JP2005275125A - 光走査型共焦点観察装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 光ファイバ束の一端面における反射光を低減して取得される画像のノイズを低減する。
【解決手段】 光源6からの光を走査して第1の対物レンズ2により結像する装置本体3と、前記第1の対物レンズ2の焦点位置に一端面4aを配する光ファイバ束4と、該ファイバ束4の他端面4b側に配置され、光ファイバ束4の他端面4bから発せられた光を試料Aに結像する第2の対物レンズ5と、前記光ファイバ束4の一端面4aと共役な位置に配置され、該第2の対物レンズ5、光ファイバ束4および第1の対物レンズ2を介して戻る試料Aからの戻り光を通過させる共焦点ピンホール11と、該共焦点ピンホール11を通過した光を撮像する撮像手段12とを備え、前記光ファイバ束4の一端面4aに、所定の厚さを有するガラス板17を配置した光走査型共焦点観察装置1を提供する。
【選択図】 図1

Description

この発明は、光走査型共焦点観察装置に関するものである。
従来、この種の光走査型共焦点観察装置としては、特許文献1に示すものが知られている。
この光走査型共焦点観察装置は、蛍光顕微鏡からなる走査型レーザ顕微鏡と、この走査型レーザ顕微鏡が有する第1の対物レンズの焦点面に一端面が配置された光ファイバ束と、この光ファイバ束の他端面を光源とするように配置された第2の対物レンズとを備えている。
この光走査型共焦点観察装置によれば、光ファイバ束の端面を共焦点ピンホールとして機能させ、第2の対物レンズの焦点位置に集光したレーザ光によってその焦点位置において蛍光を生じさせ、患部の内部組織を取得することができる。
特開2003−344777号公報(図1等)
上述した従来の光走査型共焦点観察装置においては、光ファイバ束の一端面を共焦点ピンホールとして機能させているため、その光ファイバ束を構成する各光ファイバの一端面から発せられた光のみが走査型レーザ顕微鏡によって検出される。
しかしながら、この光ファイバの一端面においては、第1の対物レンズから発せられ空気中を伝播したレーザ光が光ファイバを構成するガラス面に入射させられる。空気とガラスとは、屈折率の異なる媒質であるため、その界面において光の一部、約4%程度の光が反射することになる。
すなわち、共焦点ピンホールとして機能する光ファイバ束の一端面における反射光は、そのまま走査型レーザ顕微鏡に戻ることになり、蛍光画像においてフレアのようなノイズを発生させてしまう不都合がある。一般に蛍光顕微鏡においては、10ー3〜10−4程度、蛍光レーザ顕微鏡では、10ー4〜10−6のバリア特性が必要とされる。レーザ顕微鏡においては、通常、ダイクロイックミラーを用いて試料からの戻り光から蛍光を分離して検出しているが、入射光の4%もの光が反射光として戻る場合には、ダイクロイックミラーにおいて十分に除去することができず、ノイズとして検出されてしまうことになる。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、光ファイバ束の一端面における反射光を低減して取得される画像のノイズを低減することができる光走査型共焦点観察装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、光源からの光を走査して第1の対物レンズにより結像する装置本体と、前記第1の対物レンズの焦点位置に一端面を配する光ファイバ束と、該ファイバ束の他端面側に配置され、光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像する第2の対物レンズと、前記光ファイバ束の一端面と共役な位置に配置され、該第2の対物レンズ、光ファイバ束および第1の対物レンズを介して戻る試料からの戻り光を通過させる共焦点ピンホールと、該共焦点ピンホールを通過した光を撮像する撮像手段とを備え、前記光ファイバ束の一端面に、所定の厚さを有するガラス板を配置した光走査型共焦点観察装置を提供する。
この発明によれば、装置本体と第2の対物レンズとが光ファイバ束により接続されているため、光ファイバ束を湾曲させて、第2の対物レンズの位置および角度を自由に設定することができる。また、光ファイバ束の先端に第2の対物レンズを配置したことにより、先端部を小さく構成でき、実験小動物等の小さい試料や、狭隘な観察部位近傍に配置し易くなっている。
光源から発せられ第1の対物レンズによって光ファイバ束の一端面に結像される光は、光ファイバ束の一端面に配置されているガラス板に入射された後に光ファイバ束の一端面に入射される。光ファイバ束に入射された光は光ファイバ束内を伝播して第2の対物レンズにより試料に結像され、試料において発せられた光が第2の対物レンズ、光ファイバ束および第1の対物レンズを介して戻り、共焦点ピンホールを経て撮像手段により撮像される。光ファイバ束の一端面と共焦点ピンホールとは共役な位置に配置されているので、光ファイバ束の一端面を通過した光のみが撮像手段により撮像されることになる。
この場合において、第1の対物レンズから光ファイバ束の一端面に向かう光は、ガラス板に入射される際にその一部が反射されるが、ガラス板が所定の厚さを有しているために、ガラス板の表面において反射された光の大部分は共焦点ピンホールを通過できないことになる。また、ガラス板から光ファイバ束に入射する光は、ガラス板と光ファイバ束の一端面とが密着されている場合には、屈折率が同一の媒質間の通過であり、ほとんど反射光を発生しない。一方、ガラス板と光ファイバ束の一端面とが密着していない場合においては、反射光が発生するが、この場合においても、反射光は、ガラス板の表面から再度空気中に出射される際に散乱され、上記と同様に、そのほとんどが共焦点ピンホールを通過することがない。その結果、ガラス板または光ファイバ束の一端面における反射光のうち撮像手段によって撮像される反射光が低減され、ノイズの少ない画像を取得することができる。
上記発明においては、前記ガラス板が、前記光ファイバ束の一端面に接着されていることとしてもよい。
このようにすることで、ガラス板と光ファイバ束の一端面との間の空気層をなくすことができるので、反射光をより一層低減することができる。
また、本発明は、光源からの光を走査して第1の対物レンズにより結像する装置本体と、前記第1の対物レンズの焦点位置に一端面を配する光ファイバ束と、該光ファイバ束の他端面に配置され、光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像する第2の対物レンズと、前記光ファイバ束の一端面と共役な位置に配置され、該第2の対物レンズ、光ファイバ束および第1の対物レンズを介して戻る試料からの戻り光を通過させる共焦点ピンホールと、該共焦点ピンホールを通過した光を撮像する撮像手段とを備え、前記光ファイバの一端面と前記撮像手段との間に、前記光ファイバ束の一端面からの反射光を遮断するバリアフィルタ手段を備える光走査型共焦点観察装置を提供する。
本発明によれば、バリアフィルタ手段の作動により、光ファイバ束の一端面からの反射光が遮断されるので、上記と同様に反射光によるフレア等のノイズの少ない画像を取得することが可能となる。なお、バリアフィルタ手段としては、透過式のバリアフィルタを介在させる場合の他、光ファイバ束の一端面から撮像手段までの光路に配置される光学部品に、バリア特性を持たせることとしてもよい。
本発明によれば、光ファイバ束によって先端の第2の対物レンズの自由な位置決めおよび姿勢変更を可能としながら、光ファイバ束の端面における反射光が撮像手段によってフレア等のノイズとして検出されることを防止し、ノイズの少ない鮮明な画像を得ることができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態に係る光走査型共焦点観察装置について、図1および図2を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る光走査型共焦点観察装置1は、レーザ走査型共焦点顕微鏡であって、図1に示されるように、第1の対物レンズ2を備える装置本体3と、該第1の対物レンズ2の結像位置に一端面4aを配置した光ファイバ束4と、該光ファイバ束4の他端面4b側に配置され、他端面4bから発せられた光を試料A上に結像させる第2の対物レンズ5とを備えている。
装置本体3には、レーザ光を発生するレーザ光源6と、2つの直交する軸線回りに揺動可能な2枚のガルバノミラー7a,7bにより構成され、レーザ光源6から発せられたレーザ光を、光ファイバ束4を構成する各光ファイバの一端面4aに2次元的に走査させる光走査部7と、瞳投影レンズ8および結像レンズ9と、前記第1の対物レンズ2を介して戻る戻り光からレーザ光を分離するダイクロイックミラー10と、前記光ファイバ束4の一端面4aと共役な位置に配置される共焦点ピンホール11と、共焦点ピンホール11を通過した光を検出する光検出器12とを備えている。図中、符号13は、共焦点レンズである。
なお、図中、レーザ光源6が複数設けられているが、異なる波長のレーザ光を試料Aに対して照射可能とするためであり、単一のレーザ光源6であってもよい。また、光検出器12も複数設けた例を示しているが、単一の光検出器12であってもよい。また、符号14,20はダイクロイックミラー、符号15はバンドパスフィルタである。また、符号16は光路を折り曲げるミラーである。
前記第2の対物レンズ5は、光ファイバ束4の他端面4bから発せられる光を光源として試料Aの所望の位置に結像させるようになっている。
前記光ファイバ4の一端面4aには、図2に示されるように、ガラス板17が固定されている。このガラス板17は、所定の厚さ寸法、例えば、2mm程度の厚さ寸法を有している。ガラス板17は光ファイバ束4の一端面4aに突き合わせ状態に接触(フィジカルコンタクト)させられている。ガラス板17と光ファイバ束4の一端面4aとの間には、理想的には空気層が設けられることなく、屈折率がほぼ同等のガラス板17と光ファイバ束4を構成する各光ファイバのコアとが密着配置されていることが好ましい。
このように構成された本実施形態に係る光走査型共焦点観察装置1の作用について以下に説明する。
本実施形態に係る光走査型共焦点観察装置1によれば、レーザ光源6からレーザ光が発せられると、レーザ光はダイクロイックミラー10,14を透過させられて光走査部7に入射させられて2次元方向に走査される。光走査部7により偏向されて出射されたレーザ光は瞳投影レンズ8、ミラー16、結像レンズ9、第1の対物レンズ2を経て光ファイバ束4の一端面4aに入射させられる。
光ファイバ束4の一端面4aに入射させられて光ファイバ束4の内部を伝播したレーザ光は、光ファイバ束4の他端面4bから出射される際に一旦広がり、その後段に配されている第2の対物レンズ5によって試料Aの観察対象部位に照射される。レーザ光を照射された試料Aの観察対象部位からは蛍光が発せられ、蛍光は、第2の対物レンズ5、光ファイバ束4、第1の対物レンズ2、結像レンズ9、ミラー16、瞳投影レンズ8および光走査部7を介して戻り、ダイクロイックミラー10により反射されて、レーザ光と分離された後に、共焦点レンズ13により集光させられて共焦点ピンホール11を通過した光のみが光検出器12により検出される。光ファイバ束4の一端面4aは共焦点ピンホールとして機能し、また、共焦点ピンホール11と共役な位置に配置されているので、光ファイバ束4の一端面4aから出射された光のみが共焦点ピンホール11を通過することができ、光検出器12により検出されることになる。
この場合において、第1の対物レンズ2により光ファイバ束4の一端面4aに入射させられる光は、該一端面4aに入射させられる前にガラス板17の表面から入射される。そして、ガラス板17と光ファイバ4のコアとは空気層を介することなく密着させられているので、屈折率が同等の媒質間の界面を通過させられることになる。この場合には、界面におけるレーザ光の反射はほとんど生ずることがない。また、ごく一部レーザ光の反射が生ずるが、反射したレーザ光はガラス板17によって、図2に矢印で示されるように散乱させられるので第1の対物レンズ2に戻る反射光はごく一部となる。したがって、共焦点ピンホールとして機能する光ファイバ束4の一端面4aにおいて反射されて戻るレーザ光が多く発生せず、また反射したわずかなレーザ光も散乱されるので、光検出器12により検出される蛍光画像に反射光により発生するフレアを低減して、鮮明な蛍光画像を得ることができる。
また、レーザ光は空気層からガラス板17の表面に入射する際に、屈折率の異なる媒質間の界面を通過させられることになるため、ガラス板17の表面においてその一部が反射させられることとなるが、ガラス板17は所定の厚さ寸法を備えているので、共焦点ピンホールとして機能する光ファイバ束4の一端面4aから光軸方向に離れている。したがって、ガラス板17の表面において発生する反射光は、光検出器12の方向に戻ったとしても、そのほとんどが光検出器12の前段に配置されている共焦点ピンホール11を通過することができず、光検出器12により検出されることが防止されることになる。
すなわち、本実施形態に係るレーザ走査型共焦点顕微鏡によれば、反射光によるフレアの発生を防止して、鮮明な蛍光画像を得ることを可能とし、観察精度を向上することができる。
なお、本実施形態に係る光走査型共焦点観察装置1においては、光ファイバ束4の一端面4aにガラス板17を直接密着状態に配置することとしたが、これに代えて、図3に示されるように、透明な接着剤18により両者を接着することにしてもよい。このようにすることで、ガラス板17と光ファイバ束4の一端面4aとの間に空気層が形成されることをより確実に防止できるので、光ファイバ束4の一端面4aにおける反射光の発生を抑制することができる。
また、光ファイバ束4の一端面4aに配置したガラス板17に代えて、またはこれとともに、図4に示されるように、該光ファイバ束4の一端面4aら光検出器12までの間にレーザ光の反射光を遮断するためのバリアフィルタ19を配置することにしてもよい。
また、本実施形態に係る光走査型共焦点観察装置1によれば、ガルバノミラー7a,7bからなる光走査部7を備えているが、これに代えて、図5に示されるように、集光ディスク21とピンホールディスク22とをドラム23により連結し、モータ24により回転駆動する共焦点スキャナ25を採用してもよい。集光ディスク21はガラス基板の片面に形成された複数のフレネルレンズを有するものであり、フレネルレンズが半径方向に所定距離だけ順次ずれた状態で配列されている。ピンホールディスク22は基板に複数を有するものであり、このピンホールが半径方向に所定距離だけ順次ずれた状態で配置されている。集光ディスク21とピンホールディスク22との間には、ビームスプリッタ26が配置されており、ピンホールディスク22のピンホールを通過して戻る蛍光をビームスプリッタ26によって分離して、バリアフィルタ19、集光レンズ27を介してカメラ28により撮像するようになっている。
共焦点スキャナ25を用いることにより、レーザ光源6から発せられたレーザ光を複数のピンホールに同時に通過させて、複数点のレーザ光によって試料Aを走査することができ、試料Aの蛍光画像を迅速に取得することができる。この場合においても、バリアフィルタ19により、光ファイバ束4の一端面4aにおける反射光が遮断されるので、カメラ28に撮像される蛍光画像に発生するフレアを十分に低減することができる。
本発明の第1の実施形態に係るレーザ走査型共焦点観察装置を示す全体構成図である。 図1のレーザ走査型共焦点観察装置の光ファイバ束の一端面に配置したガラス板を説明する図である。 図2の変形例を示す図である。 図1のガラス板に加えてバリアフィルタを有するレーザ走査型共焦点観察装置を示す全体構成図である。 図1のレーザ走査型共焦点観察装置の光走査部の変形例を示す全体構成図である。
符号の説明
A 試料
1 光走査型共焦点観察装置
2 第1の対物レンズ
3 装置本体
4 光ファイバ束
4a 一端面
4b 他端面
5 第2の対物レンズ
6 光源
11 共焦点ピンホール
12 撮像手段
17 ガラス板
19 バリアフィルタ(バリアフィルタ手段)

Claims (3)

  1. 光源からの光を走査して第1の対物レンズにより結像する装置本体と、
    前記第1の対物レンズの焦点位置に一端面を配する光ファイバ束と、
    該ファイバ束の他端面側に配置され、光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像する第2の対物レンズと、
    前記光ファイバ束の一端面と共役な位置に配置され、該第2の対物レンズ、光ファイバ束および第1の対物レンズを介して戻る試料からの戻り光を通過させる共焦点ピンホールと、
    該共焦点ピンホールを通過した光を撮像する撮像手段とを備え、
    前記光ファイバ束の一端面に、所定の厚さを有するガラス板を配置した光走査型共焦点観察装置。
  2. 前記ガラス板が、前記光ファイバ束の一端面に接着されている請求項1に記載の光走査型共焦点観察装置。
  3. 光源からの光を走査して第1の対物レンズにより結像する装置本体と、
    前記第1の対物レンズの焦点位置に一端面を配する光ファイバ束と、
    該光ファイバ束の他端面に配置され、光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像する第2の対物レンズと、
    前記光ファイバ束の一端面と共役な位置に配置され、該第2の対物レンズ、光ファイバ束および第1の対物レンズを介して戻る試料からの戻り光を通過させる共焦点ピンホールと、
    該共焦点ピンホールを通過した光を撮像する撮像手段とを備え、
    前記光ファイバの一端面と前記撮像手段との間に、前記光ファイバ束の一端面からの反射光を遮断するバリアフィルタ手段を備える光走査型共焦点観察装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293210A (ja) * 2006-04-27 2007-11-08 Olympus Corp イメージング装置
JP2007304381A (ja) * 2006-05-12 2007-11-22 Fujinon Corp 共焦点画像信号取得方法および装置ならびにサンプリング動作状態取得装置
JP2009282103A (ja) * 2008-05-20 2009-12-03 Yokogawa Electric Corp 共焦点スキャナ顕微鏡

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57148385A (en) * 1981-03-09 1982-09-13 Nec Corp Coupling device for optical filter and semiconductor element
JPS58105202A (ja) * 1981-12-18 1983-06-23 Olympus Optical Co Ltd 光学繊維束を用いた照明装置
JPH0333388U (ja) * 1989-08-07 1991-04-02
JPH0739009U (ja) * 1993-12-27 1995-07-14 横河電機株式会社 共焦点顕微鏡
JPH07289512A (ja) * 1994-04-20 1995-11-07 Fuji Photo Optical Co Ltd 内視鏡用ライトガイドコネクタ
JPH11133306A (ja) * 1997-10-29 1999-05-21 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
JP2001281147A (ja) * 2000-03-31 2001-10-10 Yokogawa Electric Corp 共焦点スキャナ
JP2003344777A (ja) * 2002-05-24 2003-12-03 Japan Science & Technology Corp 光ファイバ顕微鏡および内視鏡

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57148385A (en) * 1981-03-09 1982-09-13 Nec Corp Coupling device for optical filter and semiconductor element
JPS58105202A (ja) * 1981-12-18 1983-06-23 Olympus Optical Co Ltd 光学繊維束を用いた照明装置
JPH0333388U (ja) * 1989-08-07 1991-04-02
JPH0739009U (ja) * 1993-12-27 1995-07-14 横河電機株式会社 共焦点顕微鏡
JPH07289512A (ja) * 1994-04-20 1995-11-07 Fuji Photo Optical Co Ltd 内視鏡用ライトガイドコネクタ
JPH11133306A (ja) * 1997-10-29 1999-05-21 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
JP2001281147A (ja) * 2000-03-31 2001-10-10 Yokogawa Electric Corp 共焦点スキャナ
JP2003344777A (ja) * 2002-05-24 2003-12-03 Japan Science & Technology Corp 光ファイバ顕微鏡および内視鏡

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293210A (ja) * 2006-04-27 2007-11-08 Olympus Corp イメージング装置
JP2007304381A (ja) * 2006-05-12 2007-11-22 Fujinon Corp 共焦点画像信号取得方法および装置ならびにサンプリング動作状態取得装置
JP2009282103A (ja) * 2008-05-20 2009-12-03 Yokogawa Electric Corp 共焦点スキャナ顕微鏡

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