JP2005228936A - 発光ダイオードおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
高輝度、高発光効率のGaNのLEDおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
p-n接合GaNナノロッドのp-n接合面にInGaN量子井戸(quantum well)を差し込んで、n型GaNナノロッド31、InGaN量子井戸33、およびp型GaNナノロッド35がこの順に長手方向に連続してなるGaNナノロッド30を用いる。また、このようなGaNナノロッドを多数個アレイ状に配置して、従来の積層フィルム状のGaNのLEDに比べてさらに高輝度、高発光効率のLEDを提供する。
【選択図】図1(a)
Description
るものであり、詳しくはナノロッド(nanorod、nanowire)構造の発光ダイオードおよびそ
の製造方法に関する。
成により可視光線から紫外線までほとんどの全波長域の光が得られるからである。しかし、GaNは、現在GaNと格子整合する基板がないため、主にサファイア基板が用いられているが、不整合が相変わらず多く、熱膨張係数の差も大きい。
較的簡単で温度依存性が低いなどの長所があるが、前記の糸状の転位の以外にも低い発光効率、広いスペクトル幅、大きい出力偏差などの短所を有している。
ため、高輝度を得難い。そして、マイクロリングやマイクロディスク構造のLEDは、現在フォトリソグラフィまたは電子ビーム蒸発法により製造されているが、食刻過程でGaNの格子構造に損傷を受けるため、輝度や発光効率において満足できる水準の製品が登場されていない。
Nナノロッドのp-n接合面にInGaN量子井戸(quantum well)を差し込んで、n型G
aNナノロッド、InGaN量子井戸、およびp型GaNナノロッドがこの順に長手方向に連続してなるGaNナノロッドを用いる。また、このようなGaNナノロッドを多数個
アレイ状で配置することにより、従来の積層フィルム状のGaNのLEDに比べてさらに高輝度、高発光効率のLEDを提供する。
基板と、
前記基板の垂直方向に形成された第1導電型のGaNナノロッド(nanorod)と、この第
1導電型のGaNナノロッドの上に形成されたInGaN量子井戸(quantum well)と、このInGaN量子井戸上に形成された第2導電型のGaNナノロッドを各々備える多数のナノロッドとからなるナノロッドアレイ(nanorod array)と、
前記ナノロッドアレイの第1導電型のGaNナノロッドに共通して連結されて電圧を印加する電極パッドと、
前記ナノロッドアレイの第2導電型のGaNナノロッド上に共通して連結されて電圧を印加する透明電極とを備える。ここで、第1導電型および第2導電型は、各々n型およびp型、あるいは各々p型およびn型を意味する。
互に積層されて形成された多重量子井戸(multi quantum well)から製造できる。
基板の垂直方向に多数の第1導電型のGaNナノロッドをアレイ状で形成する段階と、
前記多数の第1導電型のGaNナノロッドの上に各々InGaN量子井戸を形成する段階と、
前記InGaN量子井戸の上に第2導電型のGaNナノロッドを各々形成する段階と、
前記第1導電型のGaNナノロッドに電圧を印加するための電極パッドを形成する段階と、
前記第2導電型のGaNナノロッド上に共通して連結されて電圧を印加するための透明電極を形成する段階とを含む。ここで、上記第1導電型のGaNナノロッド、InGaN量子井戸および第2導電型のGaNナノロッドは、MO-HVPE(metalorganic-hydride
vapor phase epitaxy)法によりインサイチュ(in-situ)で形成することが望ましい。
り、図1(b)は図1(a)に示したLEDの平面構造を示した平面図である。
に比べて高輝度の可視光が得られるようにする活性層であり、本実施の形態では、図2に示したように、複数のInGaN層33aと複数のGaNバリア層33bとが交互に積層されて形成された多重量子井戸(multi quantum well)構造を有している。後述するが、特に、本実施の形態の多重量子井戸33のInGaN層33aと、GaNバリア層33bとの界面は非常にきれいで転位(dislocation)がほとんどない。
妨害にならないように透明なSOG、SiO2またはエポキシ樹脂が用いられる。また、
透明絶縁物層41は、p型GaNナノロッド35の高さより少し低く形成されて、p型GaNナノロッド35の先端部が透明電極60に共通して連結されるようにする。
を印加することが可能で、ナノロッドの長手方向(図面の上方向)発光に妨害にならないように透明な導電物質からなる。透明電極60としては特に限定されることはないが、薄膜のNi/Au薄膜が用いられる。
れる。また、n型GaNバッファー層20を介してn型GaNナノロッドに電圧を印加するための電極パッド50が、n型GaNバッファー層20上に形成されて、n型GaNバッファー層とオーミック接合する。この電極パッド50は特に限定されることはないが、Ti/Al層から成り、ここにもワイヤ(図示せず)がボンディングされる。
を印加)、図1(a)に示したように、各々がナノLEDといえるナノロッドの側壁方向および長手方向に高輝度の光が放出される。
発光(側壁発光)面積が飛躍的に増えて、発光効率が従来の積層フィルム状のLEDよりさらに高い発光効率が得られる。
実施の形態に適用すればn型の不純物)を添加して導電体とすることができる。従って、
n型GaNバッファー層20が不要になるとともに、電極パッド50もn型GaNバッファー層20上の一部領域に形成する必要がなく、シリコン基板の下面(ナノロッド30が
形成される面の反対側の面)に形成すればよい。
板上に流しながら熱による分解と反応とを通じて基板上に結晶を成長させる方法で、反応ガスの原料の形態によって水素化物VPE(hydride VPE;HVPE) 成長法、ハロゲン化物V
PE(halide VPE) 成長法、有機金属VPE(metalorganic VPE;MOVPE) 成長法などに分
けられる。
ム(trimethylindium)およびNH3を用いる。GaClは、金属ガリウムとHClとを600〜950℃の温度で反応させることにより得られる。また、n型GaNおよびp型GaNを成長させるためにドーピングされる不純物元素は、各々SiおよびMgで、これらは各々SiH4およびCp2Mg(Bis(cyclopentadienyl)magnesium)の形態で供給される。
バッファー層20は、前述したようにSiをドーピングすることにより形成できるが、人為的にドーピングしなくても成長したGaNは、窒素空孔(nitrogen vacancy)や酸素不純物などにより基本的にn型の特性を有する。この性質を用いて、人為的なドーピングなしに温度400〜500℃、大気圧または若干陽圧とし、50〜60分間GaおよびNの前駆体を各々30〜70sccmおよび1000〜2000sccmの流量で供給することにより約1.5μm程の厚さのn型GaNバッファー層20を成長させることができる。
するが、この過程は上記のn型GaNバッファー層20を成長させたその反応器内で連続的にインサイチュ(in-situ)で行うことが望ましい。具体的にまず、n型GaNナノロッ
ド31を成長させるが、温度400〜600℃、大気圧または若干陽圧とし、20〜40分間GaおよびNの前駆体を各々30〜70sccmおよび1000〜2000sccmの流量で反応機内に供給し、同時にSiH4を5〜20sccmの流量で供給することにより約0.5μm高さのn型GaNナノロッド31をn型GaNバッファー層20上にその垂直方向に成長させることができる。
々InGaN量子井戸33が形成される。このとき、InGaN量子井戸33を成長させる時間は、所望する厚さに成長するまで適当に選択されるが、この量子井戸33の厚さは、前述したように、完成したLEDの発光波長を決める要素になるため、所望する波長の光に好適な厚さとなるように設定し、それによって成長時間を決めればよい。また、発光波長はInの量によっても変化するため、所望する波長によって各前駆体の供給比率を調節する。
ド30間のギャップを透明絶縁物層40で埋め込む。このとき用いられる透明絶縁物としては、前述したようにSOG、SiO2またはエポキシ樹脂などが好適で、SOGやエポ
キシ樹脂を用いて埋め込む場合は、スピンコーテイングおよび硬化過程を経ることにより、図3(c)に示したような構造が得られる。このとき、透明絶縁物を用いてギャップを埋
め込む場合は、ギャップが完全に埋め込まれるようにナノロッド30間のギャップが80nm以上になることが良い。一方、透明絶縁物層40の厚さは、ナノロッド30の高さより少し低くする。
極60を形成することにより、InGaN量子井戸を備えたナノロッドアレイ構造のGaNのLEDを完成する。具体的には、図3(c)の状態でn型GaNナノロッド31に電圧
を印加する電極パッド50を形成するために、n型GaNバッファー層20が一部露出するように透明絶縁物層40およびナノロッド30の一部を除去する。次に、n型GaNバッファー層20が一部露出した領域にリフト-オフ法(lift-off process)を用いて電極パ
ッド50を形成する。この電極パッド50は、例えばTi/Al層を電子ビーム蒸発法(electron-beam evaporation)を用いて形成できる。次に、同様の方法で例えば、Ni/Au
層からなる透明電極60と電極パッド70とを形成する。
着、写真食刻など)に多様に変形することができる。特に、前述した実施の形態における
各構成物質は、公知の均等なほかの材料に置換可能であり、各工程条件は反応器や使用材料によって上記例示の範囲からずれることもあり得る。
ましくは、リン(P)などのn型不純物がドーピングされたシリコンウエハー)が用いら
れる。この場合前述したように、n型GaNバッファー層20は不要で、電極パッド50もGaNバッファー層20上の一部領域ではなくシリコン基板の下面に形成できる。即ち、シリコンウエハーの一面にまず電極パッドを形成し、その反対面に直接ナノロッド30を形成すればよい。 次に、前述した本発明のGaNのLEDを次のように製造した実施例について発光特性を調べた。これを簡単に説明する。但し、以下の説明で提示された具体的な数値と方法は、あくまでも一例に過ぎず、本発明は以下の説明に限定されることではない。
E法と前述した前駆体を用いて、インサイチュでn型GaNバッファー層20、GaNナノロッド30を成長させた。ここで、ナノロッド30中のInGaN量子井戸33は、完成したLEDの発光波長が470nm以下になるようInxGa1-xNの組成比はIn0.25Ga0.75Nになるようにした。また、InGaN/GaNを6周期繰り返した多重量子井戸
とし、各々の具体的な工程条件とその結果は次の表のようである。
アレイの密度は、1mm2の面積内にナノロッド30が約8×107個程存在し、ナノロッド30の平均直径は量子井戸層部位で70nmほど、高さは約1μmであった。n型およびp型GaNナノロッド31、35のキャリア濃度は各々1×1018cm-3、5×1017cm-3程であり、InGaN量子井戸の組成比はIn0.25Ga0.75Nであった。
込むようにSOG(Honeywell Electronic Materials社の商品名ACCUGLASS T-12B)を30
00rpmの回転速度で30秒間スピンコーテイングし、大気中で260℃、90秒間アニ
ーリングして硬化させた。一方、本実施例ではSOGがギャップを充分埋め込むようにスピンコーテイングおよび硬化過程を2回に分けて実施した。その後、窒素雰囲気の炉(furnace)内で440℃、20分間アニーリングすることにより、厚さ約0.8〜0.9mm程の
透明絶縁物層40を形成した。
り、20/200nm厚さのTi/Al電極パッド50を一部領域が露出したn型GaNバッファー層20上に形成し、20/40nm厚さのNi/Au透明電極60を各々のナノスケールLED30とオーミック接合するように蒸着した。そして、最後に電極パッド50と同様の方法で20/200nm厚さのNi/Au電極パッド70を形成した。
流を供給した場合のEL(electroluminescence)スペクトルを示したグラフである。図5(a)に示したように、本実施例のLEDは約465nm波長の青色発光LEDであることがわかる。また、図5(b)に示したように、本実施例のLEDは供給電流が増えるほどピーク
波長が少なくなる青色-シフト現象を見せる。これは、注入されたキャリアによる量子井
戸内の内部分極フィールド(built-in internal polarization field)のスクリーン効果に起因すると思われる。
フである。図6に示したように、ターン-オン電圧は本実施例のLEDが比較例に比べて
少し高い。これは、有効接触面積が本実施例のほうが比較例よりはるかに小さく(本実施
例のLEDは多数のナノLEDの集合とみなすことができる。従って、各ナノLEDの電極60との接触面積が比較例に比べてはるかに小さい)、従って抵抗がそのほど大きいか
らであると考えられる。
より大きい差が生じるのであろう)。これは、前述したようにナノロッドアレイを形成す
ることにより、同一面積の積層薄膜型LEDに比べて側壁発光が有効に用いられるからである。また、温度依存的なPL(Photoluminescence)実験から本実施例のLEDがより著
しく量子効率性があることを確認できた。
LEDは、上記のように製造されたナノロッドアレイをメタノールに分散させた後、これを酸化されたシリコン基板のような基板に附着させ、n型GaNナノロッド131側にはTi/Al電極パッド150を、p型GaNナノロッド135側にはNi/Au電極パッド170を形成することにより得られる。このように得られたナノロッド一つで成るナノLEDに対してI-V特性を調べた。図9からわかるように、このナノLEDは非常にきれ
いで正確な整流特性を見せる。これはp、n型ナノロッドと量子井戸とを単一エピタキシャル成長で形成したからであると考えられる。
20..バッファー層
31..n型GaNナノロッド
33..InGaN量子井戸
33a..InGaN層
33b..GaNバリア層
35..p型GaNナノロッド
41..透明絶縁物層
50..電極パッド
60..透明電極
70..電極パッド
Claims (20)
- 基板と、
前記基板の垂直方向に形成された第1導電型のGaNナノロッド(nanorod)と、この第
1導電型のGaNナノロッドの上に形成されたInGaN量子井戸(quantum well)と、このInGaN量子井戸上に形成された第2導電型のGaNナノロッドを各々備える多数のナノロッドとからなるナノロッドアレイ(nanorod array)と、
前記ナノロッドアレイの第1導電型のGaNナノロッドに共通して連結されて電圧を印加する電極パッドと、
前記ナノロッドアレイの第2導電型のGaNナノロッド上に共通して連結されて電圧を印加する透明電極とを備える発光ダイオード。 - 前記多数のナノロッドの間に透明絶縁物が埋め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記透明絶縁物は、SOG(Spin-On-Glass)、SiO2またはエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項2に記載の発光ダイオード。
- 前記透明絶縁物には、前記発光ダイオードの放出光が全体として白色光になるように蛍光物質が添加されていることを特徴とする請求項2に記載の発光ダイオード。
- 前記透明絶縁物は、前記ナノロッドの先端部が少し突出するようにナノロッドの高さより低い高さにナノロッドの間に埋め込まれていることを特徴とする請求項2に記載の発光ダイオード。
- 前記量子井戸は、複数のInGaN層と複数のGaNバリア(barrier)層とが交互に積
層されて形成された多重量子井戸(multi quantum well)であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。 - 前記発光ダイオードの放出光が全体として白色光になるように前記多重量子井戸の複数のInGaN層の各In含量が相異に調節されていることを特徴とする請求項6に記載の発光ダイオード。
- 前記基板はサファイア(sapphire)基板であり、このサファイア基板と前記ナノロッドとの間には第1導電型のGaNバッファー層(buffer layer)が介在されており、前記電極パッドは前記GaNバッファー層上の一部領域に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記基板はシリコン基板であり、前記電極パッドは前記シリコン基板のナノロッドが形成される面と反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 基板の垂直方向に多数の第1導電型のGaNナノロッドをアレイ状で形成する段階と、
前記多数の第1導電型のGaNナノロッドの上に各々InGaN量子井戸を形成する段階と、
前記InGaN量子井戸の上に第2導電型のGaNナノロッドを各々形成する段階と、
前記第1導電型のGaNナノロッドに電圧を印加するための電極パッドを形成する段階と、
前記第2導電型のGaNナノロッド上に共通して連結されて電圧を印加するための透明電極を形成する段階とを含む発光ダイオードの製造方法。 - 前記第2導電型のGaNナノロッドを形成する段階に続いて、第1導電型のGaNナノロッドと、InGaN量子井戸と、第2導電型のGaNナノロッドとからなるナノロッドの間に透明絶縁物を埋め込む段階をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記透明絶縁物は、SOG(Spin-On-Glass)、SiO2またはエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項11に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記透明絶縁物には、前記発光ダイオードの放出光が全体として白色光になるように蛍光物質が添加されていることを特徴とする請求項11に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記量子井戸を形成する段階は、InGaN層を形成する段階と、GaNバリア(barrier)層を形成する段階とを交互に繰り返すことにより多重量子井戸を形成する段階である
ことを特徴とする請求項10に記載の発光ダイオードの製造方法。 - 前記第1導電型のGaNナノロッドと、InGaN量子井戸と、第2導電型のGaNナノロッドとは、MO-HVPE(metalorganic-hydride vapor phase epitaxy)法によりイ
ンサイチュ(in-situ)で形成されることを特徴とする請求項10に記載の発光ダイオード
の製造方法。 - 前記基板はサファイア基板であり、上記第1導電型のGaNナノロッドを形成する段階の以前に、前記サファイア基板上に第1導電型のGaNバッファー層を形成する段階をさらに含み、前記電極パッドは前記GaNバッファー層上の一部領域に形成されることを特徴とする請求項10に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記基板はシリコン基板であり、前記電極パッドは前記シリコン基板のナノロッドが形成される面と反対側の面に形成されることを特徴とする請求項10に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 第1導電型のGaNナノロッドと、InGaN量子井戸と、第2導電型のGaNナノロッドとがこの順に長手方向に連続してなるGaNナノロッド。
- 前記量子井戸は、複数のInGaN層と複数のGaNバリア(barrier)層とが交互に形
成された多重量子井戸(multi quantum well)であることを特徴とする請求項18に記載のGaNナノロッド。 - 請求項18または請求項19に記載されたGaNナノロッドと、このGaNナノロッドの両端に電圧を印加するための電極とを備えるGaN発光ダイオード。
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