JP2005317580A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の導電パターン42と、第1の導電パターンに隣接して形成された第2の導電パターン42と、第1の導電パターンの所定領域下に形成された第1の導体プラグ28と、第1の導電パターンの所定領域上に形成された第2の導体プラグ62nと、第2の導電パターンのうちの、第1の導電パターンの所定領域に隣接する所定領域下に形成された第3の導体プラグ28と、第2の導電パターンの所定領域上に形成された第4の導体プラグ62n+1と、第1の導電パターン42の上方に形成され、第2の導体プラグに接続された第3の導電パターン62と、第2の導電パターンの上方に形成され、第4の導体プラグに接続された第4の導電パターン64とを有し、第4の導体プラグは、第2の導体プラグに対して、ずれた位置に配されている。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1実施形態による半導体装置及びその製造方法を図1乃至図20を用いて説明する。
まず、本実施形態による半導体装置を図1乃至図6を用いて説明する。図1は、本実施形態による半導体装置を示す断面図及び平面図である。図1(a)は断面図であり、図1(b)は平面図である。図1(a)は、図1(b)のA−A′線断面図である。図2は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。図2は、図4乃至図6のB−B′線断面図である。図3は、本実施形態による半導体装置の一部を示す斜視図である。図4乃至図6は、本実施形態による半導体装置を示す平面図である。図4は、主として、素子領域12、素子分離領域14及びゲート電極18のレイアウトを示している。図5は、主として、導体プラグ28及び第1金属配線層42のレイアウトを示している。図6は、主として、導体プラグ62及び第2金属配線層64のレイアウトを示している。
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法について図7乃至図20を用いて説明する。図7乃至図20は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程図である。図7(a)乃至図9は、断面図である。図10乃至図17の(a)は断面図である。図10乃至図17の(b)は、図10乃至図17の(a)にそれぞれ対応する平面図である。図18乃至図20は、断面図である。
次に、本実施形態の変形例(その1)による半導体装置を図21を用いて説明する。図21は、本変形例による半導体装置を示す平面図である。
次に、本実施形態の変形例(その2)による半導体装置を図22を用いて説明する。図22は、本変形例による半導体装置を示す平面図である。
次に、本実施形態の変形例(その3)による半導体装置を図23を用いて説明する。図23は、本変形例による半導体装置を示す平面図である。
本発明の第2実施形態による半導体装置を図24乃至図27を用いて説明する。図24は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。図25は、本実施形態による半導体装置の一部を示す斜視図である。図26及び図27は、本実施形態による半導体装置を示す平面図である。図26は、主として、導体プラグ62及び第2金属配線層64のレイアウトを示している。図27は、主として、導体プラグ106及び第3金属配線層108のレイアウトを示している。図1乃至図23に示す第1実施形態による半導体装置及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
本発明の第3実施形態による半導体装置を図28乃至図30を用いて説明する。図28は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。図29及び図30は、本実施形態による半導体装置を示す平面図である。図29は、主として、素子領域12a、素子分離領域14a、フローティングゲート電極114、コントロールゲート電極116、導体プラグ28a及び第1金属配線層42aのレイアウトを示している。図30は、主として、導体プラグ62a及び第2金属配線層64aのレイアウトを示している。図28は、図29及び図30のC−C′線断面図である。図1乃至図27に示す第1又は第2実施形態による半導体装置及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…素子領域
14…素子分離領域
16…ゲート絶縁膜
18…ゲート電極
20…ソース/ドレイン拡散層
22…トランジスタ
24…層間絶縁膜
26…コンタクトホール
28…導体プラグ
30…有機絶縁膜
32…シリコン酸化膜
34…積層膜
36…溝
38…バリアメタル膜
40…Cu膜
42…配線
44…シリコン窒化膜
46…シリコン酸化膜
48…有機絶縁膜
50…シリコン酸化膜
52…積層膜
54…コンタクトホール
56…溝
58…バリアメタル膜
60…Cu膜
62…導体プラグ
64…配線
66…幅が太くなっている部分
68…フォトレジスト膜
70…開口部
72…シリコン窒化膜
76…フォトレジスト膜
78…開口部
80…開口部
82…フォトレジスト膜
84…開口部
86…開口部
88…シリコン窒化膜
90…シリコン酸化膜
92…有機絶縁膜
94…シリコン酸化膜
96…積層膜
98…コンタクトホール
100…溝
102…バリアメタル膜
104…Cu膜
106…導体プラグ
108…配線
110…幅が太くなっている部分
112…トンネル絶縁膜
114…フローティングゲート電極
116…絶縁膜
118…コントロールゲート電極
120…ソース/ドレイン拡散層
122…メモリセル
152…絶縁層
162…導体プラグ
164…配線
Claims (9)
- 第1の導電パターンと、
前記第1の導電パターンに隣接して形成された、前記第1の導電パターンとほぼ平行な第2の導電パターンと、
前記第1の導電パターンの所定領域下に形成され、前記第1の導電パターンに接続された第1の導体プラグと、
前記第1の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第1の導電パターンに接続された第2の導体プラグと、
前記第2の導電パターンのうちの、前記第1の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第2の導電パターンに接続された第3の導体プラグと、
前記第2の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第2の導電パターンに接続された第4の導体プラグと、
前記第1の導電パターンの上方に形成され、前記第2の導体プラグに接続された第3の導電パターンと、
前記第2の導電パターンの上方に形成され、前記第4の導体プラグに接続された第4の導電パターンとを有し、
前記第4の導体プラグは、前記第2の導体プラグに対して、ずれた位置に配されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2の導電パターンに隣接して形成された、前記第2の導電パターンとほぼ平行な第5の導電パターンと、
前記第5の導電パターンのうちの、前記第2の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第5の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第6の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの上方に形成され、前記第6の導体プラグに接続された第6の導電パターンとを有し、
前記第6の導体プラグは、前記第4の導体プラグのずれとは反対方向にずれた位置に配されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2の導電パターンに隣接して形成された、前記第2の導電パターンとほぼ平行な第5の導電パターンと、
前記第5の導電パターンのうちの、前記第2の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第5の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第6の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの上方に形成され、前記第6の導体プラグに接続された第6の導電パターンとを有し、
前記第6の導体プラグは、前記第4の導体プラグに対して、前記第4の導体プラグのずれと同じ方向に更にずれた位置に配されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第3の導電パターンと前記第2の導体プラグとが一体に形成されており、
前記第4の導電パターンと前記第4の導体プラグとが一体に形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の導体プラグ又は前記第3の導体プラグは、前記第1の導電パターン又は前記第2の導電パターンの下方に位置するトランジスタのゲート電極又はソース/ドレイン拡散層に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電パターンと、
前記第1の導電パターンに隣接して形成された、前記第1の導電パターンとほぼ平行な第2の導電パターンと、
前記第1の導電パターンの所定領域下に形成され、前記第1の導電パターンに接続された第1の導体プラグと、
前記第1の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第1の導電パターンに接続された第2の導体プラグと、
前記第2の導電パターンのうちの、前記第1の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第2の導電パターンに接続された第3の導体プラグと、
前記第2の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第2の導電パターンに接続された第4の導体プラグと、
前記第1の導電パターンの上方に形成され、前記第2の導体プラグに接続された第3の導電パターンと、
前記第2の導電パターンの上方に形成され、前記第4の導体プラグに接続された第4の導電パターンとを有し、
前記第3の導体プラグは、前記第1の導体プラグに対して、ずれた位置に配されており、
前記第2の導体プラグは、前記第1の導体プラグが形成されている領域の上方の領域に位置しており、
前記第4の導体プラグは、前記第3の導体プラグが形成されている領域の上方の領域に位置している
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項6記載の半導体装置において、
前記第2の導電パターンに隣接して形成された、前記第2の導電パターンとほぼ平行な第5の導電パターンと、
前記第5の導電パターンのうちの、前記第2の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第5の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第6の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの上方に形成され、前記第6の導体プラグに接続された第6の導電パターンとを有し、
前記第5の導体プラグは、前記第3の導体プラグのずれとは反対方向にずれた位置に配されており、
前記第6の導体プラグは、前記第5の導体プラグが形成されている領域の上方の領域に位置している
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項6記載の半導体装置において、
前記第2の導電パターンに隣接して形成された、前記第2の導電パターンとほぼ平行な第5の導電パターンと、
前記第5の導電パターンのうちの、前記第2の導電パターンの前記所定領域に隣接する所定領域下に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第5の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの前記所定領域上に形成され、前記第5の導電パターンに接続された第6の導体プラグと、
前記第5の導電パターンの上方に形成され、前記第6の導体プラグに接続された第6の導電パターンとを有し、
前記第5の導体プラグは、前記第3の導体プラグに対して、前記第3の導体プラグのずれと同じ方向に更にずれた位置に配されており、
前記第6の導体プラグは、前記第5の導体プラグが形成されている領域の上方の領域に位置している
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項6乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の導電パターンと前記第1の導体プラグとが一体に形成されており、
前記第2の導電パターンと前記第3の導体プラグとが一体に形成されており、
前記第3の導電パターンと前記第2の導体プラグとが一体に形成されており、
前記第4の導電パターンと前記第4の導体プラグとが一体に形成されている
ことを特徴とする半導体装置。
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