JP2005214962A - ディスプレーパネルの検査装置および検査方法 - Google Patents

ディスプレーパネルの検査装置および検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 ディスプレーパネルの表面に光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第1画像を得る段階と;前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第2画像を得る段階と;前記第1画像と前記第2画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ディスプレーパネルの検査装置および検査方法に関し、より詳細にはディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法に関する。
一般に、ディスプレーパネルはデータを視覚的に示す表示装置であり、LCD(液晶表示装置:以下、LCDという)やPDP(プラズマ表示パネル)などが属している。
このうち、LCDパネルは液体と固体の中間的な特性をもつ液晶の電気光学的な性質を利用した表示装置である。すなわち、LCDパネルはバックライトから発生する光の量を内部液晶の動きにより調節して特定のパターンを画面に表示するものである。
このようなLCDパネルは製造過程で混入した異物やパネル自体の電気的欠陥などによりパターンがうまく生成できない不良が発生し得るため、従来にもLCDパネルの不良を検知するための各種検査装置が開発されてきた。
従来のLCDパネルの検査装置は通常バックライトと、検査のために予め設定されたパターンをLCDパネルに印加するパターン生成機と、LCDパネルを撮影して画像を得るカメラと、検査装置の全体的な動作を制御するマイコンとから構成されている。
前記従来のLCDパネルの検査装置はLCDパネルの不良検査のために検査対象であるLCDパネルに試験用パターンを印加してバックライトをオンさせる。次に、カメラを介してLCDパネルを撮影してLCDパネルに対する画像を得る。LCDパネルに対する画像が得られると、マイコンは前記得られた画像を分析してLCDパネルが不良であるか否かを判断する。LCDパネルの検査で現れる不良の形態としてはハイ不良(HIGH defect)とオフ不良(OFF defect)などがあるが、ハイ不良はブラックパターンを印加したときに全部黒い色に表示されるはずなのに一部地点から光が漏れ出る場合のことで、オフ不良はホワイトパターンを印加したときに光が出ず暗くなる部分がある場合のことである。
しかしながら、LCDパネルの検査時にLCDパネル自体の不良以外に外部要因によりまるでLCDパネルの不良であるかのように表示される場合がある。すなわち、LCDパネルの検査のためにバックライトをオンさせると、製造過程でLCDパネルを保護するために付着した保護フィルムの表面スクラッチや保護フィルムの表面に付着されたほこりなどがLCDパネルを透過した光の散乱を起こし、前記状態でLCDパネルを撮影して得られた画像では、ほこりや表面スクラッチのある部分がLCDパネル自体が不良である場合と同一な形態で表示される。
したがって、従来のLCDパネルの検査装置および検査方法は、LCDパネル自体の不良をほこりや表面スクラッチなどと区分できなくて、LCDパネル検査における誤判定を招来する問題点がある。
従って、本発明は、前述した従来の問題点を解決するために案出されたものであり、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法を提供することにある。
前記の目的を達成するために、本発明のディスプレーパネルの検査方法は、ディスプレーパネルの表面に光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第1画像を得る段階と;前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第2画像を得る段階と;前記第1画像と前記第2画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とする。
かつ、本発明のディスプレーパネルの検査方法は、保護膜を有するディスプレーパネルの検査方法において、前記保護膜に光を照射し、前記保護膜を撮影して第1画像を得る段階と;前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記パターンと前記保護膜を撮影して第2画像を得る段階と;前記第1画像と前記第2画像を互いに比較して前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とする。
なお、本発明のディスプレーパネルの検査装置は、ディスプレーパネルの表面に光を照射する第1照明装置と;前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第2照明装置と;前記第1照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第1画像を得、前記ディスプレーパネルにパターンを印加し、前記第2照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第2画像を得る撮影装置と;前記撮影装置により得られた第1および第2画像を伝達され、前記第1および第2画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とする。
さらに、本発明のディスプレーパネルの検査装置は、保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、前記保護膜に光を照射する第1照明装置と;前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第2照明装置と;前記第1照明装置と連係して前記保護膜を撮影することにより第1画像を得、前記第2照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第2画像を得る撮影装置と;前記撮影装置により得られた第1および第2画像を伝達され、前記第1および第2画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とする。
本発明に係るディスプレーパネルの検査装置は、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知することができて、ディスプレーパネルの検査時における誤判定が防止される。
以下、本発明に係る好ましい実施形態を添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この発明の実施の形態について、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。
図1に示したように、本発明の実施の形態によるディスプレーパネルの検査装置は検査対象であるLCDパネル15を位置させるためのステージ10と、LCDパネル15の上部からLCDパネル15に光を照射し、照明支持部30により支持される照明装置20と、カメラ支持部50に設置され、照明装置20の前面でLCDパネルの画像を撮影する高倍率カメラ40とを具備する。
照明支持部30は上下方向に延設された第1乗降レール31と、第1乗降レール31に移動可能に結合されて上下に移動する第1乗降部材32と、第1乗降部材32に設置されて第1乗降部材32を固定させる固定レバー33とを具備する。第1乗降部材32の側面には水平移動レール34が設けられ、水平移動レール34には水平移動スライダー35が横方向に移動可能に設置される。水平移動スライダー35の下面には照明装置20の外部上面が結合され、水平移動スライダー35を移動させることによりディスプレーパネルの検査装置は照明装置20の横方向の位置を調節することができる。水平移動レール34の上面には水平移動スライダー35を固定させるための第2固定レバー36が設置される。
カメラ支持部50は第2乗降レール51と、第2乗降レール51に上下に移動可能に結合された第2乗降部材52とを具備する。第2乗降部材52の前方にはブラケット53により高倍率カメラ40が取り付けられるので、第2乗降部材52を移動させることにより高倍率カメラ40の上下位置を調節することができる。
ステージ10の下部にはLCDパネル15に光を照射するバックライト11が設置され、バックライト11はバックライト支持部材12により支持される。ここて、ステージ10はバックライト11から照射された光が前面部へとできる材質から構成される。そして、ステージ10とバックライト11との間には後述するパターン生成機(図2における参照符号63)から伝送されたパターン信号をLCDパネル15に印加するプルーバが設けられる。
図2に示したように、本発明の実施形態によるディスプレーパネルの検査装置は高倍率カメラ40を駆動するカメラ駆動部65と、照明装置20を駆動する照明駆動部61と、バックライト11を駆動するバックライト駆動部62と、LCDパネル15に印加するパターン信号を生成するパターン生成機63とをさらに具備する。
かつ、図1および図2に示したように、ディスプレーパネルの検査装置は高倍率カメラ40から伝送された画像信号を処理して画像を復元する画像処理部67と、前記画像処理部67で処理された画像を比較してLCDパネル15自体の不良であるか否かを判断する第2制御部66とを具備する。そのために、画像処理部67には画像信号を復元するためのデータが予め貯蔵されている。第2制御部66はLCDパネル15を撮影して得た複数の画像をそれぞれ複数のセルに分けて、複数の画像から同一の部分における特定セルの画像を互いに比較して画像が一致するかどうかを判断する。
なお、図2に示したように、ディスプレーパネルの検査装置は画像処理部67で復元された画像を示す表示部64と、制御命令を入力するための入力部68と、検査装置の全体的な動作を制御するための第1制御部60とを具備する。
図3ないし図5を参照して、本発明の他の実施例による図1および図2の装置を用いるディスプレーパネルの検査方法を説明する。前記実施例の方法により検査されるLCDパネル15は製造過程でLCDパネル15を保護するための保護フィルム18がLCDパネル15の表面に付着される。
さらに、図1および図2に示したように、ディスプレーパネルの検査装置に含まれる照明装置20は、図3に示したように照明装置20の内部上面に設置される上部照明21と、照明装置20の内部傾斜面に設置される傾斜照明22とを具備する。上部照明21は多数のランプまたはLED(発光ダイオード)などの発光素子が等間隔で環状に配置されており、傾斜照明22は多数のランプまたはLEDなどの発光素子が等間隔で多環状に配置されている。このように多数の発光素子が位置を異にして規則的に配列されることにより、多数の発光素子をオンさせるときに各発光素子からLCDパネル15に至る光は多様な照射角度を有することになる。照明装置20の上部には高倍率カメラ40がLCDパネル15を撮影できるように撮影穴23が形成される。このような照明装置20の形態と設置位置は多様に変形することが可能である。例えば、LCDパネル15より低い位置に発光素子を設置して上方に光を照射し、前記照射された光をLCDパネル15の上部に設置された反射板で反射させてLCDパネル15に送り出すことができる。
図2、図3および図5を参照すると、まず制御部60は照明装置駆動部61とバックライト駆動部62に制御信号を伝送して照明装置20をオンさせ、バックライト11をオフさせる(ステップ70)。かつ、LCDパネル15にパターンを印加しない。図3において、参照符号16は保護フィルムの上に付着されたほこりである。バックライト11がオフされているのでLCDパネル15は暗く見えるが、図3に示したように照明装置20から多様な角度で照射された光により保護フィルム18の表面に付着されたほこり16や表面スクラッチ(図示せず)は明るく光るようになる。前記のような状態で制御部60は高倍率カメラ40を介してLCDパネル15を撮影するが、前記撮影された画像41ではほこり16や表面スクラッチのある地点(X地点)がLCDパネル15自体の不良がある場合と同一な形態で示される。高倍率カメラ40により撮影された画像41は第1画像信号に変換されて制御部60に伝送される(ステップ72)。
次いで、図4および図5に示したように、制御部60は照明装置駆動部61とバックライト駆動部62に制御信号を伝送してバックライト11をオンさせ、照明装置20をオフさせる(ステップ74)。なお、パターン生成機63に制御信号を伝送してLCDパネル15にパターン(例えば、ブラックパターン)を印加せしめる。図4において、参照符号17は表面スクラッチのようなLCDパネル自体の不良を示したものである。LCDパネル15にパターンが印加され、バックライト11がオンされたときに、LCDパネル15には予め設定されたパターンが表示される。ところが、LCDパネル15自体の不良がある地点(Y地点)には設定されたパターンが形成されず、保護フィルム18のほこり16や表面スクラッチ17もLCDパネル15を通過した光を散乱させる。このような状態で制御部60は高倍率カメラ40を介してLCDパネル15を撮影するが、撮影されたLCDパネル15の画像42はLCDパネル15自体の不良がある地点(Y地点)とほこり16や表面スクラッチのある地点(X地点)をすべて表示することができる。撮影された画像42は第2画像信号に変換されて第1制御部60に伝送される(ステップ76)。
第1および第2画像信号が第1制御部60に伝送されると、第1制御部60は高倍率カメラ40から伝送された第1画像信号と第2画像信号を画像処理部67で復元せしめ(ステップ78)、画像処理部67での復元が完了されると、復元された第1画像41と第2画像42を第2制御部66に伝送する。第1画像41および第2画像が伝送されると、第2制御部66はまず第2画像42に不良地点があるかどうかを判断する(ステップ80)。第2画像42に不良地点があるかどうかは第2画像42が予め設定されたパターンの画像と同一であるか否かにより決定される。LCDパネル15自体の不良がないと判断されると(もし、第2画像42に不良地点がなければ)、サイクルを終了する。ところが、第2画像42に不良地点があると判断されると、第2制御部66は第1画像41と第2画像42を多数のセルに分けて比較した後(ステップ82)、第2画像42の不良地点が第1画像41の不良地点と一致するかどうかを判断する(ステップ84)。
もし、第1画像41の不良地点と第2画像42の不良地点が一致すると、第2画像42に表示された不良は第1画像41で表示された不良と同じなので、LCDパネル15自体の不良ではなく保護フィルム18のほこり16や表面スクラッチなどによるものと判断する(ステップ88)。実施例においては、第1画像41と第2画像42でそれぞれX地点に不良があると確認されたため、X地点はLCDパネル15自体の不良でないと判断される。ところが、第1画像41の不良地点と第2画像42の不良地点が一致しないと、第2画像42に表示された不良はLCDパネル15自体の不良であると判断される(ステップ86)。この際、複数のセルに分割された画像で不良地点の位置が確認できて、結局LCDパネル15に発生した不良地点(または不良ピクセル)の位置を把握することができる。なお、前記の実施形態において、第2画像42では不良地点を示すY地点が表示されたが第1画像41では表示されないと、Y地点がLCDパネル15自体の不良地点であると判断できる。
図2および図6ないし図7を参照して、本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を説明することにする。
図6および図7に示したように、まず制御部60(図2参照)は照明装置駆動部61とバックライト駆動部62に制御信号を伝送して照明装置20をオンさせ、バックライト11をオフさせる(ステップ90)。かつ、LCDパネル15の背景が黒色になるようにブラックパターンを印加する。図6において、参照符号16は保護フィルム18の上に付着されたほこりであり、参照符号17はLCDパネル15自体の不良である。バックライト11がオフされていてもLCDパネル15にブラックパターンが印加された状態なので、LCDパネル15は暗く見え、図6に示したように照明装置20から多様な角度で照射された光により保護フィルム18の表面に付着されたほこり16や表面スクラッチ(図示せず)は明るく光るようになる。前記のような状態で、制御部60は高倍率カメラ40を介してLCDパネル15を撮影するが、撮影された画像43ではほこり16(又は表面スクラッチ)のある地点(X地点)とLCDパネル15自体の不良地点(Y地点)がすべて表示される。高倍率カメラ40により撮影された画像43は第1臨時画像信号に変換されて制御部60に伝送される(ステップ92)。
図7に示したように、第2画像信号を得る過程(ステップ94ないしステップ96)は前述した実施例と同一に適用される。
第1臨時画像信号および第2画像信号が第1制御部60に伝送されると、第1制御部60は第1臨時画像信号と第2画像信号を画像処理部67でそれぞれ復元せしめ(ステップ98)、画像処理部67での復元が完了されると、復元された第1臨時画像43と第2画像42を第2制御部66に伝送する。第1臨時画像43および第2画像42が伝送されると、第2制御部66はまず第2画像42に不良地点があるかどうかを判断する(ステップ100)。第2画像42に不良地点があるかどうかは第2画像42が予め設定されたパターンの画像と同一であるか否かにより決定される。
LCDパネル15自体の不良がないと判断されると(もし、第2画像42に不良地点がなければ)、サイクルを終了する。ところが、第2画像42に不良地点があると判断されると、第2制御部66は第1臨時画像43と第2画像42を比較して第1画像41を得る(ステップ102)。第1画像41を得るために第2制御部66は第1臨時画像43と第2画像42を多数のセルに分けた後、同一の位置にある第1臨時画像43のセルと第2画像42のセルとの差を比較する。第1臨時画像43と第2画像42はすべてパターンが印加された状態で撮影されたので、LCDパネル15自体の不良地点(Y地点)は第1臨時画像43と第2画像42で殆ど同一な形態や明るさで表示されることになる。
しかし、ほこり16または表面スクラッチなどがある地点(X地点)は、照明装置20がオフされた状態で撮影された第2画像42よりも照明装置20がオンされた状態で撮影された第1臨時画像43でさらに明るく表示される。したがって、第1臨時画像43および第2画像42は両方不良地点があるかのように表示されるが、第1臨時画像43と第2画像42との明るさの差による不良地点はほこり16または表面スクラッチなどがある地点であると見なして、LCDパネル15自体の不良ではないと判断する。
第2制御部66は、このように第1臨時画像43と第2画像42間の明るさの差による不良地点はそのまま保持させ、明るさや形態の差がない不良地点は取り除くことにより、第1画像41を得ることになる。結局、第1画像41ではほこり16や表面スクラッチのある地点だけを表示する。
第1画像41が得られると、第2制御部66は第1画像41と第2画像42を多数のセルに分けて比較した後(ステップ104)、第2画像の不良地点が第1画像41の不良地点と一致するかどうかを判断する(ステップ106)。
もし、第1画像41の不良地点と第2画像42の不良地点が一致すると、第2画像42に表示された不良は第1画像41でも表示された不良と同一なので、LCDパネル15自体の不良ではなく保護フィルム18のほこり16や表面スクラッチであると判断する(ステップ110)。前記の実施形態においては、第1画像41と第2画像42でそれぞれX地点に不良があると確認されたため、X地点はLCDパネル15自体の不良でないと判断される。
ところが、第1画像41の不良地点と第2画像42の不良地点が一致しないと、第2画像42に表示された不良はLCDパネル15自体の不良であると判断される(ステップ108)。この際、複数のセルに分割された画像で不良地点の位置が確認できれば、LCDパネル15で不良地点(または、不良ピクセル)の位置を把握することができる。前記実施例において、第2画像42で表示される不良地点を示すY地点が第1画像41では表示されないと、LCDパネル15自体の不良であると判断される。
したがって、前述したように本発明は、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知することができて、ディスプレーパネルの検査時における誤判定を防止することができる。
以上、本発明を具体的な実施の形態に基づき説明したが、本発明の思想から逸脱しない範囲内で様々な変形が可能であることは当業者にとって自明であり、従って、本発明の範囲は特許請求の範囲及びその請求の範囲と均等なものによって定められるべきである。
本発明の実施の形態によるディスプレーパネル検査装置の正面図である。 図1に示したディスプレーパネル検査装置の構成を示したブロック図である。 図1および図2に示した装置において、他の実施例による第1画像を得る過程を示した図である。 図1および図2に示した装置において、他の実施例による第2画像を得る過程を示した図である。 本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を示した流れ図である。 図1および図2に示した装置において、他の実施例による第1臨時画像を得る過程を示した図である。 本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を示した流れ図である。
符号の説明
10 ステージ
11 バックライト
12 バックライト支持部材
15 LCDパネル
16 ほこり
18 保護フィルム
20 照明装置
21 上部照明
22 傾斜照明
23 撮影穴
30 照明支持部
31 第1乗降レール
32 第1乗降部材
33 固定レバー
34 水平移動レール
35 水平移動スライダー
36 第2固定レバー
40 高倍率カメラ
41 第1画像
42 第2画像
50 カメラ支持部
51 第2乗降レール
52 第2乗降部材
53 ブラケット
60 第1制御部
61 照明駆動部
62 バックライト駆動部
63 パターン生成機
64 表示部
65 カメラ駆動部
66 第2制御部
67 画像処理部
68 入力部

Claims (23)

  1. ディスプレーパネルにパターンを印加せず前記ディスプレーパネルを撮影して第1画像を得る段階と;
    前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第2画像を得る段階と;
    前記第1画像と前記第2画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査方法。
  2. 前記第1画像と前記第2画像を互いに比較する段階は、
    前記第1および第2画像でそれぞれ不良地点を確認する段階と;
    前記第2画像で不良地点が確認されると、前記第1画像および第2画像の不良地点を比較する段階と;
    前記第1画像の不良地点と前記第2画像の不良地点とが互いに異なる場合、前記ディスプレーパネル自体の不良地点であると判断する段階とを含むことを特徴とする請求項1に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  3. 前記第2画像で不良地点が確認できないと、前記ディスプレーパネルに不良がないと判断することを特徴とする請求項2に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  4. 前記第1画像の不良地点と前記第2画像の不良地点が一致する場合、前記ディスプレーパネル自体の不良地点でないと判断することを特徴とする請求項2に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  5. 前記第1画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオンさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオフさせた状態で、前記ディスプレーパネルにパターンを印加せず前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項1に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  6. 前記第1画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオンさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオンさせた状態で、前記ディスプレーパネルにブラックパターンを印加して前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項1に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  7. 前記第2画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオフさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオンさせた状態で、前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項1に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  8. 前記ディスプレーパネルはLCDパネルであることを特徴とする請求項1に記載のディスプレーパネルの検査方法。
  9. 保護膜を有するディスプレーパネルの検査方法において、
    前記保護膜に光を照射し、前記保護膜を撮影して第1画像を得る段階と;
    前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記パターンと前記保護膜を撮影して第2画像を得る段階と;
    前記第1画像と前記第2画像を互いに比較して前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査方法。
  10. ディスプレーパネルの表面に光を照射する第1照明装置と、
    前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第2照明装置と、
    前記第1照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第1画像を得、前記ディスプレーパネルにパターンを印加して前記第2照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第2画像を得る撮影装置と、
    前記撮影装置により得られた第1および第2画像を伝達され、前記第1および第2画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
  11. 前記不良の存在如何は前記第1画像で確認された不良地点と前記第2画像で確認された不良地点とが一致するかどうかにより判断されることを特徴とする請求項10に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  12. 前記第1照明装置の内部には多様な照射角度をもつように多数のランプまたはLEDが多様な位置に配列されることを特徴とする請求項10に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  13. 前記ディスプレーパネルはLCDパネルであることを特徴とする請求項10に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  14. 保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、
    前記保護膜に光を照射する第1照明装置と;
    前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第2照明装置と;
    前記第1照明装置と連係して前記保護膜を撮影することにより第1画像を得、前記第2照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第2画像を得る撮影装置と;
    前記撮影装置により得られた第1および第2画像を伝達され、前記第1および第2画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
  15. 保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、
    ディスプレーパネルを位置させるためのステージと;
    前記ディスプレーパネルに光を照射する照明装置を含む照明支持部と;
    前記ステージの背部に設置され、前記ディスプレーパネルに光を照射するバックライト部と;
    照明装置と連係してディスプレーパネルを撮影して第1画像を得、バックライト装置と連係してディスプレーパネルを撮影して第2画像を得るカメラ部が設置されるカメラ支持部と;
    カメラから伝送されたそれぞれの第1画像信号と第2画像信号を比較し、ディスプレーパネルに不良があるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
  16. 前記照明支持部は、
    上下方向に延設された第1乗降レールと;
    第1乗降レールに移動可能に結合されて上下に移動する第1乗降部材と;
    第1乗降部材に設置されて第1乗降部材を固定させる固定レバーとを具備し、
    第1乗降部材の側面には水平移動レールが設置され;
    水平移動スライダーが水平移動レールに設置され、照明装置の上面と結合されて支持することを特徴とする請求項15に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  17. 前記カメラ支持部は第2乗降レールと、第2乗降レールに上下に移動可能に結合された第2乗降部材とを含むことを特徴とする請求項16に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  18. 前記ステージはバックライトから背面に照射された光が通過できる材質から構成されることを特徴とする請求項15に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  19. カメラから伝送された第1画像信号と第2画像信号を処理して複数の画像を復元する画像処理部と;
    前記画像処理部により処理された画像信号に基づき前記複数の画像を比較し、ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する第2制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
  20. ディスプレーパネルに印加されたパターンに応じてディスプレーパネルの第1画像と第2画像を撮影する画像撮影部と;
    前記第1画像と第2画像に応じて前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
  21. 第1照明と第2照明を発生する照明部をさらに含み、
    前記第1照明と第2照明がそれぞれディスプレーパネルに照射されたときに撮影された第1画像と第2画像に応じて、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断することを特徴とする請求項20に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  22. 前記照明部は照明装置とバックライトとを含み、それぞれ第1照明と第2照明を発生することを特徴とする請求項21に記載のディスプレーパネルの検査装置。
  23. 前記第1画像は前記ディスプレーパネル自体の不良画像を検出せず、前記第2画像は前記ディスプレーパネル自体の不良画像を検出することを特徴とする請求項20に記載のディスプレーパネルの検査装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008040201A (ja) * 2006-08-08 2008-02-21 Micronics Japan Co Ltd 液晶パネル検査方法及び装置
JP2014044059A (ja) * 2012-08-24 2014-03-13 Naigai Kasei Kk 検査装置及び検査方法
WO2016021463A1 (ja) * 2014-08-07 2016-02-11 日東電工株式会社 光学フィルム貼付位置測定装置及び光学表示装置製造ライン
WO2017195816A1 (ja) * 2016-05-10 2017-11-16 株式会社住化分析センター 有機エレクトロニクスデバイスの検査方法および分析方法、並びにその利用

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101034923B1 (ko) * 2004-05-31 2011-05-17 엘지디스플레이 주식회사 오토 프로브 검사장비 및 이를 이용한 검사방법
KR20060044032A (ko) * 2004-11-11 2006-05-16 삼성전자주식회사 표시패널용 검사 장치 및 이의 검사 방법
JP5156152B2 (ja) * 2005-10-17 2013-03-06 アイ2アイシー コーポレイション 組み合わせ型の映像ディスプレイおよびカメラシステム
KR101201322B1 (ko) * 2005-12-29 2012-11-14 엘지디스플레이 주식회사 평판표시장치용 육안 검사장비 및 검사 방법
US7639353B2 (en) * 2006-08-09 2009-12-29 Research In Motion Limited Method, device and system for evaluating a lens for an electronic device
JP4960161B2 (ja) * 2006-10-11 2012-06-27 日東電工株式会社 検査データ処理装置及び検査データ処理方法
JP4859074B2 (ja) * 2007-03-28 2012-01-18 パイオニア株式会社 表示装置、表示パネル、表示パネルの検査方法及び表示パネルの製造方法
KR101068364B1 (ko) * 2007-07-11 2011-09-28 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 검사장비 및 그 검사방법
EP2116890A1 (en) * 2008-05-09 2009-11-11 Shun-Kun Kuo Testing apparatus for fixing and testing a LCD panel
US9881284B2 (en) 2008-10-02 2018-01-30 ecoATM, Inc. Mini-kiosk for recycling electronic devices
US7881965B2 (en) 2008-10-02 2011-02-01 ecoATM, Inc. Secondary market and vending system for devices
US11010841B2 (en) 2008-10-02 2021-05-18 Ecoatm, Llc Kiosk for recycling electronic devices
US20130144797A1 (en) * 2008-10-02 2013-06-06 ecoATM, Inc. Method And Apparatus For Recycling Electronic Devices
US10853873B2 (en) 2008-10-02 2020-12-01 Ecoatm, Llc Kiosks for evaluating and purchasing used electronic devices and related technology
US8200533B2 (en) * 2008-10-02 2012-06-12 ecoATM, Inc. Apparatus and method for recycling mobile phones
CA2926097C (en) 2008-10-02 2020-11-10 ecoATM, Inc. Secondary market and vending system for devices
KR101292570B1 (ko) * 2008-12-31 2013-08-12 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 변형 검사시스템
CN101592812B (zh) * 2009-06-23 2012-05-23 友达光电(苏州)有限公司 显示面板及其像素缺陷检查方法
JP5549203B2 (ja) * 2009-12-01 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 光学式位置検出装置、ハンド装置およびタッチパネル
JP5549204B2 (ja) * 2009-12-01 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 光学式位置検出装置、ハンド装置およびタッチパネル
US20120133761A1 (en) * 2010-11-30 2012-05-31 Angstrom, Inc. Uneven area inspection system
CA3210819A1 (en) 2011-04-06 2012-10-11 Ecoatm, Llc Method and kiosk for recycling electronic devices
KR20180122044A (ko) * 2011-04-28 2018-11-09 가부시키가이샤 유야마 세이사쿠쇼 약제 감사 장치 및 약제 분포 장치
KR101306289B1 (ko) 2011-09-15 2013-09-09 (주) 인텍플러스 평판 패널 검사방법
CN102788799A (zh) * 2012-07-27 2012-11-21 昆山微容电子企业有限公司 自动外观筛选装置
KR20140091916A (ko) * 2013-01-14 2014-07-23 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 검사방법
CN103177983B (zh) * 2013-03-01 2016-09-28 日月光半导体制造股份有限公司 检测装置及方法
JP6104016B2 (ja) * 2013-04-01 2017-03-29 株式会社日本マイクロニクス 液晶パネル検査装置
KR101828536B1 (ko) * 2013-04-11 2018-02-12 한화테크윈 주식회사 패널 검사 방법 및 장치
CN104732900B (zh) * 2013-12-20 2017-06-16 昆山国显光电有限公司 像素缺陷检测方法和装置
US9411013B2 (en) * 2014-02-14 2016-08-09 Google, Inc. Instrument for automated testing of displays
CN103995000B (zh) 2014-05-15 2017-01-11 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板的检查装置及检查系统
US10007934B2 (en) * 2014-07-21 2018-06-26 Greystone Data Technology, Inc. System and method for self-performing a cosmetic evaluation of an electronic device
CN104217698B (zh) * 2014-08-19 2017-01-18 珠海格力电器股份有限公司 显示板检测方法
US10401411B2 (en) 2014-09-29 2019-09-03 Ecoatm, Llc Maintaining sets of cable components used for wired analysis, charging, or other interaction with portable electronic devices
EP4446968A2 (en) 2014-10-02 2024-10-16 ecoATM, LLC Wireless-enabled kiosk for recycling consumer devices
WO2016054435A1 (en) 2014-10-02 2016-04-07 ecoATM, Inc. Application for device evaluation and other processes associated with device recycling
US10445708B2 (en) 2014-10-03 2019-10-15 Ecoatm, Llc System for electrically testing mobile devices at a consumer-operated kiosk, and associated devices and methods
US10417615B2 (en) 2014-10-31 2019-09-17 Ecoatm, Llc Systems and methods for recycling consumer electronic devices
US10572946B2 (en) 2014-10-31 2020-02-25 Ecoatm, Llc Methods and systems for facilitating processes associated with insurance services and/or other services for electronic devices
CA3227945A1 (en) 2014-11-06 2016-05-12 Ecoatm, Llc Methods and systems for evaluating and recycling electronic devices
KR101646847B1 (ko) * 2014-12-04 2016-08-09 삼성에스디에스 주식회사 디스플레이 장치의 이상 검출 시스템 및 방법
WO2016094789A1 (en) 2014-12-12 2016-06-16 ecoATM, Inc. Systems and methods for recycling consumer electronic devices
KR102314469B1 (ko) * 2015-02-03 2021-10-20 삼성디스플레이 주식회사 표면 결함 검사 장치 및 그것을 이용한 표면 결함 검사 방법
CN106140650B (zh) * 2015-04-21 2018-07-20 国际技术开发株式会社 电路板检测预处理方法及其装置
KR101720954B1 (ko) * 2015-10-19 2017-03-29 주식회사 영우디에스피 패널 표면 검사장치
CN105259181A (zh) * 2015-10-26 2016-01-20 华为技术有限公司 显示屏的显示缺陷检测方法、装置及设备
WO2017073628A1 (ja) * 2015-10-28 2017-05-04 日本碍子株式会社 ハニカム構造体の端面検査方法、及び端面検査装置
CN105424723A (zh) * 2015-11-28 2016-03-23 惠州高视科技有限公司 一种显示屏幕模组缺陷检测方法
CN105549231B (zh) * 2015-12-04 2018-09-18 凌云光技术集团有限责任公司 液晶屏缺陷检测装置及方法
CN105806850A (zh) * 2016-03-10 2016-07-27 惠州高视科技有限公司 一种lcd玻璃缺陷检测装置及检测方法
US10127647B2 (en) 2016-04-15 2018-11-13 Ecoatm, Llc Methods and systems for detecting cracks in electronic devices
US9885672B2 (en) 2016-06-08 2018-02-06 ecoATM, Inc. Methods and systems for detecting screen covers on electronic devices
US10269110B2 (en) 2016-06-28 2019-04-23 Ecoatm, Llc Methods and systems for detecting cracks in illuminated electronic device screens
DE102016112197B4 (de) * 2016-07-04 2018-05-24 Asm Assembly Systems Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum stereoskopischen Bestimmen von einer Information bezüglich der Höhenlage der Vorderseite eines Anschlusses
US10509071B2 (en) * 2016-11-18 2019-12-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and system for aligning probe card in semiconductor device testing
CN107389307A (zh) * 2016-12-31 2017-11-24 深圳眼千里科技有限公司 屏幕自动检测机
KR20210125526A (ko) 2019-02-12 2021-10-18 에코에이티엠, 엘엘씨 전자 디바이스 키오스크를 위한 커넥터 캐리어
EP3924918A1 (en) 2019-02-12 2021-12-22 ecoATM, LLC Kiosk for evaluating and purchasing used electronic devices
CN111738402A (zh) 2019-02-18 2020-10-02 埃科亚特姆公司 基于神经网络的电子设备物理状况评估及相关系统和方法
CN110261408B (zh) * 2019-07-30 2021-11-23 云谷(固安)科技有限公司 显示模组缺陷检测装置及方法
US20210042909A1 (en) * 2019-08-07 2021-02-11 Kimball Electronics Indiana, Inc. Imaging system for surface inspection
JP2022548595A (ja) 2019-09-16 2022-11-21 アシュラント インコーポレイテッド モバイルデバイスの完全性状態を判断するために機械学習を利用してモバイルデバイスの画像を処理するためのシステム、方法、装置、およびコンピュータプログラム製品
US11580627B2 (en) 2020-01-06 2023-02-14 Assurant, Inc. Systems and methods for automatically grading pre-owned electronic devices
WO2022040668A1 (en) 2020-08-17 2022-02-24 Ecoatm, Llc Evaluating an electronic device using optical character recognition
US11922467B2 (en) 2020-08-17 2024-03-05 ecoATM, Inc. Evaluating an electronic device using optical character recognition
CN112987356B (zh) * 2021-04-16 2021-08-31 高视科技(苏州)有限公司 液晶面板底部异物滤除装置
US20240255932A1 (en) * 2022-08-03 2024-08-01 Industrial Video Solutions Inc. Systems and methods for monitoring and controlling industrial processes
US20240212356A1 (en) * 2022-08-03 2024-06-27 Industrial Video Solutions Inc. Systems and methods for monitoring and controlling industrial processes

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL108974A (en) * 1994-03-14 1999-11-30 Orbotech Ltd Device and method for testing a display panel
KR19990040604A (ko) * 1997-11-19 1999-06-05 윤종용 액정표시패널 테스트용 광학 검사 장치
JP2000028543A (ja) 1998-07-13 2000-01-28 Dainippon Printing Co Ltd パターン検査方法および装置
US6177682B1 (en) 1998-10-21 2001-01-23 Novacam Tyechnologies Inc. Inspection of ball grid arrays (BGA) by using shadow images of the solder balls
KR100758809B1 (ko) 2000-12-30 2007-09-13 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 검사장치
US6665065B1 (en) * 2001-04-09 2003-12-16 Advanced Micro Devices, Inc. Defect detection in pellicized reticles via exposure at short wavelengths
JP2003149169A (ja) * 2001-11-16 2003-05-21 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウエハ欠陥検査装置
US20030215129A1 (en) * 2002-05-15 2003-11-20 Three-Five Systems, Inc. Testing liquid crystal microdisplays
TW200506375A (en) * 2003-05-16 2005-02-16 Tokyo Electron Ltd Inspection apparatus

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008040201A (ja) * 2006-08-08 2008-02-21 Micronics Japan Co Ltd 液晶パネル検査方法及び装置
JP2014044059A (ja) * 2012-08-24 2014-03-13 Naigai Kasei Kk 検査装置及び検査方法
WO2016021463A1 (ja) * 2014-08-07 2016-02-11 日東電工株式会社 光学フィルム貼付位置測定装置及び光学表示装置製造ライン
JP2016038565A (ja) * 2014-08-07 2016-03-22 日東電工株式会社 光学フィルム貼付位置測定装置
WO2017195816A1 (ja) * 2016-05-10 2017-11-16 株式会社住化分析センター 有機エレクトロニクスデバイスの検査方法および分析方法、並びにその利用
KR20190006508A (ko) * 2016-05-10 2019-01-18 가부시키가이샤 스미카 분세키 센터 유기 전자 소자의 검사 방법 및 분석 방법, 그리고 그 이용
JPWO2017195816A1 (ja) * 2016-05-10 2019-03-07 株式会社住化分析センター 有機エレクトロニクスデバイスの検査方法および分析方法、並びにその利用
KR102307522B1 (ko) * 2016-05-10 2021-09-29 가부시키가이샤 스미카 분세키 센터 유기 전자 소자의 검사 방법 및 분석 방법, 그리고 그 이용

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Publication number Publication date
CN1648645A (zh) 2005-08-03
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