JP2005268609A - 多層積層型多画素撮像素子及びテレビカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異なる波長の電磁波を吸収し、光電変換しうる複数の電磁波吸収層、各電磁波吸収層を挟む一対の電極、電荷伝送・電荷読み出し部位、及び該一対の電極の少なくとも一方と電荷伝送・電荷読み出し部位とを連結する複数のコンタクト部位から少なくとも構成される画素ユニットを有する撮像素子であって、画素サイズよりも上記画素ユニットが有する電極の内、両最外側の電極の最外表面間の長さの方が小さい多層積層多画素撮像素子。
【選択図】図4
Description
その後、多層積層型の考えは特許文献2に開示されているようにSiの吸収係数の波長依存性を利用した積層受光部によって深さ方向で色の分離を行うというFoveon方式と通称される方法によって具体化された。しかしながら、特許文献2に開示された発明では、感度と色分離性とが背反関係にあっていずれかが不満足になる。
さらに、特許文献4には互いに異なる色光を吸収する多層の有機半導体分子膜型受光エレメントをSi基板上に積層した多層積層型多画素撮像素子も開示されている。
精細な画像を得るために高画素数化が進行するのに伴って画素サイズは小さくなり、低感度になるので、高感度化に有利な積層型多画素撮像素子でも一層の高感度化と、積層化に伴う上記の画像品質の低下の改善が求められている。
本発明の更なる目的は、高い光電変換効率を持ち、繰り返し使用時の安定性に優れた撮像素子を提供することである。
(1)異なる波長の電磁波を吸収し、光電変換しうる複数の電磁波吸収層、各電磁波吸収層を挟む一対の電極、電荷伝送・電荷読み出し部位、及び該一対の電極の少なくとも一方と電荷伝送・電荷読み出し部位とを連結する複数のコンタクト部位から少なくとも構成される画素ユニットを有する撮像素子であって、画素サイズ(多層の電磁波吸収層の内、最大の面積を与える電磁波吸収層と同じ面積の円相当直径)よりも上記画素ユニットが有する電極の中で両最外側にある電極の最外表面間の長さの方が小さいことを特徴とする多層積層多画素撮像素子。
(3)上記複数の電磁波吸収層が少なくとも3層の電磁波吸収層を有し、該3層がそれぞれ400〜500nmの青光、500〜600nmの緑光及び600〜700nmの赤光を吸収し、光電変換することを特徴とする上記(1)に記載の多層積層多画素撮像素子。
(4)上記電荷伝送・電荷読み出し部位が、電荷移動度100cm2/volt・sec以上の半導体であることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(5)上記電荷伝送・電荷読み出し部位が、CMOS構造又はCCD構造を有することを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(7)複数のコンタクト部位は、青光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位、緑光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位、及び赤光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位をそれぞれ連結する少なくとも3つのコンタクト部位を含んでいることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(8)画素サイズが、2〜20μmである上記(1)〜(7)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(9)撮像素子の画素数が1〜100Mピクセルである上記(1)〜(8)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(11)複数の電磁波吸収層のうち最大の開口率を有する電磁波吸収層の開口率が70%以上である上記(1)〜(10)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(12)複数の電磁波吸収層が、少なくとも青光、青緑光、緑光及び赤光を吸収する4層の電磁波吸収層を含有することを特徴とする上記(1)〜(11)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(13)青光吸収用電磁波吸収層、緑光吸収用電磁波吸収層及び赤光吸収用電磁波吸収層の少なくともいずれか一つの電磁波吸収層が、二層以上の電磁波吸収層から構成されていることを特徴とする上記(1)〜(12)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(14)少なくとも一つの電磁波吸収層が、有機化合物膜を有することを特徴とする上記(1)〜(13)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(15)少なくとも一つの電磁波吸収層が、複数の有機化合物膜を有することを特徴とする上記(14)に記載の多層積層多画素撮像素子。
(16)少なくとも一つの電磁波吸収層が、酸化物又はカルコゲナイド半導体と分光増感色素を含有することを特徴とする上記(1)〜(15)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(17)少なくとも一つの電磁波吸収層が、無機化合物粒子、無機化合物薄膜、又はそれらの複合体を含有することを特徴とする上記(1)〜(16)のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
(19)光学ローパスフィルタを用いないことを特徴とする上記(18)に記載の放送用テレビカメラ。
(20) 前記撮像素子が交換可能であることを特徴とする上記(18)又は(19)に記載の放送用テレビカメラ。
(21) 前記放送用テレビカメラがハイビジョン放送用であることを特徴とする上記(18)〜(20)のいずれかに記載の放送用テレビカメラ。
(22)上記(1)〜(17)のいずれかに記載の撮像素子を用いることを特徴とするデジタルカメラ。
また、画素密度が高密度化されても高い光電変換効率が維持されて、繰り返し使用時の安定性に優れた撮像素子を実現できたことである。
したがって、本発明の優位性は、画素が高密度・小サイズ化されるとともに顕著となり、画素サイズが2−20ミクロンであれば、高感度で高解像力、かつシェーディングが発生しない撮像素子としてさらに好ましい。また、画素サイズがこの範囲にあれば、高い光電変換効率を持ち、繰り返し使用時の安定性に優れた撮像素子としても更に好ましい。
フォトダイオードに信号電荷はVCCDと書かれた電荷読出し・転送部位のn+と書かれた斜線部に一旦蓄えられたのち、電気画像信号として読み出されて転送される。電荷読出し・転送部位は、光の影響を受けないように遮光膜で覆われている。
ここに示した汎用CCDの問題点は、(1)構造が複雑で製造負荷が大きいこと、(2)光の有効利用率が低く高感度化が困難であること、(3)モザイク構造のため、モアレの発生・ローパスフイルタ・偽信号が出易いこと及び(3)マイクロレンズのため、シェーディングが発生、パッケージ化の負荷が大きいころである。
図2は、Foveon型の無機半導体の積層型画像素子の画素構造を示す断面図である。図2は、1個の画素を示したもので、Si基板上に表面側からn,p−well,n−well,p−subと書かれた多層の電磁波(一般に光波)吸収領域の重層構造となっている。この領域に入射した電磁波は、そのエネルギーの高いものから、すなわち光であれば短波長の青光から順次吸収され、赤光が深部側で吸収される。吸収された電磁波は光電変換されて蓄積される。電磁波が光の場合、n領域で吸収された青光に由来する電子は図2右下端の蓄積ダイオードに、p−well領域で吸収された緑光に由来する電子は図2下端中央部の蓄積ダイオードに、n−well領域で吸収された赤光に由来する電子は図2左下端の蓄積ダイオードに蓄積されたのち電気画像信号として転送される。
図2の積層型素子は,積層化によって1画素で多重の電磁波を吸収できる点で高感度化できたが、その反面、電磁波のスペクトル分離が困難であり、そのため再生画像の色が濁っていて画質低下を招く点が問題である。
図3は、無機半導体と有機光電変換体とを用いた本明細書でハイブリッド型と呼ぶ積層型画像素子の画素構造を示す断面図である。図3では、図2に示したSi半導体の積層構造の中の緑光吸収層を省いてSi半導体の表面上に緑吸収性の光電変換性有機色素による感光エレメントに置き換えた構成を取っている。この感光エレメントは、表面側から透明表面保護層、透明導電膜、緑吸収性の光電変換性有機色素分子膜、対抗電極から構成されており、緑光を吸収して、光電変換によって緑光の電気画像信号を発生する。したがって、無機半導体による受光部は、青と赤光を吸収する光電変換層となるので、赤,緑,青の色分離が改善される。
しかしながら、ハイブリッド型の改善効果は認められるが、なおその効果は不十分である。また、有機色素積分子膜を含む電磁波吸収・光電変換部位が設けられているので、素子が有する感光エレメントの総厚みは大きくなっている。
本発明の多層積層多画素撮像素子が具備する高感度で高解像力、かつシェーディングが発生しないという特徴は、画素サイズに対して複数層の電磁波吸収・光電変換部位の厚みが薄いことによっていることが判った。
本発明で言う電磁波とは青光・緑光・赤光およびその中間色を含む可視光、極端紫外および紫外光、赤外光および遠赤外光、X線およびγ線を指す。撮像素子の応用として特に重要なのは、可視光である。この場合、400-500nmの青光・500-600 nmの緑光・600-700 nmの赤光の三色に対する応答が重要であるが、さらに4−6種の波長光(又は電磁波)に応答させることも目的に応じて重要となる。特に好ましいのは、青光・青緑光・緑光・赤光に対して吸収し光電変換させる方式であり、これが忠実な色再現荷とって特に効果が大きい。また少なくとも青光・緑光・赤光のいずれかが二層以上の電磁波吸収・光電変換部位を持つことは、ダイナミックレンジ(撮影ラチチュード)を広げる点で好ましい効果を生み出すことができる。
画素サイズが20ミクロンを超えると発明の効果が減少し、画素サイズが2ミクロンよりも小さければサイズ間の電波干渉のためか解像力が低下する。
電磁波吸収・光電変換部位の厚みは、好ましくは1−19ミクロンである。
電磁波吸収・光電変換部位は開口率が70%以上、更には80%以上、特には90%以上であることが好ましい。
これらの方式では、上記材料の電磁波吸収・光電変換層を少なくとも一つの光透過性電極で挟んだ形態であり、更に光電変換を促進するために光透過性電極に電場を加えることは特に好ましい。光透過性電極として、ITO、ATOなどのインジウム・錫・アンチモンなどの酸化物、銀・銅・金・アルミなどの非常に薄い金属薄膜、あるいは金属のメッシュ電極などから選択することが出来る。
有機薄膜方式は、可視光に吸収を持ち、かつ光電変換性(光励起して電子・正孔対を生じる)の有機半導体の中から選択することが好ましい。有機薄膜の厚みは、化合物の吸収係数に依存するが、30分子層から300分子層程度が、光吸収と光電変換効率の観点から好ましい。また有機薄膜の電荷の移動度は10−5cm2/v・s以上でかつ暗電導度が少ないものから選択するのが好ましい、特に10−4cm2/v・s以上のものが好ましい。
有機・無機ハイブリッド方式の電磁波吸収・光電変換部位は、TiO2、ZnO、SnO2、ZnS、CdS、ZnSe、CdSeなどの酸化物、硫化物、およびそれらの混晶から基板を選択することができる。基板はナノ粒子の集合体、焼結体、薄膜、細孔を施した薄膜、それらの混合体から出来るだけ被表面積が大きい材料を選択することが好ましい。これらの表面を利用して分光増感型の色素を吸着させる必要がある。分光増感型の色素として、写真工業、電子写真、色増感太陽電池などで知られている種々の色素を選択することが出来る。
好ましい色素としては、シアニン色素、スチリル色素、ヘミシアニン色素、メロシアニン色素(ゼロメチンメロシアニン(シンプルメロシアニン)を含む)、3核メロシアニン色素、4核メロシアニン色素、ロダシアニン色素、コンプレックスシアニン色素、コンプレックスメロシアニン色素、アロポーラー色素、オキソノール色素、ヘミオキソノール色素、スクアリウム色素、クロコニウム色素、アザメチン色素、クマリン色素、アリーリデン色素、アントラキノン色素、トリフェニルメタン色素、アゾ色素、アゾメチン色素、スピロ化合物、メタロセン色素、フルオレノン色素、フルギド色素、ペリレン色素、フェナジン色素、フェノチアジン色素、キノン色素、インジゴ色素、ジフェニルメタン色素、ポリエン色素、アクリジン色素、アクリジノン色素、ジフェニルアミン色素、キナクリドン色素、キノフタロン色素、フェノキサジン色素、フタロペリレン色素、ポルフィリン色素、クロロフィル色素、フタロシアニン色素、金属錯体色素、シアニン色素、スチリル色素、ヘミシアニン色素、メロシアニン色素、3核メロシアニン色素、4核メロシアニン色素、ロダシアニン色素、コンプレックスシアニン色素、コンプレックスメロシアニン色素、アロポーラー色素、オキソノール色素、ヘミオキソノール色素、スクアリウム色素、クロコニウム色素及びアザメチン色素などのメチン色素が挙げられる。
図7左側の感光性ユニットの構成概略図において、感光性色素を粒子表面に吸着したチタニア(酸化チタン)が導電性膜上に配されて感光層を形成している。透明ガラス板を透して光の照射が行われると感光性色素は分光増感波長域の光を吸収して励起されて電子とホールの組を形成し、次いで励起電子はチタニア粒子に受容される。電子はさらに導電膜へ読み出されて画像電気信号の形で転送される。
電荷分離を促進するために、正孔輸送を促進するメディエーターを併用してもよいしい。メディエーターとしては水溶性レドックス、ゲル状のレドックス、あるいは固体レドックスが選択できるが、本発明に対して固体レドックスが好ましく、特にCuI系のレドックスは好ましい。
無機粒子・薄膜方式の電磁波吸収・光電変換部位は、可視光を吸収する無機化合物を選択する必要がある。それらの例として、カルコゲナイド元素及びその化合物、酸化物、III−V族元素とその酸化物などがある。代表的なものとしてCdSe、CdSなどがある。無機化合物の微粒子の集合体、焼結体、薄膜は電磁波吸収・光電変換部位として好ましい。また目的の可視吸収を持つ無機化合物と持たない化合物を複合化した材料も有用であり、可視吸収微粒子を他方で分散した形態、あるいは両者が層状をなす形態など種々のものから選択できる。無機微粒子化合物のサイズとサイズ分布を制御することにより、ナノ粒子の量子ドット効果を利用した吸収スペクトルの調整法は本発明に対して非常に好ましい。その一例として、CdSeのナノサイズ粒子は粒子サイズにより吸収スペクトルが調整でき、例えば、2nm前後で青光吸収を、5nm前後で緑光吸収を、8nm前後で赤光吸収を持たせることが出来る。従って、サイズとサイズ分を調整することにより、好ましいスペクトル作成することが可能となり本発明に対して好ましい。
上記の複数層の電磁波吸収・光電変換部位が積層された多画素撮像素子の各層構成材料及び製造プロセスについてさらに説明する。
多画素撮像素子は、例えば図8を用いて後述する製造プロセスにて、作成したい画像素子の画素サイズに対して、塗設する各感色性層、電極層に使用する各要素の塗設量を調節し、その厚みを画素サイズよりも小さくする事により本発明の撮像素子を得ることが出来る。その各要素および各要素の作成方法について、以下に説明する。
その形成方法としては、レーザアブレ-ジョン法,スパッタ法などで形成できる。
エフ・エム・ハーマー(F.M.Harmer)著「ヘテロサイクリック・コンパウンズーシアニンダイズ・アンド・リレィティド・コンパウンズ(Heterocyclic Compounds-Cyanine Dyes and Related Compounds)」、ジョン・ウィリー・アンド・サンズ(John Wiley & Sons)社、ニューヨーク、ロンドン、1964年刊、
デー・エム・スターマー(D.M.Sturmer)著「ヘテロサイクリック・コンパウンズースペシャル・トピックス・イン・ヘテロサイクリック・ケミストリー(Heterocyclic Compounds-Special topics in heterocyclic chemistry)」、第18章、第14節、第482から515頁、ジョン・ウィリー・アンド・サンズ(John Wiley & Sons) 社、ニューヨーク、ロンドン、1977年刊、
「ロッズ・ケミストリー・オブ・カーボン・コンパウンズ(Rodd's Chemistry of Carbon Compounds)」2nd.Ed.vol.IV,partB,1977刊、第15章、第369から422頁、エルセビア・サイエンス・パブリック・カンパニー・インク(Elsevier Science Publishing Company Inc.)社刊、ニューヨーク、など。
可視光に吸収を有する化合物として高分子化合物を用いる場合は、作成の容易な湿式成膜法により成膜することが好ましい。蒸着等の乾式成膜法を用いた場合、高分子を用いることは分解のおそれがあるため難しく、代わりとしてそのオリゴマーを好ましく用いることができる。
一方、低分子を用いた場合、共蒸着等の乾式成膜法により成膜することが好ましい。
種類の異なる2種以上の基板を混合して用いてもよい。
基板の作製法としては、作花済夫の「ゾル−ゲル法の科学」アグネ承風社(1998年)、技術情報協会の「ゾル−ゲル法による薄膜コーティング技術」(1995年)等に記載のゾル−ゲル法、杉本忠夫の「新合成法ゲル−ゾル法による単分散粒子の合成とサイズ形態制御」、まてりあ,第35巻,第9号,1012〜1018頁(1996年)に記載のゲル−ゾル法が好ましい。またDegussa社が開発した塩化物を酸水素塩中で高温加水分解により酸化物を作製する方法も好ましい。
半導体微粒子の分散液を作製する方法としては、前述のゾル−ゲル法の他に、乳鉢ですり潰す方法、ミルを使って粉砕しながら分散する方法、又は半導体を合成する際に溶媒中で微粒子として析出させそのまま使用する方法等が挙げられる。
本発明に使用する色素の好ましいメチン色素は、シアニン色素、メロシアニン色素、スクワリリウム色素等のポリメチン色素である。本発明で好ましく用いられるポリメチン色素の例としては、特開平11-35836号、特開平11-67285号、特開平11-86916号、特開平11-97725号、特開平11-158395号、特開平11-163378号、特開平11-214730号、特開平11-214731号、特開平11-238905号、特開2000-26487号、欧州特許892411号、同911841号及び同991092号の各明細書に記載の色素が挙げられる。
これらの半導体超微粒子を電極上に塗設する手段としては、公知の手段を利用することが出来、例えば、有機溶媒の分散液を作成してスピンコートにより塗設することが出来る。
基本的には、この方法は活性光や電子線などによるパターン露光(水銀のi,g輝線、エキシマレーザー、さらにはX線、電子線)、現像及び/又はバーニングによるパターン形成、素子形成材料の配置(塗設、蒸着、スパッタ、CVなど)、非パターン部の材料の除去(熱処理、溶解処理など)の反復操作による。
典型例を図4と図8を参照しながら説明する。図8は、製造プロセスの説明のためにそのごく一部を示したものであり、図8aは出発素材である下地の平面図と率面図である。図4に示すN-subと記された下地の表面にソース用,ドレイン用の不純物領域と、ゲート絶縁膜8を介して形成されたゲート電極とが形成され、ゲート絶縁膜8及びゲート電極の上部にはさらに絶縁膜が積層されて平坦化され、その上に、図示しない遮光膜が積層される。遮光膜は、多くの場合、金属薄膜で形成されるため、更にその上に絶縁膜が形成されて図8bに平面図と立面図によって示された半導体基板が作られる(図4の2本の矢印の絶縁層より下側)。
このようなレジスト塗設と塗膜上へのパターン描画(又は電子線やX線の直接描画)、レジスト除去、バ−ニングの反復がなされて画像素子が製造される。
本発明の撮像素子は、デジタルスチルカメラに利用することが出来る。また、TVカメラに用いることも好ましい。その他の用途として、デジタルビデオカメラ、下記用途などでの監視カメラ(オフィスビル、駐車場、金融機関・無人契約機、ショッピングセンター、コンビニエンスストア、アウトレットモール、百貨店、パチンコホール、カラオケボックス、ゲームセンター、病院)、その他各種のセンサー(テレビドアホン、個人認証用センサー、ファクトリーオートメーション用センサー、家庭用ロボット、産業用ロボット、配管検査システム)、医療用センサー(内視鏡、眼底カメラ)、テレビ会議システム、テレビ電話、カメラつきケータイ、自動車安全走行システム(バックガイドモニタ、衝突予測、車線維持システム)、テレビゲーム用センサーなどの用途に用いることが出来る。
更に、本発明の撮像素子においては電磁波吸収・光電変換部位を実質的に赤外光に対して感度を持たないように作成することができる為、光学ローパスフィルターを不要とすることが出来、更なる高感度、高解像力が期待できる点で好ましい。
Claims (21)
- 異なる波長の電磁波を吸収し、光電変換しうる複数の電磁波吸収層、各電磁波吸収層を挟む一対の電極、電荷伝送・電荷読み出し部位、及び該一対の電極の少なくとも一方と電荷伝送・電荷読み出し部位とを連結する複数のコンタクト部位から少なくとも構成される画素ユニットを有する撮像素子であって、画素サイズ(多層の電磁波吸収層の内、最大の面積を与える電磁波吸収層と同じ面積の円相当直径)よりも上記画素ユニットが有する電極の中で両最外側にある電極の最外表面間の長さの方が小さいことを特徴とする多層積層多画素撮像素子。
- 上記複数の電磁波吸収層のうちの少なくとも一層が、青光、緑光、赤光、紫外光、赤外光、X線及びγ線のうちのいずれかを吸収し、光電変換することを特徴とする請求項1記載の多層積層多画素撮像素子。
- 上記複数の電磁波吸収層が少なくとも3層の電磁波吸収層を有し、該3層がそれぞれ400〜500nmの青光、500〜600nmの緑光及び600〜700nmの赤光を吸収し、光電変換することを特徴とする請求項1記載の多層積層多画素撮像素子。
- 上記電荷伝送・電荷読み出し部位が、電荷移動度100cm2/volt・sec以上の半導体であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 上記電荷伝送・電荷読み出し部位が、CMOS構造又はCCD構造を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 複数のコンタクト部位が金属材料で構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 複数のコンタクト部位は、青光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位、緑光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位、及び赤光用取り出し電極と電荷転送・読み出し部位をそれぞれ連結する少なくとも3つのコンタクト部位を含んでいることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 画素サイズが、2〜20μmである請求項1〜7のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 撮像素子の画素数が1〜100Mピクセルである請求項1〜8のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 複数の電磁波吸収層が、全体で、入射する400〜700nmの可視光の40%以上を吸収し、光電変換することを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 複数の電磁波吸収層のうち最大の開口率を有する電磁波吸収層の開口率が70%以上である請求項1〜10のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 複数の電磁波吸収層が、少なくとも青光、青緑光、緑光及び赤光を吸収する4層の電磁波吸収層を含有することを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 青光吸収用電磁波吸収層、緑光吸収用電磁波吸収層及び赤光吸収用電磁波吸収層の少なくともいずれか一つの電磁波吸収層が、二層以上の電磁波吸収層から構成されていることを特徴とする請求項3〜12のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 少なくとも一つの電磁波吸収層が、有機化合物膜を有することを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 少なくとも一つの電磁波吸収層が、複数の有機化合物膜を有することを特徴とする請求項14に記載の多層積層多画素撮像素子。
- 少なくとも一つの電磁波吸収層が、酸化物又はカルコゲナイド半導体と分光増感色素を含有することを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 少なくとも一つの電磁波吸収層が、無機化合物粒子、無機化合物薄膜、又はそれらの複合体を含有することを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の多層積層多画素撮像素子。
- 請求項1〜17のいずれかに記載の撮像素子を用いることを特徴とする放送用テレビカメラ。
- 光学ローパスフィルタを用いないことを特徴とする請求項18に記載の放送用テレビカメラ。
- 前記撮像素子が交換可能であることを特徴とする請求項18又は19に記載の放送用テレビカメラ。
- 前記放送用テレビカメラがハイビジョン放送用であることを特徴とする請求項18〜20のいずれかに記載の放送用テレビカメラ。
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---|---|---|---|
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US11/082,697 US7411620B2 (en) | 2004-03-19 | 2005-03-18 | Multilayer deposition multipixel image pickup device and television camera |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004080617A JP2005268609A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 多層積層型多画素撮像素子及びテレビカメラ |
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---|---|
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---|---|---|---|
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---|---|
US (1) | US7411620B2 (ja) |
JP (1) | JP2005268609A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227574A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 光電変換素子、固体撮像素子 |
JP2007336362A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Fujifilm Corp | 情報読み取り装置 |
JP2008227091A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び固体撮像素子 |
JP2008294058A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Saitama Univ | 撮像素子およびその製造方法 |
JP2009049278A (ja) * | 2007-08-22 | 2009-03-05 | Fujifilm Corp | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子 |
WO2009034971A1 (ja) | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Fujifilm Corporation | 置換基脱離化合物の製造方法、有機半導体膜およびその製造方法 |
JP2009099866A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び固体撮像素子 |
US7626156B2 (en) | 2007-09-13 | 2009-12-01 | Fujifilm Corporation | Image sensor having plural pixels adjacent to each other in a thickness direction and method for manufacturing the same |
US7847362B2 (en) | 2007-07-06 | 2010-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Photo detector, image sensor, photo-detection method, and imaging method |
US8168781B2 (en) | 2007-08-23 | 2012-05-01 | Fujifilm Corporation | Organic semiconducting material, and film, organic electronic device and infrared dye composition each including said material |
US8319090B2 (en) | 2008-05-30 | 2012-11-27 | Fujifilm Corporation | Organic photoelectric conversion material and organic thin-film photoelectric conversion device |
JP2014526136A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-10-02 | ボリーメディアコミュニケーションズ(シンチェン)カンパニーリミテッド | 混合マルチスペクトル感光画素グループ |
US9012761B2 (en) | 2008-03-12 | 2015-04-21 | Fujifilm Corporation | Organic photoelectric conversion material and photoelectric conversion element using the same |
US9331125B2 (en) | 2014-03-19 | 2016-05-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state imaging device using plasmon resonator filter |
Families Citing this family (65)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7591783B2 (en) * | 2003-04-01 | 2009-09-22 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Articulation joint for video endoscope |
US8118732B2 (en) | 2003-04-01 | 2012-02-21 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Force feedback control system for video endoscope |
US20040199052A1 (en) | 2003-04-01 | 2004-10-07 | Scimed Life Systems, Inc. | Endoscopic imaging system |
US20050245789A1 (en) | 2003-04-01 | 2005-11-03 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Fluid manifold for endoscope system |
US7578786B2 (en) | 2003-04-01 | 2009-08-25 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Video endoscope |
US8199187B2 (en) | 2004-09-30 | 2012-06-12 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Adapter for use with digital imaging medical device |
US7479106B2 (en) | 2004-09-30 | 2009-01-20 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Automated control of irrigation and aspiration in a single-use endoscope |
US8083671B2 (en) | 2004-09-30 | 2011-12-27 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Fluid delivery system for use with an endoscope |
JP4843951B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2011-12-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置の製造方法、固体撮像装置およびカメラ |
JP2006270021A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層型光電変換素子 |
JP4839008B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-12-14 | 富士フイルム株式会社 | 単板式カラー固体撮像素子 |
DE102005039365B4 (de) * | 2005-08-19 | 2022-02-10 | Infineon Technologies Ag | Gate-gesteuertes Fin-Widerstandselement, welches als pinch - resistor arbeitet, zur Verwendung als ESD-Schutzelement in einem elektrischen Schaltkreis und Einrichtung zum Schutz vor elektrostatischen Entladungen in einem elektrischen Schaltkreis |
KR100653848B1 (ko) * | 2005-09-13 | 2006-12-05 | (주)한비젼 | 3차원 적층형 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
JP2007081137A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び固体撮像素子 |
JP4669768B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 解像度可変型x線撮像装置及びx線ct装置 |
US7955255B2 (en) | 2006-04-20 | 2011-06-07 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Imaging assembly with transparent distal cap |
US8202265B2 (en) | 2006-04-20 | 2012-06-19 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Multiple lumen assembly for use in endoscopes or other medical devices |
JP2008072090A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-03-27 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び固体撮像素子 |
JP2008066402A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | 撮像素子および撮像装置 |
JP4349456B2 (ja) * | 2006-10-23 | 2009-10-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
DE102007008756A1 (de) * | 2007-02-22 | 2008-08-28 | Siemens Ag | Messkopf für ein Endoskop und Endoskop |
US20080230123A1 (en) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Fujifilm Corporation | Photoelectric conversion element and solid-state imaging device |
CN102017147B (zh) * | 2007-04-18 | 2014-01-29 | 因维萨热技术公司 | 用于光电装置的材料、系统和方法 |
CN101345248B (zh) * | 2007-07-09 | 2010-07-14 | 博立码杰通讯(深圳)有限公司 | 多光谱感光器件及其制作方法 |
WO2009031055A2 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Lg Electronics Inc. | System and method for displaying a rotated image in a display device |
US8022493B2 (en) * | 2007-09-27 | 2011-09-20 | Dongbu Hitek Co., Ltd. | Image sensor and manufacturing method thereof |
JP5521312B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
JP5353200B2 (ja) * | 2008-11-20 | 2013-11-27 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および撮像装置 |
KR20100057302A (ko) * | 2008-11-21 | 2010-05-31 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
JP5005113B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2012-08-22 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 半導体装置および内視鏡 |
FR2947952B1 (fr) | 2009-07-07 | 2011-11-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif photo-detecteur et procede de realisation de dispositif photo-detecteur |
US10147604B2 (en) * | 2009-10-27 | 2018-12-04 | International Business Machines Corporation | Aqueous-based method of forming semiconductor film and photovoltaic device including the film |
US20110094557A1 (en) | 2009-10-27 | 2011-04-28 | International Business Machines Corporation | Method of forming semiconductor film and photovoltaic device including the film |
JP5117523B2 (ja) * | 2010-03-09 | 2013-01-16 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP5534927B2 (ja) * | 2010-05-06 | 2014-07-02 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP5468133B2 (ja) * | 2010-05-14 | 2014-04-09 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
CN102388422B (zh) * | 2010-05-28 | 2013-03-13 | 信越聚合物株式会社 | 透明导电膜及使用该透明导电膜的导电性基板 |
WO2012028847A1 (en) | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Isis Innovation Limited | Image sensor |
JP6081694B2 (ja) | 2010-10-07 | 2017-02-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 光検出装置 |
JP2012238648A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Sony Corp | 固体撮像装置及び電子機器 |
CA2840267C (en) | 2011-06-24 | 2017-11-14 | Boly Media Communications (Shenzhen) Co., Ltd | Multi-depth-of-field light-sensing device, system, depth of field extension method, and optical imaging system |
TWI575494B (zh) | 2011-08-19 | 2017-03-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的驅動方法 |
WO2013099537A1 (en) | 2011-12-26 | 2013-07-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Motion recognition device |
CN104160295B (zh) | 2012-03-09 | 2017-09-15 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置的驱动方法 |
US9541386B2 (en) | 2012-03-21 | 2017-01-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Distance measurement device and distance measurement system |
JP5860168B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2016-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
KR20140111758A (ko) | 2013-03-12 | 2014-09-22 | 삼성전자주식회사 | 이미지 처리 장치 및 이를 포함하는 컴퓨팅 시스템 |
US9729809B2 (en) | 2014-07-11 | 2017-08-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method of semiconductor device or electronic device |
US9871067B2 (en) | 2015-11-17 | 2018-01-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Infrared image sensor component |
US12009379B2 (en) * | 2017-05-01 | 2024-06-11 | Visera Technologies Company Limited | Image sensor |
US10930709B2 (en) | 2017-10-03 | 2021-02-23 | Lockheed Martin Corporation | Stacked transparent pixel structures for image sensors |
US10510812B2 (en) | 2017-11-09 | 2019-12-17 | Lockheed Martin Corporation | Display-integrated infrared emitter and sensor structures |
US10838250B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-11-17 | Lockheed Martin Corporation | Display assemblies with electronically emulated transparency |
US10594951B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-03-17 | Lockheed Martin Corporation | Distributed multi-aperture camera array |
US10690910B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-06-23 | Lockheed Martin Corporation | Plenoptic cellular vision correction |
US10951883B2 (en) | 2018-02-07 | 2021-03-16 | Lockheed Martin Corporation | Distributed multi-screen array for high density display |
US10652529B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-05-12 | Lockheed Martin Corporation | In-layer Signal processing |
US11616941B2 (en) | 2018-02-07 | 2023-03-28 | Lockheed Martin Corporation | Direct camera-to-display system |
US10979699B2 (en) | 2018-02-07 | 2021-04-13 | Lockheed Martin Corporation | Plenoptic cellular imaging system |
CN108805055B (zh) * | 2018-05-29 | 2021-03-23 | 武汉天马微电子有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
US10866413B2 (en) | 2018-12-03 | 2020-12-15 | Lockheed Martin Corporation | Eccentric incident luminance pupil tracking |
FR3093377B1 (fr) * | 2019-03-01 | 2021-02-26 | Isorg | Capteur d'images couleur et infrarouge |
FR3093376B1 (fr) | 2019-03-01 | 2022-09-02 | Isorg | Capteur d'images couleur et infrarouge |
US10698201B1 (en) | 2019-04-02 | 2020-06-30 | Lockheed Martin Corporation | Plenoptic cellular axis redirection |
CN110491892A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-11-22 | 德淮半导体有限公司 | 图像传感器及其制作方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61193479A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JPS61204967A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JP2002083946A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | イメージセンサ |
JP2002353432A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 機能性ナノ構造体およびこれを用いた光素子 |
JP2003158254A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光導電膜および固体撮像装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58103165A (ja) | 1981-12-15 | 1983-06-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 3層4階構造の固体カラ−撮像デバイス |
JP3315213B2 (ja) | 1993-09-21 | 2002-08-19 | 株式会社東芝 | イメージセンサー |
US5965875A (en) * | 1998-04-24 | 1999-10-12 | Foveon, Inc. | Color separation in an active pixel cell imaging array using a triple-well structure |
US6727521B2 (en) * | 2000-09-25 | 2004-04-27 | Foveon, Inc. | Vertical color filter detector group and array |
US7129466B2 (en) * | 2002-05-08 | 2006-10-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Color image pickup device and color light-receiving device |
US7541627B2 (en) * | 2004-03-08 | 2009-06-02 | Foveon, Inc. | Method and apparatus for improving sensitivity in vertical color CMOS image sensors |
JP2006100766A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光電変換素子、及び撮像素子、並びに、これらに電場を印加する方法。 |
-
2004
- 2004-03-19 JP JP2004080617A patent/JP2005268609A/ja active Pending
-
2005
- 2005-03-18 US US11/082,697 patent/US7411620B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61193479A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JPS61204967A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JP2002083946A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | イメージセンサ |
JP2002353432A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 機能性ナノ構造体およびこれを用いた光素子 |
JP2003158254A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光導電膜および固体撮像装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227574A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 光電変換素子、固体撮像素子 |
US7999339B2 (en) | 2006-02-22 | 2011-08-16 | Fujifilm Corporation | Photoelectric conversion device and solid-state imaging device |
JP2007336362A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Fujifilm Corp | 情報読み取り装置 |
JP2008227091A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | 光電変換素子及び固体撮像素子 |
JP2008294058A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Saitama Univ | 撮像素子およびその製造方法 |
US7847362B2 (en) | 2007-07-06 | 2010-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Photo detector, image sensor, photo-detection method, and imaging method |
JP2009049278A (ja) * | 2007-08-22 | 2009-03-05 | Fujifilm Corp | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子 |
US8288939B2 (en) | 2007-08-22 | 2012-10-16 | Fujifilm Corporation | Photoelectric conversion element, method for producing photoelectric conversion element, and solid-state imaging device |
US8168781B2 (en) | 2007-08-23 | 2012-05-01 | Fujifilm Corporation | Organic semiconducting material, and film, organic electronic device and infrared dye composition each including said material |
US8568965B2 (en) | 2007-08-23 | 2013-10-29 | Fujifilm Corporation | Organic semiconducting material, and film, organic electronic device and infrared dye composition each including said material |
WO2009034971A1 (ja) | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Fujifilm Corporation | 置換基脱離化合物の製造方法、有機半導体膜およびその製造方法 |
US7626156B2 (en) | 2007-09-13 | 2009-12-01 | Fujifilm Corporation | Image sensor having plural pixels adjacent to each other in a thickness direction and method for manufacturing the same |
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