CN101214484B - 基板清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种基板清洗装置，尤其涉及一种使用两种混合流体即气体及液体来清洗平板显示面板用基板时，在基板上均匀喷射清洗流体来进行清洗作业的基板清洗装置。本发明包括：清洗槽，用于提供作业空间；气体供给装置，位于所述清洗槽内部，用于供给清洗气体；液体供给装置，与所述气体供给装置相面对地结合，用于供给清洗液体；第一喷射装置，在气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；第二喷射装置，在第一喷射装置的第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。

Description

基板清洗装置
技术领域
本发明涉及一种基板清洗装置，尤其涉及一种用于清洗平板显示面板用基板的清洗装置，特别是对基板均匀喷射两种混合流体的清洗流体来进行清洗作业的基板清洗装置。
背景技术
通常，在制造平板显示面板用基板时，为去除基板上的各种杂质和药液而进行清洗作业。
在所述清洗作业中使用以喷射清洗流体的方式除去粘在基板上的各种杂质和药液的基板清洗装置。
由本申请人于2004年3月23日提出申请，并授予专利权的第591475号专利公报所公开的基板清洗装置就是所述基板清洗装置。
然而，所述专利第591475号专利公报所公开的基板清洗装置，在具有长方体状流体喷射区域的喷射装置的排出部分上相隔预定距离形成有多个喷射口。
因此，在各喷射口之间存在喷射闲置区域，从而在进行清洗作业时可能引起下述问题。
首先，在长方体状流体喷射区域内，由于闲置区域不会喷射流体，因而可能出现流体断流现象，而这种流体断流现象可能降低基板清洗效果。
例如，对基板喷射清洗流体时，没有被流体喷射的基板表面会留下波纹状痕迹。
与小面积的基板相比，在清洗大面积的基板时，上述波纹状痕迹可能出现得更为严重，因此这种装置很难适应于逐渐大面积化的基板制造形势。
为解决上述问题，沿着基板输送方向配置多个喷射装置，并且以所述装置喷射口的间距大小使喷射装置相互错开排列，而在此状态下进行清洗作业。然而这种装置不仅使整体结构过于复杂，而且可能引起清洗液消耗过多的另一问题。
因此，在长方体状喷射区域内用于喷射清洗流体的喷射口之间存在闲置区域的状态下，很难从根本上解决上述基板清洗作业中出现的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种对基板喷射清洗流体时，在长方体状流体喷射区域内没有闲置区域的状态下进行清洗作业的基板清洗装置。
为实现上述目的，本发明提供一种基板清洗装置，其包括：
清洗槽，其用于提供作业空间；
气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；
液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于供给清洗液体；
第一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；
第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。
本发明使用具备用于混合喷射两种流体(气体及液体)的多个喷孔的长方体状喷射装置，因此能够容易去除粘在基板上的各种异物和药液。
特别是，所述各喷射装置设置为以下结构：即任何一个喷射装置的喷孔之间分别设有另一个喷射装置的喷孔，这种设置可以使长方体状流体喷射区域内不出现流体断流现象，从而能够均匀地喷射清洗流体。这种结构解决了使用现有喷射装置来进行作业时，即使用存在喷射闲置区域的长方体状喷射装置时，由于在整个喷射区域内出现流体断流区域而在基板表面留下波纹等痕迹的问题。
因此，在进行基板清洗作业时可进一步提高工作效率和清洗质量。
附图说明
图1是本发明一实施例的基板清洗装置的整体结构图。
图2是本发明一实施例的基板清洗装置内部结构示意图。
图3是用于说明本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置的剖视图。
图4是图3所示本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置的立体分解图。
图5是本发明一实施例的基板清洗装置中第一气体流路孔及第二气体流路孔的结构示意图。
图6是本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷孔和第二喷孔的排列状态示意图。
图7是本发明一实施例的基板清洗装置中第二喷射装置的结构示意图。
图8是本发明一实施例的基板清洗装置中第二喷射装置的剖视图。
图9是本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置和第二喷射装置的作用示意图。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例，并在所属技术领域的技术人员能够实施本发明的范围内进行说明。
由于本发明的实施例可以采用多种方式实施，因此本发明的权利要求范围并不局限于下述实施例。
图1及图2是本发明一实施例的基板清洗装置整体及内部结构图，图中标记2表示清洗槽。
所述清洗槽2为常规的箱体结构，其内部设有作业空间S，可进行用于制造平板显示面板用基板G(以下简称基板)的清洗作业。
所述清洗槽2内部设有用于输送基板G的输送装置4。所述输送装置4是由多个输送辊R构成的常规的辊轮式输送器结构。
所述输送辊R，通过常规方法从电机(未图示)接收动力而进行旋转，并以基板G的一面朝上的状态承载所述基板G，且以图2为基准在所述作业空间S上从左向右输送基板G。
所述清洗槽2内设置有气体供给装置6。如图1所示，所述气体供给装置6中设置有用于使清洗气体W1通过的内部空间S1，其形状为长方体状箱体。
如图2所示，所述气体供给装置6与管体P1相连，并从所述管体P1接收清洗气体W1。
所述清洗气体W1使用常规的清洁压缩空气(CDA：Clean DryAir)，如图2所示，清洁压缩空气在储存于存储容器T1的状态下，以预定压力通过上述管体P1供给到所述气体供给装置6中。
如图3所示，所述气体供给装置6一侧形成有气体排出口H1，而所述气体排出口H1起到通道作用，以使清洗气体W1经过所述内部空间S1向外部排出。
如图1所示，在所述清洗槽2内设有与所述气体供给装置6相面对的液体供给装置8。
所述液体供给装置8具有用于使清洗液体W2通过的内部空间S2，并由与所述气体供给装置6相同的长方体状箱体构成。
如图2所示，所述液体供给装置8通过管体P2与液体存储容器T2相连。虽然未图示，所述液体供给装置8通过常规流体泵的泵送接收经所述管体P2供给的清洗液体W2。
所述清洗液体W2使用常规的去离子水等纯水，并与所述清洗气体W1混合而进行清洗基板G的作业。
如图3所示，所述液体供给装置8的一侧形成有液体排出口H2。
所述液体排出口H2作为通道，将从所述液体存储容器T2供给的清洗液体W2经所述内部空间S2向外部排出。
而且，如图3所示，所述气体供给装置6和所述液体供给装置8的内部空间S1、S2可以通过另设的盖罩C向外部开放。
根据本发明一实施例的基板清洗装置包括第一喷射装置J1。
所述第一喷射装置J1由第一流路单元10和第二流路单元12构成，以便在喷射清洗气体W1时，使所述清洗液体W2混合在所述清洗气体中后喷射。
如图4所示，所述第一流路单元10由多个第一薄板L1构成，而在所述第一薄板L1上相隔预定距离形成有多个第一气体流路孔V1。
如图3所示，当所述多个第一薄板L1相面对地结合时，所述多个第一气体流路孔V1互相重叠，从而分别形成用于从所述气体供给装置6喷射清洗气体W1的第一气体流路K1。
即，所述第一气体流路K1通过所述多个第一气体流路孔V1以预定距离分割形成。
而且，如图3所示，所述第一气体流路K1可使所述气体供给装置6的清洗气体W1经气体排出槽H1向外部排出后逐渐向下喷射。
例如，如图4所示，所述第一气体流路孔V1可在邻接所述气体供给装置6的任何一个第一薄板L1上形成为圆孔，而在另一个第一薄板L1上则可以形成为底部开放的“∩”型孔。
另外，如图5所示，所述“∩”型的第一气体流路孔V1具有如下结构：在第一薄板L1的底部朝上逐渐向里变窄再逐渐向外变宽的常规的瓶颈结构。
通过所述第一气体流路K1以预定压力喷射清洗气体W1时，上述结构根据伯努利原理，在所述第一气体流路孔V1的瓶颈位置上使气体流速加快并且使气体压力逐渐低于大气压，从而产生吸引力。
所述第二流路单元12由具有第一液体流路孔V2的多个第二薄板L2构成。
如图4所示，在多个第二薄板L2相面对地结合时，所述多个第一液体流路孔V2互相重叠而形成用于喷射清洗液体W2的第一液体流路K2(参照图3)。
所述多个第一液体流路孔V2，可在所述第二薄板L2上形成为圆形，并如图5所示，其与形成于所述第一薄板L1一侧的第一气体流路孔V1瓶颈部分相对应。
而且，如图6所示，所述第一气体流路K1和所述第一液体流路K2，其排出端部互相连通而在由所述第一流路单元10和第二流路单元12所形成的长方体状流体喷射区域D中形成多个第一喷孔N1。
根据清洗气体W1经过所述第一气体流路K1的瓶颈位置时压力下降的现象，清洗液体W2经所述第一液体流路K2被吸入后两种流体即气体W1和液体W2相混合。所述第一喷孔N1喷射这种混合流体。
由此，如图3所示，可对基板G喷射清洗气体W1和清洗液体W2的混合清洗流体W。
另外，贯通形成所述气体供给装置6和液体供给装置8的气体排出孔H1及液体排出孔H2，以便向所述第一气体流路孔V1和第一液体流路孔V2通畅地供给清洗气体W1和清洗液体W2。
所述第一流路单元10和所述第二流路单元12的第一薄板L1和第二薄板L2可使用金属薄板，而所述第一气体流路孔V1和第一液体流路孔V2可通过常规的蚀刻等工序形成。
如上所述，若以多个薄板L1和多个薄板L2形成第一流路单元10和第二流路单元12，则以分割形成方式，可易于制造出用于使清洗气体W1和清洗液体W2通过的微细流路K1和流路K2区域，而且能够提高整体或局部的维修保养性能。
另外，如图4所示，根据本发明一实施例的基板清洗装置包括第二喷射装置J2，第二喷射装置J2由第三流路单元14和第四流路单元16构成。
所述第三流路单元14具有用于喷射清洗气体W1的第二气体流路孔V3。
所述第二气体流路孔V3形成在第三薄板L3上，其形状为向第三薄板L3下侧开放的“∩”型。
所述第三薄板L3与第一薄板L1相面对地结合时，如图7所示，所述第二气体流路孔V3设置在所述第一薄板L1上的多个第一气体流路孔V1之间。
即，如图5所示，在所述多个第一气体流路孔V1之间设置所述第二气体流路孔V3的状态下相结合。
此时，如图5所示，所述第二气体流路孔V3和所述第一气体流路孔V1的上部，其一部分互相连通，从而可接收由所述气体供给部6的气体排出口H1供给的清洗气体W1。
如图8所示，当所述第三薄板L3与第一薄板L1及第二薄板L2相面对地结合时，通过所述第二气体流路孔V3形成第二气体流路K3。
而且，所述第四流路单元16具有用于喷射清洗液体W2的第二液体流路孔V4。
如图4及图7所示，所述第二液体流路孔V4在形成有所述第二流路单元12的多个第二薄板L2上，穿设于所述多个第一液体流路孔V2之间。
如图8所示，所述多个第二液体流路孔V4通过所述多个第二薄板L2的结合，形成可从所述液体供给装置8供给清洗液体W2的第二液体流路K4。
如图6所示，所述第二气体流路K3和所述第二液体流路K4的排出端部互相连通，从而在所述多个第一喷孔N1之间分别形成第二喷孔N2。
所述第二喷孔N2通过进行与所述第一喷孔N1相同的操作，而喷射清洗流体W。
即，经所述第二气体流路K3喷射清洗气体W1时，通过所述气体W1的流动压力，所述清洗液体W2经第二液体流路K4被吸入后和气体一起混合喷射。
由此，如图9所示，通过所述第一喷孔N1和所述第二喷孔N2，在长方体状的整个流体喷射区域D内，可均匀喷射清洗气体W1和清洗液体W2的混合清洗流体W。
所述结构可防止使用现有长方形喷嘴来进行清洗作业时，因喷射口之间的喷射闲置区域引起的流体断流现象。
所述第一流路单元10和所述第二流路单元12以及所述第三流路单元14和所述第四流路单元16在所述气体供给装置6和所述液体供给装置8之间，通过螺丝等连接部件以常规方法予以连接固定。
根据本发明一实施例的基板清洗装置还可包括固定销B。
如图3及图4所示，所述固定销B贯通形成于薄板L1、L2、L3上的导槽的方向上插入并挂在气体装置6及液体供给装置8的一侧面。
所述固定销B，不仅引导多个薄板L1、L2、L3结合时的位置，还防止因清洗流体W的压力或外力导致结合位置改变的现象。

Claims (4)

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：
清洗槽，其用于提供作业空间；
气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；
液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于供给清洗液体；
第一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；和
第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路，
其中，
所述第一喷射装置包括：第一流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第二流路单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体通过经所述第一流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起混合喷射；
所述第二喷射装置包括：第三流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第四流路单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体被经第三流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起混合喷射。
2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：
所述气体供给装置及液体供给装置具备使清洗气体及清洗液体通过的空间，且所述空间为长方体状箱体。
3.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：
所述第一流路单元及第二流路单元分别由形成有多个流路孔的多个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述流路孔使两个流路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗气体和清洗液体的第一喷孔。
4.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：
所述第三流路单元及第四流路单元分别由形成有多个流路孔的多个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述多个流路孔使两个流路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗气体和清洗液体的第二喷孔。
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