JP2001281147A - 共焦点スキャナ - Google Patents
共焦点スキャナInfo
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- JP2001281147A JP2001281147A JP2000098248A JP2000098248A JP2001281147A JP 2001281147 A JP2001281147 A JP 2001281147A JP 2000098248 A JP2000098248 A JP 2000098248A JP 2000098248 A JP2000098248 A JP 2000098248A JP 2001281147 A JP2001281147 A JP 2001281147A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料からの戻り光を複数の異なる波長領域毎
に分離して検出することができ、コストアップを招くこ
となくスループットを高く保つことができる共焦点スキ
ャナを提供する。 【解決手段】 励起光波長の光は透過し、蛍光波長の光
は反射する第１のダイクロイックミラー３を透過してピ
ンホールアレイディスク４を通過した光を試料６０に対
して走査するとともに、ピンホールアレイディスクを通
過した試料からの蛍光７を第１のダイクロイックミラー
で反射させる共焦点スキャナ１００において、第１のダ
イクロイックミラーで反射された試料からの蛍光を複数
の波長領域の光に分離する第２のダイクロイックミラー
３０を設ける。
に分離して検出することができ、コストアップを招くこ
となくスループットを高く保つことができる共焦点スキ
ャナを提供する。 【解決手段】 励起光波長の光は透過し、蛍光波長の光
は反射する第１のダイクロイックミラー３を透過してピ
ンホールアレイディスク４を通過した光を試料６０に対
して走査するとともに、ピンホールアレイディスクを通
過した試料からの蛍光７を第１のダイクロイックミラー
で反射させる共焦点スキャナ１００において、第１のダ
イクロイックミラーで反射された試料からの蛍光を複数
の波長領域の光に分離する第２のダイクロイックミラー
３０を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点顕微観察系
における光学系に関する発明であり、さらに詳しくは、
顕微鏡と共に使用される共焦点スキャナの構造に関す
る。
における光学系に関する発明であり、さらに詳しくは、
顕微鏡と共に使用される共焦点スキャナの構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、顕微鏡と共に使用される共焦
点スキャナの従来例を示す。図１０において、共焦点ス
キャナ１００は顕微鏡２００に接続してあり、照明用平
行励起光束１（一点鎖線）はマイクロレンズアレイディ
スク（以下、ＭＬディスクと呼ぶ）２により個別の光束
に集光され、ダイクロイックミラー（以下、ＤＭと呼
ぶ）３を透過後、ピンホールアレイディスク（以下、ニ
ポウディスクと呼ぶ）４の個々のピンホールを通過し、
顕微鏡の対物レンズ５により、試料６に集光される。試
料６から出た蛍光信号７（実線）は再び対物レンズ５を
通り、ニポウディスク４の個々のピンホール上に集光さ
れる。個々のピンホールを通過した蛍光信号７はＤＭ３
で反射され、リレーレンズ９により、２次元センサ１０
上に蛍光画像を結像する。ＤＭ３は励起用光束１は透過
し、所望の蛍光信号７は反射するよう設計されている。
点スキャナの従来例を示す。図１０において、共焦点ス
キャナ１００は顕微鏡２００に接続してあり、照明用平
行励起光束１（一点鎖線）はマイクロレンズアレイディ
スク（以下、ＭＬディスクと呼ぶ）２により個別の光束
に集光され、ダイクロイックミラー（以下、ＤＭと呼
ぶ）３を透過後、ピンホールアレイディスク（以下、ニ
ポウディスクと呼ぶ）４の個々のピンホールを通過し、
顕微鏡の対物レンズ５により、試料６に集光される。試
料６から出た蛍光信号７（実線）は再び対物レンズ５を
通り、ニポウディスク４の個々のピンホール上に集光さ
れる。個々のピンホールを通過した蛍光信号７はＤＭ３
で反射され、リレーレンズ９により、２次元センサ１０
上に蛍光画像を結像する。ＤＭ３は励起用光束１は透過
し、所望の蛍光信号７は反射するよう設計されている。
【０００３】ＭＬディスク２とニポウディスク４とは互
いに部材８で機械的に連結された状態で、回転中心軸１
１の周りを回転する。この場合、ニポウディスク４上に
形成された個々のピンホールが試料６の被観察平面１２
を掃引するように、個々のマイクロレンズとピンホール
は配置されている。また、ニポウディスク４のピンホー
ルが並んでいる平面と、試料６上の被観察平面１２と、
２次元センサ１０の受光面とは互いに光学的に共役な関
係に配置されているので、２次元センサ１０上には試料
６の光学的断面像、すなわち共焦点画像が結像される。
いに部材８で機械的に連結された状態で、回転中心軸１
１の周りを回転する。この場合、ニポウディスク４上に
形成された個々のピンホールが試料６の被観察平面１２
を掃引するように、個々のマイクロレンズとピンホール
は配置されている。また、ニポウディスク４のピンホー
ルが並んでいる平面と、試料６上の被観察平面１２と、
２次元センサ１０の受光面とは互いに光学的に共役な関
係に配置されているので、２次元センサ１０上には試料
６の光学的断面像、すなわち共焦点画像が結像される。
【０００４】上述したように、ニポウディスク方式の共
焦点スキャナは２次元センサを用いるため、同一面内に
ある複数個の試料を同時に観察することができる。ま
た、ＭＬディスク２とニポウディスク４を高速で回転さ
せることにより、試料６の共焦点画像を２次元センサ１
０の受光面上に短時間で形成することができるので、図
１１に示すように多数の被検査試料をマトリックス上に
並べたサンプル６０を顕微鏡と共焦点スキャナに対して
相対的に移動させながら試料全数の共焦点画像を高速に
取り込むことが可能となる。そのため、上記共焦点スキ
ャナは新薬開発のスクリーニング手法に用いられてい
る。なお、十分に明るい蛍光信号を発する試料を検査対
象とする場合には、前述のＭＬディスク２が用いられな
いこともある。
焦点スキャナは２次元センサを用いるため、同一面内に
ある複数個の試料を同時に観察することができる。ま
た、ＭＬディスク２とニポウディスク４を高速で回転さ
せることにより、試料６の共焦点画像を２次元センサ１
０の受光面上に短時間で形成することができるので、図
１１に示すように多数の被検査試料をマトリックス上に
並べたサンプル６０を顕微鏡と共焦点スキャナに対して
相対的に移動させながら試料全数の共焦点画像を高速に
取り込むことが可能となる。そのため、上記共焦点スキ
ャナは新薬開発のスクリーニング手法に用いられてい
る。なお、十分に明るい蛍光信号を発する試料を検査対
象とする場合には、前述のＭＬディスク２が用いられな
いこともある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の共焦点
スキャナは、試料が一種類の蛍光を発する場合に限れ
ば、図１１に示したスクリーニング方法で単位時間あた
りに処理できる試料数、すなわちスループットの問題は
生じない。しかし、多くの場合、サンプル６０の各試料
に蛍光波長の異なる別々の蛍光試薬を付加するか、ある
いは、複数種の蛍光試薬を全試料に付加することによっ
て、試料の反応によって異なる複数の蛍光波長を検出で
きるようにした多重染色法によるスクリーニング方法が
用いられる。
スキャナは、試料が一種類の蛍光を発する場合に限れ
ば、図１１に示したスクリーニング方法で単位時間あた
りに処理できる試料数、すなわちスループットの問題は
生じない。しかし、多くの場合、サンプル６０の各試料
に蛍光波長の異なる別々の蛍光試薬を付加するか、ある
いは、複数種の蛍光試薬を全試料に付加することによっ
て、試料の反応によって異なる複数の蛍光波長を検出で
きるようにした多重染色法によるスクリーニング方法が
用いられる。
【０００６】上記のように異なる複数の蛍光波長を検出
する場合、まず特定の反射特性を持ち第１の蛍光波長を
検出できるＤＭを用いてサンプル６０（マトリックス状
に配置された試料全数）を検査した後、同じサンプルに
対して、第２の蛍光波長に対応した別の反射特性を持つ
ＤＭに交換してから、再度全数を検査しなければならな
い。したがって、必要な波長種類の数だけこのＤＭ交換
と全数検査を繰り返すことが必要なため、スループット
が低減する欠点があった。
する場合、まず特定の反射特性を持ち第１の蛍光波長を
検出できるＤＭを用いてサンプル６０（マトリックス状
に配置された試料全数）を検査した後、同じサンプルに
対して、第２の蛍光波長に対応した別の反射特性を持つ
ＤＭに交換してから、再度全数を検査しなければならな
い。したがって、必要な波長種類の数だけこのＤＭ交換
と全数検査を繰り返すことが必要なため、スループット
が低減する欠点があった。
【０００７】また、図１２に示すように各蛍光波長毎に
顕微鏡２００ａ…、共焦点スキャナ１００ａ…、２次元
センサ１０ａ…を複数台並べる方法を採ることも考えら
れる。しかし、この方法では、サンプル６０ｎに対する
蛍光波長λｎの検査が終了すると、このサンプル６０ｎ
は顕微鏡２００ｎ＋１，スキャナ１００ｎ＋１、２次元
センサ１０ｎ＋１から成る次の検査系ｎ＋１に送られ
る。これと同時に顕微鏡２００ｎ−１，スキャナ１００
ｎ−１、２次元センサ１０ｎ−１から成る検査系ｎ−１
で波長λｎ−１に対する検査が終了したサンプル６０ｎ
−１は検査系ｎに、また顕微鏡２００ｎ＋１，スキャナ
１００ｎ＋１、２次元センサ１０ｎ＋１から成る検査系
ｎ＋１で波長λｎ＋１に対する検査が終了したサンプル
６０ｎ＋１は検査系ｎ＋２に送られる。すなわち、ある
検査系で検査が終了したサンプルは、各々次の検査系に
送られる。そのため、この方法ではスループットを高く
保つことができるが、複数台の共焦点スキャナ、顕微鏡
が必要となるためコストが高くなるという欠点があっ
た。
顕微鏡２００ａ…、共焦点スキャナ１００ａ…、２次元
センサ１０ａ…を複数台並べる方法を採ることも考えら
れる。しかし、この方法では、サンプル６０ｎに対する
蛍光波長λｎの検査が終了すると、このサンプル６０ｎ
は顕微鏡２００ｎ＋１，スキャナ１００ｎ＋１、２次元
センサ１０ｎ＋１から成る次の検査系ｎ＋１に送られ
る。これと同時に顕微鏡２００ｎ−１，スキャナ１００
ｎ−１、２次元センサ１０ｎ−１から成る検査系ｎ−１
で波長λｎ−１に対する検査が終了したサンプル６０ｎ
−１は検査系ｎに、また顕微鏡２００ｎ＋１，スキャナ
１００ｎ＋１、２次元センサ１０ｎ＋１から成る検査系
ｎ＋１で波長λｎ＋１に対する検査が終了したサンプル
６０ｎ＋１は検査系ｎ＋２に送られる。すなわち、ある
検査系で検査が終了したサンプルは、各々次の検査系に
送られる。そのため、この方法ではスループットを高く
保つことができるが、複数台の共焦点スキャナ、顕微鏡
が必要となるためコストが高くなるという欠点があっ
た。
【０００８】本発明は、前述した事情に鑑みてなされた
もので、従来技術のように必要な波長種類の数だけＤＭ
交換と全数検査を繰り返したり、複数台の共焦点スキャ
ナ、顕微鏡を使用したりすることなく、試料からの戻り
光を複数の異なる波長領域毎に分離して検出することが
でき、したがってコストアップを招くことなくスループ
ットを高く保つことができる共焦点スキャナを提供する
ことを目的とする。
もので、従来技術のように必要な波長種類の数だけＤＭ
交換と全数検査を繰り返したり、複数台の共焦点スキャ
ナ、顕微鏡を使用したりすることなく、試料からの戻り
光を複数の異なる波長領域毎に分離して検出することが
でき、したがってコストアップを招くことなくスループ
ットを高く保つことができる共焦点スキャナを提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するため、入射光の内の一部の波長領域の光は透過
し、他部の波長領域の光は反射するダイクロイックミラ
ーと、複数のピンホールを有する回転可能なピンホール
アレイディスクとを具備し、光源からの照射光をダイク
ロイックミラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透
過してピンホールアレイディスクを通過した光を試料に
対して走査するとともに、ピンホールアレイディスクを
通過した試料からの戻り光を前記ダイクロイックミラー
に入射させ、該戻り光の一部又は全部をダイクロイック
ミラーで反射させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロ
イックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の波
長領域の光又は複数の同一波長領域部分に分離する戻り
光分離手段を備えたことを特徴とする共焦点スキャナを
提供する。
成するため、入射光の内の一部の波長領域の光は透過
し、他部の波長領域の光は反射するダイクロイックミラ
ーと、複数のピンホールを有する回転可能なピンホール
アレイディスクとを具備し、光源からの照射光をダイク
ロイックミラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透
過してピンホールアレイディスクを通過した光を試料に
対して走査するとともに、ピンホールアレイディスクを
通過した試料からの戻り光を前記ダイクロイックミラー
に入射させ、該戻り光の一部又は全部をダイクロイック
ミラーで反射させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロ
イックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の波
長領域の光又は複数の同一波長領域部分に分離する戻り
光分離手段を備えたことを特徴とする共焦点スキャナを
提供する。
【００１０】本発明の共焦点スキャナによれば、試料か
らの戻り光を、共焦点スキャナに組み込んだ戻り光分離
手段によって任意の複数の波長領域の光又は複数の同一
波長領域部分に分離できるので、従来技術のように必要
な波長種類の数だけＤＭ交換と全数検査を繰り返した
り、複数台の共焦点スキャナ、顕微鏡を使用したりする
ことなく、任意に分離した波長領域毎又は複数の同一波
長領域部分毎の共焦点画像を同時に、高速に、かつ分解
能度の低下なしに取得することができる。
らの戻り光を、共焦点スキャナに組み込んだ戻り光分離
手段によって任意の複数の波長領域の光又は複数の同一
波長領域部分に分離できるので、従来技術のように必要
な波長種類の数だけＤＭ交換と全数検査を繰り返した
り、複数台の共焦点スキャナ、顕微鏡を使用したりする
ことなく、任意に分離した波長領域毎又は複数の同一波
長領域部分毎の共焦点画像を同時に、高速に、かつ分解
能度の低下なしに取得することができる。
【００１１】本発明の共焦点スキャナの好適な具体例の
１つとしては、入射光の内の励起光波長の光は透過し、
蛍光波長の光は反射するダイクロイックミラーと、複数
のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイディ
スクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイックミ
ラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透過してピン
ホールアレイディスクを通過した光を試料に対して走査
するとともに、ピンホールアレイディスクを通過した試
料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射させ、
該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーで反射さ
せる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラーで
反射された試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は複
数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備え
たことを特徴とする共焦点スキャナを挙げることができ
る。
１つとしては、入射光の内の励起光波長の光は透過し、
蛍光波長の光は反射するダイクロイックミラーと、複数
のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイディ
スクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイックミ
ラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透過してピン
ホールアレイディスクを通過した光を試料に対して走査
するとともに、ピンホールアレイディスクを通過した試
料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射させ、
該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーで反射さ
せる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラーで
反射された試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は複
数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備え
たことを特徴とする共焦点スキャナを挙げることができ
る。
【００１２】この場合、上記戻り光分離手段は、ダイク
ロイックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の
波長領域の光に分離し、分離した光の少なくとも１つを
さらに複数の同一波長領域部分に分離したり、ダイクロ
イックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の同
一波長領域部分に分離し、分離した光の少なくとも１つ
をさらに複数の波長領域の光に分離したりするものであ
ってもよい。
ロイックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の
波長領域の光に分離し、分離した光の少なくとも１つを
さらに複数の同一波長領域部分に分離したり、ダイクロ
イックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の同
一波長領域部分に分離し、分離した光の少なくとも１つ
をさらに複数の波長領域の光に分離したりするものであ
ってもよい。
【００１３】また、本発明の共焦点スキャナは、さらに
下記構成（１）〜（８）を採用することができる。 （１）戻り光分離手段が、前記光源からの照射光及び試
料からの蛍光を入射させるダイクロイックミラー（第１
のダイクロイックミラー）とは反射透過特性の異なる１
つ又は２つ以上の戻り光分離用ダイクロイックミラーを
備えた構成。 （２）上記第１のダイクロイックミラーの反射波長帯域
が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの反射波長帯域
を含んでいる構成。 （３）上記第１のダイクロイックミラーの反射波長帯域
が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの透過波長帯域
を含んでいる構成。 （４）戻り光分離手段により分離された複数の波長領域
の光又は複数の同一波長領域部分をそれぞれ検出手段に
より検出するための結像光学系を備えた構成。検出手段
としては、例えば２次元センサを用いることができる。 （５）戻り光分離手段と上記検出手段との間に、戻り光
分離手段により分離された複数の波長領域の光又は複数
の同一波長領域部分の少なくとも１つから迷光を除去す
る迷光除去手段を設けた構成。迷光除去手段としては、
例えば、上記複数の波長領域の光又は複数の同一波長領
域部分の少なくとも１つから励起光波長の光を除去する
ものが挙げられる。 （６）上記第１のダイクロイックミラー及び１つ又は２
つ以上の戻り光分離用ダイクロイックミラーが、それぞ
れ平板ミラー又はプリズムミラーである構成。 （７）上記戻り光分離用ダイクロイックミラーである平
板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、波長分
離特性は持たず部分透過特性を持つ平板ガラス又はプリ
ズムに置換されている構成。この平板ガラス又はプリズ
ムは、入射光を複数の同一波長領域部分に分離するもの
である。 （８）上記戻り光分離用ダイクロイックミラーである平
板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、波長分
離特性を持つ回折格子又は分光プリズムに置換されてい
る構成。
下記構成（１）〜（８）を採用することができる。 （１）戻り光分離手段が、前記光源からの照射光及び試
料からの蛍光を入射させるダイクロイックミラー（第１
のダイクロイックミラー）とは反射透過特性の異なる１
つ又は２つ以上の戻り光分離用ダイクロイックミラーを
備えた構成。 （２）上記第１のダイクロイックミラーの反射波長帯域
が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの反射波長帯域
を含んでいる構成。 （３）上記第１のダイクロイックミラーの反射波長帯域
が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの透過波長帯域
を含んでいる構成。 （４）戻り光分離手段により分離された複数の波長領域
の光又は複数の同一波長領域部分をそれぞれ検出手段に
より検出するための結像光学系を備えた構成。検出手段
としては、例えば２次元センサを用いることができる。 （５）戻り光分離手段と上記検出手段との間に、戻り光
分離手段により分離された複数の波長領域の光又は複数
の同一波長領域部分の少なくとも１つから迷光を除去す
る迷光除去手段を設けた構成。迷光除去手段としては、
例えば、上記複数の波長領域の光又は複数の同一波長領
域部分の少なくとも１つから励起光波長の光を除去する
ものが挙げられる。 （６）上記第１のダイクロイックミラー及び１つ又は２
つ以上の戻り光分離用ダイクロイックミラーが、それぞ
れ平板ミラー又はプリズムミラーである構成。 （７）上記戻り光分離用ダイクロイックミラーである平
板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、波長分
離特性は持たず部分透過特性を持つ平板ガラス又はプリ
ズムに置換されている構成。この平板ガラス又はプリズ
ムは、入射光を複数の同一波長領域部分に分離するもの
である。 （８）上記戻り光分離用ダイクロイックミラーである平
板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、波長分
離特性を持つ回折格子又は分光プリズムに置換されてい
る構成。
【００１４】上述した本発明の共焦点スキャナでは、ダ
イクロイックミラーの透過光を試料に照射し、試料から
の戻り光をダイクロイックミラーで反射させるようにし
たが、ダイクロイックミラーの反射光を試料に照射し、
試料からの戻り光をダイクロイックミラーに透過させる
ようにしてもよく、これによっても同様の作用効果を得
ることができる。
イクロイックミラーの透過光を試料に照射し、試料から
の戻り光をダイクロイックミラーで反射させるようにし
たが、ダイクロイックミラーの反射光を試料に照射し、
試料からの戻り光をダイクロイックミラーに透過させる
ようにしてもよく、これによっても同様の作用効果を得
ることができる。
【００１５】したがって、本発明は、入射光の内の一部
の波長領域の光は透過し、他部の波長領域の光は反射す
るダイクロイックミラーと、複数のピンホールを有する
回転可能なピンホールアレイディスクとを具備し、光源
からの照射光をダイクロイックミラーに入射させ、ダイ
クロイックミラーで反射してピンホールアレイディスク
を通過した光を試料に対して走査するとともに、ピンホ
ールアレイディスクを通過した試料からの戻り光を前記
ダイクロイックミラーに入射させ、該戻り光の一部又は
全部をダイクロイックミラーに透過させる共焦点スキャ
ナにおいて、ダイクロイックミラーを透過した試料から
の戻り光を複数の波長領域の光又は複数の同一波長領域
部分に分離する戻り光分離手段を備えたことを特徴とす
る共焦点スキャナを提供する。
の波長領域の光は透過し、他部の波長領域の光は反射す
るダイクロイックミラーと、複数のピンホールを有する
回転可能なピンホールアレイディスクとを具備し、光源
からの照射光をダイクロイックミラーに入射させ、ダイ
クロイックミラーで反射してピンホールアレイディスク
を通過した光を試料に対して走査するとともに、ピンホ
ールアレイディスクを通過した試料からの戻り光を前記
ダイクロイックミラーに入射させ、該戻り光の一部又は
全部をダイクロイックミラーに透過させる共焦点スキャ
ナにおいて、ダイクロイックミラーを透過した試料から
の戻り光を複数の波長領域の光又は複数の同一波長領域
部分に分離する戻り光分離手段を備えたことを特徴とす
る共焦点スキャナを提供する。
【００１６】上記本発明の共焦点スキャナの好適な具体
例の１つとしては、入射光の内の励起光波長の光は反射
し、蛍光波長の光は透過するダイクロイックミラーと、
複数のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイ
ディスクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイッ
クミラーに入射させ、ダイクロイックミラーで反射して
ピンホールアレイディスクを通過した光を試料に対して
走査するとともに、ピンホールアレイディスクを通過し
た試料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射さ
せ、該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーに透
過させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラ
ーを透過した試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は
複数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備
えたことを特徴とする共焦点スキャナを挙げることがで
きる。
例の１つとしては、入射光の内の励起光波長の光は反射
し、蛍光波長の光は透過するダイクロイックミラーと、
複数のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイ
ディスクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイッ
クミラーに入射させ、ダイクロイックミラーで反射して
ピンホールアレイディスクを通過した光を試料に対して
走査するとともに、ピンホールアレイディスクを通過し
た試料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射さ
せ、該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーに透
過させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラ
ーを透過した試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は
複数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備
えたことを特徴とする共焦点スキャナを挙げることがで
きる。
【００１７】また、ダイクロイックミラーの反射光を試
料に照射し、試料からの戻り光をダイクロイックミラー
に透過させるようにした上記本発明の共焦点スキャナ
も、前述した構成（１）〜（８）を採用することができ
る。
料に照射し、試料からの戻り光をダイクロイックミラー
に透過させるようにした上記本発明の共焦点スキャナ
も、前述した構成（１）〜（８）を採用することができ
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】（第１の実施例）図１は本発明の
第１の実施例を示す構成図である。図１において、図１
０と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略
する。共焦点スキャナ１００は顕微鏡に接続してあり、
第１の入射波長λ１＝５３２ｎｍと第２の入射波長λ２
＝６４７ｎｍを含む照明用平行励起光束１（一点鎖線）
はＭＬディスク２により個別の光束に集光され、図２に
示された分光特性を持つ平板ミラーからなるＤＭ３を透
過後、ニポウディスク４の個々のピンホールを通過し、
顕微鏡の対物レンズ５により、サンプル６０の各試料に
集光され蛍光試薬を励起する。対物レンズ５は、収斂レ
ンズ（図示せず）を用いて無限遠光学系を構成していて
もよい。
第１の実施例を示す構成図である。図１において、図１
０と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略
する。共焦点スキャナ１００は顕微鏡に接続してあり、
第１の入射波長λ１＝５３２ｎｍと第２の入射波長λ２
＝６４７ｎｍを含む照明用平行励起光束１（一点鎖線）
はＭＬディスク２により個別の光束に集光され、図２に
示された分光特性を持つ平板ミラーからなるＤＭ３を透
過後、ニポウディスク４の個々のピンホールを通過し、
顕微鏡の対物レンズ５により、サンプル６０の各試料に
集光され蛍光試薬を励起する。対物レンズ５は、収斂レ
ンズ（図示せず）を用いて無限遠光学系を構成していて
もよい。
【００１９】サンプル６０の各試料は蛍光試薬ＣＹ３及
びＣＹ５を付加されており、各々の蛍光試薬が発した蛍
光７は再び対物レンズ５を通り、ニポウディスク４の個
々のピンホール上に集光される。個々のピンホールを通
過した蛍光信号７はＤＭ３で反射され、平板ミラーから
なる第２のＤＭ３０（戻り光分離手段）に到達する。Ｄ
Ｍ３０は図３に示す分光特性を持っているので、ＣＹ５
の蛍光成分の波長６６０ｎｍから７２０ｎｍの信号はＤ
Ｍ３０を透過し、図４の分光特性を持つバリアフィルタ
２０ａ（迷光除去手段）を通過後、２次元センサ１０ａ
（検出手段）に到達する。一方、ＣＹ３の蛍光成分の波
長５５０ｎｍから６３０ｎｍの信号は反射され、図４の
分光特性を持つバリアフィルタ２０ｂ（迷光除去手段）
を通過後、２次元センサ１０ｂ（検出手段）に到達す
る。リレーレンズ９（結像光学系）により、ニポウディ
スク４上に形成された共焦点光学像は２次元センサ１０
ａ及び１０ｂに結像される。
びＣＹ５を付加されており、各々の蛍光試薬が発した蛍
光７は再び対物レンズ５を通り、ニポウディスク４の個
々のピンホール上に集光される。個々のピンホールを通
過した蛍光信号７はＤＭ３で反射され、平板ミラーから
なる第２のＤＭ３０（戻り光分離手段）に到達する。Ｄ
Ｍ３０は図３に示す分光特性を持っているので、ＣＹ５
の蛍光成分の波長６６０ｎｍから７２０ｎｍの信号はＤ
Ｍ３０を透過し、図４の分光特性を持つバリアフィルタ
２０ａ（迷光除去手段）を通過後、２次元センサ１０ａ
（検出手段）に到達する。一方、ＣＹ３の蛍光成分の波
長５５０ｎｍから６３０ｎｍの信号は反射され、図４の
分光特性を持つバリアフィルタ２０ｂ（迷光除去手段）
を通過後、２次元センサ１０ｂ（検出手段）に到達す
る。リレーレンズ９（結像光学系）により、ニポウディ
スク４上に形成された共焦点光学像は２次元センサ１０
ａ及び１０ｂに結像される。
【００２０】本実施例では、ニポウディスク４のピンホ
ールが並んでいる平面と、サンプル６０上の被観察平面
と、２次元センサ１０ａ、１０ｂの受光面とは互いに光
学的に共役な関係に配置してあるので、２次元センサ１
０ａ、１０ｂ上にはサンプル６０の光学的断面像、すな
わち共焦点画像が結像される。したがって、本実施例で
は、サンプル６０の共焦点画像を２次元センサ１０ａ、
１０ｂの受光面上に同時に形成することができるため、
多数の被検査試料をマトリックス上に並べたサンプル６
０を顕微鏡と共焦点スキャナに対して相対的に移動させ
ることにより、試料全数の任意の波長選択分離をした共
焦点画像を高速に取り込むことが可能となる。なお、十
分に明るい蛍光信号を発する試料を検査対象とする場合
には、ＭＬディスク２は省略してもよい。
ールが並んでいる平面と、サンプル６０上の被観察平面
と、２次元センサ１０ａ、１０ｂの受光面とは互いに光
学的に共役な関係に配置してあるので、２次元センサ１
０ａ、１０ｂ上にはサンプル６０の光学的断面像、すな
わち共焦点画像が結像される。したがって、本実施例で
は、サンプル６０の共焦点画像を２次元センサ１０ａ、
１０ｂの受光面上に同時に形成することができるため、
多数の被検査試料をマトリックス上に並べたサンプル６
０を顕微鏡と共焦点スキャナに対して相対的に移動させ
ることにより、試料全数の任意の波長選択分離をした共
焦点画像を高速に取り込むことが可能となる。なお、十
分に明るい蛍光信号を発する試料を検査対象とする場合
には、ＭＬディスク２は省略してもよい。
【００２１】なお、図４の分光特性を持つバリアフィル
タ２０ａ，２０ｂは、励起迷光が蛍光信号に混ざって２
次元センサに到達することを阻止するために使用されて
いるが、蛍光信号が励起迷光より十分に大きい場合に
は、バリアフィルタを省いてもよい。
タ２０ａ，２０ｂは、励起迷光が蛍光信号に混ざって２
次元センサに到達することを阻止するために使用されて
いるが、蛍光信号が励起迷光より十分に大きい場合に
は、バリアフィルタを省いてもよい。
【００２２】本実施例で使用する蛍光試薬はＣＹ３、Ｃ
Ｙ５に限定されるものではなく、ＤＭに試薬の組み合わ
せに応じた波長分光特性を持たせることにより、任意の
蛍光試薬を選択することが可能である。使用可能な蛍光
色素（励起波長ピーク［ｎｍ］／蛍光波長ピーク［ｎ
ｍ］）を下記に例示する。また、蛍光試薬の付加の代わ
りに、特定の蛍光を発する蛋白を遺伝子操作で発現する
よう組み込む手法を用いてもよい。
Ｙ５に限定されるものではなく、ＤＭに試薬の組み合わ
せに応じた波長分光特性を持たせることにより、任意の
蛍光試薬を選択することが可能である。使用可能な蛍光
色素（励起波長ピーク［ｎｍ］／蛍光波長ピーク［ｎ
ｍ］）を下記に例示する。また、蛍光試薬の付加の代わ
りに、特定の蛍光を発する蛋白を遺伝子操作で発現する
よう組み込む手法を用いてもよい。
【００２３】［蛍光試薬］ＢＯＤＹＰＹ−ＦＬ（５０３
／５１２）、ＦＩＴＣ（４９４／５２０）、Ｒ−ｐｈｙ
ｃｏｅｒｙｔｈｒｉｎ（４８０／５７８）、ＧＦＰ（Ｇ
ｒｅｅｎ Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ Ｐｒｏｔｅｉｎ）
（４８８／５０９）、ＹＯＹＯ−１（４９１／５０
９）、ＴＯＴＯ−１（５１４／５３３）、Ｅｔｈｉｄｉ
ｕｍ Ｂｒｏｍｉｄｅ（５１０／５９５）、Ｐｒｏｐｉ
ｄｉｕｍ Ｉｏｄｉｄｅ（４９４又は５３６／６１
７）、Ａｃｒｉｄｉｎｅ Ｏｒａｎｇｅ（４８７／５２
６又は６５０）、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ １２３（５０５
／５３４）、ＤｉＯ（４８４／５０５）、ＤｉＡ（４９
１／５９５）、Ｄｉ−８−ＡＮＥＰＰＳ（４９８／６８
０）、ＤｉＯＣ５．６．７（４７８／５００から５１
０）、ＢＣＥＣＦ（４９０／５３０）、Ｆｌｕｏ−３
（５０６／５２６）、Ｃａｌｃｉｕｍ Ｇｒｅｅｎ（５
０６／５３３）、Ｆｕｒａ ｒｅｄ（４８０から５００
／６４０又は４２５から４５０）、Ｆｕｒａ ｒｅｄと
Ｆｌｕｏ−３（５０３／５２６又は６４０）、Ｍａｇｎ
ｅｃｉｕｍ Ｇｒｅｅｎ（５０６／５３２）
／５１２）、ＦＩＴＣ（４９４／５２０）、Ｒ−ｐｈｙ
ｃｏｅｒｙｔｈｒｉｎ（４８０／５７８）、ＧＦＰ（Ｇ
ｒｅｅｎ Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ Ｐｒｏｔｅｉｎ）
（４８８／５０９）、ＹＯＹＯ−１（４９１／５０
９）、ＴＯＴＯ−１（５１４／５３３）、Ｅｔｈｉｄｉ
ｕｍ Ｂｒｏｍｉｄｅ（５１０／５９５）、Ｐｒｏｐｉ
ｄｉｕｍ Ｉｏｄｉｄｅ（４９４又は５３６／６１
７）、Ａｃｒｉｄｉｎｅ Ｏｒａｎｇｅ（４８７／５２
６又は６５０）、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ １２３（５０５
／５３４）、ＤｉＯ（４８４／５０５）、ＤｉＡ（４９
１／５９５）、Ｄｉ−８−ＡＮＥＰＰＳ（４９８／６８
０）、ＤｉＯＣ５．６．７（４７８／５００から５１
０）、ＢＣＥＣＦ（４９０／５３０）、Ｆｌｕｏ−３
（５０６／５２６）、Ｃａｌｃｉｕｍ Ｇｒｅｅｎ（５
０６／５３３）、Ｆｕｒａ ｒｅｄ（４８０から５００
／６４０又は４２５から４５０）、Ｆｕｒａ ｒｅｄと
Ｆｌｕｏ−３（５０３／５２６又は６４０）、Ｍａｇｎ
ｅｃｉｕｍ Ｇｒｅｅｎ（５０６／５３２）
【００２４】（第２の実施例）図５は本発明の第２の実
施例を示す構成図である。図５において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、リレーレンズ
９ａ，９ｂ（結像光学系）を第２のＤＭ３０と２次元セ
ンサ１０ａ、１０ｂとの間に各々配置することによっ
て、バリアフィルタ２０ａ，２０ｂにおける収差及び２
次元センサ１０ａ、１０ｂの光軸上の位置自由度を改善
したものである。リレーレンズ９ａ，９ｂは異なる形
状、焦点距離を持っていてもよい。
施例を示す構成図である。図５において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、リレーレンズ
９ａ，９ｂ（結像光学系）を第２のＤＭ３０と２次元セ
ンサ１０ａ、１０ｂとの間に各々配置することによっ
て、バリアフィルタ２０ａ，２０ｂにおける収差及び２
次元センサ１０ａ、１０ｂの光軸上の位置自由度を改善
したものである。リレーレンズ９ａ，９ｂは異なる形
状、焦点距離を持っていてもよい。
【００２５】（第３の実施例）図６は本発明の第３の実
施例を示す構成図である。図６において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０がプリズムミラーである例を示したものである。プリ
ズムミラーは平板ミラーに比べて取り扱いが容易である
という利点がある。
施例を示す構成図である。図６において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０がプリズムミラーである例を示したものである。プリ
ズムミラーは平板ミラーに比べて取り扱いが容易である
という利点がある。
【００２６】（第４の実施例）図７は本発明の第４の実
施例を示す構成図である。図７において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０が、波長分離特性は持たず部分透過特性を持つ平板ガ
ラス（又はプリズム）からなるビームスプリッタ３１で
ある例を示したものである。ビームスプリッタ３１で分
けられた蛍光信号は同じ蛍光スペクトルを有し、２つの
２次元センサ１０ａ，１０ｂにおいて、解像度、感度、
画角を違えた画像を同時に取得することができる。部分
透過率は主に５０：５０で用いられることが多いが、こ
の範囲に留まらず任意の部分透過率で使用できる．
施例を示す構成図である。図７において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０が、波長分離特性は持たず部分透過特性を持つ平板ガ
ラス（又はプリズム）からなるビームスプリッタ３１で
ある例を示したものである。ビームスプリッタ３１で分
けられた蛍光信号は同じ蛍光スペクトルを有し、２つの
２次元センサ１０ａ，１０ｂにおいて、解像度、感度、
画角を違えた画像を同時に取得することができる。部分
透過率は主に５０：５０で用いられることが多いが、こ
の範囲に留まらず任意の部分透過率で使用できる．
【００２７】（第５の実施例）図８は本発明の第５の実
施例を示す構成図である。図８において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０が、波長分離特性を持つ回折格子（又は分光プリズ
ム）３２である例を示したものである。本実施例は、回
折格子（又は分光プリズム）３２への蛍光７の入斜角度
を変えることで、任意の波長を選択することができる。
施例を示す構成図である。図８において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０が、波長分離特性を持つ回折格子（又は分光プリズ
ム）３２である例を示したものである。本実施例は、回
折格子（又は分光プリズム）３２への蛍光７の入斜角度
を変えることで、任意の波長を選択することができる。
【００２８】（第６の実施例）図９は本発明の第６の実
施例を示す構成図である。図９において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０ａ及び第３のＤＭ３０ｂ（戻り光分離手段）、リレー
レンズ９ａ，９ｂ，９ｃ（結像光学系）及び２次元セン
サ１０ａ、１０ｂ、１０ｃ（検出手段）を配置し、３つ
に波長分離された共焦点蛍光画像を同時に取得する例を
示したものである。
施例を示す構成図である。図９において、図１と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。本実
施例は、共焦点スキャナ１００において、第２のＤＭ３
０ａ及び第３のＤＭ３０ｂ（戻り光分離手段）、リレー
レンズ９ａ，９ｂ，９ｃ（結像光学系）及び２次元セン
サ１０ａ、１０ｂ、１０ｃ（検出手段）を配置し、３つ
に波長分離された共焦点蛍光画像を同時に取得する例を
示したものである。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明の共焦点スキャナ
によれば、試料からの戻り光を、共焦点スキャナに組み
込んだ戻り光分離手段によって任意の複数の波長領域の
光又は複数の同一波長領域部分に分離できるので、任意
に分離した波長領域毎又は複数の同一波長領域部分毎の
共焦点画像を同時に、高速に、かつ分解能度の低下なし
に取得することができる。
によれば、試料からの戻り光を、共焦点スキャナに組み
込んだ戻り光分離手段によって任意の複数の波長領域の
光又は複数の同一波長領域部分に分離できるので、任意
に分離した波長領域毎又は複数の同一波長領域部分毎の
共焦点画像を同時に、高速に、かつ分解能度の低下なし
に取得することができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す構成図である。
【図２】第１の実施例で用いた第１のダイクロイックミ
ラーの分光特性を示すグラフである。
ラーの分光特性を示すグラフである。
【図３】第１の実施例で用いた第２のダイクロイックミ
ラーの分光特性を示すグラフである。
ラーの分光特性を示すグラフである。
【図４】第１の実施例で用いたバリアフィルタの分光特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図５】本発明の第２の実施例を示す構成図である。
【図６】本発明の第３の実施例を示す構成図である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す構成図である。
【図８】本発明の第５の実施例を示す構成図である。
【図９】本発明の第６の実施例を示す構成図である。
【図１０】顕微鏡と共に使用される共焦点スキャナの従
来例を示す構成図である。
来例を示す構成図である。
【図１１】顕微鏡と共に使用される共焦点スキャナの従
来例を示す構成図である。
来例を示す構成図である。
【図１２】共焦点スキャナを用いた従来のスクリーニン
グ方法の一例を示す構成図である。
グ方法の一例を示す構成図である。
１ 照明用平行励起光束 ２ マイクロレンズアレイディスク ３ ダイクロイックミラー ４ ピンホールアレイディスク ５ 対物レンズ ７ 蛍光信号 ９ リレーレンズ １０ ２次元センサ ２０ バリアフィルタ ３０ ダイクロイックミラー ３１ ビームスプリッタ ３２ 回折格子又は分光プリズム ６０ サンプル １００ 共焦点スキャナ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大槻 真也 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G043 DA02 DA05 EA01 FA02 GA02 GA07 GB01 GB19 HA01 HA09 HA15 JA02 JA04 JA05 KA02 LA03 2H045 AG00 BA13 DA31 2H052 AA08 AA09 AB24 AC04 AC15 AC29 AD34 AF14
Claims (12)
- 【請求項１】 入射光の内の一部の波長領域の光は透過
し、他部の波長領域の光は反射するダイクロイックミラ
ーと、複数のピンホールを有する回転可能なピンホール
アレイディスクとを具備し、光源からの照射光をダイク
ロイックミラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透
過してピンホールアレイディスクを通過した光を試料に
対して走査するとともに、ピンホールアレイディスクを
通過した試料からの戻り光を前記ダイクロイックミラー
に入射させ、該戻り光の一部又は全部をダイクロイック
ミラーで反射させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロ
イックミラーで反射された試料からの戻り光を複数の波
長領域の光又は複数の同一波長領域部分に分離する戻り
光分離手段を備えたことを特徴とする共焦点スキャナ。 - 【請求項２】 入射光の内の励起光波長の光は透過し、
蛍光波長の光は反射するダイクロイックミラーと、複数
のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイディ
スクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイックミ
ラーに入射させ、ダイクロイックミラーを透過してピン
ホールアレイディスクを通過した光を試料に対して走査
するとともに、ピンホールアレイディスクを通過した試
料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射させ、
該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーで反射さ
せる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラーで
反射された試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は複
数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備え
たことを特徴とする請求項１に記載の共焦点スキャナ。 - 【請求項３】 戻り光分離手段が、前記光源からの照射
光及び試料からの蛍光を入射させるダイクロイックミラ
ー（第１のダイクロイックミラー）とは反射透過特性の
異なる１つ又は２つ以上の戻り光分離用ダイクロイック
ミラーを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載
の共焦点スキャナ。 - 【請求項４】 第１のダイクロイックミラーの反射波長
帯域が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの反射波長
帯域を含んでいることを特徴とする請求項３に記載の共
焦点スキャナ。 - 【請求項５】 第１のダイクロイックミラーの反射波長
帯域が、戻り光分離用ダイクロイックミラーの透過波長
帯域を含んでいることを特徴とする請求項３又は４に記
載の共焦点スキャナ。 - 【請求項６】 戻り光分離手段により分離された複数の
波長領域の光又は複数の同一波長領域部分をそれぞれ検
出手段により検出するための結像光学系を備えたことを
特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の共焦点
スキャナ。 - 【請求項７】 戻り光分離手段と検出手段との間に、戻
り光分離手段により分離された複数の波長領域の光又は
複数の同一波長領域部分の少なくとも１つから迷光を除
去する迷光除去手段を設けたことを特徴とする請求項６
に記載の共焦点スキャナ。 - 【請求項８】 第１のダイクロイックミラー及び１つ又
は２つ以上の戻り光分離用ダイクロイックミラーが、そ
れぞれ平板ミラー又はプリズムミラーであることを特徴
とする請求項３〜７のいずれか１項に記載の共焦点スキ
ャナ。 - 【請求項９】 戻り光分離用ダイクロイックミラーであ
る平板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、波
長分離特性は持たず部分透過特性を持つ平板ガラス又は
プリズムに置換されていることを特徴とする請求項８に
記載の共焦点スキャナ。 - 【請求項１０】 戻り光分離用ダイクロイックミラーで
ある平板ミラー又はプリズムミラーの一部又は全部が、
波長分離特性を持つ回折格子又は分光プリズムに置換さ
れていることを特徴とする請求項８に記載の共焦点スキ
ャナ。 - 【請求項１１】 入射光の内の一部の波長領域の光は透
過し、他部の波長領域の光は反射するダイクロイックミ
ラーと、複数のピンホールを有する回転可能なピンホー
ルアレイディスクとを具備し、光源からの照射光をダイ
クロイックミラーに入射させ、ダイクロイックミラーで
反射してピンホールアレイディスクを通過した光を試料
に対して走査するとともに、ピンホールアレイディスク
を通過した試料からの戻り光を前記ダイクロイックミラ
ーに入射させ、該戻り光の一部又は全部をダイクロイッ
クミラーに透過させる共焦点スキャナにおいて、ダイク
ロイックミラーを透過した試料からの戻り光を複数の波
長領域の光又は複数の同一波長領域部分に分離する戻り
光分離手段を備えたことを特徴とする共焦点スキャナ。 - 【請求項１２】 入射光の内の励起光波長の光は反射
し、蛍光波長の光は透過するダイクロイックミラーと、
複数のピンホールを有する回転可能なピンホールアレイ
ディスクとを具備し、光源からの照射光をダイクロイッ
クミラーに入射させ、ダイクロイックミラーで反射して
ピンホールアレイディスクを通過した光を試料に対して
走査するとともに、ピンホールアレイディスクを通過し
た試料からの蛍光を前記ダイクロイックミラーに入射さ
せ、該蛍光の一部又は全部をダイクロイックミラーに透
過させる共焦点スキャナにおいて、ダイクロイックミラ
ーを透過した試料からの蛍光を複数の波長領域の光又は
複数の同一波長領域部分に分離する戻り光分離手段を備
えたことを特徴とする請求項１１に記載の共焦点スキャ
ナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000098248A JP2001281147A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 共焦点スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000098248A JP2001281147A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 共焦点スキャナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281147A true JP2001281147A (ja) | 2001-10-10 |
Family
ID=18612754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000098248A Withdrawn JP2001281147A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 共焦点スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001281147A (ja) |
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