JP2005197656A - 多結晶シリコン膜の形成方法 - Google Patents
多結晶シリコン膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005197656A JP2005197656A JP2004258234A JP2004258234A JP2005197656A JP 2005197656 A JP2005197656 A JP 2005197656A JP 2004258234 A JP2004258234 A JP 2004258234A JP 2004258234 A JP2004258234 A JP 2004258234A JP 2005197656 A JP2005197656 A JP 2005197656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- silicon film
- amorphous silicon
- laser light
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 51
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910016048 MoW Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 21
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 abstract description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 108
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 4
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020286 SiOxNy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02664—Aftertreatments
- H01L21/02667—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth
- H01L21/02675—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth using laser beams
- H01L21/02686—Pulsed laser beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02422—Non-crystalline insulating materials, e.g. glass, polymers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02488—Insulating materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02491—Conductive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/02502—Layer structure consisting of two layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
- H01L21/0259—Microstructure
- H01L21/02595—Microstructure polycrystalline
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02664—Aftertreatments
- H01L21/02667—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth
- H01L21/02675—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth using laser beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02664—Aftertreatments
- H01L21/02667—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth
- H01L21/02675—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth using laser beams
- H01L21/02678—Beam shaping, e.g. using a mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/127—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement
- H01L27/1274—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement using crystallisation of amorphous semiconductor or recrystallisation of crystalline semiconductor
- H01L27/1281—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement using crystallisation of amorphous semiconductor or recrystallisation of crystalline semiconductor by using structural features to control crystal growth, e.g. placement of grain filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66742—Thin film unipolar transistors
- H01L29/6675—Amorphous silicon or polysilicon transistors
- H01L29/66757—Lateral single gate single channel transistors with non-inverted structure, i.e. the channel layer is formed before the gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66742—Thin film unipolar transistors
- H01L29/6675—Amorphous silicon or polysilicon transistors
- H01L29/66765—Lateral single gate single channel transistors with inverted structure, i.e. the channel layer is formed after the gate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【課題】本発明は結晶粒の大きさを大きくすることができる多結晶シリコン(poly−Si)膜の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の多結晶シリコン膜の形成方法は、レーザー光の照射による非晶質シリコン(a−Si)膜の結晶化による多結晶シリコン膜を形成する方法であり、ガラス基板上にバッファ膜と非晶質シリコン膜を順に蒸着する段階と、前記ガラス基板の背面にレーザー光反射機能をする金属膜を蒸着する段階と、前記非晶質シリコン膜の前面からレーザー光を照射すると共に前記金属膜から反射したレーザー光が前記非晶質シリコン膜に再び吸収されるようにすることにより前記非晶質シリコン膜を二重に結晶化させる段階を含む。本発明によると、非晶質シリコン膜を二重で結晶化させるので非常に大きい結晶粒の多結晶シリコン膜を形成することができる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の多結晶シリコン膜の形成方法は、レーザー光の照射による非晶質シリコン(a−Si)膜の結晶化による多結晶シリコン膜を形成する方法であり、ガラス基板上にバッファ膜と非晶質シリコン膜を順に蒸着する段階と、前記ガラス基板の背面にレーザー光反射機能をする金属膜を蒸着する段階と、前記非晶質シリコン膜の前面からレーザー光を照射すると共に前記金属膜から反射したレーザー光が前記非晶質シリコン膜に再び吸収されるようにすることにより前記非晶質シリコン膜を二重に結晶化させる段階を含む。本発明によると、非晶質シリコン膜を二重で結晶化させるので非常に大きい結晶粒の多結晶シリコン膜を形成することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は液晶表示装置の製造方法に関するものであり、より詳細には、多結晶シリコン薄膜トランジスターを形成するための多結晶シリコン膜の形成方法に関するものである。
液晶表示装置または有機発光表示装置などでスイッチング素子として使われる薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下、TFTと称する)は表示装置の性能を左右する最も重要な構成要素である。TFTの性能を判断する基準である移動度(mobility)または漏洩電流などはキャリア(電荷運搬体)が移動する経路である活性層がどのような状態(state)または構造(sructure)を有するのか、すなわち、活性層の材料であるシリコン薄膜がどのような状態または構造を有するのかに大きく左右される。現在実用化されている液晶表示装置の場合TFTの活性層はほとんど非晶質シリコン(amorphous silicon:以下、a−Siと称する)である。
しかし、活性層としてa−Siを適用したa−SiTFTは、移動度が0.5cm2/Vs内外と非常に低いために、液晶表示装置に含まれるすべてのスイッチング素子を作る場合は制約が生ずる。即ち、液晶表示装置の周辺回路用の駆動素子は非常に早い速度で動作しなければならないのに、a−SiTFTは周辺回路用の駆動素子で要求する動作速度を満足することができず、周辺回路用の駆動素子の駆動をa−SiTFTで具現することが実質的に困難であるということを意味する。
一方、活性層として多結晶シリコン(polycrystalline silicon:以下、poly−Siと称する)を適用したpoly−SiTFTは移動度が数十〜数百cm2/Vsで高いために、周辺回路用の駆動素子に対応可能な高い駆動速度を出すことができる。このために、ガラス基板上にpoly−Si膜を形成すると、画素スイッチング素子だけでなく周辺回路用の駆動部品にも適用が可能になる。従って、周辺回路の形成に必要なモジュール工程を別途設ける必要がないだけでなく、画素領域を形成する時に同時に周辺回路の駆動部品まで形成することができるので周辺回路用の駆動部品のコストを節減することができる(例えば、特許文献1参照)。
更に、poly−SiTFTは高い移動度のためにa−SiTFTより小さくすることができるし、そして、共通化された工程を通じて周辺回路の駆動素子と画素領域のスイッチング素子とを同時に形成することができるために、線幅の微細化がより容易になってa−SiTFT−LCDで実現が難しい高解像度を得るのに非常に有利である。
また、poly−SiTFTは高い電流特性を有するために次世代の平板表示装置である有機発光表示装置の駆動素子として好適である。
従って、最近ではガラス基板上でpoly−Si膜を形成させてTFTを製造するpoly−SiTFTの研究が活発に進行されている。
poly−Si膜をガラス基板上に形成させるための方法としては、a−Si膜の蒸着後に熱処理を行ってa−Si膜を結晶化させる方法を挙げることができる。しかし、この方法は600℃以上の高温でガラス基板の変形が生じるので、信頼性及び収率が低下する。
ガラス基板に熱的損傷(thermal damage)を与えないでa−Si膜のみを結晶化させることができる方法として、エキシマレーザー(Excimer Laser)を利用する低温多結晶化方法が提案された。この方法は2つのカテゴリーに分類される。1つの方法はマスクを使わない伝統的なエキシマレーザーアニーリング(Excimer Laser Annealing:以下、ELAと称する)法であり、他の方法はマスクを使ってレーザーが照射される領域を制御する連続縦方向結晶化(Sequential Lateral Solidification:以下、SLSと称する)法である。
2つの方法はいずれもガラス基板上に、このガラス基板からシリコン層への不純物汚染を防止するためのバッファ膜を蒸着した状態で、a−Si膜を蒸着する。次に、a−Si膜内の水素をとり除くための熱処理工程を実施し、それから、非常に短い時間a−Si膜をエキシマレーザー光に露出させ、ガラス基板の変形を誘発することなくa−Si膜を、液相を経てpoly−Si膜で変態させる。
しかし、この2つの方法には結晶粒の大きさの増加に限界がある。
即ち、従来のELA法の場合、一般的に結晶粒の大きさが0.1μm以下であるために、この程度の大きさでは駆動回路を画素スイッチング素子と共通化して集積するのには移動度が不足である。
SLS法の場合は結晶化が照射された領域の端から始まって内部に誘導されるが、この時、照射領域の中央部での結晶化が最後に進行することの関連して、結晶化の過程で中央部の温度が融点より低ければ、大きい結晶粒を得るための核生成(nucleation)が進行しない。結局、従来のSLS方法による多結晶シリコン膜は縦方向成長の長さが最大4μmまでのみが可能であるために、これを実際の周辺回路用TFTに適用するのは困難である。
特開2002−134754号公報
従って、本発明は上記のような従来の問題点を解決するために案出されたものであり、その目的は結晶粒の大きさを極大化させることができるpoly−Si膜の形成方法を提供することである。
また、本発明の他の目的は結晶粒の大きさを極大化させることでpoly−SiTFTの性能を向上させることができるpoly−Si膜の形成方法を提供することである。
更に、本発明の他の目的はpoly−siTFTの性能を向上させることで単一基板に画素スイッチング素子及び周辺回路駆動素子の集積が可能なようにすることができるpoly−Si膜の形成方法を提供することである。
上記の目的を実現するために、本発明に係る多結晶シリコン膜の形成方法は、レーザー光の照射によりa−Si膜を結晶化させて多結晶Si膜を形成する方法であり、ガラス基板上にバッファ膜とa−Si膜を順に蒸着する段階と、前記ガラス基板の背面にレーザー光反射機能をする金属膜を蒸着する段階と、前記a−Si膜の前面からレーザー光を照射すると共に前記金属膜から反射したレーザー光が前記a−Si膜に再び吸収されるようにすることによって前記a−Si膜を二重に結晶化させる段階を含むことを特徴とする。
ここで、前記金属膜はMo、Al、AlNd、Cr、Cu、MoW、W、TaまたはTiのうちからいずれか1種類の単一膜、あるいは、少なくとも2種類以上の積層膜で構成する。
また、本発明に係る多結晶シリコン膜の形成方法は、レーザー光の照射によりa−Si膜の結晶化させててpoly−Si膜を形成する方法として、ガラス基板上にレーザー光反射機能をするゲート電極を形成する段階と、前記ゲート電極を覆うように基板の上面上にゲート絶縁膜を蒸着する段階と、前記ゲート絶縁膜上にa−Si膜を順に蒸着する段階と、前記a−Si膜の上面からレーザー光を照射すると共に前記ゲート電極から反射したレーザー光が前記a−Si膜に再び吸収されるようにすることによって前記a−Si膜を二重で結晶化させる段階を含むことを特徴とする。
本発明はレーザー光の照射を用いた低温の結晶化方法によってa−Si膜をpoly−Si膜に結晶化させるが、レーザー光の照射を行う前にガラス基板の背面にレーザー光反射機能をする金属膜を蒸着し、その状態でレーザー光の照射を行うので、Si膜の溶融状態が長く続き、結晶粒の成長時間が増加するし、これによって、従来より格段に大きい結晶粒を有するpoly−Si膜を形成することができる。
従って、大きい結晶粒を有するpoly−Si膜を形成することができるために、高い電子移動度を有するなど、poly−SiTFTの性能を向上させることができるし、これによって、液晶表示装置の製品性能を向上させることができる。
上記の本発明の目的、その他の目的、特徴及び長所などは本発明の好適な実施例に対する以下の説明から明確になるであろう。
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。
先ず、本発明の技術的原理を説明する。本発明はエキシマレーザー光の照射により低温の結晶化工程を実施する技術において、a−Si膜の下側表面に反射率が高い金属膜を形成して、Si膜に吸収された後に一部透過された光が金属膜から反射して再びSi膜に吸収されるようにすることで、1回のレーザーの照射で2回照射した効果、すなわち、二重にレーザーを照射した効果を得るようにしてpoly−Si膜での結晶粒を大きくする。
図1(a)及び図1(b)は本発明によるpoly−Si膜の形成方法を説明するための工程別の断面図であり、これを説明すると次のようである。ここで、後述する本発明の方法はトップゲート構造のTFT形成時に適用可能である。
図1(a)を参照すると、ガラス基板10上に後続熱工程時にガラス基板から活性層であるpoly−Si膜に不必要なイオンの流入することを防止するようにSiOx、SiOxNyまたはSiNx等のバッファ膜12を形成した後、バッファ膜12上に結晶化させようとするa−Si膜14を蒸着する。次に、a−Si膜14内の水素をとり除くために基板の結果物に対して400℃以上の温度で脱水素熱処理工程を行う。
次に、レーザー光の照射によるa−Si膜の結晶化工程を行うに先立って、レーザー光反射機能を有する金属膜16をガラス基板の背面に蒸着する。ここで、金属膜16としては反射率が優れているMo、Al、AlNd、Cr、Cu、MoW、W、Ta、または、Tiの単一膜、あるいは、少なくとも2種以上の積層膜で構成する。
図1(b)を参照すると、従来技術のELA法又はSLS法によってa−Si膜の前面からa−Si膜にレーザー光20を照射し、これにより、a−Si膜を結晶化させてpoly−Si膜18を形成する。この時、照射されたレーザー光20の一部はa−Si膜に吸収された後、a−Si膜を透過してバッファ膜12を通過してガラス基板10にまで到逹した後、ガラス基板10の背面に形成された反射機能を有する金属膜16で反射して再びガラス基板10とバッファ膜12を順に通過してa−Si膜に吸収される。よって、1回のレーザーの照射で2回レーザーの照射を行った効果が得られ、これによって、結晶化されたpoly−Si膜18での結晶粒の大きさは従来のそれよりずっと大きくなる。
従来の技術では、Si膜のレーザーを吸収して液状の状態に溶融された部分が、レーザーが照射されないa−Si膜部分との界面から凝固が始まり、照射領域の中央部に結晶化が誘導される。しかし、凝固の過程で溶融状態のSiと下部膜または基板との温度差による熱伝逹によって、中央部の温度は急速に低下する。そのために、誘導結晶化(innduced crystallization)が完了する前に核生成が進行して小さな結晶粒を形成される。このために従来の方法では、核生成の発生が始まる前に誘導結晶化が完了するように照射領域の間隔を狭くせざるを得なかった。一般的に使われる照射領域の大きさは5μm程度であり、結晶化完成後の結晶粒の大きさは最大3.5〜4μm程度である。
一方、本発明は透過したレーザー光20が金属膜16から反射して再びSi膜に吸収されるために、溶融されたSi膜の温度下降を抑制してSi膜の溶融状態を従来より長く保つことができる。これによって、誘導結晶粒の成長時間が増加し、最終的に得られたpoly−Si膜18での結晶粒の大きさは従来より大きくなる。例えば、レーザー光の照射領域の間隔を10μm程度にしたスリットを使ってレーザー光の照射を行った場合、最終poly−Si膜18での結晶粒の大きさを従来のおおよそ2倍程度に大きくすることができる。
図2(a)及び図2(b)は従来及び本発明によるpoly−Si膜の形成後の結晶化写真であり、図2(a)で示すように、従来技術によって形成されたpoly−Si膜の場合には中央部での核生成によって結晶粒の大きさが大きくないが、図2(b)で示すように、本発明によって形成されたpoly−Si膜の場合は1回のレーザー光の照射で実際2回のレーザー光の照射がなされることで結晶粒の大きさが相対的に大きい。
結果的に、本発明はレーザー光の照射を行う前に、a−Si膜14の背面、正確には、ガラス基板10の背面にレーザー光反射機能を有する金属膜16を形成することで、非常に容易に大きい結晶粒のpoly−Si膜18を形成することができる。
図示していないが以後の工程は、ガラス基板背面の金属膜をとり除いた状態で、公知のTFT製造工程、すなわち、アクティブパターン形成工程、ゲート絶縁膜の蒸着工程、ゲート形成工程、イオン注入工程、絶縁膜の形成工程、コンタクトホールの形成工程及びソース/ドレーン形成工程を順に進行してガラス基板の適所にpoly−SiTFTを形成し、その次に、画素電極の形成工程を進行してアレイ基板を完成する。次に、別の工程で製造されたカラーフィルター基板と液晶層の介在下に合着させてTFT−LCDが完成する。
図3は本発明の他の実施例によるpoly−Si膜の形成方法を説明するための断面図であり、次にこれを説明する。ここで、先の実施例がトップゲート構造のTFT形成時に適用可能であったのに対し、本実施例はボトムゲート構造のTFT形成時に適用可能である。
先ず、ガラス基板10上にゲート電極22を形成した後、基板の前面上にゲート絶縁膜24を形成する。その次に、ゲート絶縁膜24上に結晶化の対象であるa−Si膜14を蒸着する。それから、a−Si膜14にパターニングされたレーザー光、すなわち、スリットのマスクパターンを具備したマスクを使ってレーザー光20を照射する。
この時、パターンニングされたレーザー光20はa−Si膜14に吸収された後、透過したレーザーがゲート電極22から反射して再びa−Si膜14に吸収され、これによって、先の実施例と同様に従来より大きい結晶粒を有するpoly−Si膜を得ることができる。
以後、通常のボトムゲートTFT製造過程を行い、そして、画素電極を形成してアレイ基板が完成する。
以上、ここでは本発明の特定実施例に対して説明して図示したが、当業者によってこれに対する修正と変形をすることができる。よって、以下の特許請求の範囲は本発明の真の思想と範囲に属する限りすべての修正と変形を含むものとして理解することができる。
10 ガラス基板
12 バッファ膜
14 a−Si膜
16 金属膜
20 レーザー光
22 ゲート電極
24 ゲート絶縁膜
12 バッファ膜
14 a−Si膜
16 金属膜
20 レーザー光
22 ゲート電極
24 ゲート絶縁膜
Claims (3)
- レーザー光の照射により非晶質シリコン膜を結晶化させて多結晶シリコン膜を形成する方法であり、
ガラス基板上にバッファ膜と非晶質シリコン膜を順に蒸着する段階と、
前記ガラス基板の背面にレーザー光反射機能を有する金属膜を蒸着する段階と、
前記非晶質シリコン膜の上面からレーザー光を照射すると共に前記金属膜から反射したレーザー光が前記非晶質シリコン膜に再び吸収されることによって前記非晶質シリコン膜を二重に結晶化させる段階とを含むことを特徴とする多結晶シリコン膜の形成方法。 - 前記金属膜は、Mo、Al、AlNd、Cr、Cu、MoW、W、Ta及びTiで構成されたグループから選択されるいずれか1種類の単一膜、または、少なくとも2種類以上の積層膜で構成することを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコン膜の形成方法。
- レーザー光の照射により非晶質シリコン膜を結晶化させて多結晶シリコン膜を形成する方法であり、
ガラス基板上にレーザー光反射機能を有するゲート電極を形成する段階と、
前記ゲート電極を覆うように基板の上面上にゲート絶縁膜を蒸着する段階と、
前記ゲート絶縁膜上に非晶質シリコン膜を順に蒸着する段階と、
前記非晶質シリコン膜の上面からレーザー光を照射すると共に前記ゲート電極から反射したレーザー光が前記非晶質シリコン膜に再び吸収されることによって前記非晶質シリコン膜を二重に結晶化させる段階とを含むことを特徴とする多結晶シリコン膜の形成方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030100230A KR100577795B1 (ko) | 2003-12-30 | 2003-12-30 | 다결정 실리콘막 형성방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005197656A true JP2005197656A (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=34698750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004258234A Pending JP2005197656A (ja) | 2003-12-30 | 2004-09-06 | 多結晶シリコン膜の形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050142708A1 (ja) |
JP (1) | JP2005197656A (ja) |
KR (1) | KR100577795B1 (ja) |
CN (1) | CN100356509C (ja) |
TW (1) | TWI266925B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014515719A (ja) * | 2011-03-08 | 2014-07-03 | サン−ゴバン グラス フランス | 被覆物を備えた基材を得る方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100624427B1 (ko) * | 2004-07-08 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 다결정 실리콘 제조방법 및 이를 이용하는 반도체 소자의제조방법 |
TW200743154A (en) * | 2006-05-10 | 2007-11-16 | Toppoly Optoelectronics Corp | System for displaying image and laser annealing method for LTPS |
US20080042131A1 (en) * | 2006-08-15 | 2008-02-21 | Tpo Displays Corp. | System for displaying images including thin film transistor device and method for fabricating the same |
TWI327447B (en) * | 2006-10-16 | 2010-07-11 | Chimei Innolux Corp | Method of fabricating a thin film transistor |
WO2009068756A1 (fr) | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Commissariat A L'energie Atomique | Procede de cristallisation |
KR101688074B1 (ko) | 2010-01-27 | 2016-12-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시기판 및 이의 제조방법 |
CN101894744B (zh) * | 2010-06-11 | 2012-09-05 | 南开大学 | 一种采用背面保温层技术激光晶化多晶硅薄膜的方法 |
CN102956500A (zh) * | 2011-08-23 | 2013-03-06 | 广东中显科技有限公司 | 多晶硅薄膜晶体管的制备方法 |
FR2989388B1 (fr) | 2012-04-17 | 2019-10-18 | Saint-Gobain Glass France | Procede d'obtention d'un substrat muni d'un revetement |
JP6348707B2 (ja) * | 2013-12-11 | 2018-06-27 | 東京エレクトロン株式会社 | アモルファスシリコンの結晶化方法、結晶化シリコン膜の成膜方法、半導体装置の製造方法および成膜装置 |
CN104779300B (zh) * | 2015-04-16 | 2016-05-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种多晶硅薄膜晶体管及其制作方法和显示装置 |
CN104900710A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板 |
CN105374882A (zh) | 2015-12-21 | 2016-03-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制备方法 |
FR3073321B1 (fr) * | 2017-11-07 | 2019-12-20 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de cristallisation d'une couche utile |
CN111916462B (zh) * | 2020-07-30 | 2022-12-23 | 北海惠科光电技术有限公司 | 一种基板、制备基板的方法和显示面板 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3150840B2 (ja) | 1994-03-11 | 2001-03-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP3424891B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2003-07-07 | 三洋電機株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 |
KR100269312B1 (ko) * | 1997-10-14 | 2000-10-16 | 윤종용 | 실리콘막의결정화방법및이를이용한박막트랜지스터-액정표시장치(tft-lcd)의제조방법 |
JP2000208771A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-07-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置、液晶表示装置およびこれらの製造方法 |
KR100290014B1 (ko) * | 1999-04-01 | 2001-05-15 | 구본준, 론 위라하디락사 | 실리콘 박막 결정화방법과 이를 이용한 박막 트랜지스터 및 그제조방법 |
TW487959B (en) * | 1999-08-13 | 2002-05-21 | Semiconductor Energy Lab | Laser apparatus, laser annealing method, and manufacturing method of a semiconductor device |
JP2001102323A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザアニール装置および薄膜トランジスタの製造方法 |
US6524877B1 (en) * | 1999-10-26 | 2003-02-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and method of fabricating the same |
JP5025057B2 (ja) * | 2001-05-10 | 2012-09-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4008716B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2007-11-14 | シャープ株式会社 | フラットパネル表示装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-12-30 KR KR1020030100230A patent/KR100577795B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-08-30 US US10/930,011 patent/US20050142708A1/en not_active Abandoned
- 2004-08-31 TW TW093126183A patent/TWI266925B/zh active
- 2004-09-06 JP JP2004258234A patent/JP2005197656A/ja active Pending
- 2004-10-22 CN CNB2004100857849A patent/CN100356509C/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014515719A (ja) * | 2011-03-08 | 2014-07-03 | サン−ゴバン グラス フランス | 被覆物を備えた基材を得る方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050070556A (ko) | 2005-07-07 |
KR100577795B1 (ko) | 2006-05-11 |
CN100356509C (zh) | 2007-12-19 |
CN1638022A (zh) | 2005-07-13 |
TW200521541A (en) | 2005-07-01 |
TWI266925B (en) | 2006-11-21 |
US20050142708A1 (en) | 2005-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5619044A (en) | Semiconductor device formed with seed crystals on a layer thereof | |
JPH07221017A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP2007324425A (ja) | 薄膜半導体装置及びその製造方法と表示装置 | |
JP3389022B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2005197656A (ja) | 多結晶シリコン膜の形成方法 | |
JP2004214615A (ja) | 非晶質シリコン膜の結晶化方法及び非晶質シリコンの結晶化用マスク、並びにアレイ基板の製造方法 | |
US7008863B2 (en) | Method for forming polycrystalline silicon film | |
US7015122B2 (en) | Method of forming polysilicon thin film transistor | |
JP2000260709A (ja) | 半導体薄膜の結晶化方法及びそれを用いた半導体装置 | |
JP3319963B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004063478A (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JPH10125923A (ja) | 半導体素子及びその製造方法 | |
US7026201B2 (en) | Method for forming polycrystalline silicon thin film transistor | |
JP4365757B2 (ja) | 多結晶シリコン薄膜トランジスタの多結晶シリコン膜の形成方法 | |
JP3357798B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009246235A (ja) | 半導体基板の製造方法、半導体基板及び表示装置 | |
JP3269730B2 (ja) | 半導体基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
KR100860008B1 (ko) | 디렉셔널 결정화 방법을 이용한 평판 디스플레이 소자와그의 제조방법, 반도체 소자와 그의 제조방법 | |
JPH08293464A (ja) | 半導体基板及び半導体装置の製造方法 | |
JP2002280560A (ja) | 半導体素子の製造方法、その製造方法によって製造される半導体素子及び半導体装置 | |
JP2006324564A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3338756B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH0982639A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2005150438A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP2000150888A (ja) | 薄膜トランジスタの形成方法及び薄膜トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080325 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080819 |