JP2009512223A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 第１のミラーシェル（１２１２．１）と、
   第２のミラーシェル（１２１２．２）と、を備え、
   前記第１のミラーシェル（１２１２．１）は前記第２のミラーシェル（１２１２．２）の内部に配設され、
   前記第１のミラーシェル（１２１２．１）及び／又は前記第２のミラーシェル（１２１２．２）は、回転対称の部分と回転対称でない部分を有する、閉じた鏡面である、波長が１９３ｎｍ以下、好ましくは１２６ｎｍ以下、特に好ましくはＥＵＶ放射の照明システム用集光器。
2. 前記第１のミラーシェル（１２１２．１）及び／又は前記第２のミラーシェル（１２１２．２）は、第１の光学面を有する第１の部位と第２の光学面を有する第２の部位を有する、請求項１記載の集光器。
3. 前記第１の部位は、回転双曲面（８００）であり、前記第２の部位は、回転楕円面（８０２）であり、前記回転対称でない部分は、前記回転双曲面及び／又は回転楕円面に加える又は減ずる、請求項２記載の集光器。
4. 前記第１のミラーシェル（１２１２．１）及び／又は前記第２のミラーシェル（１２１２．２）は、対称軸を有する、請求項１から請求項３迄の何れかに記載の集光器。
5. 前記対称軸は、前記第１のミラーシェル（１２１２．１）及び前記第２のミラーシェル（１２１２．２）の共通の対称軸である、請求項４記載の集光器。
6. 前記第１のミラーシェル（１２１２．１）及び／又は前記第２のミラーシェル（１２１２．２）は前記対称軸に対してｎ回対称であり、ｎは整数である、請求項４又は請求項５記載の集光器。
7. 前記対称軸に対する対称は、以下の
   二回対称
   三回対称
   四回対称
   五回対称
   六回対称
   七回対称
   八回対称である、請求項６記載の集光器。
8. 前記集光器は、光源の光を受光し、前記集光器の後方の光路に配設された面に導き、
   前記閉じたミラーシェルの前記回転対称でない部分は、前記面に、ほぼ長方形の照明が形成されるように選択される、請求項１から請求項７迄の何れかに記載の集光器。
9. 軸に最も近接したミラーシェルの内部の前記集光器は、絞りを有する、請求項１から請求項８迄の何れかに記載の集光器。
10. 少なくとも前記第１のミラーシェル（１２１２．１）と前記第２のミラーシェル（１２１２．２）は、光を前記集光器の後方の光路上の面に導き、
    第１の照明（Ａ６．１）と第２の照明（Ａ６．２）を前記面に結像し、前記第１の照明（Ａ６．１）と前記第２の照明（Ａ６．２）とは距離を有する、請求項１から請求項９迄の何れかに記載の集光器。
11. 前記面には複数のラスタ要素が形状を有して配置されており、前記第１の照明（Ａ６．１）及び／又は前記第２の照明（Ａ６．２）は、前記複数のラスタ要素の配置の形状にほぼ対応する幾何学的な形状を有する、請求項１０に記載の集光器。
12. 前記照明がほぼ長方形の形状、特に正方形の形状を有する、請求項１０又は請求項１１に記載の集光器。
13. 波長が１９３ｎｍ以下、好ましくは１２６ｎｍ以下、特に好ましくはＥＵＶ波長領域の、請求項１から請求項１２迄の何れかに記載の集光器（３）を備えた照明システムであって、
    前記集光器（３）は、光源（１）から、照明する面（１０３、１１０３）への光路上で、前記（１）と前記面（１０３、１１０３）の間に配設され、
    前記面（１０３）の中、又は前記面（１０３）の近傍にはファセット光学素子（１０２）が利用可能に設けられている、照明システム。
14. 前記ファセット光学素子（１０２）が複数のフィールドラスタ要素（４０２、５０２、１３００）を有する、請求項１３記載の照明システム。
15. 前記ファセット光学素子の前記フィールドラスタ要素（１３００）が、前記面（１１０３）の、前記面（１１０３）のほぼ照明（Ａ６．１、Ａ６．２、Ａ６．３）の領域に配設される、請求項１４記載の照明システム。
16. さらに、射出瞳面（１４０）及び／又は瞳面を有し、前記ファセット光学素子が、前記面（１０３）の照明の形状とは無関係に、光源の像を射出瞳面（１４０）及び／又は瞳面（１０５）に広範に物体に忠実に結像するように構成される、請求項１３から請求項１５迄の何れかに記載の照明システム。
17. 瞳面（１０５）とさらなるファセット光学素子（１０４）を有し、
    前記さらなるファセット光学素子（１０４）は前記瞳面（１０５）の中、または前記瞳面（１０５）の近傍に位置する、請求項１３から請求項１６迄の何れかに記載の照明システム。
18. 前記さらなる光学素子は複数の瞳ラスタ要素を有する、請求項１７記載の照明システム。
19. フィールド面（１１４）のフィールドを照明する、請求項１３から請求項１８迄の何れかに記載の照明システムと、
    前記フィールド面（１１４）の物体を像面（１２４）に結像する投影対物光学系（１２８）と、を備えた、
    波長が１９３ｎｍ以下のマイクロリソグラフィー用投影露光装置。