JP2005327770A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
半導体装置及びその製造方法において、IGBTなどの構造を有する半導体装置を薄型化してもスイッチング特性が低下やオン電圧の増加を招くことを低減可能な半導体装置及びその製造を提供すること。
【解決手段】
拡散領域などを形成する対象物をシリコン基板ではなく、N−型ドリフト層及び濃度変化層とする。N−型ドリフト層と濃度変化層はエピタキシャル成長によって積層状態に形成される。N−型ドリフト層の不純物濃度は一定であるが、濃度変化層112はバリアメタル膜との接触面に近づくほど不純物濃度が高くなっている。従来技術のIGBTでは、シリコン基板が目標厚さよりも厚いと、使用時に正孔の総量が増加するのでスイッチング特性が低下するが、この実施例では濃度変化層が過剰な厚さになっても、バリアメタル膜との境界面近傍ほど不純物濃度が高くなるので、正孔の増加を抑制できる。
【選択図】 図1
Description
は、全体として電界効果トランジスタを構成しており、P+型ベース領域111のゲート絶縁膜107と接する部分の近傍にチャネルが形成されたときに、このチャネルを通ってバリアメタル膜101とエミッタ電極膜106との間に電流が流れる。
101:バリアメタル膜
102:絶縁膜
103:N+型バッファ層
104:N−型ドリフト層
105:N+型チャネルストッパ領域
106:エミッタ電極膜
107:ゲート絶縁膜
108:ゲート電極膜
109:層間絶縁膜
110:N+型エミッタ領域
111:P+型ベース領域
113:エピタキシャル成長層
114:シリコン基板
115:N−型ドレイン層
Claims (5)
- 第1導電型の第1の導電層と、前記第1の導電層の表面に露出するように、かつ、前記第1の導電層の内部に選択的に形成した第2導電型の第1の導電領域と、前記第1の導電領域の表面に露出するように、かつ、前記第1の導電領域の内部に選択的に形成した第1導電型の第2の導電領域と、前記第1の導電層、前記第1の導電領域および前記第2の導電領域の表面を部分的に覆うように形成した第1の絶縁膜と、前記絶縁膜上に積層するように形成したゲート電極膜と、前記第1の絶縁膜及び前記ゲート電極膜を覆うように形成した第2の絶縁膜と、前記第1の導電領域及び前記第2の導電領域に接するように形成したエミッタ電極膜と、前記第1の導電層に接するように形成したコレクタ電極膜を有する半導体装置であって、
前記第1の導電層は、前記コレクタ電極膜との接合面から所定の深さの範囲においてその不純物濃度がその厚さ方向に対して連続的に変化し、それ以外の深さの範囲においてその不純物濃度がその厚さ方向に対して一定であるようになされていることを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の第1の導電層と、前記第1の導電層上に積層するように形成した第1導電型の第2の導電層と、前記第2の導電層の表面に露出するように、かつ、前記第3の導電層の内部に選択的に形成した第2導電型の第1の導電領域と、前記第1の導電領域の表面に露出するように、かつ、前記第1の導電領域の内部に選択的に形成した第1導電型の第2の導電領域と、前記第3の導電層、前記第1の導電領域および前記第2の導電領域の表面を部分的に覆うように形成した第1の絶縁膜と、前記絶縁膜上に積層するように形成したゲート電極膜と、前記第1の絶縁膜及び前記ゲート電極膜を覆うように形成した第2の絶縁膜と、前記第1の導電領域及び前記第2の導電領域に接するように形成したエミッタ電極膜と、前記第1の導電層に接するように形成したコレクタ電極膜を有する半導体装置であって、
前記コレクタ電極膜は、前記第1の導電層とショットキー接合され、
前記第1の導電層は、前記コレクタ電極膜との接合面から所定の深さの範囲においてその不純物濃度がその厚さ方向に対して連続的に変化するようになされていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に、第1導電型の第3の導電層を形成したことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 第1導電型の半導体ウェーハの一方の主面上にエピタキシャル成長によって導電層を形成すると共に、該導電層が第1の厚さになるまではその不純物濃度がその厚さ方向に対して連続的に変化し、第1の厚さを超えて第2の厚さになるまではその不純物濃度が一定になるようにする第1の工程と、
前記導電層の露出面側に電界効果トランジスタを形成する第2の工程と、
前記半導体ウェーハと前記導電層の不純物濃度がその厚さ方向に対して連続的に変化している部分の一部とを研削、研磨及びエッチングのいずれか二以上の方法で薄くする第3の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - さらに、前記第3の工程によって露出した前記導電層の表面に、前記導電層とショットキー接合させた金属膜を形成する第4の工程を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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