JP2001159692A - 高精度の測定器にさまざまの透明なサブストレートを組み込むための装置及び方法 - Google Patents

高精度の測定器にさまざまの透明なサブストレートを組み込むための装置及び方法

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JP2001159692A JP2000309405A JP2000309405A JP2001159692A JP 2001159692 A JP2001159692 A JP 2001159692A JP 2000309405 A JP2000309405 A JP 2000309405A JP 2000309405 A JP2000309405 A JP 2000309405A JP 2001159692 A JP2001159692 A JP 2001159692A
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ブレジング・バンゲルト カロラ
Ulrich Kaczynski
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定結果の再現可能性がはっきりと改善され
る装置をつくりだす。 【解決手段】 高精度の測定器（１００）にさまざまな
サブストレート（８）をいれるための装置。当該装置
は、区別のあるサブストレート（８）のためのサブスト
レートホルダー（８０）が納められ得るいくつかのコン
パートメントが形成されているマガジン（３２）をもっ
ている。さらに、積載ステーション（５０）が設けられ
ており、当該積載ステーションにてサブストレートホル
ダー（８０）が当該サブストレートホルダー（８０）に
対して適合するサブストレート（８）を積まれ得る。自
動式の移送装置（５０）が、マガジン（３２）からサブ
ストレートホルダー（８０）を取り出してこれを積載ス
テーション（４０）に挿入する、あるいは挿入されたサ
ブストレート（８）と一緒にサブストレートホルダー
（８０）を積載ステーション（５０）から取り出す。自
動式の移送装置（５０）は、ロボットアーム（５２）と
して構成されており、それの前方の端部にフォーク（５
６）がついている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度の測定器に
さまざまなサブストレートを挿入するための装置に関す
る。特に、本発明は、以下のような装置、すなわち、マ
ガジンをもっており、当該マガジンにいくつかのコンパ
ートメント（区画）が形成されており、それらのコンパ
ートメントに区別のある（異なる）サブストレートのた
めのサブストレートホルダーが納められ得るような装置
に関する。
【０００２】さらに、本発明は、高精度の測定器にさま
ざまなサブストレートを挿入するための方法に関する。
【０００３】
【従来の技術】米国特許第５０２６２３９号明細書(US-
A-5,026,239)は、マスクカセット及びマスクカセットの
ための積載機構を記載している。多数のマスクが、周囲
空気に対して密封可能であるマスクカセットに保管され
る。マスクカセットは、最初は、小さい開口によって主
室と連通状態にあるマスク室にある。両方の室は、外部
に向かって密封して閉ざされている。マスク室において
マスクカセットが開かれ、相応に、つかみ装置兼移送装
置が各マスクをつかみ得るようにポジションにもたらさ
れる。マスクは、つかみ装置兼移送装置によって前記小
さい開口を経て主室に運ばれ、そこで相応に光にさらさ
れる。この実施例では、レントゲン線（Ｘ線）での感光
を考えている。その結果、清浄の理由から両方の室が真
空にされねばならない。
【０００４】マスク測定のためのシステムは、SPIE, Vo
l. 3096; 0277-786X/97（433〜444頁）において公表さ
れている。当該システムは、さまざまなサブストレート
タイプのための自動式の積載装置を含んでいる。さまざ
まなサブストレートが、マガジンにおける押し込みコン
パートメント（スライドインコンパートメント、引き出
し）内にある。同様に、回転テーブル上に三つのコンパ
ートメントをもっているマガジンが設けられている。当
該三つのコンパートメントには、それぞれ区別された
（異なる）サブストレートホルダーが納められている。
このシステムの欠点は、マガジンの動かし得る押し込み
コンパートメントによって、サブストレート上に沈積し
てそれによって測定の再現可能性に不都合な影響を及ぼ
す汚れが生じる可能性があるということである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題、課題を解決するための
手段】それゆえ、本発明は、以下のような装置、すなわ
ちその装置によって測定結果の再現可能性がはっきりと
改善される装置をつくりだすことを課題とする。本発明
によって、例えばマガジンのコンパートメントの運動の
際のサブストレートの微粒子の堆積のような従来技術の
欠点が軽減される。並びに、オペレーターにとってのサ
ブストレートハンドリング（サブストレートの取り扱
い）の容易化及び熱的な（温度の）平衡の監視が達成さ
れる。
【０００６】この課題は、はじめに述べた種類の装置の
場合に、本発明により以下のことによって解決される。
すなわち、積載ステーションが設けられており、当該積
載ステーションにおいてサブストレートホルダーが当該
サブストレートホルダーに適合するサブストレートを積
まれ得る、且つ自動式の移送装置が設けられており、当
該自動式の移送装置がマガジンからサブストレートホル
ダーを取り出して積載ステーションに納める、あるいは
積載ステーションからサブストレートホルダーを、納め
られたサブストレートと一緒に取り出すことによって解
決される。
【０００７】さらに、本発明は、以下のような方法、す
なわちその方法によって測定されるべきサブストレート
が高精度の測定器にのせられ得る（装填され得る）且つ
その際測定結果の最大限の再現可能性が保証されている
方法を提供することを課題とする。
【０００８】この課題は、はじめに述べた種類の方法の
場合に、当該方法が以下のステップを含むことによって
解決される。すなわち、指定されたサブストレートホル
ダーを積載ステーションにのせる（装填する）ステッ
プ、当該サブストレートホルダーに対して適合するタイ
プのサブストレートを積載ステーションに挿入するステ
ップ、前記のせられたサブストレートホルダーと前記挿
入されたサブストレートのタイプとが合致することを検
査するステップ、移送装置を用いて当該サブストレート
ホルダーに当該サブストレートを収容するステップ、収
容したサブストレートホルダーを、のせられたサブスト
レートと一緒に、高精度の測定器に移すステップをもつ
ことによって解決される。
【０００９】有利な別の構成は、従属する請求項の特徴
から判明する。それ自体は周知である測定器の本発明に
係る形態によって、これまで問題となっていた点を取り
除くことが可能になる。（このことは、例えばマガジン
の引き出しを押し込む際のサブストレート上への微粒子
堆積に関係した。なぜならば、引き出しが「ストッパ
ー」なしに簡単に引き抜かれる可能性があったからであ
る。サブストレートのための保管コンパートメントはか
なり狭かった；比較的に大きなサブストレートの場合に
は、サブストレートを手で挿入することが非常に困難で
あった；あるいは、すでにコンパートメントにサブスト
レートがあるかどうかの監視がなかった。）
【００１０】積載（積み込み）の確実な進行を保証する
ために、サブストレートホルダーの積載が積載ステーシ
ョンによってだけ行われる。その際操作者の作業を軽減
するために、積載ステーションが約９０〜９５cmの人間
工学上の高さに取り付けられている。操作者（オペレー
ター）は、サブストレートを積載ステーション内のフレ
ーム形状のサブストレートホルダー上におく。サブスト
レートのためのサブストレートホルダーの支え面は、非
常に小さく大きさを定められ得る。なぜならば、サブス
トレートは、完全自動にサブストレートホルダー上にの
せられる（装填される）からである。マガジンは、もっ
ぱらロボットアームを使って、のせられたサブストレー
トともどもサブストレートホルダーを積み込まれる。引
き出しはもはやない。その結果、マガジンのコンパート
メント内のサブストレートを汚す可能性のある微粒子が
もはや産み出されない。さらに、キャリアからの完全自
動の積載を統合することの可能性がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】図面には、測定器の本発明の対象
物が図式的に示されている。次に、本発明の対象物を図
をもとにして説明する。その際、図１は、測定器の図式
的な側面図を示し、図２は、装置の構造の図式的な図示
を示し、図３〜６は、装置の積載ステーションにおける
サブストレートの収容の図解を示し、図７は、本発明に
係る方法の図示のためのフローチャートを示す。
【００１２】図１に示された高精度の測定器１００は、
脚部２、３上に振動が減衰（抑制）されるように装着さ
れた花崗岩ブロック(Granitblock)１からなる。花崗岩
ブロック１上では、フレームとして構成されたＸＹキャ
リッジ４が、気体軸受（空気軸受）５、６上で矢印によ
って示唆された二つの方向においてすべるように移動さ
せられ得る。ＸＹキャリッジ４のフレームは、有利に
は、小さい熱膨張率をもつセラミックスからなる。それ
のための駆動装置は図示されていない。ＸＹキャリッジ
４のポジションは、測定システム７、好ましくはレーザ
ーシステムあるいはガラススケールで、Ｘ方向及びＹ方
向について測定される。ＸＹキャリッジ４のフレームに
サブストレート（基板）８が納められている。サブスト
レート８は、例えばガラス（好ましくは石英ガラス）製
である。サブストレート表面上には、構造（パターン）
９が与えられている。ＸＹキャリッジ４がフレームとし
て構成されているので、サブストレート８は、下からも
光を通され得る。光を通さないサブストレートの場合に
は、そのとき、投射光（入射光、ぶつかる光）での照明
が行なわれる。ひき続いての記述は、光を通すサブスト
レートの照明に限定される。このことは、決して本願の
限定と解釈されるべきでない。
【００１３】サブストレート８の上方には、高い光学的
特性(hohe optische Guete)をもつ結像システム１０が
ある。当該結像システムは、焦点を合わせるためにそれ
の光軸１１に沿ってＺ方向にて位置を変えられ得る。ビ
ームスプリッターミラー１２によって、一方では光源１
３の光が光ビーム路に導入され、他方では結像光線が検
出器装置１４へ向けられる。検出器装置１４は、例えば
高解像度のピクセル配列(Pixelarray)をもつＣＣＤカメ
ラである。光源１３は、近紫外スペクトル領域において
放射する。
【００１４】花崗岩ブロック１には、高さ調整可能な集
光器（集光レンズ）１５と光源１６とからなる別の照明
装置が組み込まれている。光源１６として、光ガイドの
出口面が設けられていてもよい。集光器１５の光軸は、
結像システム１０の光軸１１と一直線に並んでいる。光
源１６を伴う集光器１５の高さ調整は、構造９へ照準を
合わされるべき照明光線をサブストレート８の異なる光
学的厚さに適合させるために用いられる。集光器頭部
は、特にＸＹキャリッジ４のフレームの開いた部分の中
にまで達し得る。サブストレート面全体にわたってのス
テージ移動の際の損傷から守るために、集光器頭部は花
崗岩ブロック１の表面より下にひっぱり込まれ得る。光
源１３及び１６は、互いに独立にスイッチを入れられ得
る。
【００１５】いくつかの付属機器を伴う高精度の測定器
１００の図式的な図示が図２に示されている。すでに図
１の説明の際に述べたように、花崗岩ブロック１上にＸ
Ｙキャリッジ４がある。装置の図式的な図示を不必要に
複雑にしないために、高精度の測定器１００については
いくつかの部品が描かれていない。ＸＹキャリッジ４上
には、測定のために指定されたサブストレート８がのせ
られ得る。高精度の測定器１００にサブストレート８を
のせる（装填する）ために、マガジン３２が設けられて
いる。当該マガジンには、いくつかのコンパートメント
（区画）（不図示）が形成されている。当該コンパート
メントには、異なるサブストレートタイプのためのサブ
ストレートホルダー３４が納められている。さらに、当
該コンパートメントに、同様に、挿着されたサブストレ
ート８を備えるサブストレートホルダー３４がいれられ
ることも可能である。挿着されたサブストレート８を備
えるサブストレートホルダー３４がマガジン３２に納め
られる第一の理由は、高精度の測定のために温度平衡が
達成されねばならないということである。第二の理由
は、測定されるべきすべてのサブストレート８が対応す
るサブストレートホルダー３４においてのちの処理のた
めにマガジン３２のコンパートメントに一時的に保管さ
れているということである。
【００１６】積載ステーション４０（詳細な説明は図３
〜６参照）が、同様にマガジン３２の空間的な近傍に設
けられている。マガジン３２と積載ステーション４０と
の間には、自動式の移送装置５０がある。当該自動式の
移送装置は、それがサブストレートホルダー３４を積載
ステーションに挿入し得るように、サブストレートホル
ダー３４を挿着されたサブストレート８といっしょにマ
ガジン３２にあるいは高精度の測定器１００に移し得る
ように、あるいはサブストレートホルダー３４を高精度
の測定器１００から取り出し得るように構成されてい
る。自動式の移送装置５０はロボットアーム５２をもっ
ており、当該ロボットアームの前方の端部５４にフォー
ク５６が形成されている。当該フォークによってサブス
トレートホルダー３４が取り上げられ且つ移送され得
る。
【００１７】ここで示された実施例では、マガジン３
２、自動式の移送装置５０、及び積載ステーション４０
がプラットフォーム６０に据えつけられている。プラッ
トフォーム６０によって、常に、各エレメント（マガジ
ン３２、自動式の移送装置５０、積載ステーション４
０、及び高精度の測定器１００）の互いに対しての決め
られた位置が保証される。プラットフォーム６０に取り
付けることによる別の利点は、マガジン３２、自動式の
移送装置５０、及び積載ステーション４０が高精度の測
定器１００からきわめて迅速に離され得る（連結を解か
れ得る）ということである。それによって、サービス員
の高精度の測定器１００へのアクセスがよりよくなるこ
とが達成され得る。その上に、高精度の測定器１００に
結合させられたプラットフォーム６０によって常に各エ
レメントの正確な整列ないし調整が可能にされているこ
とが生じる。
【００１８】測定条件に基づいて必要である場合には、
高精度の測定器１００、マガジン３２、自動式の移送装
置５０、及び積載ステーション４０が空気調節された空
間７０内に収容される。当該空気調節された空間は、い
くつかの壁部７１によって規定されている。当該壁部の
うち図２には側壁だけが描かれている。空気調節された
空間７０は、積載ステーション４０の領域に閉鎖可能な
積載開口部（積み込み開口部）７２を備えている。当該
積載開口部によって、操作者は、サブストレートを外部
から積載ステーション４０内へいれることが可能であ
る。別の形態では、空気調節された空間７０の壁部７１
に向き合っている積載ステーション４０の領域に付加的
に別のトランスファーインターフェース（引き渡し切断
箇所、Uebergabeschnittstelle）７４が設けられてい
る。このトランスファーインターフェース７４には、例
えば自動式の積載システム（積み込みシステム）７６が
配設され得る。そのとき、自動式の積載システム７６
は、移送容器からさまざまなサブストレート８を順々に
積載ステーション４０に挿入する。自動式の積載システ
ム７６は、例えば自動式に案内される車両（オートメー
ティド・ガイディド・ヴィークル(Automated Guided Ve
hicle)）あるいは運搬車で実現される。詳しくは、自動
式に案内される車両あるいは運搬車がトランスファーイ
ンターフェース７４と関連づけられることによって実現
される。
【００１９】以下に、マガジン３２、自動式の移送装置
５０、及び積載ステーション４０の実施例が明らかにさ
れる。マガジン３２は、八から十個のサブストレートホ
ルダー８０あるいはウェーファーチャック（不図示）の
ための八から十のコンパートメントのために設計されて
いる。精確な数は、利用可能性及び自動式の移送装置５
０の価格に、及び必要ならば空気調節された空間７０の
内部空間高さの都合に合わせる。サブストレートホルダ
ー８０の外側寸法は、すべてのサブストレートあるいは
ウェーファーについて同一である。サブストレートホル
ダー８０のタイプの確認のために、外側部にコードが取
り付けられている。測定システム全体についてのプロセ
ス管理を容易にするために、いくつかのセンサ（不図
示）が設けられている。マガジン３２のどのコンパート
メントにどのタイプのサブストレートホルダーが納めら
れているかを認識するために、一つのセンサーがサブス
トレートホルダー８０のコード（不図示）を読むために
用いられる。さらに、温度センサ（不図示）がマガジン
３２のそれぞれのコンパートメントに設けられている。
温度センサは、絶対検定されている必要はない。それら
は、再現可能な測定を実行できるように、単に、サブス
トレート温度が安定しているかどうかの管理に用いられ
る。さらに、なお、サブストレートホルダー８にサブス
トレートがあるかどうかを知らせるサブストレート存在
センサー（不図示）がそれぞれのコンパートメントに存
在するとよい。
【００２０】自動式の移送装置５０は、サブストレート
８をサブストレートホルダー３４とともに、ないしウェ
ーファーをウェーファーチャックとともに取り扱う。そ
の際、移送されるべき重量は４kgにまで達する。自動式
の移送装置はロボットアーム５２をもっており、当該ロ
ボットアームは１９０°の回転角度で５００mmの最大レ
バー長を有する。使用のための唯一つのフォーク５６が
ロボットアームに設けられているにすぎない。なぜなら
ば、すべてのサブストレート８及びウェーファーのため
のすべてのサブストレートホルダー８０の外側寸法が同
一だからである。サブストレートタイプごとのフォーク
５６の交換は行われない。フォーク５６の側部に例えば
サブストレートホルダー８０を確認するセンサーが取り
付けられていることが可能である。
【００２１】積載ステーション４０は、空間的に、操作
者がサブストレートホルダー８０へのサブストレート８
の手での積みおろしを容易に行ない得るように考えられ
ている。サブストレートホルダー８０に対応するサブス
トレート８を積む経過は図３〜６に示されている。
【００２２】図３は、積載ステーション４０の斜視図を
示す。積載ステーション４０は底部プレート４２を有
し、当該底部プレートに取り囲んでいる縁部４４が形成
されている。底部プレート４４上には、いくつかの支持
手段４６が配置されている。当該支持手段は、サブスト
レート８のための安定した支えが保証されているように
底部プレート４４上に分散させられている。ここに示す
ケースでは、四つの支持手段４６が設けられている。支
持手段４６に加えて、底部プレート上に受け要素４８が
取り付けられている。当該受け要素は、サブストレート
ホルダー８０（図４参照）を、当該サブストレートホル
ダーが支持手段４６を取り囲み且つその位置について正
しく合わされ（そろえられ）且つ方向を正されている状
態であるように支持する。サブストレートホルダー８０
を正しい位置に合わせることは、受け要素４８によって
与えられている。
【００２３】図４は、積載ステーション４０に挿入され
たサブストレートホルダー８０を示す。サブストレート
ホルダー８０には、使用されるサブストレート８の長さ
及び幅に対応して決められている空所８２が定められて
いる。付加的に、サブストレートホルダー８０にガイド
空所８４が設けられている。当該ガイド空所は、それら
が積載ステーション４０の支持手段４６の空間的な配置
に対応するようにサブストレートホルダー８０に配置さ
れている。積載ステーション４０へのサブストレートホ
ルダー８０の挿着の際に、支持手段４６の部分がサブス
トレートホルダー８０のガイド空所８４に食い込み、そ
れによってサブストレートホルダーの大まかなガイドを
保証する。ガイド空所８４は、それらと支持手段４６と
の間にあそびがあるように量定されている。サブストレ
ートホルダー８０が積載ステーション４０に挿着されて
いると、それが受け要素４８にのっており、当該受け要
素によってそれが厳密に正しく合わされて且つポジショ
ニングされる。
【００２４】図５は、積載ステーション４０にあるサブ
ストレートホルダー８０と支持手段４６上にのっている
サブストレート８とを示す。サブストレート８は、サブ
ストレートホルダー８０に対応して選択されている。そ
の結果、それはサブストレートホルダー８０の空所８２
にぴったり合う。さらに、サブストレート８とサブスト
レートホルダー８０との間の適合を検査する適当な手段
（センサー、データ処理装置）も設けられているとよ
い。サブストレート８は、操作者によって手であるいは
適当な器具で積載ステーション４０に挿入される。全く
同様に、サブストレート８の挿入が自動化されていても
よい。
【００２５】図６は、挿入されたサブストレート８と一
緒にサブストレートホルダー８０を持ち上げて取り外す
ことを示す。サブストレートホルダー８０とサブストレ
ート８とが適合する場合には、サブストレートホルダー
８０が積載ステーション４０から持ち上げて取り外され
得る。このために、ロボットアーム５２（不図示）のフ
ォーク５６が、受け要素４８上にのっているサブストレ
ートホルダー８０の下へ動く。ロボットアーム５２の持
ち上げ運動によって、フォーク５６がサブストレートホ
ルダー８０を持ち上げる。サブストレートホルダーは、
その際、積載ステーション４０にあるサブストレート８
を連行する。サブストレート８は、サブストレートホル
ダー８０の空所８２に位置することになる。全く同様
に、ロボットアーム５６の持ち上げ運動によって積載ス
テーション４０の支持手段４６がサブストレートホルダ
ー８０のガイド空所８４から外へ動かされる。サブスト
レートホルダー８０とサブストレート８とのユニット
は、いまや、ロボットアーム５２によって高精度の測定
器１００にあるいはマガジン３２（図２）に運ばれ得
る。
【００２６】図７は、高精度の測定器にさまざまなサブ
ストレートを運び入れるための方法をフローチャートで
明らかにする。第一のステップ９０において、指定され
たサブストレートホルダー８０を積載ステーション４０
にのせる（装填する）ことが行なわれる。すでに上述し
たように、このために、自動式の移送装置５０が使用さ
れる。第二のステップ９１において、指定されたサブス
トレートタイプのサブストレート８が積載ステーション
４０に挿入される。積載ステーションへのサブストレー
ト８の挿入は、操作者によって手で実行されることも可
能であるし、自動化されて実行されることも可能であ
る。第三のステップ９２において、サブストレートホル
ダー８０が挿入されたサブストレート８に適合している
かどうかの検査が行われる。このために、データ処理装
置とつながれている適当なセンサーが設けられていると
よい。合致していることが確認されると、第四のステッ
プ９３が続行される。ここでサブストレートホルダー８
０がロボットアーム５２のフォーク５６によって持ち上
げられる。その際、サブストレート８がサブストレート
ホルダー８０の空所８２に位置する（はまり込んでい
る）状態になる。それから、第五のステップ９４におい
て、サブストレートホルダー８０がサブストレート８と
一緒に測定器１００へ移される。しかし、全く同様に、
サブストレートホルダー８０がサブストレート８と一緒
にまず第一に温度を安定させるためにマガジン３２のコ
ンパートメントに納められることも考えうる。温度平衡
が達成されたあとで、サブストレートホルダー８０がサ
ブストレート８と一緒に測定器１００に挿入される。第
三のステップ９２において、サブストレートタイプがサ
ブストレートホルダー８０と合致しないことが判明した
ならば、第六のステップ９５が続く。サブストレート８
が積載ステーション４０から（手であるいは自動式に）
取り出される。引き続いて第七のステップ９６が続く。
当該ステップで、積載ステーション４０にあるサブスト
レートホルダー８０に関して適合するサブストレート８
があるかどうかが調べられる。それがあれば、プロセス
が第二のステップ９１から新たに進行する。適合するサ
ブストレート８がないことが確認されたならば、第八の
ステップ９７が実行される。サブストレートホルダー８
０が積載ステーション４０から取り出され、存在するサ
ブストレート８に適合するサブストレートホルダー８０
が挿着される。それから、プロセスが新たに第一のステ
ップ９０から進行する。
【００２７】本発明が実施例に関連して説明された。し
かしながら、請求項の保護範囲を離れることなしに変更
及び変形が行われ得ることはこの専門分野の当業者には
明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】測定器の図式的な側面図である。
【図２】装置の構造の図式的な図である。
【図３】装置の積載ステーションにおけるサブストレー
トの収容の図式的な説明図である。
【図４】装置の積載ステーションにおけるサブストレー
トの収容の図式的な説明図である。
【図５】装置の積載ステーションにおけるサブストレー
トの収容の図式的な説明図である。
【図６】装置の積載ステーションにおけるサブストレー
トの収容の図式的な説明図である。
【図７】本発明に係る方法の図示のためのフローチャー
トである。
【符号の説明】
１ 花崗岩ブロック ２ 脚部 ３ 脚部 ４ ＸＹキャリッジ ５ 気体軸受 ６ 気体軸受 ７ 測定システム ８ サブストレート ９ 構造 １０ 結像システム １１ 光軸 １２ ビームスプリッターミラー １３ 光源 １４ 検出器装置 １５ 高さ調整可能な集光器 １６ 光源 ３０ 装置 ３２ マガジン ３４ サブストレートホルダー ４０ 積載ステーション ４２ 底部プレート ４４ 周囲を巡る縁部 ４６ 支持手段 ４８ 受け要素 ５０ 自動式の移送装置 ５２ ロボットアーム ５４ 前方の端部 ５６ フォーク ６０ プラットフォーム ７０ 空気調節された（エアコンディショニングさ
れた）空間 ７１ 壁部 ７２ 積載開口部 ７４ トランスファーインターフェース ７６ 自動式の積載システム ８０ サブストレートホルダー ８２ 空所 ８４ ガイド空所 ９０ 第一のステップ ９１ 第二のステップ ９２ 第三のステップ ９３ 第四のステップ ９４ 第五のステップ ９５ 第六のステップ ９６ 第七のステップ ９７ 第八のステップ １００ 高精度の測定器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウルリヒ カチェンスキー ドイツ連邦共和国 デー・61231 バート ナウハイム アルトゥル・ヴェーバー・ ヴェーク ３

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 区別のあるサブストレート（８）のため
    のサブストレートホルダー（８０）が納められ得るいく
    つかのコンパートメントが形成されているマガジン（３
    ２）をもっている、高精度の測定器（１００）にさまざ
    まなサブストレート（８）をいれるための装置におい
    て、 積載ステーション（４０）が設けられており、当該積載
    ステーションにてサブストレートホルダー（８０）が当
    該サブストレートホルダー（８０）に適合するサブスト
    レート（８）を積まれ得る、並びに、自動式の移送装置
    （５０）が設けられており、当該自動式の移送装置が、
    マガジン（３２）からサブストレートホルダー（８０）
    を取り出して積載ステーション（４０）に挿入する、あ
    るいは納められたサブストレート（８）と一緒にサブス
    トレートホルダー（８０）を積載ステーション（４０）
    から取り出すことを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 サブストレート（８）がサブストレート
    ホルダー（８０）と一緒に積載ステーション（４０）か
    ら測定器（１００）へ移され得ることを特徴とする、請
    求項１に記載の装置。
  3. 【請求項３】 マガジン（３２）、自動式の移送装置
    （５０）、及び積載ステーション（４０）がプラットフ
    ォーム（６０）に据えつけられ且つ調節されているこ
    と、及び、プラットフォーム（６０）が測定器（１０
    ０）に結合され得ることを特徴とする、請求項１に記載
    の装置。
  4. 【請求項４】 サブストレートが自動式の移送装置（５
    ０）によって積載ステーション（４０）に挿入され得る
    あるいはそこから取り出され得るように積載ステーショ
    ン（４０）が空間的に配置されていることを特徴とす
    る、請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置。
  5. 【請求項５】 マガジン（３２）のコンパートメントの
    それぞれに温度センサーが設けられていることを特徴と
    する、請求項１に記載の装置。
  6. 【請求項６】 高精度の測定器（１００）にさまざまな
    サブストレートをいれるための方法において、以下のス
    テップ：積載ステーション（４０）に指定されたサブス
    トレートホルダー（８０）をのせるステップ、 積載ステーション（４０）に当該サブストレートホルダ
    ー（８０）に適合するサブストレートタイプを挿入する
    ステップ、 のせられているサブストレートホルダー（８０）と挿入
    されたサブストレートタイプとの適合を検査するステッ
    プ、 移送装置（５０）を用いて前記サブストレートホルダー
    （８０）に前記サブストレート（８）を収容するステッ
    プ、及び収容されたサブストレート（８）と一緒に前記
    サブストレートホルダー（８０）を高精度の測定器（１
    ００）へ移すステップを備えることを特徴とする方法。
  7. 【請求項７】 収容されたサブストレート（８）と一緒
    に前記サブストレートホルダー（８０）がマガジンコン
    パートメントに移され、そこで後の処理のために保管さ
    れることを特徴とする、請求項６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 それぞれのマガジンコンパートメントに
    てサブストレート（８）を備えるそれぞれのサブストレ
    ートホルダー（８０）の温度平衡が温度センサーによっ
    て確認されること、及び、温度平衡の到達の後にはじめ
    てサブストレートホルダー（８０）とサブストレート
    （８）とが測定器（１００）に移されることを特徴とす
    る、請求項６に記載の方法。
  9. 【請求項９】 のせられたサブストレートホルダー（８
    ０）と挿入されたサブストレート（８）との適合の検査
    が、のせられたサブストレート（８）のタイプを確かめ
    且つサブストレートホルダー（８０）と比較する相応の
    センサーが積載ステーション（４０）に設けられている
    ことによって達成されることを特徴とする、請求項６に
    記載の方法。
  10. 【請求項１０】 トランスファーインターフェース（７
    ４）が設けられており、当該トランスファーインターフ
    ェースに自動式の積載システム（７６）が配設されてお
    り、当該自動式の積載システムが自動式に移送容器から
    さまざまなサブストレート（８）を順々に積載ステーシ
    ョン（４０）に挿入することを特徴とする、請求項６に
    記載の方法。
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