CN1672820A - 用于清洁平面显示板的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于平面显示板的清洁装置,包括:液体提供单元,存储用于清洁板的清洁剂;气体提供单元,存储用于清洁板的气体,该气体提供单元面对液体提供单元布置;布置在液体提供单元和气体提供单元之间的喷洒单元,该喷洒单元喷洒液体和气体的混合物,在清洁剂被气流吸取时,清洁剂和气体互相混合。喷洒单元包括与液体提供单元相对应布置的液体通道组件,该液体通道组件提供有由多个薄板形成的液体通道,和面对液体通道组件布置的气体通道组件,该气体通道组件提供有由多个薄板形成的气体通道,该气体通道组件允许气流吸取清洁剂和将清洁剂与气体混合,并且允许向显示板喷洒清洁剂和气体的混合物。

Description

用于清洁平面显示板的装置
技术领域
本发明涉及一种用于清洁平面显示板的装置。更具体地,涉及一种通过在平面显示板上喷洒包含诸如液体和气体等两种或者两种以上清洁剂的混合流体来清洁平面显示板的清洁装置。本发明进一步涉及一种清洁平面显示板的装置,设计该装置以(a)容易地形成流体通道,通过该流体通道可以喷洒清洁剂;(b)利用气体的喷流引起流体喷雾混合,从而减少使用清洁剂;和(c)提高喷洒效率和清洁效率。
背景技术
通常,将用于平面显示板的清洁装置设计为利用滚刷来去除附着在平面显示板上的杂质。该装置设置在清洁设备中,也就是放置在洗槽中,以和板传送部分相对应,并与烘干装置等部分分开。
这样的清洁装置包括在矩形主体的纵向方向上互相隔开的多个喷嘴,以向横过板传送部分安装的矩形主体喷洒流体。例如,当显示板穿过安装有清洁装置的清洁部分时,通过喷嘴将清洁剂喷洒在显示板的表面上,从而去除附着在显示板上的杂质。
由于安装在清洁装置上的每个喷嘴都具有圆形的流体喷洒形式,以该形式喷洒的清洁剂具有与该形式的形状相对应的有限的喷洒区域,因而很难均匀地将流体喷洒在显示板的整个表面上。因此,对获取满意的清洁质量和有效的喷洒效率造成了限制。
另外,当显示板为大尺寸时,喷嘴的数目会增加,因而使结构复杂并且增加了制造成本。
本发明的申请人在韩国未审查专利申请No.10-2002-0021553中公开了一种为解决上述问题而设计的清洁装置。
在该专利中公开的清洁装置包括具有矩形喷嘴的矩形主体;放置在纵向方向上的分离隔板,以将矩形主体的空间分为清洁剂存储部分和压力气体存储部分;在分离隔板的一侧形成在该气体存储部分的上部的气体提供孔;安装在气体存储部分中的层流转化单元,将从气体提供孔引入的压力气体转化为层流;在分离隔板的另一侧的清洁剂存储部分的上部的清洁剂提供孔;提供在分离隔板的底部、并且形状为 的液体/气体混合喷洒单元,用于喷洒清洁剂和压力气体的混合物,压力气体由在气体存储部分的下端上的垂直通道提供,清洁剂由在清洁剂存储部分的下端上的水平通道提供;和在喷嘴的短轴方向结合喷嘴的流线设备,以防止喷嘴的开口弹性变形。
也就是,分离隔板将清洁剂存储部分和压力气体存储部分互相隔开,清洁剂和压力气体在用于混合清洁剂和压力气体的流体通道中互相混合为液体/气体混合物。也就是,沿着垂直通道穿过喷嘴喷洒压力气体,在这种情况下,清洁剂存储部分中的清洁剂被压力气体的喷洒流吸取,沿着水平通道与压力气体相混合。清洁剂和压力气体的混合物通过喷嘴喷洒到显示板的表面,从而去处附着在显示板上的杂质。
但是,在该清洁装置中,由于界定出位于存储部分之间的流体通道区域的分离隔板、混合物和喷嘴都是互相整体形成,因此很难制造出具有足够精度的分离隔板、混合物和喷嘴。另外,根据存储部分的定位状态,流体通道的内部空间环境可以很容易地变化,因而很难提供最佳的流体通道环境。
另外,当存储部分因诸如负载或者外力等原因而变形时,在存储部分之间的流体通道也会变形,从而降低了喷洒质量和耐久性。
而且,当流体通道区域局部损坏时,必须替换整个存储部分单元。当期望调整喷洒数量和与显示板的形状和尺寸相对应的喷洒压力时,也需要将整个存储部分单元替换为新设计的存储部分。这就导致了工作效率的降低。
发明内容
因此,本发明致力于解决现有技术的上述问题。
相应地,本发明的一个目的是提出一种清洁装置,该清洁装置可以通过喷洒由液体和气体等两种或者两种以上清洁剂组成的混合液体来清洁平面显示板。
本发明的另一目的是提出一种用于清洁平面显示板的装置,设计该装置以(a)容易地形成流体通道,通过流体通道可以喷洒清洁剂;(b)利用气体的喷流引起混合液体喷雾,从而减少使用清洁剂;和(c)提高喷洒效率和清洁效率。
为达到上述目的,本发明提供一种用于平面显示板的清洁装置,包括:液体提供单元,存储用于清洁板的清洁剂;气体提供单元,存储用于清洁板的气体,该气体提供单元面对液体提供单元布置;和布置在液体提供单元和气体提供单元之间的喷洒单元,该喷洒单元喷洒液体和气体的混合物,在清洁剂被气流吸取时,清洁剂和气体互相混合。该喷洒单元包括:与液体提供单元相对应布置的液体通道组件,该液体通道组件提供有由多个薄板形成的液体通道;和面对液体通道组件布置的气体通道组件,该气体通道组件提供有由多个薄板形成的气体通道,该气体通道组件允许气流吸取清洁剂和将清洁剂与气体混合,并且允许向显示板喷洒清洁剂和气体的混合物。
附图说明
以下附图用于进一步理解本发明,并包含在本申请中,构成本申请的一部分,对本发明的实施例进行了图解,并与说明书一起对本发明的原理进行解释。其中:
图1为本发明一实施例的用于平面显示板的清洁装置的整体透视图;
图2为图1中清洁装置的分解透视图;
图3为示出了根据本发明一实施例的清洁装置内部结构的截面图;
图4为图3中清洁装置的局部剖视图;
图5为图3中层流转化单元的整体结构的平面图;
图6为根据本发明一实施例的清洁装置的液体通道布置的仰视图;
图7为示出了当清洁装置在喷洒操作中时与显示板对应的喷洒区域的平面图;
图8为根据本发明另一实施例的用于平面显示板的清洁装置的透视图;和
图9为根据本发明又一实施例的用于平面显示板的清洁装置的透视图。
具体实施方式
下面将对本发明的优选实施例进行详细说明,附图中示出了这些优选实施例的实例。所有附图中尽可能地采用相同的参考标号来代表相同或者相似的部件。
首先参照图1至图3,本发明的清洁装置包括:液体提供单元2,存储用于清洁显示板G的清洁剂W;面对液体提供单元2的气体提供单元4,存储用于清洁显示板G的压力气体A;和布置在液体提供单元2和气体提供单元4之间的喷洒单元6,该喷洒单元喷洒清洁剂W和气体A的混合物。本实施例的清洁装置安装在洗槽中(板G的清洁区域),响应于板G的传送部分,沿着板传送装置M移动(见图1)。
液体提供单元2为盒形,界定出用于存储清洁剂W的内部室,其中清洁剂W用于清洁板G。也就是,如图1所示,液体提供单元2为与后面将描述的喷洒单元6相对应的矩形形状。液体提供单元2具有被可分离的盖C所覆盖的开口端,通过螺栓等固定构件将盖C固定。
液体提供单元2可由树脂或者具有良好耐久性、抗化学性和处理属性的金属来构成。当可分离的盖C封住液体提供单元2的开口端以密封内部室2a时,非常方便维护内部室21。但是,由于有清洁剂W泄漏的可能性,优选地进一步提供诸如橡胶环的密封辅助构件,以提供更可靠的密封。
存储在液体提供单元2中的清洁剂可以由纯水等可以迅速地溶解和去除附着在板G表面的杂质的公知物质组成。如图1所示,可以通过连接到液体提供单元2的液体提供管P1来引入清洁剂。
为了在大气压下在液体提供单元2的室2a中存储清洁剂W,当通过液体提供管P1包含有预先设定量的清洁剂W时,清洁剂W通过排出管溢出,从而可以在液体提供单元2的室2a中保持预先设定的水压。
液体提供单元2具有多个排出孔2b,通过这些排出孔,可以将室2a中的清洁剂W引到喷洒单元6。每个孔2b为椭圆形,从而使得清洁剂W可以水平流过(见图3和图4)。排出孔2b在液体提供单元2的纵向方向上布置,并且相互隔开。
将气体提供单元4设计成向喷洒单元6提供压力气体A。气体提供单元4为盒形,界定出用于存储压力气体的内部室4a。在这个实施例中,如图1和图2所示,气体提供单元4为与液体提供单元2对应的矩形形状,并且具有被可分离的盖C所覆盖的开口端,通过螺栓将盖C固定。
气体提供单元4可由树脂或者具有良好耐久性和抗化学性的金属构成,从而当压力气体A穿过室4a时不会变形。
更优选地,气体提供单元4可由不锈钢基(SUS-based)金属或者工程塑料构成。由于有清洁剂W泄漏的可能性,优选进一步提供诸如橡胶环的密封辅助构件,以提供更可靠的密封。
提供给气体提供单元4的压力气体A以混合了清洁剂的状态而喷洒,起到去除附着在板G的表面的杂质和快速去除喷洒在板G表面的清洁剂的功能。压力气体A可以由清洁干燥空气(CDA)构成。
如图1所示,气体提供单元4可以连接到气体提供管P2,以从提供管P2接收压力气体A。如图3所示,经由室4a和通过排出孔4b,直接向喷洒单元6提供压力气体A。
参照图3,在气体提供单元4的室4a中有转化单元,用于转化从气体提供管P2引入的压力气体A。也就是,转化单元将压力气体A由湍流转化成层流。将转化单元设计为在气体提供单元4的室内具有响应于压力气体流部分而形成的隔板8(见图3和图4),以将室4a分成上室10a和下室10b。隔板8可以具有多个孔12,用于将压力气体A由湍流转化成层流。
在这一点上,可以如图5所示布置形成在隔板8上的孔12。孔12的尺寸使得液体通道的直径之差可以将经由室10a和室10b的压力气体A的气流由湍流转化成层流。
将流转化单元设计为:当经过气体提供管P2将压力气体A引入到上室10a并首先存储在上室10a时,流转化单元将压力气体A的流由湍流转化为层流,当存储在上室10a的气体压力穿过在隔板8上的孔12并再次存储时,流转化单元将压力气体A的流由湍流转化为层流。更详细地说明,当压力气体A穿过隔板8的孔12时,流体通道的直径差所造成的压力将压力气体A均匀压缩,从而很容易转化成层流。由于在下室10b处截面积的快速增长,层流压力气体A的速度能量减少。通过减少速度能量,压力能量快速增加,从而将穿过隔板8的压力气体流转化为高压层流。
同时,将喷洒单元6安装在液体提供单元2和气体提供单元4之间,下面将会参照附图对这一点进行更加详细的说明。
参照图2和图3,对应于液体提供单元2定位喷洒单元6,喷洒单元6包括液体通道组件14和面对液体通道组件的气体通道组件16。液体通道组件14具有通过结合薄板F1而互相连接的分离部分,并且提供用于喷洒清洁剂W的单独通道H1。气体通道组件16具有通过结合薄板F2而互相连接的分离部分,并形成用于喷洒压力气体A的通道H2。当在通过通道H2的方向喷洒压力气体A时,气体通道组件16通过吸取通过液体通道H1的清洁剂W而引入液体和压力气体的混合物。在这个实施例中,液体通道组件14上有一组4个的薄板P1,气体通道组件16上有一组3个的薄板P2。
如图2所示,液体通道组件14的薄板F1为对应于液体提供单元2的矩形。在薄板F1的下部形成有界定出分离的通道部分的通道槽20a,用于引导清洁剂W的流动。
如图3和图4所示,当4个薄板部分由通道槽20a结合时,在薄板F1上形成的通道槽20a界定出单独的通道H1。参照图2,接近液体提供单元2的薄板F1的通道槽20a为圆形,并且其它薄板F1的通道槽20a为∩形,以界定出与液体提供单元2的排出孔2b相对应的单独气体通道H1。
在这一点上,如图3所示,由于由4个薄板F1形成的液体通道H1部分从液体提供单元2侧向与气体通道组件16的交界点处移动,液体通道H1部分形成为向下倾斜。可选地,进口侧的一部分与出口侧的一部分相平行。
参照图3,将通过结合薄板F1形成的液体通道H1的长度L的范围设置为0.1-0.2mm,并且根据薄板的数量设置每个薄板的厚度,以提供该长度范围的液体通道。
考虑到薄板F1的厚度,由于很难机械处理通道槽20a,可以通过光刻处理形成通道槽20a。因此,可以由耐久性很好的适于光刻处理的物质来构成薄板F1。
如图2所示,气体通道组件16包括薄板F2,每个薄板F2为与气体提供单元4相对应的矩形。在薄板F1的下部形成通道槽20b以界定出分离的通道部分,用于引导压力气体A的流动。
如图3和图4所示,当3个薄板部分由通道槽20b结合时,在薄板F2形成的通道槽20b界定出单独的通道H2。参照图2,接近气体提供单元4的薄板F2的通道槽20b为圆形,并且其它薄板F2的通道槽20b为∩形,以界定出与气体提供单元4的排出孔4b相对应的单独气体通道H2。
在这一点上,如图3所示,由3个薄板F2形成的气体通道H2部分起到引导压力气体A的作用,以便通过液体通道H1吸取清洁剂W。气体通道H2起到文丘里管(venturi)的作用,该文丘里管允许气体通道H2的预先设定部分和气体通道H1相通,从而可以在相通部分将清洁剂和气体相混合并且喷洒。
每个∩形的通道槽20b都可以具有以流线形式相互结合的上部和下部。中间部分是凸起的,上部和下部是凹入的。结果,当压力气体A通过气体通道H2时,气体通道的直径差使得压力气体A的压力增加,从而可以进一步提高喷洒效率。
通过结合薄板F2而形成的气体通道H2的长度L1范围设置为0.1-0.2mm。
可以通过光刻处理来形成通道槽20a。因此,可以由耐久性很好的适于光刻处理的物质形成薄板F1。
如图3所示,在分别形成在液体通道组件14和气体通道组件16上的通道H1和H2之间形成有边界部分。另外,如图1所示,通道H1和H2在多个间隔点的清洗区域方向上移动横穿过板G,从而可以在与板G表面相对应的矩形区域喷洒清洁剂(参见图6和图7)。
如图3和图4所示,当在液体提供单元2和气体提供单元4之间设置液体通道组件14和气体通道组件16时,液体通道H1的薄板F1和气体通道H2的薄板F2装配于滑槽销22,滑槽销22装配在液体提供单元2和气体提供单元4的侧壁中。
通过诸如螺栓或者螺钉等固定构件,实现液体提供单元2和气体提供单元4的结合。如图3所示,螺栓按照顺序水平地穿透液体提供单元2、喷洒单元6和气体提供单元4。
在上面所述用于平面显示板的清洁装置中,随着板传送装置M将板G沿某方向移动穿过清洗区域,就可以通过下面的操作过程来清洁该板。
首先,当压力气体A经过气体提供管P2引入到气体提供单元4时,如图3所示向气体通道组件16提供压力气体A。接着,以预先设定的压力经由气体通道H2部分喷洒压力气体A。
在这一点上,在气体通道H2和液体通道H1相通的部分,通过压力气体A的流动,将在大气压下存储于液体提供单元2中的清洁剂W沿着液体通道组件14的液体通道H1部分吸取,并与预先设定的压力相混合,从而去除附着在板G上的杂质。
在上述实施例中,虽然液体通道H1由4个薄板F上的通道槽20a形成,气体通道H2由3个薄板F上的通道槽20b形成,但是本发明并不局限于此。
例如,倘若通道长度的范围在0.1-0.2mm之内,那么薄板的数目可以变化。
另外,虽然只有一个对应于板传送部分的清洁装置,但是本发明并不局限于此。
例如,如图8所示,可以互相隔开预先设定的距离安装两个或者更多的清洁装置单元。另外,如图9所示,可以安装两个清洁装置单元,使得可以向显示板G的两个面都喷洒清洁剂。
在用于显示板的该清洁装置中,由于形成有喷洒单元,而喷洒单元具有用于喷洒液体和气体混合物的通道,因此可以有效地清洁该板。由于喷洒单元提供有通过结合多个薄板而形成的单独通道,因此很容易形成通道。另外,由于压力气体流吸取清洁剂,并将清洁剂和压力气体相混合,因此通过通道可以有效地喷洒该混合物。另外,通过简便地改变薄板,可以根据板的尺寸和形状而很容易地改变喷洒环境,从而提高了清洁质量和工作效率。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种修改和变化。因此,本发明包括在权利要求书及其等价覆盖范围内的任何变化和修改。

Claims (14)

1、一种用于平面显示板的清洁装置,包括:
液体提供单元,存储用于清洁所述板的清洁剂;
气体提供单元,存储用于清洁所述板的气体,所述气体提供单元面对液体提供单元布置;和
布置在液体提供单元和气体提供单元之间的喷洒单元,所述喷洒单元喷洒液体和气体的混合物,在清洁剂被气流吸取时,清洁剂和气体互相混合,
其中所述喷洒单元包括:
与液体提供单元相对应布置的液体通道组件,所述液体通道组件提供有由多个薄板形成的液体通道,和
面对液体通道组件布置的气体通道组件,所述气体通道组件提供有由多个薄板形成的气体通道,所述气体通道组件允许气流吸取清洁剂和将清洁剂与气体混合,并且允许向显示板喷洒清洁剂和气体的混合物。
2、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述液体提供单元具有矩形形状的室,以存储清洁剂。
3、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述气体提供单元具有矩形形状的室,以存储气体。
4、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述气体提供单元包括流转化单元,用于将气流从湍流转化为层流,所述流转化单元包括将气体提供单元的室分为两个室的隔板,所述隔板具有多个用于转化气流的孔。
5、根据权利要求4所述的清洁装置,其中每个孔形成为圆形或者多边形形状。
6、根据权利要求1所述的清洁装置,其中液体通道组件的多个薄板的每一个具有多个界定出分离的通道部分的通道槽,所述分离的通道部分互相结合以界定出单独的液体通道。
7、根据权利要求6所述的清洁装置,其中所述多个薄板由两个或者更多薄板组成。
8、根据权利要求1所述的清洁装置,其中气体通道组件的多个薄板的每一个具有多个界定出分离的通道部分的通道槽,所述分离的通道部分互相结合以界定出单独的气体通道。
9、根据权利要求8所述的清洁装置,其中所述多个薄板由两个或者更多薄板组成。
10、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述液体通道组件和气体通道在出口侧互相连通。
11、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述液体通道在液体通道组件和气体通道组件之间的边界处面对气体通道,各个通道向下倾斜或者在对着边界的水平平面上。
12、根据权利要求1所述的清洁装置,其中每个液体通道和气体通道的长度范围为0.1-0.2mm。
13、根据权利要求1所述的清洁装置,其中液体通道和气体通道位于显示板传送方向的横向方向,从而响应于所述板的矩形形状喷洒混合物。
14、根据权利要求1所述的清洁装置,其中所述清洁装置与显示板的一面或者两个面相对应布置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105068285A (zh) * 2015-09-01 2015-11-18 武汉华星光电技术有限公司 传送装置及具有该传送装置的清洗装置
CN103537457B (zh) * 2013-10-21 2016-06-01 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 一种液膜尾边堆积液体的清除装置
CN111799193A (zh) * 2019-04-09 2020-10-20 显示器生产服务株式会社 基板处理装置和直列式基板处理系统
CN111921955A (zh) * 2020-08-10 2020-11-13 哈尔滨工业大学 一种风刀装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100783763B1 (ko) 2007-01-04 2007-12-07 주식회사 디엠에스 기판 세정장치
KR101328722B1 (ko) 2007-04-02 2013-11-11 주식회사 디엠에스 기판 세정장치
KR100888190B1 (ko) * 2007-09-28 2009-03-10 주식회사 디엠에스 유체분사장치
KR101303808B1 (ko) * 2011-12-07 2013-09-04 주식회사 케이씨텍 오토 셔터
JP6841633B2 (ja) * 2016-11-08 2021-03-10 東洋熱工業株式会社 気液除塵装置
JP2018089548A (ja) * 2016-11-30 2018-06-14 独立行政法人国立高等専門学校機構 洗浄機のノズル機構
KR101894088B1 (ko) 2017-03-23 2018-09-04 가천대학교 산학협력단 품질검사 관리장치, 품질검사 의뢰 시스템 및 그 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3530270B2 (ja) * 1995-04-27 2004-05-24 島田理化工業株式会社 精密洗浄装置
JP2003145064A (ja) * 2001-11-12 2003-05-20 Tokyo Electron Ltd 2流体ジェットノズル及び基板洗浄装置
KR100586239B1 (ko) * 2002-04-19 2006-06-02 주식회사 디엠에스 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치
JP2003332401A (ja) * 2002-05-09 2003-11-21 Hugle Electronics Inc 基板用搬送除塵装置
JP2004074021A (ja) * 2002-08-19 2004-03-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置及び基板洗浄ユニット

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103537457B (zh) * 2013-10-21 2016-06-01 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 一种液膜尾边堆积液体的清除装置
CN105068285A (zh) * 2015-09-01 2015-11-18 武汉华星光电技术有限公司 传送装置及具有该传送装置的清洗装置
CN111799193A (zh) * 2019-04-09 2020-10-20 显示器生产服务株式会社 基板处理装置和直列式基板处理系统
CN111799193B (zh) * 2019-04-09 2024-03-01 显示器生产服务株式会社 基板处理装置和直列式基板处理系统
CN111921955A (zh) * 2020-08-10 2020-11-13 哈尔滨工业大学 一种风刀装置

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