JP2020038968A - 半導体積層構造体の製造方法及び半導体積層構造体 - Google Patents
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Abstract
Description
前記シード層が積層された前記基板が熱処理されて前記シード層との界面に犠牲層が形成され、当該犠牲層によって前記基板と前記シード層との結合が分子間力を主とした結合にされることで前記シード層が犠牲シード層とされる工程と、
前記犠牲シード層上に単元素又は化合物の半導体結晶層が前記犠牲シード層の膜厚以上に成長される工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。
[2]前記基板と前記犠牲シード層とが前記犠牲層で剥離される工程をさらに含む前記[1]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[3]前記半導体結晶層の前記犠牲シード層側の面が研磨又はエッチングされ前記犠牲シード層が剥離される工程をさらに含む前記[2]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[4]前記犠牲層の膜厚は、前記シード層が積層された前記基板が熱処理される際の条件、及び前記シード層の膜厚に基づき定められる前記[1]から[3]のいずれかに記載の半導体積層構造の製造方法。
[5]SiC基板上にシングルドメインのAlN層が臨界膜厚以下で積層される工程と、
前記AlN層が積層されたSiC基板が熱処理されて前記AlN層との界面にグラフェン層が形成され、当該グラフェン層によって前記SiC基板と前記AlN層との結合が分子間力を主とした結合にされることで前記AlN層が犠牲シード層とされる工程と、
前記犠牲シード層となったAlN層上に単元素又は化合物の半導体結晶層が成長される工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。
[6]前記SiC基板と前記AlN層が前記グラフェン層で剥離される工程をさらに含む前記[5]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[7]前記半導体結晶層の前記AlN層側の面が研磨され前記AlN層が剥離される工程をさらに含む前記[6]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[8]シングルドメインの犠牲シード層と、
前記犠牲シード層上に成長された単元素又は化合物の半導体結晶層とを有する半導体積層構造体。
[9]基板上にシード層が形成された後、当該基板と当該シード層が熱処理され当該基板の当該シード層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合する犠牲層を前記犠牲シード層下にさらに有する前記[8]に記載の半導体積層構造体。
[10]前記基板をさらに有する前記[9]に記載の半導体積層構造体。
[11]シングルドメインのAlN層と、
前記AlN層上に成長されたSi又はIII‐V族化合物半導体層とを有する半導体積層構造体。
[12]SiC基板上に臨界膜厚以下で前記AlN層が形成された後、当該SiC基板と当該AlN層が熱処理され当該SiC基板の当該AlN層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合するグラフェン層をさらに有する前記[11]に記載の半導体積層構造体。
[13]前記SiC基板をさらに有する前記[12]に記載の半導体積層構造体。
請求項2、6に記載された発明によれば、基板とシード層とを犠牲層で剥離することができる。
請求項3、7に記載された発明によれば、半導体結晶層のシード層側の面を研磨又はエッチングしてシード層を剥離することができる。
請求項4に記載された発明によれば、犠牲層の膜厚は、シード層が積層された基板が熱処理される際の条件、及びシード層の膜厚に基づき定めることができる。
請求項9、12に記載された発明によれば、基板上にシード層を形成した後、当該基板と当該シード層を熱処理して当該基板の当該シード層との界面に得られた犠牲層をシード層下にさらに有することができる。
請求項10、13に記載された発明によれば、基板をさらに有することができる。
(半導体積層構造体の製造方法)
図1〜図6は、本発明の実施の形態に係る半導体積層構造体の製造方法の一例を示す断面図である。
上記した実施の形態によれば、まず、格子不整合率が比較的小さい基板1とシード層2を選択し、シード層2の形成後に基板1とシード層2との界面に犠牲層31を形成することにより、ファンデルワールス力を主として結合された界面(基板1と犠牲層31との間、犠牲シード層30と犠牲層31との間)を形成できる。ファンデルワールス結合を主とした結合であってその結合力が弱いため、犠牲シード層30は、基板1との間の格子不整合から開放される。その結果、半導体結晶層4の膜厚が犠牲シード層30の膜厚に比べて厚くなると、犠牲シード層30が半導体結晶層4の犠牲となって格子欠陥を伴うことで、半導体結晶層4とシード層2(犠牲シード層30)との格子不整合や熱膨張係数の不整合を許容することとなり、シード層2(犠牲シード層30)と半導体結晶層4との間の格子不整合や熱膨張係数の影響を半導体結晶層4がほとんど受けずに成長することができ、半導体結晶層4として極低転位密度(102cm‐2オーダー)の高品質単結晶薄膜層を形成することができる。また、シード層2の膜厚を臨界膜厚より薄くすることでシード層2(犠牲シード層30)のc軸及びa軸の配向性を良好に形成出来るため、犠牲シード層30上に成長される半導体結晶層4についてもc軸及びa軸配向について、X線回折半値半幅が目標値以下に制御することができる。また、犠牲層31において機械的に基板1を容易に剥離可能であるため、半導体結晶層4を任意の基板上へ転写できる。
まず、基板1としてSiC単結晶基板を用意した。基板サイズは10mm×10mm×0.35mmのものを用いた。次に、基板1の表面にシングルドメインのシード層2として単結晶のAlNを1モノレーヤーの厚みで形成した。なお、成長法は、分子線エピタキシャル法、有機金属気相成長法やレーザーアブレーション法等を用いてもよい。シード層2は、臨界膜厚以下の層数を有することでc軸及びa軸配向が制御された転位密度102cm‐2以下のAlNの単結晶である。
まず、実施例1と同様に基板1としてSiC単結晶基板を用意した。
まず、実施例1と同様に基板1としてSiC単結晶基板を用意した。
まず、実施例1と同様に基板1としてSiC単結晶基板を用意した。
前記シード層が積層された前記基板を熱処理して前記シード層との界面に犠牲層を形成し、当該犠牲層によって前記基板と前記シード層との結合を分子間力を主とした結合にすることで前記シード層を犠牲シード層とする工程と、
前記犠牲シード層上に単元素又は化合物の半導体結晶層を前記犠牲シード層の膜厚以上に成長する工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。
[2]前記基板と前記犠牲シード層とを前記犠牲層で剥離する工程をさらに含む前記[1]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[3]前記半導体結晶層の前記犠牲シード層側の面を研磨又はエッチングして前記犠牲シード層を剥離する工程をさらに含む前記[2]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[4]SiC基板上にシングルドメインのAlN層を臨界膜厚以下で積層する工程と、
前記AlN層が積層されたSiC基板を熱処理して前記AlN層との界面にグラフェン層を形成し、当該グラフェン層によって前記SiC基板と前記AlN層との結合を分子間力を主とした結合にすることで前記AlN層を犠牲シード層とする工程と、
前記犠牲シード層となったAlN層上に単元素又は化合物の半導体結晶層を成長する工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。
[5]前記SiC基板と前記AlN層を前記グラフェン層で剥離する工程をさらに含む前記[4]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[6]前記半導体結晶層の前記AlN層側の面を研磨して前記AlN層を剥離する工程をさらに含む前記[5]に記載の半導体積層構造体の製造方法。
[7]シングルドメインの犠牲シード層と、
前記犠牲シード層上に成長した単元素又は化合物の半導体結晶層とを有する半導体積層構造体。
[8]基板上にシード層を形成した後、当該基板と当該シード層を熱処理して当該基板の当該シード層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合する犠牲層を前記犠牲シード層下にさらに有する前記[7]に記載の半導体積層構造体。
[9]前記基板をさらに有する前記[8]に記載の半導体積層構造体。
[10]シングルドメインのAlN層と、
前記AlN層上に成長したSi又はIII‐V族化合物半導体層とを有する半導体積層構造体。
[11]SiC基板上に臨界膜厚以下で前記AlN層を形成した後、当該SiC基板と当該AlN層を熱処理して当該SiC基板の当該AlN層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合するグラフェン層をさらに有する前記[10]に記載の半導体積層構造体。
[12]前記SiC基板をさらに有する前記[11]に記載の半導体積層構造体。
2 :シード層
3 :中間層
3 :犠牲層
4 :半導体結晶層
30 :犠牲シード層
31 :犠牲層
310 :犠牲層
311 :犠牲層
Claims (13)
- 基板上にシングルドメインのシード層が臨界膜厚以下で積層される工程と、
前記シード層が積層された前記基板が熱処理されて前記シード層との界面に犠牲層が形成され、当該犠牲層によって前記基板と前記シード層との結合が分子間力を主とした結合にされることで前記シード層が犠牲シード層とされる工程と、
前記犠牲シード層上に単元素又は化合物の半導体結晶層が前記犠牲シード層の膜厚以上に成長される工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。 - 前記基板と前記犠牲シード層とが前記犠牲層で剥離される工程をさらに含む請求項1に記載の半導体積層構造体の製造方法。
- 前記半導体結晶層の前記犠牲シード層側の面が研磨又はエッチングされ前記犠牲シード層が剥離される工程をさらに含む請求項2に記載の半導体積層構造体の製造方法。
- 前記犠牲層の膜厚は、前記シード層が積層された前記基板が熱処理される際の条件、及び前記シード層の膜厚に基づき定められる請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体積層構造の製造方法。
- SiC基板上にシングルドメインのAlN層が臨界膜厚以下で積層される工程と、
前記AlN層が積層されたSiC基板が熱処理されて前記AlN層との界面にグラフェン層が形成され、当該グラフェン層によって前記SiC基板と前記AlN層との結合が分子間力を主とした結合にされることで前記AlN層が犠牲シード層とされる工程と、
前記犠牲シード層となったAlN層上に単元素又は化合物の半導体結晶層が成長される工程とを含む半導体積層構造体の製造方法。 - 前記SiC基板と前記AlN層が前記グラフェン層で剥離される工程をさらに含む請求項5に記載の半導体積層構造体の製造方法。
- 前記半導体結晶層の前記AlN層側の面が研磨され前記AlN層が剥離される工程をさらに含む請求項6に記載の半導体積層構造体の製造方法。
- シングルドメインの犠牲シード層と、
前記犠牲シード層上に成長された単元素又は化合物の半導体結晶層とを有する半導体積層構造体。 - 基板上にシード層が形成された後、当該基板と当該シード層が熱処理され当該基板の当該シード層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合する犠牲層を前記犠牲シード層下にさらに有する請求項8に記載の半導体積層構造体。
- 前記基板をさらに有する請求項9に記載の半導体積層構造体。
- シングルドメインのAlN層と、
前記AlN層上に成長されたSi又はIII‐V族化合物半導体層とを有する半導体積層構造体。 - SiC基板上に臨界膜厚以下で前記AlN層が形成された後、当該SiC基板と当該AlN層が熱処理され当該SiC基板の当該AlN層との界面に得られた分子間力を主とした結合力で結合するグラフェン層をさらに有する請求項11に記載の半導体積層構造体。
- 前記SiC基板をさらに有する請求項12に記載の半導体積層構造体。
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寺井 沙至, 石丸 大樹, 橋本 明弘: "AlNバッファー層を用いたエピタキシャルグラフェン基板上Si初期成長核配向制御", 第65回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集, vol. 65, JPN7023004171, 5 March 2018 (2018-03-05), JP, pages 6 - 12, ISSN: 0005190059 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7364301B1 (ja) * | 2023-02-13 | 2023-10-18 | 株式会社フィルネックス | 半導体基板の製造方法、半導体基板、及び半導体基板の製造装置 |
TWI843689B (zh) * | 2023-02-13 | 2024-05-21 | 日商菲爾尼克斯股份有限公司 | 半導體基板的製造方法、半導體基板、及半導體基板的製造裝置 |
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