JP2005173288A5 - - Google Patents

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  1. 顕微鏡の照明光学系の瞳位置に部分開口を配置し、前記部分開口を通過した光により照明された観察物体を、結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入して、前記結像光学系の結像面に結像される像を観察することを特徴とする顕微鏡観察方法。
  2. 照明光源として発散光を出す略点光源を用い、顕微鏡の照明光学系の瞳位置に前記略点光源の像を結像させ、前記略点光源の像からの発散光により照明された観察物体を、結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入して、前記結像光学系の結像面に結像される像を観察することを特徴とする顕微鏡観察方法。
  3. 前記結像光学系の瞳位置に導入する波面が、前記結像光学系の合焦位置からずれに基づくものであることを特徴とする請求項1又は2記載の顕微鏡観察方法。
  4. 前記結像光学系の瞳位置に導入する波面が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーによることを特徴とする請求項1又は2記載の顕微鏡観察方法。
  5. 前記部分開口が円形開口又は輪帯開口からなり、その前記結像光学系の瞳位置での像の開口幅をD1 、前記結像光学系の瞳の直径をD0 とするとき、
    0 /10≦D1 ≦D0 /3 ・・・(10)
    を満足することを特徴とする請求項1、3 、4の何れか1項記載の顕微鏡観察方法。
  6. 前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口の像、又は、前記略点光源の像の形状に対応する形状であって、その形状より若干大きな形状の吸収膜を、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置し、前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口又は前記略点光源の像に対する前記吸収膜の内外周辺での余裕幅をΔとし、前記結像光学系の瞳の直径をD0 とするとき、
    Δ≦D0 /10 ・・・(11)
    を満足することを特徴とする請求項1から5の何れか1項記載の顕微鏡観察方法。
  7. 前記結像光学系の瞳位置に導入する波面を略対称に変化させてコントラストが反転した同一観察物体の2枚の画像を撮像し、その2枚の画像間の差演算を行うことによりコントラストを強調することを特徴とする請求項1から6の何れか1項記載の顕微鏡観察方法。
  8. 結像光学系の結像倍率が4倍以下であることを特徴とする請求項1から7の何れか1項記載の顕微鏡観察方法。
  9. 光源と、この光源からの光を観察物体に導く照明光学系と、この照明光学系の略瞳位置に配置される部分開口と、この部分開口を通過した光により照明された前記観察物体の像を結像面に結像する結像光学系とを備え、前記結像面に結像される像を観察するための接眼光学系又は撮像光学系を備えた顕微鏡において、
    前記部分開口の前記結像光学系の瞳位置での像の径は、前記結像光学系の瞳の径より小さく設定されており、かつ、前記結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入する波面導入手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
  10. 発散光を出す略点光源と、この略点光源の像を瞳位置に一旦結像しながらその略点光源からの光を観察物体に導く照明光学系と、その略点光源からの光により照明された前記観察物体の像を結像面に結像する結像光学系とを備え、前記結像面に結像される像を観察するための接眼光学系又は撮像光学系を備えた顕微鏡において、
    前記略点光源の前記結像光学系の瞳位置での像の径は、前記結像光学系の瞳の径より小さく設定されており、かつ、前記結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入する波面導入手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
  11. 前記波面導入手段が、前記結像光学系を光軸方向に移動調節する手段からなることを特徴とする請求項9又は10記載の顕微鏡。
  12. 前記波面導入手段が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーからなることを特徴とする請求項9又は10記載の顕微鏡。
  13. 前記部分開口が円形開口又は輪帯開口からなり、その前記結像光学系の瞳位置での像の開口幅をD1 、前記結像光学系の瞳の直径をD0 とするとき、
    0 /10≦D1 ≦D0 /3 ・・・(10)
    を満足することを特徴とする請求項9、11、12の何れか1項記載の顕微鏡。
  14. 前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口の像、又は、前記略点光源の像の形状に対応する形状であって、その形状より若干大きな形状の吸収膜が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置されており、前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口又は前記略点光源の像に対する前記吸収膜の内外周辺での余裕幅をΔとし、前記結像光学系の瞳の直径をD0 とするとき、
    Δ≦D0 /10 ・・・(11)
    を満足することを特徴とする請求項9から13の何れか1項記載の顕微鏡。
  15. 前記結像面に結像される像を撮像するための撮像光学系と、その撮像面に配置された撮像素子と、前記撮像素子により撮像された画像を記憶及び演算する演算記憶手段を備えていることを特徴とする請求項9から14の何れか1項記載の顕微鏡。
  16. 前記結像光学系の結像倍率が4倍以下であることを特徴とする請求項9から15の何れか1項記載の顕微鏡。
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