JP2010032542A5 - - Google Patents

Claims (27)

1. 波長＜１００ｎｍ、特に波長＜３０ｎｍを持つマイクロリトグラフィーのために物体、特に、マスクの検査のための検査系において、物体平面（１）内の視野を照明する照明系を備え、物体平面内で照明される視野の内部に検査される物体が配置され、像平面（３）内での物体の少なくとも一部分の結像を拡大するための波長≦１００ｎｍのための結像系を備え、像平面（３）内に配置される撮像系とを備える前記検査系。
2. 検査系は、物体平面内の物体を位置決めする位置決め装置を含むことを特徴とする請求項１に記載の検査系。
3. 結像系は調整可能な開口絞り（Ｂ）を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査系。
4. 照明系は、結像系内の開口絞り（Ｂ）の平面に結合する平面内で調整可能な照明開口絞りを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査系。
5. 照明系または結像系は、絞り平面（Ｂ）内または絞り平面（Ｂ）の近く、または、絞り平面（Ｂ）に対して結合する平面内で不明瞭化絞りを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査系。
6. 照明系は、調整可能な視野絞りを含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査系。
7. 撮像系は、像平面（３）内での物体像の分析のための分析ユニットを含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の検査系。
8. 検査系は、焦点調整装置を含むことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の検査系。
9. 焦点調整装置は、物体平面（１）に対して垂直方向へ物体を移動する移動装置を含むことを特徴とする請求項８に記載の検査系。
10. 撮像系は、物体が焦点調整装置によりもたらされる設定焦点位置での像を撮像することを特徴とする請求項８又は９に記載の検査系。
11. 分析ユニットは、マイクロコンピュータ装置を含むことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の検査系。
12. 波長≦１００ｎｍのための結像系は、反射型Ｘ線顕微鏡を含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の検査系。
13. 請求項１２に記載の検査系であって、前記反射型Ｘ線顕微鏡は、第１鏡（Ｓ１）と第２鏡（Ｓ２）とを含み、物体平面（１）から像平面（３）までの光路内に配置される第１副系とを備え、反射型Ｘ線顕微鏡は、光路内で第１副系に後置される少なくとも一つの第３鏡（Ｓ３）を有する第２副系を含むことを特徴とする前記検査系。
14. 第１鏡（Ｓ１）は凹面鏡であり、第２鏡（Ｓ２）は凸面鏡であることを特徴とする請求項１３に記載の検査系。
15. 第１鏡（Ｓ１）は凹面鏡であり、第２鏡（Ｓ２）は凹面鏡であることを特徴とする請求項１３に記載の検査系。
16. 第２副系は第３鏡（Ｓ３）と第４鏡（Ｓ４）とを含むことを特徴とする請求項１３に記載の検査系。
17. 第３鏡（Ｓ３）と第４鏡（Ｓ４）は、それぞれ、凹面鏡であることを特徴とする請求項１６に記載の検査系。
18. 第３鏡（Ｓ３）は凸面鏡であり、第４鏡（Ｓ４）は凹面鏡であることを特徴とする請求項１６に記載の検査系。
19. Ｘ線顕微鏡は、β≧５０ｘ、特に、１００ｘ≦β≦１０００ｘの範囲の倍率を有することを特徴とする請求項１３〜１８に記載の検査系。
20. 物体平面から像平面までの光路内で、中間像平面内で実際の中間像が結像されることを特徴とする請求項１３〜１９に記載の検査系。
21. 焦点調整装置は、中間像平面（２）に対して垂直方向への第２副系の移動ための移動装置を含むことを特徴とする請求項２０に記載の検査系。
22. 焦点調整装置は、物体平面（１）に対して垂直方向へ物体を移動する移動装置を含むことを特徴とする請求項２１に記載の検査系。
23. Ｘ線顕微鏡は光軸を有し、顕微鏡の第１、第２および第３の鏡（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）は光軸（ＨＡ）に対して調心されて配置されることを特徴とする請求項１３〜２２のいずれか１項に記載の検査系。
24. Ｘ線顕微鏡は光軸を有し、顕微鏡の第１、第２、第３および第４の鏡（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４）は光軸（ＨＡ）に対して調心されて配置されることを特徴とする請求項１３〜２２いずれか１項に記載の検査系。
25. 物体平面（１）内の物体は、光軸（ＨＡ）に対して偏心して光軸の近くに配置されることを特徴とする請求項１３〜２４のいずれか１項に記載の検査系。
26. 開口絞り（Ｂ）は、光軸（ＨＡ）に対して偏心して設けられることを特徴とする請求項１３〜２５のいずれか１項に記載の検査系。
27. 開口絞り（Ｂ）は、物体平面（１）から像平面（３）までの光路内で、物体平面（１）の後で第１鏡（Ｓ１）の前に配置されることを特徴とする請求項１３〜２６のいずれか１項に記載の検査系。