JP2005150374A - 半導体装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005150374A JP2005150374A JP2003385418A JP2003385418A JP2005150374A JP 2005150374 A JP2005150374 A JP 2005150374A JP 2003385418 A JP2003385418 A JP 2003385418A JP 2003385418 A JP2003385418 A JP 2003385418A JP 2005150374 A JP2005150374 A JP 2005150374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- semiconductor device
- manufacturing
- wiring board
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 98
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 109
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 67
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 28
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
- H05K3/0052—Depaneling, i.e. dividing a panel into circuit boards; Working of the edges of circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/4985—Flexible insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7565—Means for transporting the components to be connected
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/118—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits specially for flexible printed circuits, e.g. using folded portions
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10613—Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
- H05K2201/10621—Components characterised by their electrical contacts
- H05K2201/10681—Tape Carrier Package [TCP]; Flexible sheet connector
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/15—Position of the PCB during processing
- H05K2203/1545—Continuous processing, i.e. involving rolls moving a band-like or solid carrier along a continuous production path
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
- H05K3/005—Punching of holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0058—Laminating printed circuit boards onto other substrates, e.g. metallic substrates
- H05K3/0064—Laminating printed circuit boards onto other substrates, e.g. metallic substrates onto a polymeric substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49789—Obtaining plural product pieces from unitary workpiece
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/49833—Punching, piercing or reaming part by surface of second part
- Y10T29/49835—Punching, piercing or reaming part by surface of second part with shaping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体装置の製造方法は、(a)半導体チップが実装される第1の領域と第1の領域の周囲の第2の領域とを有する配線基板であって、第1の領域から第2の領域に延びる端子が一方の面に形成されてなる配線基板の他方の面に、端子にオーバーラップし、かつ、第1の領域から第2の領域に一部がはみ出すように補強部材を設けること、(b)配線基板における端子の面側から打ち抜くことによって、第1の領域と第2の領域との境目に沿って、端子を切断すること、(c)配線基板における補強部材の面側から打ち抜くことによって、第1の領域と第2の領域との境目に沿って、補強部材の内側から外側に連続的に切断すること、を含む。
【選択図】 図3
Description
(a)半導体チップが実装される第1の領域と前記第1の領域の周囲の第2の領域とを有する配線基板であって、前記第1の領域から前記第2の領域に延びる端子が一方の面に形成されてなる配線基板の他方の面に、前記端子にオーバーラップし、かつ、前記第1の領域から前記第2の領域に一部がはみ出すように補強部材を設けること、
(b)前記配線基板における前記端子の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記端子を切断すること、
(c)前記配線基板における前記補強部材の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断すること、
を含む。本発明によれば、第1の領域と第2の領域との境目に沿って切断する工程を、端子を切断する工程と、補強部材の内側から外側に連続的に切断する工程と、に分割して行う。したがって、端子の剥離を防止するための加工と、第1の領域への亀裂を防止するための加工との両方を実現することができ、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
(2)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程を行った後に、前記(c)工程を行ってもよい。
(3)この半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程を行った後に、前記(b)工程を行ってもよい。
(4)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程で、前記第1の領域を固定するためにプレスした状態で前記第2の領域を打ち抜くことによって、前記端子を切断してもよい。これによれば、第1の領域における端子の剥離を防止できるので、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
(5)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程で、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿ってスリット形状に打ち抜いてもよい。これによれば、配線基板の外形を変えずに、例えば後工程の(c)工程を行うことができる。
(6)この半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記第1の領域を固定するためにプレスした状態で前記第2の領域を打ち抜くことによって、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断してもよい。これによれば、第2の領域を打ち抜くので、第1の領域には亀裂が生じない又は生じにくくなっており、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
(7)この半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿ってスリット形状に打ち抜いてもよい。これによれば、配線基板の外形を変えずに、例えば後工程の(b)工程を行うことができる。
(8)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)及び(c)工程によって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目の全部に沿って切断してもよい。これによれば、第1の領域を個片に切断する。
(9)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)及び(c)工程によって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目の一部に沿って切断してもよい。こうすることで、配線基板の外形で第1の領域を取り扱うことができるので、半導体装置の管理が容易になる。
(10)この半導体装置の製造方法において、
前記配線基板は、複数の前記第1の領域を有し、
前記配線基板を一対の第1及び第2のリールに掛け渡し、前記第1のリールから送り出して前記第2のリールに巻き取らせる間に、前記(b)及び(c)工程の少なくとも1つの工程を行ってもよい。
(11)この半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程で、前記補強部材を、接着材料を介して前記配線基板に貼り付けてもよい。
(12)この半導体装置の製造方法において、
前記接着材料は、エネルギー硬化型接着材料であり、
前記(b)及び(c)工程前に、エネルギーを加えて、前記接着材料を硬化させることをさらに含んでもよい。これによれば、補強部材の内側を切断するときに、配線基板と補強部材との間に介在する接着材料が切断ツールに付着するのを防止することができる。また、接着材料が硬化していれば、切断工程後における配線基板と補強部材との剥離も防止される。
(13)本発明に係る半導体装置の製造装置は、
半導体チップが実装される第1の領域と前記第1の領域の周囲の第2の領域とを有する配線基板であって、前記第1の領域から前記第2の領域に延びる端子が一方の面に形成されてなる配線基板を切断する切断セクションを含み、
前記配線基板の他方の面には、前記端子にオーバーラップし、かつ、前記第1の領域から前記第2の領域に一部がはみ出すように補強部材が設けられ、
前記切断セクションは、
前記配線基板における前記端子の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記端子を切断する第1の切断セクションと、
前記配線基板における前記補強部材の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断する第2の切断セクションと、
を含む。本発明によれば、第1の領域と第2の領域との境目に沿って切断する切断セクションを、端子を切断する第2の切断セクションと、補強部材の内側から外側に連続的に切断する第1の切断セクションと、に分割して行う。したがって、端子の剥離を防止するための加工と、第1の領域への亀裂を防止するための加工との両方を実現することができ、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
(14)この半導体装置の製造装置において、
前記第1の切断セクションは、前記第1の領域を固定するためにプレスするダイと、前記第2の領域を打ち抜くパンチと、を含んでもよい。これによれば、第1の領域における端子の剥離を防止できるので、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
(15)この半導体装置の製造装置において、
前記第2の切断セクションは、前記第1の領域を固定するためにプレスするダイと、前記第2の領域を打ち抜くパンチと、を含んでもよい。これによれば、第2の領域を打ち抜くので、第1の領域には亀裂が生じない又は生じにくくなっており、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。
図1〜図4は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。図1は本実施の形態で使用される配線基板の平面図であり、配線基板には半導体チップが実装されている。図2は、リール・トゥ・リール搬送における切断工程を説明する図であり、配線基板の断面図が示されている。図3(A)〜図3(C)及び図4は、配線基板の切断工程を説明する図である。
図5(A)〜図5(C)は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。本実施の形態では、補強部材52の貼り付け工程終了後、配線基板10及び補強部材52を、第1の領域12と第2の領域14との境目の全部に沿って切断する。本実施の形態では、第1の端子40だけでなく、第2の端子42も切断する。なお、本実施の形態では、第2の端子42側には補強部材は設けられていない。
30…配線パターン 40…第1の端子 42…第2の端子 50…半導体チップ
52…補強部材 54…接着材料 60…第1の切断セクション 64…ダイ
66…ダイ 68…パンチ 70…第2の切断セクション 74…ダイ
76…ダイ 78…パンチ 80…搬送装置 82…第1のリール
84…第2のリール 90…スリット 92…スリット 94…第1の部分
96…第2の部分 110…スリット 120…パンチ
Claims (15)
- (a)半導体チップが実装される第1の領域と前記第1の領域の周囲の第2の領域とを有する配線基板であって、前記第1の領域から前記第2の領域に延びる端子が一方の面に形成されてなる配線基板の他方の面に、前記端子にオーバーラップし、かつ、前記第1の領域から前記第2の領域に一部がはみ出すように補強部材を設けること、
(b)前記配線基板における前記端子の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記端子を切断すること、
(c)前記配線基板における前記補強部材の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断すること、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程を行った後に、前記(c)工程を行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程を行った後に、前記(b)工程を行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程で、前記第1の領域を固定するためにプレスした状態で前記第2の領域を打ち抜くことによって、前記端子を切断する半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程で、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿ってスリット形状に打ち抜く半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記第1の領域を固定するためにプレスした状態で前記第2の領域を打ち抜くことによって、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断する半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿ってスリット形状に打ち抜く半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)及び(c)工程によって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目の全部に沿って切断する半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)及び(c)工程によって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目の一部に沿って切断する半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記配線基板は、複数の前記第1の領域を有し、
前記配線基板を一対の第1及び第2のリールに掛け渡し、前記第1のリールから送り出して前記第2のリールに巻き取らせる間に、前記(b)及び(c)工程の少なくとも1つの工程を行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程で、前記補強部材を、接着材料を介して前記配線基板に貼り付ける半導体装置の製造方法。 - 請求項11記載の半導体装置の製造方法において、
前記接着材料は、エネルギー硬化型接着材料であり、
前記(b)及び(c)工程前に、エネルギーを加えて、前記接着材料を硬化させることをさらに含む半導体装置の製造方法。 - 半導体チップが実装される第1の領域と前記第1の領域の周囲の第2の領域とを有する配線基板であって、前記第1の領域から前記第2の領域に延びる端子が一方の面に形成されてなる配線基板を切断する切断セクションを含み、
前記配線基板の他方の面には、前記端子にオーバーラップし、かつ、前記第1の領域から前記第2の領域に一部がはみ出すように補強部材が設けられ、
前記切断セクションは、
前記配線基板における前記端子の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記端子を切断する第1の切断セクションと、
前記配線基板における前記補強部材の面側から打ち抜くことによって、前記第1の領域と前記第2の領域との境目に沿って、前記補強部材の内側から外側に連続的に切断する第2の切断セクションと、
を含む半導体装置の製造装置。 - 請求項13記載の半導体装置の製造装置において、
前記第1の切断セクションは、前記第1の領域を固定するためにプレスするダイと、前記第2の領域を打ち抜くパンチと、を含む半導体装置の製造装置。 - 請求項13又は請求項14記載の半導体装置の製造装置において、
前記第2の切断セクションは、前記第1の領域を固定するためにプレスするダイと、前記第2の領域を打ち抜くパンチと、を含む半導体装置の製造装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003385418A JP3829941B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
US10/985,667 US7323365B2 (en) | 2003-11-14 | 2004-11-11 | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
US11/998,357 US7582955B2 (en) | 2003-11-14 | 2007-11-29 | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003385418A JP3829941B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150374A true JP2005150374A (ja) | 2005-06-09 |
JP3829941B2 JP3829941B2 (ja) | 2006-10-04 |
Family
ID=34693488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003385418A Expired - Fee Related JP3829941B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7323365B2 (ja) |
JP (1) | JP3829941B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007207850A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Hitachi Cable Ltd | Tabテープキャリア及びその製造方法 |
US7282389B2 (en) * | 2003-11-14 | 2007-10-16 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
US7316939B2 (en) * | 2003-11-14 | 2008-01-08 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
US7348679B2 (en) | 2004-11-24 | 2008-03-25 | Seiko Epson Corporation | Electronic part having reinforcing member |
US7535108B2 (en) | 2004-11-18 | 2009-05-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic component including reinforcing member |
US7901528B2 (en) | 2006-09-19 | 2011-03-08 | Seiko Epson Corporation | Method for manufacturing wiring substrate having sheet |
JP2020088335A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 株式会社リコー | 回路基板、回路基板の製造方法、撮像装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3028286B2 (ja) | 1996-05-21 | 2000-04-04 | 日本航空電子工業株式会社 | Smdパレット一体型fpc及びその製造方法 |
WO2000048243A1 (fr) | 1999-02-09 | 2000-08-17 | Seiko Epson Corporation | Substrat de circuit imprime flexible, bande porte-puces, dispositif a semiconducteur sur bande, dispositif a semiconducteur, procede de fabrication de semiconducteur, substrat de circuit, et dispositif electronique |
JP3865594B2 (ja) | 2001-02-27 | 2007-01-10 | 三井金属鉱業株式会社 | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法、製造装置及び製造金型 |
-
2003
- 2003-11-14 JP JP2003385418A patent/JP3829941B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-11-11 US US10/985,667 patent/US7323365B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-11-29 US US11/998,357 patent/US7582955B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7282389B2 (en) * | 2003-11-14 | 2007-10-16 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
US7316939B2 (en) * | 2003-11-14 | 2008-01-08 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus |
US7535108B2 (en) | 2004-11-18 | 2009-05-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic component including reinforcing member |
US7348679B2 (en) | 2004-11-24 | 2008-03-25 | Seiko Epson Corporation | Electronic part having reinforcing member |
JP2007207850A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Hitachi Cable Ltd | Tabテープキャリア及びその製造方法 |
US7901528B2 (en) | 2006-09-19 | 2011-03-08 | Seiko Epson Corporation | Method for manufacturing wiring substrate having sheet |
JP2020088335A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 株式会社リコー | 回路基板、回路基板の製造方法、撮像装置 |
CN113170580A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-07-23 | 株式会社理光 | 电路基板,电路基板的制造方法以及成像装置 |
JP7247557B2 (ja) | 2018-11-30 | 2023-03-29 | 株式会社リコー | 回路基板、回路基板の製造方法、撮像装置 |
US11929569B2 (en) | 2018-11-30 | 2024-03-12 | Ricoh Company, Ltd. | Circuit board, method for producing circuit board, and imaging apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3829941B2 (ja) | 2006-10-04 |
US7582955B2 (en) | 2009-09-01 |
US20080090331A1 (en) | 2008-04-17 |
US7323365B2 (en) | 2008-01-29 |
US20050194693A1 (en) | 2005-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20080178723A1 (en) | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus | |
JP2001053108A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、並びに液晶モジュール及びその搭載方法 | |
JP3829940B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 | |
US7582955B2 (en) | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus | |
US7535108B2 (en) | Electronic component including reinforcing member | |
US7704793B2 (en) | Electronic part and method for manufacturing the same | |
JP4085281B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
WO2000048243A1 (fr) | Substrat de circuit imprime flexible, bande porte-puces, dispositif a semiconducteur sur bande, dispositif a semiconducteur, procede de fabrication de semiconducteur, substrat de circuit, et dispositif electronique | |
JP3724442B2 (ja) | 時計の製造方法 | |
JP2002261131A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法および電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置 | |
JP2002043374A (ja) | フィルムキャリア | |
JP3829800B2 (ja) | 半導体チップ搭載用フィルムキャリア及びその製造方法 | |
US7122124B2 (en) | Method of fabricating film carrier | |
JP2003145490A (ja) | 順送用打抜き金型及び順送用打抜き装置 | |
JPH11126964A (ja) | 異方導電性接着剤付き可撓性回路基板および製造方法 | |
JP2002026082A (ja) | 配線基板及びその製造方法、半導体装置、回路基板並びに電子機器 | |
JPS6359593A (ja) | 携帯可能媒体における実装方法 | |
JPS6358848A (ja) | フイルムキヤリア基板 | |
JP2005277111A (ja) | フレキシブル配線基板 | |
JPH077039A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2003037233A (ja) | 電子部品連およびリードフレーム | |
JPS63260058A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20050091971A (ko) | 이송용 홀 주위에 정렬키가 형성되어 있는 테이프 캐리어패키지의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051208 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060704 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100721 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110721 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110721 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120721 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120721 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130721 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |