JP2005502191A - 導電性バンプ用熱硬化性導電性ペースト - Google Patents

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Abstract

本発明は、絶縁層に積層される少なくとも1つの回路層上の所定の位置に導電性バンプを形成するための熱硬化性導電性ペーストに関する。積層により導電性バンプが絶縁層を貫通して、第2の回路層への電気的接続を形成する。熱硬化性導電性ペーストは、全組成を基準にして、少なくとも第1および第2の導電性金属粉末を含み、それらの充填密度が、第1の粉末の金属の平均密度(比重)の20%以下の範囲内であり、第2の粉末の金属の平均密度(比重)の20から40%の範囲内である、80から90重量%の導電性粉末と、10から20重量%のエポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒とを含む。

Description

【技術分野】
【0001】
本発明は、回路層間にスルーホール型導電性バンプによる接続を作製する目的で、プリント回路層上の所定の位置に導電性バンプを形成するのに適した熱硬化性導電性ペーストに関する。本発明は、プリント回路基板または多層プリント回路基板に特に有用である。
【背景技術】
【0002】
プリント回路基板の簡単な製造方法が、(特許文献1)(1994年)に開示され、ほぼ円錐形の導電性バンプが、プリント回路基板上の構造を構成する上部回路層および下部回路層を接続する。この方法によれば、導電性粉末と熱硬化性バインダー樹脂または熱可塑性樹脂との混合物を含む導電性組成物を用いた導電性金属箔上の印刷方法によって、円錐状導電性バンプを形成し、合成樹脂シートを含む絶縁シートを貫通し、導電性金属箔を重ね、圧縮して、これらの層を1つのユニットとして積層する(積層体本体を、修正せずに圧縮するか、加熱および圧縮する)ことによって、バンプの先端が、塑性変形し、バンプが接触している反対側の導電性金属箔との接着および結合が満足のいくものとなり、したがって、上部回路層と下部回路層との間に電気的接続を形成することが可能になる。したがって、バンプに対して、積層体層の圧縮後、導電性金属箔との非常に信頼性のある電気的接触および強い接着強度が必要である。導電性組成物は、導電性粉末、たとえば、金、銀、銅、はんだ粉末、合金粉末、またはそれらの混合物と、熱硬化性バインダー、たとえば、ポリカーボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエステル樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、およびポリイミド樹脂とを混合することによって調製する。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−342977A号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
導電性金属箔との非常に信頼性のある電気的接触および強い接着強度を示す、導電性バンプ用の改良された導電性ペースト組成物が求められる。本発明は、そのような要求を満たす。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明は、絶縁層に積層される少なくとも1つの回路層上の所定の位置に導電性バンプを形成するための熱硬化性導電性ペーストであって、積層により導電性バンプが絶縁層を貫通して、第2の回路層への電気的接続を形成し、熱硬化性導電性ペーストが、全組成を基準にして、少なくとも第1および第2の導電性金属粉末を含み、それらの充填密度が、第1の粉末の金属の平均密度(比重)の20%以下の範囲内であり、第2の粉末の金属の平均密度(比重)の20から40%の範囲内である、80から90重量%の導電性粉末と、10から20重量%のエポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒とを含むことを特徴とする熱硬化性導電性ペーストに関する。
【0006】
本発明は、さらに、上記導電性粉末が、充填密度が3から3.5g/mlであり、かつ平均粒度が2〜4.5μmである25から75重量%のフレーク銀粉末と、球状銀粒子の凝集体であり、充填密度が0.7〜1.7g/mlであり、かつ平均粒度が1.5〜3.5μmである25〜75重量%の銀粉末とを含むことを特徴とする熱硬化性導電性ペーストに関する。
【0007】
本発明は、さらに、0.5rpmの回転および25℃で、ブルックフィールド粘度計によって測定された粘度が、2200〜3200Pa.sの範囲内であることを特徴とする上記のような熱硬化性導電性ペーストに関する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
本発明の目的は、導電性金属箔に対して非常に信頼性のある電気的接触および非常に強い接着強度を有するバンプを形成できる、導電性バンプ用熱硬化性導電性ペーストを提供することである。バンプ形成に使用される熱硬化性導電性ペーストは、導電性金属箔上に、印刷方法によって、ほぼ円錐形の導電性バンプを形成することによって、上部回路層と下部回路層とを電気的に接続し、上部回路層と下部回路層との間にスルーホール型導電性部材接続を形成する方法に適している。たとえば、これは、合成樹脂シートを含む貫通絶縁シートを使用し、さらに、上に導電性バンプが形成された導電性金属箔を重ね、これらのシートを、通常、積層によって、ユニットとして圧縮することによって、行われる。
【0009】
必要な特性を満たすために、プリント回路基板中、所定の距離で隔てられた絶縁層を貫通するための導電性バンプのために、熱硬化性導電性ペーストが開発された。厚膜組成物は、充填密度が平均密度(比重)に対して20%以下である第1の導電性粉末と、充填密度が平均密度(比重)に対して約20から約40%の範囲内である第2の粉末とを含む、少なくとも2種類の導電性粉末を含む、約80から約90重量%の導電性成分を含有し、残りの成分は、少なくとも、エポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒である。プリント回路基板の構造を構成する回路層を貫通することによって導電性部材接続を形成する、ほぼ円錐形の導電性バンプによって、接続が与えられる。バンプは、貫通後、導電性金属箔との非常に強い接着強度を伴う非常に信頼性のある電気的接触の要件を満たすことができる。これは、積層時に層を圧縮するときに導電性バンプの変形を容易にして、1つのユニットを形成し、それにより、ほぼ円錐形の導電性バンプと導電性金属箔との間の接触表面積が増加することによって、達成される。
【0010】
一般に、粉末を含有する、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、タングステン、または合金粉末などの、既知の導電性粉末を使用することが可能である。金、白金、およびパラジウム粉末は、高価である。銅およびニッケル粉末は、表面酸化による導電性粉末の表面抵抗の増加に関する問題があり、また、低融点のためにプロセスの温度依存が大きくなる。これらの理由で、本発明における銀粉末の使用が、最も望ましい。球(以下、凝集体粉末と呼ぶ)およびフレークなどの異なった形状の銀粉末を使用することが可能である。1つの実施の形態などは、充填密度が3〜3.5g/mlであり、かつ平均粒度が2〜4.5μmであるフレーク形態の粉末25〜75重量%と、平均粒度が1.5〜3.5μmであり、充填密度が0.7〜1.7g/mlであり、ほぼ球状の粒子の凝集体である凝集体粉末25〜75重量%との組合せを含んでもよい。ここでの符号「〜」は、「から約」を意味する。
【0011】
エポキシ樹脂は、組成物の熱硬化性バインダー成分として好ましい。例としては、ビスフェノールAエポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、およびクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が挙げられる。必要に応じて、エポキシ樹脂以外の樹脂を適切にブレンドすることができる。
【0012】
硬化剤は、特定の制限なく使用することができる。好ましい硬化剤としては、たとえば、ジシアンジアミンなどのアミン硬化剤、カルボキシルヒドラジド、ヘプタデシルイミダゾールなどのイミダゾール硬化剤、酸無水物に代表される潜伏性硬化剤、および変性フェノール樹脂が挙げられる。
【0013】
提案される溶媒は、たとえば、脂肪族アルコール、たとえば、エタノール、i−プロパノール、n−プロパノール、ブタノール、それらのエステル、たとえば、アセテート、プロピオネートなど、カルビトール(Carbitol)(登録商標)溶媒、たとえば、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテートなど、セロソルブ溶媒、たとえば、セロソルブ、ブチルセロソルブ、イソアミルセロソルブ、ヘキシルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテートなど、ケトン溶媒、たとえば、アセトン、メチルエチルケトン、2−ペンタノン、3−ペンタノン、シクロヘキサノンなど、および炭化水素溶媒、たとえば、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、テルペン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルペンタンなどである。
【0014】
銀粉末、エポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒を構成する組成物において、銀粉末の形状および充填密度を調整することによって、積層体層の圧縮後、バンプ先端と反対側の導電性金属箔との接着および結合によって、信頼性の高い電気的接続を得ることが可能である。
【0015】
本発明に使用される銀粉末の充填密度が低いので、硬化材料は、形成および硬化後、充填密度の高い銀粉末を含有する硬化材料と比較して、密度が低く、なぜなら、低充填密度硬化材料中に多数の微小空隙が形成されるからである。したがって、本発明において、充填密度の異なった銀粉末が使用され、それにより、そのような多数の微小空隙が制限される。これにより、硬化後、ほぼ円錐形の導電性バンプを形成することが可能になる。
【0016】
導電性バンプは、導電性金属箔と絶縁シートとの構造を含む積層体本体の圧縮がある場合、容易に変形する。この理由で、ほぼ円錐形の導電性バンプと導電性金属箔との間の接触表面積が増加し、これにより、信頼性の優れた電気的接続を得ることが可能になる。
【0017】
本発明に使用される銀粉末は、フレーク粉末と、ほぼ球状の粒子の凝集体を含む凝集体粉末との組合せを構成する。フレーク粉末は、一般に、球状粉末より導通抵抗が低い。
【0018】
それにも関わらず、フレーク粉末が、銀粉末100重量%を構成する場合、多数の微小空隙が形成されず、したがって、充填密度が低い銀粉末との組合せが必要になる。
【0019】
銀粉末中のフレーク粉末および凝集体粉末の割合は、好ましくは、固体の重量を基準にして、約25〜75重量%のフレーク粉末と約25〜75重量%の凝集体粉末との組合せであり、非常に好ましくは、40〜60重量%のフレーク粉末と40〜60重量%の凝集体粉末との組合せである。フレーク粉末の割合が75%以上の場合、導電性ペースト中に多数の微小空隙を形成するのが困難になり、さらに、25%以下の場合、空隙が過度に形成され、導電性バンプの必要な硬さが得られない。
【0020】
銀粉末、エポキシ樹脂、および硬化剤全体の合計100重量部に対して、銀粉末の割合は、好ましくは80〜90重量部、より好ましくは83〜88重量部である。80重量部以下では、上記導電性バンプ中に多数の微小空隙を形成するのが困難になる。90重量部以上では、印刷に適したペースト粘度が得られなかった。
【0021】
フレーク粉末は、長い直径と短い直径との比(アスペクト比)で特徴づけられることがある。しかし、レーザ回折型粒度分布測定ユニットで測定されるようなD50%値(平均粒度)が2〜4.5μmの範囲内である限り、アスペクト比を特に特定する必要はない。
【0022】
凝集体粉末は、サイズが約0.1〜0.5μmのほぼ球状の粒子の凝集体を含む。しかし、レーザ回折型粒度分布測定ユニットで測定されるような平均粒度が約1.5〜3.5μmである限り、ほぼ球状の粒子のサイズを特定する必要はない。
【0023】
銀粉末の充填密度(g/ml)は、充填密度測定ユニットで測定する。たとえば、銀粉末10gを、10ml目盛付ガラスシリンダ内に入れ、5cmの高さから自然に落下させる。これを8回繰返した後、銀粉末の体積を読取り、10g/充填後のバルク銀粉末の体積(ml)から計算をする。
【0024】
硬化後、導電性バンプに必要な硬さが得られる限り、さまざまな配合物のエポキシ樹脂および硬化剤の割合は、十分に当該技術の範囲内である。
【0025】
熱硬化性ペーストの印刷に適した粘度範囲は、好ましくは2200〜3200Pa.s、最も好ましくは2400〜3000Pa.sである。粘度は、ブルックフィールド粘度計で、25℃、0.5rpmの回転で、測定する。
【0026】
粘度が2200Pa.s以下である場合、印刷および乾燥後の導電性バンプのバンプ高さが低く、合成樹脂絶縁シートの貫通特性が劣化する。さらに、3200Pa.s以上の場合、導電性バンプの高さが、印刷および乾燥後、高くなりすぎ、バンプの先端が、貫通時に折れて取れ、絶縁層の絶縁特性に影響を及ぼす。
【0027】
たとえば、全組成を基準にして、85重量%の銀粉末、9重量%のエポキシ樹脂、1重量%の硬化剤、および5重量%の溶媒の割合の熱硬化性銀ペーストを、撹拌機で予備混合し、その後、3ロールミル内で混合することによって、製造する。熱硬化性銀ペーストを使用するプリント回路基板を、導電性バンプを形成し、1つのユニットとして積層することによって合成樹脂絶縁シートの貫通を行った後、上部からの導電性金属箔と底部からの導電性金属箔との間に内側コア層を含む両面回路基板を挟み、次に、導電性金属箔の表面をエッチングでパターニングすることによって、製造する。
【0028】
結果として生じるプリント回路基板の上部回路層と下部回路層との接続の信頼性は、熱油テスト(260℃の油浴中に10秒間、浸漬後、すぐに20℃の油浴中に20秒間、浸漬し、サイクルを100回繰返した)およびはんだ耐熱性テスト(260℃のはんだ浴中で20秒間、浮動)を実施後、回路層間の最初の抵抗値に対する抵抗値変化(%)によって確認した。
【実施例】
【0029】
(実施例1)
64重量%のフレーク銀粉末(充填密度3〜3.5g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、21重量%の凝集体銀粉末(充填密度0.7〜1.7g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、9重量%のエポキシ樹脂(住友化学工業株式会社(Sumitomo Chemical Co.,LTD)から入手可能なエポキシクレゾールノボラック樹脂)、1重量%の硬化剤(四国化成株式会社(Shikoku Kasei Kabushiki Kaisha)から入手可能なフェニルジヒドロキシメチルイミダゾール(Phenyl dihydroxymethlimidazole))、および5重量%の溶媒(ブチルカルビトールアセテート)を含む15重量%のバインダー混合物との混合物を、3ロールミル内で混合して、熱硬化性銀ペーストを得た。スクリーン印刷、および150〜170Cで、約20から30分間、硬化することによって、ほぼ円錐形の導電性バンプを形成した。
【0030】
熱油テスト後の抵抗値変化は−2%であり、はんだ耐熱性テスト後の抵抗値変化は−3%であり、両方の場合で、満足のいく値が示された。
【0031】
(実施例2)
42.5重量%のフレーク銀粉末(充填密度3〜3.5g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、42.5重量%の凝集体銀粉末(充填密度0.7〜1.7g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、エポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒の混合物を含む、15重量%の、実施例1で使用されたようなバインダーとの混合物を、3ロールミル内で混合して、熱硬化性銀ペーストを得た。さらに、実施例1のように印刷に適した粘度を得るために、0.3重量%の溶媒を加えて粘度を調整した。この熱硬化性銀ペーストを、スクリーン印刷、および実施例1で示されたような硬化によって、ほぼ円錐形の導電性バンプに形成した。
【0032】
熱油テスト後の抵抗値変化は−2%であり、はんだ耐熱性テスト後の抵抗値変化は0%であり、両方の場合で、満足のいく値が示された。
【0033】
(実施例3)
21重量%のフレーク銀粉末(充填密度3〜3.5g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、64重量%の凝集体銀粉末(充填密度0.7〜1.7g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、エポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒の混合物を含む、15重量%の、実施例1で使用されたバインダーとの混合物を、3ロールミル内で混合して、熱硬化性銀ペーストを得た。さらに、実施例1のように印刷に適した粘度を得るために、0.5重量%の溶媒を加えて粘度を調整した。この熱硬化性銀ペーストを、スクリーン印刷によって、ほぼ円錐形の導電性バンプに形成した。
【0034】
熱油テスト後の抵抗値変化は−3%であり、はんだ耐熱性テスト後の抵抗値変化は1%であり、両方の場合で、満足のいく値が示された。
【0035】
(比較例1)
51重量%のフレーク銀粉末(充填密度3〜3.5g/ml、さらに、平均粒度2〜4.5μm)と、34重量%の球状粉末(充填密度5〜6g/ml、さらに、平均粒度4.5〜6.5μm)と、エポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒の混合物を含む、15重量%の、実施例1で使用されたようなバインダーとの混合物を、3ロールミル内で混合して、熱硬化性銀ペーストを得た。この熱硬化性銀ペーストを、スクリーン印刷、および実施例1に見出されるような硬化によって、ほぼ円錐形の導電性バンプに形成した。
【0036】
最大抵抗値変化は、熱油テスト後、90%であり、抵抗値変化は、はんだ耐熱性テスト後、50回目のサイクルから、最大87%まで大きくなり、異常に高い値が示された。

Claims (3)

  1. 絶縁層に積層される、少なくとも1つの回路層を形成するための熱硬化性導電性ペーストであって、積層により導電性バンプが前記絶縁層を貫通して電気的接続を形成し、前記バンプが、全組成を基準にして、(a)少なくとも第1および第2の導電性粉末を含み、それらの充填密度が、前記第1の粉末の平均密度(比重)の20%以下の範囲内であり、前記第2の粉末の平均密度(比重)の20から40%の範囲内である、80から90重量%の導電性粉末と、(b)10から20重量%のエポキシ樹脂、硬化剤、および溶媒とを含むことを特徴とする熱硬化性導電性ペースト。
  2. 前記導電性粉末が、充填密度が3から3.5g/mlであり、かつ平均粒度が2から4.5μmである25から75重量%のフレーク銀粉末と、充填密度が0.7から1.7g/mlであり、かつ平均粒度が1.5から3.5μmである25から75重量%の凝集体銀粉末とを含むことを特徴とする請求項1に記載の熱硬化性導電性ペースト。
  3. 0.5rpmの回転および25Cで、ブルックフィールド粘度計によって測定された前記ペーストの粘度が、2200から3200Pa.sの範囲内であることを特徴とする請求項2に記載の熱硬化性導電性ペースト。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100956074B1 (ko) * 2007-12-06 2010-05-07 제일모직주식회사 범프 형성용 페이스트 조성물
JP2012164696A (ja) * 2011-02-03 2012-08-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd バンプ形成用導電性ペースト
JP2012186254A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Sumitomo Bakelite Co Ltd 多層配線基板の製造方法
JP2012230866A (ja) * 2011-04-27 2012-11-22 Dainippon Printing Co Ltd 導電性ペースト
JP2012244075A (ja) * 2011-05-23 2012-12-10 Sumitomo Bakelite Co Ltd 導電性樹脂組成物および多層配線基板

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003318545A (ja) * 2002-04-22 2003-11-07 Sony Corp 多層型プリント配線基板及び多層型プリント配線基板の製造方法
JP3767514B2 (ja) * 2002-04-26 2006-04-19 株式会社村田製作所 導電性ペースト
DE112004001768B4 (de) * 2003-09-26 2019-11-21 Hitachi Chemical Co., Ltd. Gemischtes leitendes Pulver und dessen Verwendung
EP1560272B1 (en) * 2004-01-29 2016-04-27 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Solar cell module
DE112005001527B4 (de) * 2004-07-06 2019-10-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elektrisch leitfähige Paste und eine elektrisch leitfähige Paste aufweisendes keramisches Elektronikbauelment
KR101327712B1 (ko) * 2005-05-30 2013-11-11 스미토모덴키고교가부시키가이샤 도전성 페이스트 및 그것을 이용한 다층 프린트 배선판
JP4821396B2 (ja) * 2006-03-27 2011-11-24 住友金属鉱山株式会社 導電性組成物及び導電膜形成方法
US20080182011A1 (en) * 2007-01-26 2008-07-31 Ng Hou T Metal and metal oxide circuit element ink formulation and method
WO2009142310A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method for manufacturing the same
KR100974439B1 (ko) * 2008-05-30 2010-08-06 전자부품연구원 무소결 세라믹 하이브리드 기판용 비아 페이스트
JP5248412B2 (ja) * 2008-06-06 2013-07-31 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
US8053253B2 (en) 2008-06-06 2011-11-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
CN101515486B (zh) * 2009-03-27 2011-08-17 彩虹集团公司 一种光热固化导电浆料的制造方法
JP5520097B2 (ja) * 2010-03-23 2014-06-11 富士フイルム株式会社 微小構造体の製造方法
US8685284B2 (en) * 2010-09-17 2014-04-01 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Conducting paste for device level interconnects
CA2896467C (en) * 2012-12-31 2017-12-12 Amogreentech Co., Ltd. Flexible printed circuit board and method for manufacturing same
FR3041210B1 (fr) * 2015-09-15 2017-09-15 Sagem Defense Securite Procede d'assemblage par frittage d'argent sans pression
JP6594156B2 (ja) * 2015-10-14 2019-10-23 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 加熱硬化型導電性ペースト
CN105646968A (zh) * 2016-03-02 2016-06-08 安徽汇精模具研发科技有限公司 一种降噪导电橡胶垫片

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62150227A (ja) 1985-12-25 1987-07-04 Hitachi Ltd 液晶表示素子
JPH0198674A (ja) 1987-10-09 1989-04-17 Daido Steel Co Ltd 導電性組成物
JPH0611842B2 (ja) 1987-12-23 1994-02-16 住友ベークライト株式会社 導電性樹脂ペースト
CN1054092A (zh) * 1989-11-14 1991-08-28 戴维·杜兰特 抗潮导电粘合剂及其制造和使用方法
US5183593A (en) 1989-11-14 1993-02-02 Poly-Flex Circuits, Inc. Electrically conductive cement
JP3251711B2 (ja) 1993-06-02 2002-01-28 株式会社東芝 印刷配線板および印刷配線板の製造方法
WO1997019579A1 (fr) 1995-11-17 1997-05-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Tableau de connexion multicouches, materiau prefabrique pour ce tableau, procede de fabrication de ce dernier groupement de composants electroniques et procede de formation de connexions verticales conductrices
US5744285A (en) * 1996-07-18 1998-04-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Composition and process for filling vias
US6221327B1 (en) 1998-05-15 2001-04-24 Rohm And Haas Company Catalyst system using flow-through radiation shielding and a process for producing hydrogen cyanide using the same
JP2000138434A (ja) 1998-10-30 2000-05-16 Denso Corp 回路基板

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100956074B1 (ko) * 2007-12-06 2010-05-07 제일모직주식회사 범프 형성용 페이스트 조성물
JP2012164696A (ja) * 2011-02-03 2012-08-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd バンプ形成用導電性ペースト
JP2012186254A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Sumitomo Bakelite Co Ltd 多層配線基板の製造方法
JP2012230866A (ja) * 2011-04-27 2012-11-22 Dainippon Printing Co Ltd 導電性ペースト
JP2012244075A (ja) * 2011-05-23 2012-12-10 Sumitomo Bakelite Co Ltd 導電性樹脂組成物および多層配線基板

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