JP2005332882A - 現像装置及び現像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 現像液に対して親水性を有する基板例えばウエハWと同じか又はウエハWよりも大きいメッシュ部材51を含み、現像液ノズル3からの現像液をその裏面側に通過させてウエハWの表面に現像液を供給するための液流抑制板5を、ウエハWの表面と対向し且つウエハWの表面に供給される現像液の液膜の表面と接するか又は液膜中に浸水する位置に配置し、このメッシュ部材51を介して現像液をウエハW表面に供給する構成とする。
【選択図】 図5
Description
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に現像液を供給する現像液ノズルと、
前記現像液に対して親水性を有する基板と同じか又は基板よりも大きいメッシュ部材を含み、前記現像液ノズルからの現像液をその裏面側に通過させて基板の表面に現像液を供給するための液流抑制板と、
この液流抑制板を、前記基板の表面と対向し且つ基板の表面に供給される現像液の液膜の表面と接するか又は液膜中に浸水する位置と退避位置との間で移動させる液流抑制板移動機構と、を備えたことを特徴とする。
前記基板を水平に保持する工程と、
この基板の表面に供給される現像液の液膜の表面と接するか又は液膜中に浸水する高さ位置に、現像液に対して親水性を有するメッシュ部材を含む液流抑制板を配置する工程と、
この液流抑制板の表面に現像液を供給し、その裏面側に現像液を通過させて基板の表面に現像液を供給する工程と、を含むことを特徴とする。
2 バキュームチャック
3 現像液ノズル
5 液流抑制板
51 メッシュ部材
6 洗浄ノズル
63 乾燥ノズル
Claims (16)
- 塗布液を表面に塗布し、露光した後の基板を現像する現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に現像液を供給する現像液ノズルと、
前記現像液に対して親水性を有する基板と同じか又は基板よりも大きいメッシュ部材を含み、前記現像液ノズルからの現像液をその裏面側に通過させて基板の表面に現像液を供給するための液流抑制板と、
この液流抑制板を、前記基板の表面と対向し且つ基板の表面に供給される現像液の液膜の表面と接するか又は液膜中に浸水する位置と退避位置との間で移動させる液流抑制板移動機構と、を備えたことを特徴とする現像装置。 - 前記液流抑制板のメッシュ部材に対する現像液の接触角は30度未満であることを特徴とする請求項1記載の現像装置。
- 現像液が供給される基板の表面に塗布された塗布液は現像液に対して撥水性を有しており、さらに、基板の表面に形成する現像液の厚みは0.5mm〜3mmであることを特徴とする請求項1又は2記載の現像装置。
- 前記メッシュ部材は現像液に対して親水性を有する第1のメッシュ部と、この第1のメッシュ部よりも上方側に設けられ、第1のメッシュ部よりも親水性の小さい第2のメッシュ部と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の現像装置。
- 前記第2のメッシュ部に対する現像液の接触角は70度以上であることを特徴とする請求項4記載の現像装置。
- 前記メッシュ部材は、一の方向に間隔をおいて並べられた線状部材と、これに交差する他の方向に間隔をおいて並べられた線状部材により網目状に形成されており、一の方向に並べられた線状部材の線径を他の方向に並べられた線状部材の線径よりも大きくしたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の現像装置。
- 前記現像液供給ノズルは基板の有効領域の幅とほぼ同じ長さに亘って吐出口を有し、また、この現像液ノズルを基板の一端側から他端側に亘って移動させるノズル移動機構と、を備え、
前記現像液ノズルの移動方向に伸びる線状部材の線径を他の方向に伸びる線状部材の線径よりも大きくしたことを特徴とする請求項6記載の現像装置。 - 前記メッシュ部材は、一の方向に間隔をおいて並べられた線状部材と、これに交差する他の方向に間隔をおいて並べられた線状部材により網目状に形成されており、いずれか一方又は両方の配列方向に並ぶ線状部材のなかに所定の本数毎に間隔をおいて線径の大きい線状部材を配置したことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の現像装置。
- 前記液流抑制板のメッシュ部材は、基板の表面と対向する部位の目開きよりも基板の外側にある部位の目開きを大きくしたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の現像装置。
- 基板保持部に保持された基板の外周面を隙間を介して囲むように設けられ、少なくとも前記メッシュ部材よりも現像液に対する親水性の小さい液受け板を設けたことを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の現像装置。
- 前記液受け板の表面に対する現像液の接触角は40度〜70度であることを特徴とする請求項10記載の現像装置。
- 液流抑制板の退避位置には、この液流抑制板を洗浄する洗浄手段が設けられていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一つに記載の現像装置。
- 塗布液を表面に塗布し、露光した後の基板に現像液を供給して現像する現像方法において、
前記基板を水平に保持する工程と、
この基板の表面に供給される現像液の液膜の表面と接するか又は液膜中に浸水する高さ位置に、現像液に対して親水性を有するメッシュ部材を含む液流抑制板を配置する工程と、
この液流抑制板の表面に現像液を供給し、その裏面側に現像液を通過させて基板の表面に現像液を供給する工程と、を含むことを特徴とする現像方法。 - 前記メッシュ部材に対する現像液の接触角は30度未満であることを特徴とする請求項13記載の現像方法。
- 現像液が供給される基板の表面に塗布された塗布液は現像液に対して撥水性を有しており、また基板の表面に形成する現像液の厚みは0.5mm〜3mmであることを特徴とする請求項13又は14記載の現像方法。
- 基板の現像を行った後、液流抑制板を洗浄手段に移動させて洗浄を行なう工程を更に含むことを特徴とする請求項13ないし15のいずれか一つに記載の現像方法。
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