JP2005279643A - 平板状ディスプレイ用洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
２種以上の洗浄用流体を利用して基板を洗浄する洗浄装置であって、流体を噴射するための流路の形成が容易で、洗浄用液体の使用量を大幅減らすことができ、噴射効率及び洗浄品質を向上できる平板ディスプレイ用洗浄装置を提供する。
【解決手段】
洗浄用液体が入る液体供給部、液体供給部と対向するように配置され、洗浄用気体が入る気体供給部及び液体供給部と気体供給部との間に配置され、洗浄用気体の噴射作用によって洗浄用液体と洗浄用気体とを混合して噴射する噴射手段、を含み、噴射手段は、液体供給部に対応するように配置され、複数の薄板によって液体流路を形成する液体流路アセンブリー及び液体流路アセンブリーと対向するように配置され、複数の薄板によって気体流路を形成すると共に、洗浄用気体が噴射される時に、洗浄用気体の流れによって、洗浄用液体が洗浄用気体に吸引・混合されて基板に噴射されるように誘導する気体流路アセンブリーを含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は平板状ディスプレイ用洗浄装置に関し、より詳しくは気相、液相または固相などの相の異なる洗浄用流体が２種以上混合された混合流体の噴射作用によって、基板を洗浄する洗浄装置である。本発明は、洗浄用流体を噴射するための流路の形成が容易であるだけでなく、気相の噴射の流れによって誘導した液相を、気相に混合して噴射することで、基板洗浄のための洗浄用液体の使用量を大幅減らすことができることはもちろん、さらに噴射効率及び洗浄品質を向上させることができる平板状ディスプレイ用洗浄装置に関する。

一般に洗浄用流体の噴射作用による洗浄装置は、平板状ディスプレイパネル（つまり、基板）の表面に付着した異物を、気相や液相などの単一の相、またはこれら相の物質を混合した混合流体を一定の圧力で噴射して除去する装置である。前記洗浄装置は、基板洗浄のための洗浄領域（つまり、バスの内部）において、基板の移送区間内に、この移送区間に沿って移動する基板の表面の洗浄が可能な位置に設置される。

前記洗浄装置は、基板移送区間を横切る姿勢に設置される長方形の本体に、流体を噴射するノズルが前記本体の長さ方向に複数個離隔して設置され、基板が移送区間内の洗浄区間（つまり洗浄装置の領域）を通過する時に、洗浄用流体が前記ノズルを通じて基板の表面に向かって噴射されるように構成されている。前記洗浄装置は、このような洗浄用流体の噴射作用によって基板の表面に付いた異物を除去するものである。

このような前記洗浄装置において、複数個設置されるノズルは、洗浄用流体の噴射のための流路が実質リング状に構成されている。従ってこのような流路を通じて噴射される洗浄用流体は、基板の表面において前記流路の形状に対応するリング状に限定された噴射領域に噴射されることになる。このため、前記洗浄装置では、洗浄区間を通過する基板の表面全体に対応して流体を均一に噴射することが難しく、洗浄用流体の噴射効率はもちろん、満足できる洗浄品質を得ることに限界があった。

さらに、前記洗浄装置において、広い面積を有する基板を洗浄しようとする場合、その基板に対応して前記本体に、流体噴射のためのノズルをさらに設置しなければならなかった。このため、構造が複雑になるだけではなく、製作及び維持補修などに過剰な費用がかかるので、満足できる装置の効率性を期待し難かった。

前記噴射構造を有する洗浄装置の課題を解決する従来の洗浄装置として、本願出願人によって２００２年特許出願された特許文献１の洗浄装置がある。

特許文献１の洗浄装置の構造を簡略に説明すれば、それは長方形ノズルを備えた長方形本体、前記本体の内部を大気圧状態の洗浄液保存部と圧力気体保存部とに分離するように、前記本体の内側中心部に前記本体の長軸に沿って設置された分離隔壁、前記圧力気体保存部の上部に設置された気体供給口、前記気体供給口から流入する圧力気体を層流に変換するように前記圧力気体保存部内に設置された層流変換手段、前記洗浄液保存部の上部に設置された洗浄液供給口、前記洗浄液保存部の下端に備えられた水平流路及び前記圧力気体保存部の下端に備えられた垂直流路からそれぞれ供給を受けた洗浄液及び圧力気体を混合させて、前記ノズルを通じて平板状ディスプレイに噴射するように、前記分離隔壁の底面部に設置された液相気相混合噴射器、及び前記ノズルの間隙の弾性変形を防止するように前記ノズルの短軸方向に前記ノズルを締結する等間隔の流線形の機構、を含む構造である。

つまり、洗浄液保存部と圧力気体保存部とが、分離隔壁により互いに分離され、洗浄液と圧力気体とが、洗浄液と圧力空気とを混合するための流路区間を有する液相気相混合噴射器で互いに混合される。すなわち、圧力気体が垂直流路に沿ってノズルを通じて噴射される過程で、洗浄液保存部の洗浄液が圧力気体の噴射流れにより吸引されて、水平流路に沿って移動し、圧縮気体と混合される。洗浄液と圧力空気との混合物はノズルを通じて基板の表面に噴射される。特許文献１の洗浄装置は、このようにして基板に付着した異物を除去するものである。

韓国特許出願番号１０-２００２-００２１５５３号

しかし、このような従来の長方形の流体噴射ノズルを有する洗浄装置では、前記２つの保存部の間に位置する流路領域、つまり隔壁、液相気相混合噴射器及びノズルが、前記保存部と一体に形成されている。このため、流路の製作が難しいだけでなく、満足できる精密度を得ることができなかった。また、前記保存部のセッティング状態によって流路内部の環境が容易に変化してしまうため、最適の流路環境を提供するには構造的に限界があった。

さらに、前記保存部において、例えば荷重や外力などにより曲げやねじれのような表面形態の変形が発生すれば、前記２つの保存部の間に形成される流路の形態も共に変形するので、満足できる耐久性及び噴射品質を期待することができなかった。

さらに、前記ノズルが短軸方向に流線形の機構を締結しても、前記保存部の形態変形や洗浄用流体の噴射圧力などにより、ノズル部の間隙の弾性変形が容易に誘発されてしまった。このことも、洗浄用流体の噴射効率及び品質などをさらに低下させる要因の一つであった。

また、前記流路領域に部分的な破損が発生すれば、保存部全体を替えなければならず、基板の大きさや形態によって洗浄用流体の噴射量や圧力などを調節しようとすれば、これに対応する形態の保存部に替えるか、または新しく製作しなければならない。従って、満足できる作業互換性及び能率を期待し難かった。

本発明は、上記のような従来の問題点を解決するために案出されたものであって、本発明の目的は、２種以上の洗浄用流体を利用して、これらの噴射作用によって容易に基板を洗浄することができ、流体の噴射のための流路領域の製作が容易で、且つより向上した耐久性及び噴射品質を得ることができる平板状ディスプレイ用洗浄装置を提供することにある。

前記目的を実現するために、本発明の平板状ディスプレイ用洗浄装置は、基板を洗浄するための洗浄用液体が入る液体供給部、前記液体供給部と対向するように配置され、基板を洗浄するための洗浄用気体が入る気体供給部、及び前記液体供給部と気体供給部との間に配置され、洗浄用気体の噴射作用によって洗浄用液体が吸引されるようにして、洗浄用液体と洗浄用気体とを混合して、その混合物を噴射する噴射手段、を含み、前記噴射手段が、前記液体供給部に対応するように配置され、複数の薄板によって洗浄用液体を噴射するための液体流路を形成する液体流路アセンブリーと、前記液体流路アセンブリーと対向するように配置され、複数の薄板によって洗浄用気体を噴射するための気体流路を形成すると共に、前記気体流路を通じて洗浄用気体が噴射される時に、この洗浄用気体の流れによって、前記液体流路を通じて洗浄用液体が洗浄用気体に吸引・混合されて、その混合物が基板に噴射されるように誘導する気体流路アセンブリーを含むことを特徴とする。

本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置は、固相・液相または気相などの状態相の異なる物質が、２相以上混合された洗浄用流体を混合して噴射するための流路を提供する噴射手段によって、容易に基板を洗浄することができる。前記噴射手段は、複数の薄板が連結されること、つまり分割された区間が連結されることで、洗浄用液体及び洗浄用気体が流れるための単一の流路を形成すると共に、洗浄用気体の流れを含む雰囲気によって、洗浄用液体が洗浄用気体に吸引されて、これらが混合され、噴射されるようにする構造からなる。従って、流路の製作が容易であるだけでなく、より向上した耐久性及び噴射効率を得ることができる。また、基板の大きさや形態に応じて、これに対応する洗浄用流体の噴射環境を容易にセッティングすることができるので、作業互換性及び洗浄品質などをさらに向上させることができる。

以下、本発明の好ましい実施例を添付した図面を参照してより詳細に説明する。

《実施例》
図１から図３を参照すれば、本実施例の平板状ディスプレイ用洗浄装置は、基板Ｇを洗浄するための洗浄液Ｗが入る液体供給部２、液体供給部２と対向するように配置され、基板Ｇを洗浄するための圧力気体Ａが入る気体供給部４、液体供給部２と気体供給部４の間に配置され、この気体Ａの噴射作用によって、気体Ａと洗浄液Ｗとを混合して噴射する噴射手段６を含む。本実施例の平板状ディスプレイ用洗浄装置は、基板Ｇの洗浄のための領域、例えば洗浄用バスの内部において、図１に示すように、基板移送装置Ｍに沿って移動する基板Ｇの移動区間に対応して設置される。

液体供給部２は、基板Ｇの洗浄のための洗浄液Ｗが入る空間部２ａを有するボックス形態で形成されている。つまり、図１に示すように、後述する噴射手段６に対応する長角胴形で形成されている。液体供給部２は、一側面が開放され、この開放面に別途のカバーＣがボルトのような締結部材で分離可能に結合された構造である。

液体供給部２の材質としては、耐久性、耐化学性及び加工性などが優れた合成樹脂や金属材を用いることができる。前述したように内部空間部２ａを別途のカバーＣにより開放または密閉可能なように構成するとき、液体供給部２の内部の維持補修が容易になるが、内部の洗浄液Ｗが外部へ流失する可能性がある。従って、例えばゴムリングのようなシール部材をさらに設置して、十分に密閉環境が維持されるように製作することが望ましい。

液体供給部２に保存される洗浄液Ｗには、基板Ｇの表面に存在する異物や粒子を速かに分解及び除去することができるもの、例えば、純水などのような既によく知られた洗浄溶剤を用いる。洗浄液Ｗは、図１に示すように、液体供給部２と連結された液体供給管Ｐ１を通じて液体供給部２に流入する。

液体供給部２は、大気圧状態で液体供給部の内部の空間部２ａに洗浄液Ｗが保存されるように、例えば、液体供給管Ｐ１を通じて洗浄液Ｗが所定量以上入れば、排出管（図示していない）などを通じて溢れ出させるように構成されている。これにより、液体供給部２の内部の空間部２ａでは、常に一定の水圧が維持されている。

液体供給部２の内部には、空間部２ａに入った洗浄液Ｗが後述する噴射手段６側に流れることができるように排出孔２ｂが形成されている。この孔２ｂは、空間部２ａの底面部に対応して洗浄液Ｗが水平に流れることができるように、図３及び図４に示すような位置で、例えば長円形状に形成され、且つ液体供給部２の長さ方向に複数個が離隔されて形成されている。

気体供給部４は、基板Ｇを洗浄するための圧力気体Ａを、後述する噴射手段６に所定の圧力で供給できるようにしたものであって、圧力気体Ａが滞留可能な空間部４ａを有するボックス形態に製作されている。本実施例では、気体供給部４が、図１及び図２に示すように、液体供給部２に対応する角胴形で形成され、空間部４ａの開口面に別途のカバーＣがボルトのような締結部材で分離可能に結合される構造を一例として示している。

気体供給部４の材質としては、圧力気体Ａが空間部４ａを通じて排出される時に、その圧力気体Ａなどによって形態が変形したり破損することを防止できるように、耐久性及び耐化学性などが優れた金属または合成樹脂を用いることができる。また、少数の特殊形状体を構成するのに金属を使うことが、経済的に有利で改造も容易であるので好ましいが、セラミック類を使用することも可能である。

気体供給部４の材質としては、例えば不錆鋼ＳＵＳ系列の金属材質、ＳＵＳ４４０やエンジニアリングプラスチックのような合成樹脂などを用いることがさらに好ましい。
また、カバーＣが分離可能に結合される空間部４ａの開口面には、圧力気体Ａが外部へ流失することを防止するために、液体供給部２のようにゴムリング（ガスケット）などの封止部材を設置して、十分な密閉環境が維持されるように構成することが望ましい。

気体供給部４に供給される圧力気体Ａは、洗浄液Ｗと混合されて噴射される時に、例えばその吹き飛ばし作用によって、基板Ｇの表面の異物はもちろん、噴射された洗浄液Ｗをも速やかに除去できるようなものであることが望ましい。圧力気体Ａとしては、例えばＣＤＡ（乾燥した清浄空気）などのように既によく知られた洗浄用気体や封入用空気を用いることができる。

気体供給部４は、図１に示すように、気体供給管Ｐ２と連結され、この供給管Ｐ２から圧力気体Ａが流入するように構成されてもよい。このようにして供給された圧力気体Ａは、空間部４ａを経由して、図３に示すような排出孔４ｂを通じて、後述する噴射手段６に直接供給される。

図３を参照すれば、気体供給部４の空間部４ａには、気体供給管Ｐ２から流入する圧力気体Ａを乱流状態から層流状態に変換するための変換手段が形成されている。この変換手段は、気体供給部４の空間部４ａにおいて、圧力気体Ａが流れる区間に対応して、単一の空間部４ａを上下２つの空間、つまり上側空間部１０ａと下側空間部１０ｂとに分割するように形成された遮断膜８（図３及び図４）を有するように設計されている。遮断膜８には、圧力気体Ａを乱流から層流に変換するための複数の孔１２が開けられている。

この時、遮断膜８に形成される複数の孔１２は、図５に示すような配列に穿孔形成されることができる。この孔１２の大きさは、分割された２つの空間部１０ａ、１０ｂを経由して流れる圧力気体Ａが孔１２の領域を通過する時に、例えば流路直径の差異によって、乱流から層流に円滑に変換できる範囲で形成する。

前記構造の層流変換手段は、気体供給管Ｐ２を通じて上側空間部１０ａに流入する圧力気体Ａを、上側空間部１０ａで乱流から層流に変換して１次保存し、１次保存した圧力気体Ａが遮断膜８に形成された孔１２を通過する時に、再び乱流から層流に変換して２次保存するように構成されている。より詳細に説明すると、圧力気体Ａは、遮断膜８の孔１２を通過する時に、流路の直径差による圧力によって均一に圧縮される。このような作用によって圧力気体Ａは、均一な圧力を有する層流に容易に変換されるとともに、下側空間部１０ｂで断面積が急膨張するため、速度エネルギーが小さくなる。この圧力気体Ａの速度エネルギーの減少によって、相対的に圧力エネルギーが急増する。前記層流変換手段は、このような作用によって、遮断膜８を通過する圧力気体Ａを容易に高圧の層流に変換させることが可能である。

一方、液体供給部２と気体供給部４との間には噴射手段６が設置されている。この噴射手段６について、添付した図面を参照して詳細に説明する。

図２及び図３を参照すれば、噴射手段６は、液体供給部２に対応して配置され、薄板Ｆ１の結合によって分割された区間が連結されることで、洗浄液Ｗを噴射するための単一の流路Ｈ１を形成する液体流路アセンブリー１４と、この液体流路アセンブリー１４と対向し、薄板Ｆ２の結合によって分割された区間が連結されることで圧力気体Ａを噴射するための流路Ｈ２を形成すると共に、この流路Ｈ２を通じて圧力気体Ａが一方向に噴射される時に、液体流路Ｈ１を通じて洗浄液Ｗが圧力気体Ａに吸引されて混合され、その混合物が噴射されるように誘導する気体流路アセンブリー１６とを含む。本実施例では、液体流路アセンブリー１４を４枚１組の薄板Ｆ１で形成し、気体流路アセンブリー１６を３枚１組の薄板Ｆ２で形成したものを一例として示している。

液体流路アセンブリー１４の薄板Ｆ１は、図２に示すように、液体供給部２に対応する角胴形で形成されている。この薄板Ｆ１の下側には、洗浄液Ｗの流れを誘導するために、分割された流路区間を提供する流路溝２０ａが形成されている。

薄板Ｆ１に形成される流路溝２０ａは、図３及び図４に示すように、分割された４つの区間、つまり薄板Ｆ１が連結されたとき、４つの流路溝２０ａによって単一の流路Ｈ１が形成されるように、穿孔形成されている。本実施例では、図２に示すように、液体供給部２に隣接する薄板Ｆ１（つまり、図２の左端に配置された薄板Ｆ１）の流路溝２０ａは、円形に穿孔形成され、残りの３枚の薄板Ｆ１の流路溝２０ａは、下端まで切除された、例えば逆Ｕ字形状“∩”に穿孔形成されている。本実施例では、これにより、液体供給部２の排出孔２ｂ（図３及び図４）に対応して、単一の流路領域を形成する構造を一例として示している。

この時、４枚の薄板Ｆ１によって形成される液体流路Ｈ１区間は、図３に示すように、液体供給部２側から気体流路アセンブリー１６との境界地点に向かって、順次に下側へ傾くように形成されている。またその代わりとして、図面には示さなかったが、流入側と排出側とが互いに平行な区間を有するように形成されてもよい。

図３を参照すれば、薄板Ｆ１の結合によって形成される液体流路Ｈ１区間の長さＬ１は、略０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍの範囲で設定されている。各薄板Ｆ１の厚さは、前記範囲で形成された液体流路Ｈ１と液体流路アセンブリー１４の領域に設置される薄板Ｆの枚数とに応じて設定される。なお、“薄板Ｆ”という表現は、前述した“遮断膜８”と比較すると、感覚的に異常ではあるが、両者ともに、比較的に薄い構造部材ということを意味している。薄板Ｆの材質としては、ヤング率や剛性率などの弾性率と強度の大きい材料、例えば金属チタンや酸化ジルコニウムを用いることが好ましい。

流路溝２０ａは、薄板Ｆ１の厚さを勘案すれば、物理的な切削加工が難しいため、例えばフォトエッチングなどのように腐蝕作用を利用して形成されてもよい。このときの薄板Ｆ１の材質としては、このようなエッチング加工に適して耐久性に優れた材質の中の一つを選択して用いればよい。

気体流路アセンブリー１６は、図２に示すように、気体供給部４に対応するように各々が角胴形に形成された薄板Ｆ２から構成されている。この薄板Ｆ２の下側には、圧力気体Ａの流れを誘導するために、分割された流路区間を提供する流路溝２０ｂが形成されている。

薄板Ｆ２に形成される流路溝２０ｂは、図３及び図４に示すように、分割された区間が連結されたとき、３個の流路溝２０ｂによって単一の気体流路Ｈ２が形成されるように、形成されている。本実施例では、図２に示すように、気体供給部４に隣接する薄板Ｆ２の流路溝２０ｂは、円形に穿孔形成され、残りの２枚の薄板Ｆ２には下側が開口された、例えば逆Ｕ字形状“∩”に穿孔形成されている。本実施例では、これにより、気体供給部４の排出孔４ｂ（図３及び図４）に対応して、単一の気体流路Ｈ２を形成する構造を一例として示している。

この時、３枚の薄板Ｆ２によって形成される気体流路Ｈ２の区間は、図３に示すように、気体流路Ｈ２を通じて圧力気体Ａが噴射される時、この気体Ａの一方向の流れによって、液体流路Ｈ１を通じて洗浄液Ｗが吸引されるように誘導すると共に、液体流路Ｈ１の排出側と一定の区間が互いに連通するように形成されている。この連通した区間は、例えばベンチュリ管のように機能し、圧力気体Ａと洗浄液Ｗとが混合されて、その混合物が噴射されるようにする。

前述した逆Ｕ字形状“∩”に穿孔形成された流路溝２０ｂは、図２に示すように、その上部と下部とが凹み、その中間部が凸状に形成され、それらが流線型に互いに連結されている。このような構造で流路溝２０ｂが形成されることにより、気体供給部４からの圧力気体Ａが気体流路Ｈ２区間を通過する時に、この区間内で流路Ｈ２の直径差によって圧力気体Ａの圧力が増加するようになるので、噴射効率がさらに向上する。

薄板Ｆ２の結合によって形成される気体流路Ｈ２区間の長さＬ２は、液体流路Ｈ１区間の長さと同様に略０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍの範囲で設定される。

薄板Ｆ２の流路溝２０ｂは、液体流路アセンブリー１４の薄板Ｆ１と同様に、例えばフォトエッチングなどのような方法で形成されてもよく、このときの薄板Ｆ２の材質としては、このようなエッチング加工などに適して耐久性に優れた材質の中の一つを選択して用いればよい。

液体流路アセンブリー１４と気体流路アセンブリー１６に形成される流路Ｈ１、Ｈ２には、図３に示すように、これらの間に境界区間が形成される。加えて、流路Ｈ１、Ｈ２は、図１に示すように、洗浄領域を一方向に移動する基板Ｇを横切るように、複数個離隔されて形成され（図６）、洗浄区間を通過する基板Ｇの表面に対応する長方形の領域（図６及び図７）に洗浄液が均一に噴射されるように形成されている。

液体流路アセンブリー１４と気体流路アセンブリー１６を液体供給部２と気体供給部４との間にセッティングする時には、例えば液体流路Ｈ１の薄板Ｆ１と気体流路Ｈ２の薄板Ｆ２とに、図３及び図４に示すようなガイドピン２２を嵌合する。ガイドピン２２は、液体供給部２と気体供給部４との側壁に嵌合結合されることによって、それらを固定するものである。

液体供給部２と気体供給部４、そしてこれらの間に位置する噴射手段６との結合は、例えばボルト及びナットのような締結部材が、図２に示すように、液体供給部２、噴射手段６及び気体供給部４を水平に貫通する姿勢に締結されて、図３に示すような形状及び配列で堅固にセッティングされる構造でもよい。

本実施例の平板ディスプレイ用洗浄装置では、図１に示すように、洗浄領域において基板移送装置Ｍによって基板Ｇが一方向に移動しながら洗浄区間を通過する時に、次のような作用によって基板Ｇの表面を洗浄する。

まず、気体供給管Ｐ２を通じて気体供給部４に圧力気体Ａが流入する。圧力気体Ａは、図３に示すように、気体流路アセンブリー１６に供給されて気体流路Ｈ２区間を経由して、矢印のような方向に一定の圧力で噴射される。

この時、気体流路Ｈ２と液体流路Ｈ１とが連通している区間では、圧力気体Ａが通過する時に、この圧力気体Ａの一方向の流れによって、大気圧状態で液体供給部２に保存されていた洗浄液Ｗが液体流路アセンブリー１４、つまり液体流路Ｈ１区間に沿って吸引され、圧力気体Ａと洗浄液Ｗとが混合される。圧力気体Ａと洗浄液Ｗとは、混合された後、図３に示すように、基板Ｇの表面に向かって一定の圧力で噴射される。これにより、基板Ｇの表面に付いた異物が容易に除去される。

本実施例では、液体流路アセンブリー１４及び気体流路アセンブリー１６で液体流路及び気体流路Ｈ１、Ｈ２を形成するための薄板Ｆ１、Ｆ２は、図２に示すように、それぞれ４枚及び３枚を一組とし、これら分割された区間を形成する薄板Ｆ１、Ｆ２に形成された流路溝２０ａ、２０ｂが連結されることによって、単一の液体流路及び気体流路Ｈ１、Ｈ２が形成されることを一例として説明及び図示しているが、これに限定されるものではない。

例えば、図面には示さなかったが、液体流路アセンブリー１４及び気体流路アセンブリー１６の薄板Ｆ１、Ｆ２は、それぞれ２枚またはそれ以上で一組を成すように構成されてもよい。この場合、流路区間の長さは、本実施例と同様の長さ、つまり０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍの範囲で形成する。このような流路区間の形成する薄板Ｆ１、Ｆ２の厚さは、流路区間の長さとその枚数とに対応するように製作すればよい。

本実施例では、平板状ディスプレイ用洗浄装置が洗浄領域において基板Ｇの移送方向に対応して、上側表面の洗浄が可能な姿勢に一つ設置されたことを一例として示しているが、これに限られるものではない。

例えば、基板Ｇの移送区間に対応して、図８に示すように、２つまたはそれ以上のものを離隔して設置してもよい。また、基板Ｇの一側面に限定されず、図９に示すように、両側面に対応して同時に洗浄が可能なように設置してもよい。

上記では平板状ディスプレイ用洗浄装置の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能で、これもまた本発明の範囲に属するものである。

本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の設置状態を示す全体斜視図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の構造を説明するための全体分解斜視図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の内部構造を説明するための断面図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の内部構造を説明するための断面斜視図である。 図３の層流変換手段の穿孔構造を説明するための平面図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の流路配列を説明するための底面図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の噴射作用時に基板に対応する噴射領域を示す平面図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の他の設置実施例を説明するための斜視図である。 本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の別の設置実施例を説明するための斜視図である。

符号の説明

２ 液体供給部
２ａ、４ａ 空間部
２ｂ、４ｂ 排出孔
４ 気体供給部
６ 噴射手段
８ 遮断膜
１０ａ 上側空間部
１０ｂ 下側空間部
１２ 複数の孔
１４ 液体流路アセンブリー
１６ 気体流路アセンブリー
２０ａ、２０ｂ 流路溝
２２ ガイドピン
Ａ 圧力気体
Ｃ カバー
Ｆ１、Ｆ２ 薄板
Ｇ 基板
Ｈ１、Ｈ２ 流路
Ｌ１、Ｌ２ 気体流路区間の長さ
Ｍ 基板移送装置
Ｐ１ 液体供給管
Ｐ２ 気体供給管
Ｗ 洗浄液

Claims (14)

1. 基板を洗浄するための洗浄用液体が入る液体供給部、
   前記液体供給部と対向するように配置され、基板を洗浄するための洗浄用気体が入る気体供給部、及び
   前記液体供給部と前記気体供給部との間に配置され、洗浄用気体の噴射作用によって洗浄用液体が吸引されるようにして、洗浄用液体と洗浄用気体とを混合して、その混合物を噴射する噴射手段、
   を含み、
   前記噴射手段は、
   前記液体供給部に対応するように配置され、複数の薄板によって洗浄用液体を噴射するための液体流路を形成する液体流路アセンブリー、及び
   前記液体流路アセンブリーと対向するように配置され、複数の薄板によって洗浄用気体を噴射するための気体流路を形成すると共に、前記気体流路を通じて洗浄用気体が噴射される時に、この洗浄用気体の流れによって、前記液体流路を通じて洗浄用液体が洗浄用気体に吸引・混合されて、その混合物が基板に噴射されるように誘導する気体流路アセンブリー、
   を含むことを特徴とする平板状ディスプレイ用洗浄装置。
2. 前記液体供給部には、洗浄用液体を保存するための角胴形の空間部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
3. 前記気体供給部には、洗浄用気体を保存するための角胴形の空間部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
4. 前記気体供給部は、流入した洗浄用気体を乱流状態から層流状態に変換するための層流変換手段をさらに含み、前記層流変換手段は、気体の流入区間及び排出区間に対応して前記空間部を２つに分割すると共に、前記２つの空間部の境界部に洗浄用気体の層流を変換するための孔が開けられていることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
5. 前記孔は、円形または多角形からなり、前記２つの空間部の境界部に複数個が離隔して形成されていることを特徴とする請求項４に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
6. 前記液体流路アセンブリーの各々の薄板には、分割された流路区間を有する流路溝がそれぞれ形成され、前記流路溝が互いに結合されることで、単一の液体流路が形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
7. 前記薄板は、前記液体流路アセンブリー領域に２枚またはそれ以上設置されることを特徴とする請求項６に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
8. 前記気体流路アセンブリーの各々の薄板には、分割された流路区間を有する流路溝がそれぞれ形成され、前記流路溝が互いに結合されることで、単一の気体流路が形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
9. 前記薄板は、前記気体流路アセンブリー領域に２枚またはそれ以上設置されることを特徴とする請求項８に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
10. 前記液体流路と前記気体流路とは、これらの流路区間の排出側に互いに連通した区間を有することを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
11. 前記液体流路と前記気体流路とは、前記液体流路アセンブリーと前記気体流路アセンブリーとの境界領域で隔てられて、互いに対向するように形成され、これらの流路区間は、前記境界領域に向かって水平形状または次第に下降するように傾いた形状の排出区間を有するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
12. 前記液体流路アセンブリーと前記気体流路アセンブリーの流路区間の長さは、それぞれ０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍの範囲で形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
13. 前記液体流路アセンブリー及び前記気体流路アセンブリーの流路は、洗浄区間を通過する基板を横切る方向に長方形の噴射領域を有するように、複数個が離隔して形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
14. 前記洗浄装置は、洗浄領域において基板の一側面または両側面に対応して表面の洗浄ができるように、１つまたはそれ以上のものが離隔して設置されることを特徴とする請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。

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