JP2005129801A - 磁気記憶素子及び磁気メモリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層3が複数層の磁性層16,18から成り、記憶層3に対して、非磁性層15を介して磁化固定層2が配置され、記憶層3の端縁と磁化固定層2の端縁とが離れるように、記憶層2と磁化固定層3が異なる平面パターンに形成されている磁気記憶素子1を構成する。また、この磁気記憶素子1と、それぞれ交差する第1の配線5と第2の配線6とを有し、第1の配線5及び第2の配線6とが交差する交点付近に、それぞれ磁気記憶素子1が配置されて成る磁気メモリを構成する。
【選択図】 図1
Description
しかし、DRAMは電源を切ると情報が消えてしまう揮発性メモリであるため、情報が消えない不揮発のメモリが望まれている。
特に、不揮発性メモリは、機器の高機能化に必要不可欠な部品と考えられている。
例えば、電源の消耗やトラブル、サーバーとネットワークが何らかの障害により切断された場合でも、不揮発性メモリはシステムや個人の重要な情報を保護することができる。
また、最近の携帯機器は、不要の回路ブロックをスタンバイ状態にしてできるだけ消費電力を抑えるように設計されているが、高速のワークメモリと大容量ストレージメモリを兼ねることができる不揮発性メモリを実現することができれば、消費電力とメモリの無駄を無くすことができる。
さらに、高速の大容量不揮発性メモリが実現できれば、電源を入れると瞬時に起動できる“インスタント・オン”機能も可能になってくる。
しかしながら、フラッシュメモリは、書き込み速度がμ秒のオーダーと遅いため、高速なアクセスに向かないという欠点がある。
一方、FRAMにおいては、書き換え可能回数が1012〜1014と有限であるため、完全にSRAMやDRAMを置き換えるには耐久性が小さく、また強誘電体キャパシタの微細加工が難しいという問題が指摘されている。
しかし、これらの構成では、負荷のメモリセル抵抗が10〜100Ωと低いため、読み出し時のビット当たりの消費電力が大きく大容量化が難しいという欠点があった。
当初は、室温における抵抗変化率が1〜2%しかなかったが(非特許文献4参照)、近年では20%近くの抵抗変化率が得られるようになり(非特許文献5参照)、TMR効果を利用したMRAMに注目が集まるようになってきている。
アステロイド特性を利用した方法は、選択性が各記憶素子の保磁力特性に依存するために、素子の寸法や磁気特性のばらつきに弱いという欠点があった。
これに対して、スイッチング特性を利用した方法は、素子選択に使える磁界範囲が広いので、素子ごとの特性ばらつきが多少あっても、大規模なメモリを実現しやすい、という利点がある。
メモリセルに記録された情報を読み出すために、メモリセルを電気的に選択するためには、ダイオード又はMOSトランジスタ等を用いることができるが、図8に示す構成はMOSトランジスタを用いている。
第1の磁化固定層112及び第2の磁化固定層114は、非磁性層113を介して配置されていることにより、反強磁性結合している。さらに、第1の磁化固定層112は、反強磁性層111と接して配置されており、これらの層間に働く交換相互作用によって、強い一方向の磁気異方性を有する。そして、これら4層111,112,113,114により固定層102が構成される。
第1の記憶層116及び第2の記憶層118は、非磁性層117を介して配置されていることにより、反強磁性結合している。これら第1の記憶層116及び第2の記憶層118は、それぞれの磁化M1,M2の向きが比較的容易に回転するように構成される。そして、これら3層116,117,118により記憶層(自由層)103が構成される。
第2の磁化固定層114と第1の記憶層116との間、即ち固定層102と記憶層(自由層)103との間には、トンネル絶縁層115が形成されている。このトンネル絶縁層115は、上下の磁性層116及び114の磁気的結合を切るとともに、トンネル電流を流す役割を担う。これにより、磁性層の磁化の向きが固定された固定層102と、トンネル絶縁層115と、磁化の向きを変化させることが可能な記憶層(自由層)103とにより、TMR(Tunneling Magnetoresistance )素子が構成されている。
そして、上述の各層111〜118と、下地膜110及びトップコート膜119により、TMR素子から成る磁気記憶素子101が構成されている。
磁気記憶素子101のトップコート膜119は、その上のビット線(BL)106に接続されている。また、磁気記憶素子101の下方には絶縁膜を介して、書き込みワード線(WL)105が配置されている。
通常、第1の磁化固定層112と第2の磁化固定層114とは、飽和磁化膜厚積が等しい構成とされるため、磁極磁界の漏洩成分は無視できるくらい小さい。
磁気記憶素子101は、平面形状が楕円形状であり、楕円の長軸方向に磁化容易軸60があり、楕円の短軸方向に磁化困難軸61があり、これら磁化容易軸60と磁化困難軸61とが直交している。
また、ビット線106及びワード線105は、格子状に配置され、両者のなす角度αは一定(図9ではほぼ直交している)である。磁気記憶素子101は、その磁化容易軸60がワード線105に対して傾斜角度θ(0<θ<90°)を有するように、ワード線105及びビット線106の交点に配置されている。
そして、電流磁界Hb,Hwの印加によって、第1の記憶層116の磁化M1の向きを変えることにより、記憶層103に情報(例えば、情報”1”又は情報”0”)を記録することができる。
また、記録された情報の読み出しは、磁気抵抗効果によるトンネル電流の変化を検出して行うことができる。
第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2の合成磁化Mの大きさは、外部磁界の大きさによって顕著に変化する。
最初のしきい値はスピンフロッピング磁界Hsfである。外部磁界Hがこのスピンフロッピング磁界Hsf以下ならば、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2が、常に反平行状態(↑↓)を保つ。
外部磁界HがHsfを超えると、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2が、交差磁化状態をとって外部磁界Hに拮抗する。ただし、二つの磁化M1,M2がなす角度は180度以下である。この状態から外部磁界Hを取り去れば、最初の反平行状態に戻ることが多い。
次のしきい値は飽和磁界Hsatである。外部磁界Hが飽和磁界Hsatを超えると、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2は平行状態(↑↑)となる。一旦、飽和磁界Hsat以上の外部磁界Hを印加してしまうと、記憶層103は最初の反平行状態の記憶を忘却するので、外部磁界を取り去っても最初の磁化状態に戻るとは限らない。
外部磁界Hを印加することにより、図10に示したように、記憶層103の第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2の向きが変化するが、外部磁界Hを印加する前の状態と、外部磁界Hを取り去った後の状態との関係により、3種類の動作に大別することができる。
また、外部磁界Hの印加の前の状態と、外部磁界Hを取り去った後の状態とで、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2の向きが同じ向きになる(2つの磁化M1,M2の向きが入れ替わらない)動作がある。以下、このような動作を、No switching動作と呼ぶ。
さらにまた、外部磁界Hの印加の前の状態に係わらず、外部磁界Hを取り去った後の状態では、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2が、それぞれ決まった向きに変化する動作がある。この動作では、外部磁界Hを印加している間に、2層の磁化M1,M2が同じ向き(平行)になってしまい、外部磁界Hを印加する前の反平行状態の記憶が失われるため、外部磁界Hを除去した後の状態では、2層の磁化M1,M2が一方通行な磁化回転をして、ある決まった向きに変化する。以下、このような動作を、Direct動作と呼ぶ。
図11では、1ビットの記録を行うサイクルにおいて、時間原点を時刻T0として、時刻T1,T2,T3,T4と時刻が経過して、最後に定常状態に戻るまでの磁化M1,M2の向き及びTMR素子の電気抵抗Rの変化を示している。以下、他の動作の場合の図でも同様である。
このように電流パルスに時間差を設けることにより、各電流磁界Hw,Hbの合成磁界を回転磁界として、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2の向きを回転させることができる。
TMR素子の電気抵抗Rは、第1の記憶層116の磁化M1と第2の磁化固定層114の磁化M12の向きが等しい場合に、低抵抗(これを例えば情報”0”とする)となり、第1の記憶層116の磁化M1と第2の磁化固定層114の磁化M12の向きが反平行である場合に、高抵抗(これを例えば情報”1”とする)となる。
時刻T1から時刻T2までの間に、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2とがなす角度が180度以下になる。
時刻T2から時刻T3までの間には、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2とがなす角度が鋭角(90度以下)になる。
時刻T3以降で第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2とがスピンフロップし、時刻T4を過ぎて再び反平行状態に戻る。このとき、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2は、それぞれ初期状態に対して向きが逆転している。
この例では、ワード線電流Iwのパルスを図11とは逆の向きにしている。ビット線電流Ibのパルスは図11と同じである。
このように電流パルスに時間差を設けることにより、各電流磁界Hw,Hbの合成磁界を回転磁界として、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2の向きを回転させることができる。
時刻T1から時刻T2までの間に、第1の記憶層116の磁化M1と第2の記憶層118の磁化M2とがなす角度が180度以下になる。
この場合は、時刻T2から時刻T3までの間で、ワード線電流磁界Hw及びビット線電流磁界Hbにより形成される回転磁界の向きが、磁気記憶素子101の磁化容易軸の方向(正方向または負方向のいずれか)を向かないので、スピンフロッピングが起こらない。 その結果、時刻T4以降では、磁化状態は初期状態に対して変化しない。
図13に示す例では、電流パルスをいずれも図11と同じ向きにしている。一方、図14に示す例では、電流パルスをいずれも図11とは逆の向きにしている。
このように電流パルスに時間差を設けることにより、各電流磁界Hw,Hbの合成磁界を回転磁界として、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2の向きを回転させることができる。
時刻T1から時刻T2までの間に、スピンフロッピングが起こり、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2がなす角度は90度以下になる。
時刻T2から時刻T3までの間に、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2の向きが、ほぼ同じ向きに揃ってしまい、ワード線電流磁界Hw及びビット線電流磁界Hbにより形成される回転磁界の向きとほぼ等しくなる。
時刻T3以降では、第1の記憶層116の磁化M1及び第2の記憶層118の磁化M2が、スピンフロップして再び反平行状態に戻るが、その磁化状態は初期状態に依存しない。
一方、ビット線電流磁界Hb及びワード線電流磁界Hwの合成磁界が飽和磁界Hsatを超えたところは、Direct動作の領域82となることが多い。
そして、ビット線電流磁界Hb及びワード線電流磁界Hwの合成磁界がスピンフロッピング磁界Hsf以上飽和磁界Hsat未満であり、かつ、第一象限及び第三象限に属する範囲は、Toggle動作の領域80となることが期待できる。
一方、ワード線またはビット線を共有する選択されていないメモリセルが磁化反転するのを避けるには、非選択メモリセルへ印加される合成磁界が、No switching動作の領域81の範囲に含まれていることが必要である。
ところが、第1の反平行状態と第2の反平行状態の磁気的ポテンシャルエネルギーが等しくないと、どちらかの反平行状態に偏って安定してしまう場合が起こる。
この場合、異なる安定状態から出発しても一方の安定状態にのみ落ち着くような遷移、即ちDirect動作となるので、磁化回転モード図で観測するとToggle動作の領域が減少してDirect動作の領域が増加していくように見える。
素子サイズが大きいうちは磁気的ポテンシャルエネルギーの差はわずかであるが、素子サイズが微細化すると、磁化固定層からの磁極磁界の漏れ磁界が増大する傾向にある。そして、第1の記憶層116と第2の記憶層118とで、磁化固定層からの距離の違いから、この漏れ磁界の大きさがわずかに異なるため、磁気的ポテンシャルエネルギーが不均一となる結果を招くことになる。
しかしながら、記憶層116,118間の反強磁性結合が増大すると、必然的にスピンフロッピング磁界Hsfが増大し、磁化反転電流も増加することから、記録の際の消費電力が増加してしまう。
これにより、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
これにより、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
これにより、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
そして、特に、磁気記憶素子が、記憶層の端縁と磁化固定層の端縁とが離れるように、記憶層と磁化固定層が異なる平面パターンに形成されている構成となっていることにより、前述したように、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
そして、特に、磁気記憶素子が、少なくとも非磁性層と記憶層との界面、又は非磁性層と磁化固定層との界面に、凹凸を有する構成となっていることにより、前述したように、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
そして、特に、磁気記憶素子が、記憶層を挟んで、上下にそれぞれ非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置されている構成となっていることにより、前述したように、記憶層の各磁性層の磁気的ポテンシャルエネルギーを均一にすることが可能になる。
従って、磁気記憶素子の微細化を図った場合でも、高い歩留まりを得ることが可能になり、また書き込みエラーの低減を図って高い信頼性でビット情報の書き込み(記録)や読み出しを行うことができる。
これにより、磁気記憶素子の微細化により高密度化を図り、磁気メモリの記憶容量の増大や磁気メモリの小型化を図ることが可能になる。
本実施の形態においても、図8に示した従来の構成と同様に、メモリセルの読み出しのために選択用MOSトランジスタを用いている。
第1の磁化固定層12及び第2の磁化固定層14の2層の磁性層は、非磁性層13を介して配置されていることにより、反強磁性結合している。さらに、第1の磁化固定層12は、反強磁性層11と接して配置されており、これらの層間に働く交換相互作用によって、強い一方向の磁気異方性を有する。そして、これら4層11,12,13,14により固定層2が構成される。
第1の記憶層16及び第2の記憶層18の2層の磁性層は、非磁性層17を介して配置されていることにより、反強磁性結合している。これら第1の記憶層16及び第2の記憶層18は、それぞれの磁化M1,M2の向きが比較的容易に回転するように構成される。そして、これら3層16,17,18により記憶層(自由層)3が構成される。
第2の磁化固定層14と第1の記憶層16との間、即ち固定層2と記憶層(自由層)3との間には、トンネル絶縁層15が形成されている。このトンネル絶縁層15は、上下の磁性層16及び14の磁気的結合を切るとともに、トンネル電流を流す役割を担う。これにより、磁性層の磁化の向きが固定された固定層2と、トンネル絶縁層15と、磁化の向きを変化させることが可能な記憶層(自由層)3とにより、TMR(Tunneling Magnetoresistance )素子が構成されている。
反強磁性層11の下には、下地膜10が形成されている。この下地膜10は、上方に積層される層の結晶性を高める作用がある。
非磁性層13,17の材料としては、例えば、タンタル、クロム、ルテニウム等が使用できる。
反強磁性層11の材料としては、例えば、鉄、ニッケル、白金、イリジウム、ロジウム等のマンガン合金、コバルトやニッケル酸化物等が使用できる。
下地膜10には、例えば、クロム、タンタル等を使用できる。
トップコート膜19には、例えば、銅、タンタル、TiN等の材料が使用できる。
トンネル絶縁層15は、スパッタリングで形成された金属膜を酸化、もしくは窒化させることにより得ることができる。
磁気記憶素子1のトップコート膜19は、その上のビット線(BL)6に接続されている。また、磁気記憶素子1の下方には絶縁膜を介して、書き込みワード線(WL)5が配置されている。
また、固定層2と記憶層3の間にあるトンネル絶縁層15は、固定層2と同じパターンとなっている。
しかし、磁極磁界ベクトルは、平行磁界と異なり、距離に応じて大きさと向きが著しく変化するものである。
一般に、磁極磁界の大きさは、固定層2の端部では極めて大きいが、固定層2の端部からの距離の3乗に反比例して急速に減少することが知られている。
第1の磁化固定層12と第2の磁化固定層14の飽和磁化膜厚積が等しくとも、第1の記憶層16で観測すれば、第1の磁化固定層12から漏洩する磁極磁界よりも第2の磁化固定層14から漏洩する磁極磁界の方が大きい。このため、第1の記憶層16の磁化M1は、第2の磁化固定層14の磁化M12と反平行となる配置をとることによって、磁気エネルギー的に安定になろうとする。
従って、記憶層3の2つの安定状態、即ち第1の反平行状態(↑↓)と第2の反平行状態(↓↑)、のうち、第2の磁化固定層14の磁化M12と第1の記憶層16の磁化M1とが反平行である状態が、平行となる状態よりも磁気的ポテンシャルエネルギーが低くなる。この第1の反平行状態と第2の反平行状態でのエネルギー不均一は、Direct動作の領域の拡大となって現れる。
これにより、素子サイズを微細化したときにも、Toggle動作の領域が減少しないようにすることが可能になる。
磁気記憶素子1は、平面形状が楕円形状であり、固定層2が大きい楕円になっており、記憶層(自由層)3が小さい楕円になっている。
楕円の長軸方向に磁化容易軸60があり、楕円の短軸方向に磁化困難軸61があり、これら磁化容易軸60と磁化困難軸61とが直交している。
また、ビット線(BL)6及びワード線(WL)5は、格子状に配置され、両者のなす角度αは一定(図2ではほぼ直交している)である。磁気記憶素子1は、その磁化容易軸60がワード線5に対して傾斜角度θ(0<θ<90°)を有するように、ワード線5及びビット線6の交点に配置されている。
このように磁気メモリを構成した場合に、あるメモリセルの磁気記憶素子1の記憶層3に情報を記録するためには、多数あるワード線5及びビット線6から、記録を行うメモリセルに対応するそれぞれ1本のワード線5及びビット線6を選択し、ワード線5及びビット線6に電流を流して、記録を行うメモリセルの磁気記憶素子1に対して電流磁場Hw,Hbを印加する。これにより、そのメモリセルの磁気記憶素子1の記憶層3に回転磁界が印加され、その記憶層3において、第1の記憶層16の磁化M1及び第2の記憶層18の磁化M2の向きが反転(Toggle動作)して、情報の書き込み(記録)が行われる。
一方、情報の記録を行わないメモリセルでは、ワード線5或いはビット線6の少なくとも一方は選択されていないため、第1の記憶層16の磁化M1及び第2の記憶層18の磁化M2の向きが反転(Toggle動作)するに充分な回転磁界が印加されず、情報の書き込み(記録)が行われないことから、記憶層3に既に記録されている情報が保持される。
磁気記憶素子を、0.20μm(長軸方向)×0.10μm(短軸方向)として、図8に示したように記憶層と固定層を同じパターンにした場合と、本実施の形態のように固定層のパターンを記憶層のパターンよりも大きくした場合とで、素子の磁化回転モードの分布を比較した。
それぞれの磁化回転モードの分布を図3A及び図3Bに示す。図3Aは記憶層と固定層を同じパターンにした場合であり、図3Bは固定層のパターンを記憶層のパターンよりも大きくした場合である。
これに対して、図3Bに示す本実施の形態の構成では、Toggle動作の領域80が理論的に予測された本来の大きさまで回復していることがわかる。
このように固定層2から記憶層3への漏洩磁界の影響が減少するため、記憶層3を構成する第1の記憶層16及び第2の記憶層18の磁化M1,M2の各安定状態の磁気的ポテンシャルエネルギーを等しく揃えることができる。
これにより、素子サイズが微細化しても、Toggle動作の領域を安定に確保することが可能になる。
従って、素子サイズの微細化を図った場合でも、高い歩留まりを得ることが可能になり、また書き込みエラーの低減を図って高い信頼性でビット情報の書き込み(記録)や読み出しを行うことができる。
即ち、大きいパターンの記憶層の上に、トンネル絶縁層を介して、小さいパターンの固定層を形成してもよい。この場合も、図1に示した実施の形態と同様に、記憶層を構成する各記憶層(磁性層)の磁化の2つの安定状態の磁気的ポテンシャルエネルギーを等しく揃えることができる効果を得ることが可能である。
少なくとも、固定層の端縁が記憶層の端縁から離れるように、固定層の平面パターンと記憶層の平面パターンとが異なる構成とすれば、図1に示した実施の形態と同様の効果を得ることが可能である。
このNeel結合の作用は、前述した、磁極磁界の漏れ磁界によって、第2の磁化固定層14の磁化M12と第1の記憶層16の磁化M1とが反平行状態をとって安定になろうとする作用とは逆の作用である。
また、下地層10の組成を変更して、下地膜10から制御してもよい。
さらにまた、固定層2の反強磁性層11に用いられる反強磁性体の結晶性を低下させて、不均一なグレインが成長するように組成や温度条件を制御してもよい。
本実施の形態では、固定層2のパターンと、記憶層(自由層)3のパターンとが同一になっているため、図5に示すように、磁気記憶素子41の平面形状が図9の磁気記憶素子101と同様になっている。
その他の構成は、先の実施の形態と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
これにより、素子サイズが微細化しても、Toggle動作の領域を安定に確保することが可能になる。
従って、素子サイズの微細化を図った場合でも、高い歩留まりを得ることが可能になり、また書き込みエラーの低減を図って高い信頼性でビット情報の書き込み(記録)や読み出しを行うことができる。
上層の固定層4は、第3の磁化固定層20、非磁性層21、第4の磁化固定層22、並びに反強磁性層23が積層されて成る。第3の磁化固定層20の磁化M13と第4の磁化固定層22の磁化M14は互いに逆の向きになっている。また、固定層4の第3の磁化固定層20の磁化M13は、固定層2の第1の磁化固定層12の磁化M11の向きと同じになっている。
これにより、記憶層3を構成する第1の記憶層16及び第2の記憶層18において、磁化の各安定状態の磁気的ポテンシャルエネルギーを等しく揃えることができる。
その他の構成は、先の実施の形態と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
これにより、素子サイズが微細化しても、Toggle動作の領域を安定に確保することが可能になる。
従って、素子サイズの微細化を図った場合でも、高い歩留まりを得ることが可能になり、また書き込みエラーの低減を図って高い信頼性でビット情報の書き込み(記録)や読み出しを行うことができる。
なお、図7では、磁気記憶素子52以外の部分(電極や配線、選択用MOSトランジスタ)の図示を省略しているが、これらの部分は、先に示した各実施の形態と同様に構成することができる。
具体的には、第2の記憶層18上に非磁性層26及び第3の記憶層27が追加されており、記憶層(自由層)3を3層の磁性層16,18,27により構成している。また、記憶層(自由層)3と上層の固定層4との間がトンネル絶縁層25になっている。
|M2・t2−M1・t1−M3・t3|/|M1・t1+M2・t2+M3・t3|≦0.1 (1)
また、下層の固定層2において、飽和磁化M11で膜厚t11の第1の固定層12と、飽和磁化M12で膜厚t12の第2の固定層14とにおいて、下記の式(2)の関係を満たすように構成されることが望ましい。
|M11・t11−M12・t12|/|M11・t11+M12・t12|>0.1
(2)
また、上層の固定層4において、飽和磁化M13で膜厚t13の第3の固定層20と、飽和磁化M14で膜厚t14の第4の固定層22とにおいて、下記の式(3)の関係を満たすように構成されることが望ましい。
|M13・t13−M14・t14|/|M13・t13+M14・t14|>0.1
(3)
なお、トンネル絶縁層25の代わりに、記憶層(自由層)3と上層の固定層4との間に、非磁性導電層を設けてもよい。
従って、素子サイズの微細化を図った場合でも、高い歩留まりを得ることが可能になり、また書き込みエラーの低減を図って高い信頼性でビット情報の書き込み(記録)や読み出しを行うことができる。
これにより、記憶層(自由層)3の各磁性層16,18,27に、バランス良く対称にバイアス磁界を印加することができる。
GMR素子から成る磁気記憶素子を構成した場合に適用しても、同様に本発明の効果を得ることができる。
Claims (14)
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層に対して、非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置され、
前記記憶層の端縁と前記磁化固定層の端縁とが離れるように、前記記憶層と前記磁化固定層が異なる平面パターンに形成されている
ことを特徴とする磁気記憶素子。 - 前記非磁性層が、トンネル絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶素子。
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層に対して、非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置され、
少なくとも前記非磁性層と前記記憶層との界面、又は前記非磁性層と前記磁化固定層との界面に、凹凸を有する
ことを特徴とする磁気記憶素子。 - 前記非磁性層が、トンネル絶縁層であることを特徴とする請求項3に記載の磁気記憶素子。
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層を挟んで、上下にそれぞれ非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置されている
ことを特徴とする磁気記憶素子。 - 前記非磁性層のうち、少なくとも一方がトンネル絶縁層であることを特徴とする請求項5に記載の磁気記憶素子。
- 前記記憶層が、奇数層の前記磁性層から成ることを特徴とする請求項5に記載の磁気記憶素子。
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層に対して、非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置され、
前記記憶層の端縁と前記磁化固定層の端縁とが離れるように、前記記憶層と前記磁化固定層が異なる平面パターンに形成されている磁気記憶素子と、
互いに交差する第1の配線と第2の配線とを備え、
前記第1の配線と前記第2の配線とが交差する交点付近に、それぞれ前記磁気記憶素子が配置されて成る
ことを特徴とする磁気メモリ。 - 前記非磁性層が、トンネル絶縁層であることを特徴とする請求項8に記載の磁気メモリ。
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層に対して、非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置され、
前記非磁性層と前記記憶層との界面、又は前記非磁性層と前記磁化固定層との界面に、凹凸を有する磁気記憶素子と、
互いに交差する第1の配線と第2の配線とを備え、
前記第1の配線と前記第2の配線とが交差する交点付近に、それぞれ前記磁気記憶素子が配置されて成る
ことを特徴とする磁気メモリ。 - 前記非磁性層が、トンネル絶縁層であることを特徴とする請求項10に記載の磁気メモリ。
- 情報を磁性体の磁化状態によって保持する記憶層が、複数層の磁性層から成り、
前記記憶層を挟んで、上下にそれぞれ非磁性層を介して、磁化の向きが固定された磁化固定層が配置されている磁気記憶素子と、
互いに交差する第1の配線と第2の配線とを備え、
前記第1の配線と前記第2の配線とが交差する交点付近に、それぞれ前記磁気記憶素子が配置されて成る
ことを特徴とする磁気メモリ。 - 前記非磁性層のうち、少なくとも一方がトンネル絶縁層であることを特徴とする請求項12に記載の磁気メモリ。
- 前記記憶層が、奇数層の前記磁性層から成ることを特徴とする請求項12に記載の磁気メモリ。
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