高周波の信号入出力に対応でき、しか
も低コスト化が図れる。特に、従来用いた複数個のソケ
ット９０が不要となり、大幅なコスト削減ができる。加
えて、測定部６の測定回路３３では、単一個のテストフ
ィクスチャ１５に対してのみ、このテストフィクスチャ
１５の固有特性を電気的に補正すればよく、この補正処
理を従来に比して極簡単に行えるようになる。この点に
ついての従来の問題は前述してあるため、説明を省略す
る。

【００５９】なお、吸着ノズル１３を用いて光電変換素
子７１を位置決めし、搬送させる構成自体は汎用のもの
を用いることができる。

【００６０】（第２実施形態）図９は、光デバイス搬送
用トレイの他の実施形態を示す図である。図９（ａ），
（ｂ）は、この実施形態のトレイ２０を示す平面図、側
面図である。図示のように、トレイ２０は第１実施形態
同様に、基台２１と可動台２２で構成されている。

【００６１】基台２１には、下面の両側部に支持片２１
ｂを有し、可動台２２が基台２１内部にスライド可能に
構成されている。図９（ｃ），（ｄ）は、可動台２２の
スライド時の状態を示す図であり、図示のように、吸着
ノズル１３で光電変換素子７１を吸着し上昇後、移動機
構で可動台２２をスライドさせることにより、第１実施
形態同様に、光電変換素子７１をトレイ２０上に載置状
態と同様の状態に保持でき、第１実施形態で説明した自
動検査装置１に適用して同様の自動検査が行える。

【００６２】（第３実施形態）図１０は、光デバイス搬
送用トレイの他の実施形態を示す図である。図１０
（ａ），（ｂ）は、この実施形態のトレイ２０を示す平
面図、側面図である。図示のように、トレイ２０は第１
実施形態同様に、基台２１と可動台２２で構成されてい
る。

【００６３】基台２１には、可動台２２の端部を軸支す
る軸部２１ｃが設けられ、可動台２２は基台２１に対
し、同一面で回動可能に構成されている。図１０
（ｃ），（ｄ）は、可動台２２の回動時の状態を示す図
であり、図示のように、吸着ノズル１３で光電変換素子
７１を吸着し上昇後、移動機構で可動台２２を回動させ
ることにより、第１実施形態同様に、光電変換素子７１
をトレイ２０上に載置状態と同様の状態に保持でき、第
１実施形態で説明した自動検査装置１に適用して同様の
自動検査が行える。

【００６４】（第４実施形態）図１１は、光デバイス搬
送用トレイの他の実施形態を示す平面図である。図示の
ように、トレイ２０は第１実施形態同様に、基台２１と
可動台２２で構成されている。

【００６５】第１実施形態と異なる点は、トレイ２０が
複数個（図示の例では５個）の光デバイス７０を収容可
能に構成し、この収容個数分、可動台２２を分割して設
け（２２Ａ〜２２Ｅ）、それぞれを第１実施形態同様に
下方に回動自在に構成したものである。各可動台２２
は、第１実施形態同様に、ヒンジ２３と、バネ部材２３
ａを有している。

【００６６】そして、図示の状態のように、測定部６で
測定中の電子デバイス７０（光電変換素子７１）に対応
する可動台２２Ａのみ、下方に回動させる構成とし、測
定部６での測定に応じて順次隣接する可動台２２Ｂ〜２
２Ｅを回動させるようにすればよい。これにより、第１
実施形態同様に、光電変換素子７１をトレイ２０上に載
置状態と同様の状態に保持でき、第１実施形態で説明し
た自動検査装置１に適用して同様の自動検査が行える。

【００６７】第４実施形態で説明した可動台２２の移動
方向は、第１実施形態で説明した下方への回動、あるい
は第２実施形態で説明した基台２１内部へのスライドの
いずれの構成であっても同様に適用できる。

【００６８】（第５実施形態）上記各実施形態では、ト
レイ２０に光デバイス７０を収容し、自動検査装置１に
適用した例を説明した。この実施形態では、トレイ２０
に光デバイス７０として光アイソレータ７５を収容す
る。そして、この実施形態の検査装置では、測定部６で
トレイ２０に収容された光アイソレータ７５の特性（ア
イソレーション）を測定する。

【００６９】図１２は、トレイ２０を示す図である。光
アイソレータ７５の両端にはそれぞれ所定長の光ファイ
バ７３（７３ａ，７３ｂ）の一端が接続されている。各
光ファイバ７３ａ，７３ｂの他端には、後述する融着接
続用の固定金具７６ａ，７６ｂが同軸に固定されてい
る。

【００７０】トレイ２０は、第１実施形態同様に基台２
１と、基台２１に対し下方に回動自在な可動台２２で構
成される。そして、この実施形態では、基台２１を中心
として一対の可動台２２Ｆ，２２Ｇが設けられている。
なお、トレイ２０の可動台２２Ｆ，２２Ｇに対し、固定
金具７６ａ，７６ｂは固定されていない。

【００７１】図１３は、検査装置の測定部６１を示す図
である。図１３（ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図であ
る。測定部６には、一対の光ファイバ７３ａ，７３ｂに
対向する位置に予め融着用光ファイバ５５，５６が配置
されている。この光ファイバ５５，５６は、融着器５８
上に設けられる融着接続用の固定金具５７ａ，５７ｂに
固定されている。

【００７２】この検査装置６０は、測定部６の前段の位
置決め部５にて固定金具７６ａ，７６ｂを吸着ノズル１
３で吸着する。この後、搬送方向Ｘに沿って測定部６部
分にトレイ２０を移動させる。同時に、吸着ノズル１３
は、固定金具７６ａ、７６ｂ部分を吸着した状態のまま
同搬送方向Ｘに移動させ、一対の光ファイバ７３ａ，７
３ｂを測定部６部分に移動させる。この際、一対の可動
台２２Ｆ，２２Ｇを下方に回動させておく（図示の状
態）。これにより、トレイ２０の一対の可動台２２は、
融着器５８に干渉しない。

【００７３】この後、測定部６側の光ファイバ５５，５
６と、トレイ２０側から突出する光ファイバ７３ａ，７
３ｂの対向同士（融着箇所Ｍ）を融着接続することによ
り、１本に繋がった光ファイバが測定回路３３に接続さ
れる。測定回路３３は、光信号を送り光アイソレータ７
５を含む光デバイス７０の特性を測定する。測定後、測
定部６側の光ファイバ５５，５６と、トレイ２０側から
突出する光ファイバ７３ａ，７３ｂの融着個所を切断
し、次工程に搬送する。

【００７４】このように、トレイ２０の可動台２２を移
動させることにより、光ファイバ７３ａ，７３ｂを大き
く移動させずに測定部６に設けられた自動融着機にセッ
ト、融着することができる。そして、この実施形態で説
明したように、本発明のトレイ２０は、形状を変更して
異なる光デバイスの特性測定に適用することができる。

【００７５】

【発明の効果】本発明の光デバイス搬送用トレイによれ
ば、光デバイスの測定時に光部品を支持している可動台
が移動して該光部品の一部を露出させるよう構成したの
で、光デバイスの搬送を容易化できるとともに、測定等
の必要時に可動台部分が邪魔にならずこの測定が行える
ようになる。

【００７６】本発明の光デバイス搬送用トレイを用いる
電子デバイス自動検査装置によれば上記のトレイを自動
検査装置に用いることにより、トレイの搬送、および測
定部での測定をいずれも円滑に実行できるようになる。
特に、可動台の移動で下面が露出された光部品をトレイ
上ではなく測定部に直接移載させることができるように
なるため、電気的接続を簡素化して測定精度を向上で
き、高周波化への対応が図れるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光デバイス自動検査装置の全体構成を
示す側面図

【図２】同装置の各部の配置を示す側面図

【図３】同装置の電気的構成を示すブロック図

【図４】トレイを示す図

【図５】電子デバイスの吸着状態を示す動作図

【図６】トレイの可動台の移動状態を示す動作図

【図７】電子デバイスをテストフィクスチャに載置した
状態を示す動作図

【図８】電子デバイスの測定状態を示す動作図

【図９】トレイの他の構成を示す図（第２実施形態）

【図１０】トレイの他の構成を示す図（第３実施形態）

【図１１】トレイの他の構成を示す図（第４実施形態）

【図１２】トレイの他の構成を示す図（第５実施形態）

【図１３】第５実施形態における検査装置の測定部を示
す図

【図１４】光デバイスの一例を示す斜視図

【図１５】従来の電子部品検査装置を示す側面図

【図１６】従来の検査装置で用いられるトレイを示す図

【符号の説明】

１…自動検査装置、３…ローダ部、４…トレイ受け渡し
部、５…位置決め部、６…測定部、７…印字部、９…ア
ンローダ部、１０…搬送部、１３…保持部、１４…検出
部、１５…テストフィクスチャ、２０…トレイ、２１…
基台、２１ａ…規制板、２１ｂ…支持片、２１ｃ…軸
部、２２（２２Ａ〜２２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｇ）…可動
台、２２ａ…位置決め溝、２３…ヒンジ、２３ａ…バネ
部材、２４，３７…光接続端子、３０…シーケンサ、３
１…印字プリンタコントローラ、３２…測定制御部、３
３…測定回路、３５…電源ライン、３６…電気信号入出
力ライン、３７…光接続端子、３８…光ファイバ、５
５，５６…融着用光ファイバ、５７ａ，５７ｂ，７６
ａ，７６ｂ…固定金具、５８…融着器、７０…光デバイ
ス、７１…光電変換素子、７２…光コネクタ、７３（７
３ａ，７３ｂ）…光ファイバ、７４…リード、７５…光
アイソレータ。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め光部品（７１，７２，７４）と所定
   長の光ファイバ（７３）が組み合わせ形成されている光
   デバイス（７０）の各種特性を自動測定するために該光
   デバイスを収容保持する光デバイス搬送用トレイ（２
   ０）において、基台（２１）と、 該基台と連接され、該基台と略面一な面を有して前記光
   デバイスを支持し、前記光デバイスの一部を露出するよ
   うに作動可能な可動台（２２）とを備えたことを特徴と
   する光デバイス搬送用トレイ。
2. 【請求項２】 前記基台（２１）の面に対し、前記可動
   台（２２）の面が折曲する方向に回動自在に構成された
   請求項１記載の光デバイス搬送用トレイ。
3. 【請求項３】 前記基台（２１）に対し、前記可動台
   （２２）が前記基台側に収容される方向にスライド自在
   に構成された請求項１記載の光デバイス搬送用トレイ。
4. 【請求項４】 前記基台（２１）の面に対し、前記可動
   台（２２）が面一な状態で前記基台に対し垂直な軸を中
   心に回動自在に構成された請求項１記載の光デバイス搬
   送用トレイ。
5. 【請求項５】 前記光デバイス（７０）を複数収容可能
   であり、 １つの基台（２１）に対し、前記可動台（２２）が前記
   光デバイスの収容個数に応じて分割され、個々に移動可
   能に構成された請求項１〜３のいずれかに記載の光デバ
   イス搬送用トレイ。
6. 【請求項６】 前記光デバイス（７０）は、光−電気信
   号の変換を行い電気信号入出力用のリード（７４）を有
   する光電変換素子（７１）と、該光電変換素子に一端が
   接続された光ファイバ（７３）、および該光ファイバの
   他端に設けられる光コネクタ（７２）で構成され、 前記基台（２１）には、前記光コネクタと、該光コネク
   タに一端が接続された前記光ファイバが収容され、 前記可動台（２２）には、前記光ファイバの一部と、光
   電変換素子が載置され、 該可動台は、前記光電変換素子のリードを測定に用いる
   テストフィクスチャ（１５）に装着する際に、該テスト
   フィクスチャに干渉しないよう移動可能に構成された請
   求項１〜５のいずれかに記載の光デバイス搬送用トレ
   イ。
7. 【請求項７】 前記光デバイス（７０）は、光信号をア
   イソレートする光アイソレータ（７４）と、該光アイソ
   レータに一端が接続された一対の光ファイバ（７３ａ，
   ７３ｂ）と、前記一対の光ファイバの他端にそれぞれ同
   軸に設けられる融着接続用の固定金具（７５ａ、７５
   ｂ）で構成され、 前記基台（２１）の両側部には、一対の前記可動台（２
   ２）が移動自在に設けられ、 前記基台には、前記光アイソレータと、該光アイソレー
   タに一端が接続された前記一対の光ファイバが収容さ
   れ、 前記一対の可動台には、前記光ファイバの一部と、前記
   固定金具が収容され、 該一対の可動台は、前記光アイソレータに接続された前
   記一対の光ファイバ（７３ａ、７３ｂ）を特性測定に用
   いる一対の融着用光ファイバ（５５，５６）に融着接続
   する際に、前記融着用光ファイバを支持し融着する融着
   器（５８）に干渉しないよう移動可能に構成された請求
   項１〜５のいずれかに記載の光デバイス搬送用トレイ。
8. 【請求項８】 前記請求項１〜７のいずれかに記載の光
   デバイス搬送用トレイ（２０）を用い、前記光デバイス
   （７０）の搬送および特性測定を行う光デバイス自動検
   査装置であって、 前記トレイを搬送する搬送部（１０）と、 前記搬送部の搬送方向（Ｘ）上に設けられ、前記光デバ
   イスの特性を測定する測定部（６）と、 前記測定部で前記光デバイスを測定する際に、前記トレ
   イの可動台（２２）を移動させる移動機構と、 前記可動台上に載置された前記光部品（７１，７５ａ、
   ７５ｂ）を吸着保持し、前記トレイの可動台の移動後の
   前記光部品を該吸着状態で前記測定部まで搬送させる保
   持部（１３）と、を備えたことを特徴とする光デバイス
   搬送用トレイを用いる光デバイス自動検査装置。
9. 【請求項９】 前記請求項６に記載の光デバイス（７
   ０）を収容するトレイ（２０）を用い、該光デバイスの
   搬送および特性測定を行う光デバイス自動検査装置であ
   って、 前記トレイを搬送する搬送部（１０）と、 前記搬送部の搬送方向（Ｘ）上に設けられ、前記光デバ
   イスの特性を測定する測定部（６）と、 前記測定部で前記光デバイスを測定する際に、前記トレ
   イの可動台（２２）を移動させる移動機構と、 前記可動台上に載置された前記光電変換素子（７１）を
   吸着保持し、前記トレイの可動台の移動後の前記光部品
   を該吸着状態で前記測定部まで搬送させる保持部（１
   ３）とを備え、 前記測定部（６）に前記トレイが搬送された際、前記保
   持部は、前記光電変換素子を吸着してリードを該測定部
   のテストフィクスチャ（１５）の接触端子に電気的接触
   させ、 前記基台（２１）に設けられた前記光コネクタに対し、
   接続用の光コネクタ（３７）が移動して光接続させ、 前記テストフィクスチャを介した電気信号と、前記光コ
   ネクタを介した光信号を測定回路（３３）により入出力
   させて前記光電変換素子を含む光デバイスの特性測定を
   行うことを特徴とする光デバイス自動検査装置。
10. 【請求項１０】 前記請求項７に記載の光デバイス（７
    ０）を収容するトレイ（２０）を用い、該光デバイスの
    搬送および特性測定を行う光デバイス自動検査装置であ
    って、 前記トレイを搬送する搬送部（１０）と、 前記搬送部の搬送方向（Ｘ）上に設けられ、前記光デバ
    イスの特性を測定する測定部（６）と、 前記測定部で前記光デバイスを測定する際に、前記トレ
    イの可動台（２２）を移動させる移動機構と、 前記可動台上に載置された前記一対の融着接続用の固定
    金具（７５ａ、７５ｂ）を吸着保持し、前記トレイの可
    動台の移動後の前記光部品を該吸着状態で前記測定部ま
    で搬送させる保持部（１３）とを備え、 前記測定部（６）に前記トレイ（２０）が搬送された
    際、前記保持部（１３）は、一対の前記固定金具（５７
    ａ，５７ｂ）を吸着して一対の光ファイバ（７３ａ、７
    ３ｂ）を該測定部の前記融着器（５８）の融着用光ファ
    イバ（５５，５６）に対向配置させて対向同士の光ファ
    イバを融着可能にさせ、 前記融着された１本の光ファイバに測定回路（３３）が
    光信号を入出力させて前記光アイソレータを含む光デバ
    イスの特性測定を行うことを特徴とする光デバイス自動
    検査装置。
11. 【請求項１１】 前記搬送部（１０）の前段および後段
    には、それぞれ前記トレイ（２０）を複数収容し、１個
    ずつ該搬送部との間で受け渡すローダ（３）とアンロー
    ダ（９）を備えた請求項８〜１０のいずれかに記載の光
    デバイス搬送用トレイを用いる光デバイス自動検査装
    置。
12. 【請求項１２】 前記測定部（６）の搬送方向（Ｘ）前
    段には、該測定部に対し、前記光デバイス（７０）のう
    ち精密な位置決めが必要な光部品（７１）の位置決めを
    行う位置決め部（５）が設けられた請求項８〜１１のい
    ずれかに記載の光デバイス搬送用トレイを用いる光デバ
    イス自動検査装置。
13. 【請求項１３】 前記位置決め部（５）は、前記保持部
    （１３）による前記光部品（７１）の保持状態を検出部
    （１４）で検出し位置決めする請求項１２に記載の光デ
    バイス搬送用トレイを用いる光デバイス自動検査装置。