JP2005259895A - SiC半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ミスフィット転位による結晶欠陥を大幅に抑制した極めて高品質なSiC半導体の提供。
【解決手段】Si単結晶基板2上にc−BP単結晶層4及びSi単結晶層5′を炭化した3C−SiC単結晶層5をこの順で介在して3C−SiC単結晶膜6が形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】Si単結晶基板2上にc−BP単結晶層4及びSi単結晶層5′を炭化した3C−SiC単結晶層5をこの順で介在して3C−SiC単結晶膜6が形成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、Si(シリコン、ケイ素)半導体に比べ半導体機能として優れた性能を持ち、短波長半導体発光素子、高周波及び高効率半導体素子等に用いられるSiC(炭化ケイ素)半導体及びその製造方法に関する。
3C−SiC(立方晶炭化ケイ素)半導体は、一般に、Si単結晶基板の表層を炭化処理して3C−SiC単結晶層に変質させ、この3C−SiC単結晶層上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層して製造されている。
しかし、基板となるSi単結晶と成長させる3C−SiC単結晶との間には、格子定数差に伴う格子不整合があるため、3C−SiC単結晶膜にミスフィット転位による結晶欠陥が多数発生し、デバイス作製時の問題となっている。
したがって、SiとSiCの格子定数差を緩和するような適当な物質によるバッファ(緩衝)層を設けることが望まれる。
しかし、基板となるSi単結晶と成長させる3C−SiC単結晶との間には、格子定数差に伴う格子不整合があるため、3C−SiC単結晶膜にミスフィット転位による結晶欠陥が多数発生し、デバイス作製時の問題となっている。
したがって、SiとSiCの格子定数差を緩和するような適当な物質によるバッファ(緩衝)層を設けることが望まれる。
従来、SiC半導体としては、Si単結晶基板上にc−BP(立方晶リン化ホウ素)単結晶層を介在させて3C−SiC単結晶膜を形成したものが知られている。
このSiC半導体は、Si単結晶基板上にc−BP単結晶層をエピタキシャル成長により積層した後、c−BP単結晶層に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層することにより製造されるものである。
閃亜鉛鉱型構造の晶系を有するc−BPの格子定数は、4.538オングストロームであり、3C−SiCの格子定数4.358オングストロームとほぼ同等であり、格子不整合によるミスフィット転位を抑制できるものと考えられる。
又、c−BPは、Siと格子定数にして16.4%の違いがあるものの、Si上にヘテロエピタキシャル成長できることが知られている。
更に、c−BP上にSiをエピタキシャル成長できることも明らかとなっている。
特開2003−08165号公報
Journal of Crystal Grouwh 50(1980) 549-551「Multi layer Epitaxial Growth of BP and Si on Si Substrates」
このSiC半導体は、Si単結晶基板上にc−BP単結晶層をエピタキシャル成長により積層した後、c−BP単結晶層に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層することにより製造されるものである。
閃亜鉛鉱型構造の晶系を有するc−BPの格子定数は、4.538オングストロームであり、3C−SiCの格子定数4.358オングストロームとほぼ同等であり、格子不整合によるミスフィット転位を抑制できるものと考えられる。
又、c−BPは、Siと格子定数にして16.4%の違いがあるものの、Si上にヘテロエピタキシャル成長できることが知られている。
更に、c−BP上にSiをエピタキシャル成長できることも明らかとなっている。
本発明は、ミスフィット転位による結晶欠陥を大幅に抑制した極めて高品質なSiC半導体及びその製造方法の提供を課題とする。
本発明の第1のSiC半導体は、Si単結晶基板上にc−BP単結晶層及びSi単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層をこの順で介在して3C−SiC単結晶膜が形成されていることを特徴とする。
又、第2のSiC半導体は、第1のものにおいて、前記Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間にBP低温成長層が介在されていることを特徴とする。
一方、第1のSiC半導体の製造方法は、Si単結晶基板上にc−BP単結晶層及びSi単結晶層をこの順でエピタキシャル成長により積層した後、Si単結晶層を炭化処理して3C−SiC単結晶層に変質させ、しかる後に、3C−SiC単結晶層上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層することを特徴とする。
又、第2のSiC半導体の製造方法は、第1の製法において、前記c−BP単結晶層のエピタキシャル成長の前に、Si単結晶基板上にBP低温成長層を低温成長により積層することを特徴とする。
本発明の第1のSiC半導体及びその製造方法によれば、c−BP単結晶層がSi単結晶基板と3C−SiC単結晶層との格子不整合によるミスフィット転位の抑制緩和層として機能すると共に、3C−SiC単結晶層が3C−SiC膜のエピタキシャル成長のテンプレートとして機能するので、ミスフィット転位を大幅に抑制して極めて高品質なSiC半導体とすることができる。
又、第2のSiC半導体及びその製造方法によれば、第1のもの及びその製法による作用効果の他、BP低温成長層がSi単結晶基板とc−BP単結晶層との格子定数差に伴う応力の抑制緩和層として機能するので、SiC半導体の品質をより一層高めることができる。
Si単結晶基板は、Si(100)又はSi(111)が好ましい。
c−BP単結晶層の厚さは、100〜1000nmが好ましく、より好ましくは400〜1000nmである。
c−BP単結晶層の厚さが、100nm未満であると、ミスフィット転位の抑制緩和層としての機能を奏しない。一方、1000nmを超えると結晶性に変化はないので、これ以上成長させても品質に変わりはない。
Si単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層の厚さは、1〜50nmが好ましく、より好ましくは5〜20nmである。
Si単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層の厚さが、1nm未満であると、多結晶となる。一方、50nmを超えると、Siが完全に炭化されずに残ってしまい、BPの格子緩和の効果が残ったSiによって打ち消されてしまう。
3C−SiC単結晶膜の厚さは、1μm以上が好ましく、より好ましくは2μm以上である。
3C−SiC単結晶膜の厚さが、1μm未満であると、SiCに残留した欠陥が減少しきれない。
又、BP低温成長層の厚さは、1〜50nmが好ましく、より好ましくは5〜20nmである。
BP低温成長層の厚さが、1nm未満であると、多結晶となる。一方、50nmを超えると、表面が荒れる。
c−BP単結晶層の厚さは、100〜1000nmが好ましく、より好ましくは400〜1000nmである。
c−BP単結晶層の厚さが、100nm未満であると、ミスフィット転位の抑制緩和層としての機能を奏しない。一方、1000nmを超えると結晶性に変化はないので、これ以上成長させても品質に変わりはない。
Si単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層の厚さは、1〜50nmが好ましく、より好ましくは5〜20nmである。
Si単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層の厚さが、1nm未満であると、多結晶となる。一方、50nmを超えると、Siが完全に炭化されずに残ってしまい、BPの格子緩和の効果が残ったSiによって打ち消されてしまう。
3C−SiC単結晶膜の厚さは、1μm以上が好ましく、より好ましくは2μm以上である。
3C−SiC単結晶膜の厚さが、1μm未満であると、SiCに残留した欠陥が減少しきれない。
又、BP低温成長層の厚さは、1〜50nmが好ましく、より好ましくは5〜20nmである。
BP低温成長層の厚さが、1nm未満であると、多結晶となる。一方、50nmを超えると、表面が荒れる。
一方、c−BP単結晶層のエピタキシャル成長温度は、800〜1100℃が好ましく、より好ましくは850〜1050℃である。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長温度が、800℃未満であると、多結晶となり、品質が低下する。一方、1100℃を超えると、BPの分解が生じはじめて成長できない状態となる。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、B2H6(ジボラン)及びPH3 (ホスフィン)が用いられる。
Si単結晶層のエピタキシャル成長温度は、750〜1100℃が好ましく、より好ましくは800〜950℃である。
Si単結晶層のエピタキシャル成長温度が、750℃未満であると、多結晶となる。一方、1100℃を超えると、多結晶となる。
Si単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、SiH4(モノシラン)が用いられる。
Si単結晶層の炭化処理は、C3H8(プロパン)雰囲気において250〜1150℃(より好ましくは450〜1150℃)の温度で加熱して行う。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長温度は、1100〜1350℃が好ましく、より好ましくは1150〜1250℃である。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長温度が、1100℃未満であると、結晶性が著しく劣化する。一方、1350℃を超えると、基板Siのエッチングが著しくなる。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長用の原料としては、SiH4及びC3H8が用いられる。
又、BP低温成長層の低温成長温度は、400〜700℃が好ましく、より好ましくは、550〜600℃である。
BP低温成長層の低温成長温度が、400℃未満であると、多結晶となる。一方、700℃を超えると、表面が荒れる。
BP低温成長層の低温成長用の原料としては、B2H6及びPH3が用いられる。
なお、原料のキャリアガスとしては、H2(水素ガス)が用いられる。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長温度が、800℃未満であると、多結晶となり、品質が低下する。一方、1100℃を超えると、BPの分解が生じはじめて成長できない状態となる。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、B2H6(ジボラン)及びPH3 (ホスフィン)が用いられる。
Si単結晶層のエピタキシャル成長温度は、750〜1100℃が好ましく、より好ましくは800〜950℃である。
Si単結晶層のエピタキシャル成長温度が、750℃未満であると、多結晶となる。一方、1100℃を超えると、多結晶となる。
Si単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、SiH4(モノシラン)が用いられる。
Si単結晶層の炭化処理は、C3H8(プロパン)雰囲気において250〜1150℃(より好ましくは450〜1150℃)の温度で加熱して行う。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長温度は、1100〜1350℃が好ましく、より好ましくは1150〜1250℃である。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長温度が、1100℃未満であると、結晶性が著しく劣化する。一方、1350℃を超えると、基板Siのエッチングが著しくなる。
3C−SiC単結晶膜のエピタキシャル成長用の原料としては、SiH4及びC3H8が用いられる。
又、BP低温成長層の低温成長温度は、400〜700℃が好ましく、より好ましくは、550〜600℃である。
BP低温成長層の低温成長温度が、400℃未満であると、多結晶となる。一方、700℃を超えると、表面が荒れる。
BP低温成長層の低温成長用の原料としては、B2H6及びPH3が用いられる。
なお、原料のキャリアガスとしては、H2(水素ガス)が用いられる。
図1は、本発明に係るSiC半導体の実施例1を示す概念的な断面図である。
このSiC半導体1は、Si単結晶基板2上の(100)面(図1においては上面)に、厚さ10nm程度のBP低温成長層3、厚さ1μm程度のc−BP単結晶層4及びSi単結晶層を炭化した厚さ10nm程度の3C−SiC単結晶層5をこの順で介在して厚さ2μm程度の3C−SiC単結晶膜6が形成されているものである。
上述したSiC半導体1を製造するには、先ず、Si単結晶基板2をH2雰囲気において1000℃以上の温度で加熱することにより、自然酸化膜を除去した。
次に、B(ホウ素、ボロン)原料のB2H6とP(リン)原料のPH3をキャリアガスとしてのH2と一緒に反応管に流し(図2(a)参照)、Si単結晶基板2上にBP低温成長層3(図2(b)参照)を580℃の温度で10nm程度の厚さに低温成長により積層した。
次いで、原料供給を止め、c−BP単結晶のエピタキシャル成長温度である950℃までSi単結晶基板2の温度を昇温し、再度B2H6及びPH3を供給して(図2(b)参照)、BP低温成長層3上にc−BP単結晶層4(図2(c)参照)を1μm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
次に、原料供給を止め、Si単結晶のエピタキシャル成長温度である850℃までSi単結晶基板2の温度を降温し、SiH4を供給して(図2(c)参照)、c−BP単結晶層4上にSi単結晶層5′(図2(d)参照)を10nm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
次いで、上記温度を保持しながら、SiH4に代えてC3H8を供給して(図2(d)参照)、Si単結晶層5′を炭化処理し、10nm程度の厚さの3C−SiC単結晶層5(図2(e)参照)に変質させた。
最後に、3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長温度である1150℃までSi単結晶基板2の温度を昇温し、SiH4及びC3H8を供給して(図2(e)参照)、3C−SiC単結晶層5上に3C−SiC単結晶膜6(図1参照)を2μm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
次に、B(ホウ素、ボロン)原料のB2H6とP(リン)原料のPH3をキャリアガスとしてのH2と一緒に反応管に流し(図2(a)参照)、Si単結晶基板2上にBP低温成長層3(図2(b)参照)を580℃の温度で10nm程度の厚さに低温成長により積層した。
次いで、原料供給を止め、c−BP単結晶のエピタキシャル成長温度である950℃までSi単結晶基板2の温度を昇温し、再度B2H6及びPH3を供給して(図2(b)参照)、BP低温成長層3上にc−BP単結晶層4(図2(c)参照)を1μm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
次に、原料供給を止め、Si単結晶のエピタキシャル成長温度である850℃までSi単結晶基板2の温度を降温し、SiH4を供給して(図2(c)参照)、c−BP単結晶層4上にSi単結晶層5′(図2(d)参照)を10nm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
次いで、上記温度を保持しながら、SiH4に代えてC3H8を供給して(図2(d)参照)、Si単結晶層5′を炭化処理し、10nm程度の厚さの3C−SiC単結晶層5(図2(e)参照)に変質させた。
最後に、3C−SiC単結晶のエピタキシャル成長温度である1150℃までSi単結晶基板2の温度を昇温し、SiH4及びC3H8を供給して(図2(e)参照)、3C−SiC単結晶層5上に3C−SiC単結晶膜6(図1参照)を2μm程度の厚さにエピタキシャル成長により積層した。
比較のため、c−BP単結晶層を介在させることなく、Si単結晶基板の表層を炭化処理して3C−SiC単結晶層に変質させ、この3C−SiC単結晶層上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層して形成した従来のSiC半導体と実施例1のSiC半導体1の3C−SiC単結晶膜のミスフィット転位による結晶欠陥を調べたところ、従来のものでは多数発生していたのに対し実施例1のものでは結晶欠陥が殆どなかった。
なお、上述した実施例1では、Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間にBP低温成長層を介在させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、BP低温成長層を介在させなくてもよい。
2 Si単結晶基板
3 BP低温成長層
4 c−BP単結晶層
5 3C−SiC単結晶層
5′ Si単結晶層
6 3C−SiC単結晶膜
3 BP低温成長層
4 c−BP単結晶層
5 3C−SiC単結晶層
5′ Si単結晶層
6 3C−SiC単結晶膜
Claims (4)
- Si単結晶基板上にc−BP単結晶層及びSi単結晶層を炭化した3C−SiC単結晶層をこの順で介在して3C−SiC単結晶膜が形成されていることを特徴とするSiC半導体。
- 前記Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間にBP低温成長層が介在されていることを特徴とする請求項1記載のSiC半導体。
- Si単結晶基板上にc−BP単結晶層及びSi単結晶層をこの順でエピタキシャル成長により積層した後、Si単結晶層を炭化処理して3C−SiC単結晶層に変質させ、しかる後に、3C−SiC単結晶層上に3C−SiC単結晶膜をエピタキシャル成長により積層することを特徴とするSiC半導体の製造方法。
- 前記c−BP単結晶層のエピタキシャル成長の前に、Si単結晶基板上にBP低温成長層を低温成長により積層することを特徴とする請求項3記載のSiC半導体の製造方法。
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JP2004067700A JP2005259895A (ja) | 2004-03-10 | 2004-03-10 | SiC半導体及びその製造方法 |
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---|---|---|---|
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Effective date: 20070711 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |