JP2005125743A - 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 圧電材料層と駆動回路との間の配線構造を簡素化する。
【解決手段】 振動板２６に、圧電材料層２７に電界を印加するための駆動回路ＩＣと電極パターン３０とを設けたことによって、配線構造が簡素化される。これにより、圧電材料層の電極と駆動回路とを接続するためのＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材を省略できるため、部品費や、各部の接続工程にかかる費用等のコストを低減できる。また、振動板２６には、流路ユニット１３より延出した延出部２８が設けられ、この延出部２８に駆動回路ＩＣが実装されると共に、延出部２８が流路ユニット１３側に折り返されていることで、装置１０全体を平面視したときの面積を小さくすることができ、ひいてはプリンタ筺体の小型化を図ることができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法に関し、特に圧電材料を利用した液体移送装置及び液体移送装置の製造方法に関する。

インクジェットヘッド等の液体移送装置の一例として、複数の圧力室が形成された流路ユニットを備え、前記各圧力室の壁面の一部を構成する振動板を、この振動板に積層して設けた圧電材料層によって撓ませて、圧力室の液体を圧力室に連通したノズルから噴射させる構成としたものがある。圧電材料層には、電界を印加させるための電極が重ねて形成されており、各電極が、ＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材を介して、流路ユニットとは別個に設けられ圧電材料層の駆動信号を発生する機能を備えた駆動回路（ドライバＩＣ）に接続される（例えば特許文献１参照）。
特開平８−２５８２７４号公報

しかしながら、上記のように圧電材料層の電極と外部の駆動回路との間の配線にＦＰＣやＴＡＢといった部材を用いると、部品費がかさむ上、各部を接続する工程にも費用がかかって製造コストの高騰を招くことになる。また、ＦＰＣやＴＡＢの引き回しのためにスペースが必要なため、装置が大型化するという問題もあった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、圧電材料層と駆動回路との間の配線構造を簡素化することの可能な液体移送装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明に係る液体移送装置は、開孔に連通した圧力室が設けられた流路ユニットと、前記圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、この振動板に積層して設けられ電界が印加されたときに変形して前記振動板を撓ませることで前記圧力室内の液体を前記開孔から移送させる圧電材料層とを備えてなる液体移送装置において、前記振動板に、前記圧電材料層に電界を印加するための駆動回路と電極パターンとを設けたところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記振動板は、板状をなした前記流路ユニットより延出した延出部を備えており、この延出部に前記駆動回路が実装されるとともに、この延出部が前記流路ユニット側に折り返されているところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項２に記載のものにおいて、前記延出部は矩形状をなす前記流路ユニットの長辺から延出されているところに特徴を有する。

請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記振動板は導電性材料からなると共に、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に重ねて形成され、その圧電材料層に重ねて形成した前記電極パターンと前記振動板との間に電界を印加する構成とされているところに特徴を有する。

請求項５の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記振動板は導電性材料からなり、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に重ねて形成されると共に、その他の領域の一部に絶縁層が形成され、前記圧電材料層及び前記絶縁層の双方にわたって形成した前記電極パターンと前記振動板との間に電界を印加する構成とされているところに特徴を有する。

請求項６の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記振動板は絶縁性材料からなると共に、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に下層電極を前記振動板との間に挟むようにして形成され、その圧電材料層に重ねて形成した前記電極パターンと前記下層電極との間に電界を印加する構成とされているところに特徴を有する。

請求項７の発明は、請求項１から請求項６のいずれかに記載のものにおいて、前記圧電材料層はエアロゾルデポジション法により前記振動板上に形成されているところに特徴を有する。

請求項８の発明は、請求項１から請求項６のいずれかに記載のものにおいて、前記圧電材料層は、原料溶液の塗布及び加熱による圧電体膜形成工程によって前記振動板上に形成されているところに特徴を有する。

請求項９の発明は、請求項１から請求項６のいずれかに記載のものにおいて、前記圧電材料層は、原材料のグリーンシートを焼成したものを前記振動板上に接合する接合工程によって形成されているところに特徴を有する。

請求項１０の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記振動板は、板状をなした前記流路ユニットから延出した延出部を備えており、この延出部上には、前記駆動回路が実装されるとともに、その駆動回路の近傍に放熱部材が設けられているところに特徴を有する。

請求項１１の発明は、請求項１０に記載のものにおいて、前記振動板は金属材料からなるとともに、前記放熱部材は、前記振動板における前記駆動回路の実装面とは反対側の面に接合されているところに特徴を有する。

請求項１２の発明は、請求項１１に記載のものにおいて、前記振動板には、絶縁性を有するセラミック材料からなる絶縁層が重ねて形成され、さらにその絶縁層上に前記駆動回路が実装されているところに特徴を有する。

請求項１３の発明は、請求項１２に記載のものにおいて、前記絶縁層上には前記電極パターンが形成されると共に、前記圧電材料層は前記絶縁層上の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に前記電極パターンを前記絶縁層との間に挟むようにして形成され、その圧電材料層に重ねて形成された上層電極と前記電極パターンとの間に電界を印加する構成とされているところに特徴を有する。

請求項１４の発明は、請求項１１から請求項１３のいずれかに記載のものにおいて、前記放熱部材は、前記流路ユニットの少なくとも一部を構成する金属材料と同じ金属材料により形成されているところに特徴を有する。

請求項１５の発明は、請求項１４に記載のものにおいて、前記流路ユニットは流路を形成するための孔が形成された複数の金属板材を積層してなり、前記放熱部材は、前記流路ユニットを構成する金属板材と同じ金属板材を積層して形成されているところに特徴を有する。

請求項１６の発明は、請求項１０から請求項１５のいずれかに記載のものにおいて、前記放熱部材の表面には、複数の放熱用凹部が形成されているところに特徴を有する。

請求項１７の発明は、請求項１０から請求項１６のいずれかに記載のものにおいて、前記流路ユニット及び前記振動板を内部に収納するケーシングを更に備え、前記ケーシングは前記放熱部材を外部に露出させた状態で保持するところに特徴を有する。

請求項１８の発明は、開孔に連通した圧力室が設けられた流路ユニットと、前記流路ユニットに接合され前記圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、この振動板上に設けられ、電界が印加されたときに変形して前記振動板を撓ませることで前記圧力室内の液体を前記開孔から移送させる圧電材料層とを含む液体移送装置の製造方法であって、金属板材に穿設加工を施すことにより、枠体とこの枠体から取り出し可能な前記流路ユニットを形成するための流路ユニット形成プレートと放熱部材を形成するための放熱部材形成プレートとを含む加工板材を複数枚形成する工程と、前記加工板材を積層接合して、前記流路ユニットの少なくとも一部と前記放熱部材とを形成するとともに、前記振動板の一方の面に当該流路ユニットの少なくとも一部と当該放熱部材をそれぞれ接合する工程と、前記振動板の他方の面に絶縁層と電極パターンと前記圧電材料層を順次形成する工程と、前記振動板の他方の面に駆動回路を実装する工程と、前記流路プレートと前記放熱プレートを前記枠体から切り離す工程と、を備えたところに特徴を有する。

＜請求項１の発明＞
振動板に、圧電材料層に電界を印加するための駆動回路と電極パターンとを設けたことによって、配線構造が簡素化される。これにより、圧電材料層の電極と駆動回路とを接続するためのＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材を省略できるため、部品費や、各部の接続工程にかかる費用等のコストを低減できる。また、ＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材の引き回しスペースが要らないため、装置の小型化を図ることができる。

＜請求項２の発明＞
振動板には、流路ユニットより延出した延出部が設けられ、この延出部に駆動回路が実装されると共に、延出部が流路ユニット側に折り返されていることで、装置全体を平面視したときの面積を小さくすることができ、小型化を図ることができる。

＜請求項３の発明＞
延出部が矩形状の流路ユニットにおける幅の広い長辺側から延出していることにより、延出部上の駆動回路と流路ユニット上の圧電材料層との間に延びる各電極間のピッチを大きくとることができる。

＜請求項４の発明＞
振動板が導電性材料よりなり、この振動板と圧電材料層に重ねて形成した電極パターンとの間に電界を印加する構成としたことで、振動板が電極としての機能を兼ねる。

＜請求項５の発明＞
振動板が導電性材料よりなり、電極パターンが振動板上に設けた圧電材料層と絶縁層との双方にわたって形成されることで、電極パターンと振動板との間に挟まれる圧電材料層（強誘電体）の領域を小さくできるため、静電容量を低減することができる。

＜請求項６の発明＞
振動板が絶縁性材料からなるため、電極パターンと振動板との間で、特に絶縁構造を設ける必要がない。

＜請求項７の発明＞
圧電材料層をエアロゾルデポジション法によって振動板上に形成したことにより、圧電材料層を短時間で形成することができる。

＜請求項８の発明＞
圧電材料層を、原料溶液の塗布および加熱による圧電体膜形成工程（ゾルゲル法）によって振動板上に形成したことにより、圧電材料層を均一に形成することができる。

＜請求項９の発明＞
圧電材料層を、グリーンシートを焼成したものを振動板に接合する接合工程によって振動板上に形成したことにより、圧電材料層の形成工程によって振動板がダメージを受けるのを防止できる。

＜請求項１０の発明＞
延出部における駆動回路の近傍に放熱部材を設けたことにより、駆動回路から発生する熱を放熱部材から逃がすことができる。

＜請求項１１の発明＞
振動板が金属材料からなり、放熱部材が振動板における駆動回路の実装面とは反対側の面に接合されているため、駆動回路から発生する熱が振動板を介して放熱部材に効率良く伝わる。

＜請求項１２の発明＞
振動板にセラミック材料からなる絶縁層を重ねて形成し、その絶縁層上に駆動回路を実装したため、駆動回路から発生する熱が、伝熱性が良好な金属製の振動板と、同じく伝熱性が良好なセラミック材料の絶縁層とを伝って、放熱部材に効率よく伝わる。

＜請求項１３の発明＞
金属製の振動板上に絶縁性を有するセラミック材料よりなる絶縁層を設け、さらにその上層に圧電材料層や電界を印加するための電極パターン等を設けるようにしたので、電極パターンと振動板とが確実に絶縁される。

＜請求項１４の発明＞
放熱部材が流路ユニットと同じ金属材料により形成されているため、材料の共通化によりコストを削減することができる。

＜請求項１５の発明＞
流路ユニットが複数の金属板材を積層してなり、放熱部材は、その流路ユニットと同じ金属板材を同様に積層して形成されるため、流路ユニットの形成と放熱部材の形成とを同時に行うことができ、製造工程数を低減できる。

＜請求項１６の発明＞
放熱部材の外面に複数の放熱用凹部が形成されるため、放熱部材の表面積が増え、より効率よく放熱が行われる。

＜請求項１７の発明＞
放熱部材がケーシングの外面に露出した状態で保持されるため、放熱性が良好になる。

＜請求項１８の発明＞
振動板に対し、流路ユニット側の金属板材と放熱部材側の金属板材との接合を同時に行えるため製造工程数を減らすことができる。

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について図１から図４を参照して説明する。本実施形態の液体移送装置１０は、インクジェットプリンタ（図示せず）のインクジェットヘッドとして用いられるものであり、図１は、液体移送装置１０を圧力室１２の長手方向と平行に切断した断面図、図２は、その部分拡大断面図、図３は、液体移送装置１０を圧力室１２の配列方向と平行に切断した部分拡大断面図、図４は、液体移送装置１０を展開した状態の平面図である。

液体移送装置１０は、インク１１（本発明の「液体」に相当）が収容される複数の圧力室１２を備えた流路ユニット１３と、この流路ユニット１３上に圧力室１２を閉じるように接合されたアクチュエータプレート１４とを備えている。
流路ユニット１３は、矩形の平板状をなしており、ノズルプレート１６、マニホールドプレート１７、流路プレート１８及び圧力室プレート１９を順に積層するとともに、各プレート１６，１７，１８，１９を互いにエポキシ系の熱硬化性の接着剤にて接合した構成となっている。

圧力室プレート１９はステンレス等の金属材料にて形成され、その内部には複数の圧力室１２が整列して設けられている。圧力室１２は、それぞれ流路ユニット１３の短手方向（図１及び図２の左右方向）に細長い形状をなしており、かつ流路ユニット１３の長手方向（図１及び図２の紙面に直交方向）に千鳥状に多数個並んで配置されている。流路プレート１８は、同じくステンレス等の金属材料にて形成されており、それぞれ内部に圧力室１２の両端に連通したマニホールド流路２０とプレッシャ流路２１とが設けられている。マニホールドプレート１７は、やはりステンレス等の金属材料にて形成され、その内部にはインクタンク（図示せず）に連通するマニホールド２２と、プレッシャ流路２１に接続するノズル流路２３とが形成されている。更に、ノズルプレート１６は、ポリイミド系の合成樹脂材料にて形成され、インク１１を噴射するためのノズル２４（本発明の「開孔」に相当）がノズル流路２３に接続して形成されている。従って、ノズル２４は、流路ユニット１３の長手方向に沿って配列され、長手方向に沿ったノズル列が２列形成されている。このようにして、インクタンクに接続されたマニホールド２２から、マニホールド流路２０、圧力室１２、プレッシャ流路２１およびノズル流路２３を経てノズル２４へと至る流路が形成されている。

アクチュエータプレート１４は、圧力室１２の壁面の一部を構成する振動板２６と、この振動板２６における圧力室１２と反対側の面全体に積層された圧電材料層２７とから構成されている。振動板２６は、ステンレス等の導電性の金属材料にて矩形状に形成されており、その短辺（ノズル列と直交する辺）が流路ユニット１３の長辺（ノズル列に平行な辺）とほぼ同じ長さで、またその長辺が流路ユニット１３の短辺の倍程度の長さとなっている。そして、振動板２６の長さ方向の略半分が圧力室プレート１９の上面にエポキシ系の熱硬化性の接着剤によって接合され、振動板２６が流路ユニット１３の上面全体を覆う形態となっている。また、振動板２６の他方の略半分は、流路ユニット１３の一方の長辺から側方に延出した延出部２８となっている。なお、この振動板２６は、後述する駆動回路ＩＣのグランドに接続され、下部電極としても使用されるようになっている。

圧電材料層２７は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体の圧電セラミックス材料から形成されており、振動板２６の表面全体に均一な厚みで積層されている。なお、圧電材料層２７は、例えば、振動板２６上にエアロゾルデポジション（ＡＤ）法によって形成されてもよいし、あるいは、グリーンシートから層状に形成されたものを、導電性の接着剤によって振動板２６に接合してもよいし、更に、原料溶液の塗布および加熱による圧電体膜形成工程（ゾルゲル法）を用いて振動板２６上に形成してもよい。

また、振動板２６には、圧電材料層２７に電界を印加するための駆動回路ＩＣと、電極パターン３０とが設けられている。駆動回路ＩＣは、圧電材料層２７の駆動信号を発生する機能を備えた集積回路であって、矩形の平板状をなし、延出部２８の先端付近において圧電材料層２７上に半田付けによって固着されている。
電極パターン３０は、薄膜状の導体を圧電材料層２７上にプリント等によって所定形状に形成したもので、複数の上部電極３０Ａ及び接続部３０Ｂからなる。図４に示すように、上部電極３０Ａは、圧電材料層２７の表面における各圧力室１２に対応した位置に重ねて形成されており、圧力室１２の平面視形状を一回り小さくしたような細長い小判状をなしている。また、接続部３０Ｂは、各上部電極３０Ａの一端から延出部２８の先端側へ延びており、各接続部３０Ｂが流路ユニット１３の長手方向に一定ピッチで並んで形成されている。そして、各接続部３０Ｂの端部は、駆動回路ＩＣに半田付けによって接続されている。

また、延出部２８において、駆動回路ＩＣよりも先端側（電極パターン３０の反対側）には、複数の外部電極３１が形成されている。この外部電極３１は、薄膜状の導体を圧電材料層２７上にプリント等によって形成したもので、流路ユニット１３の長手方向に所定ピッチで並んで形成され、それぞれの端部が駆動回路ＩＣに半田付けにより接続されている。この外部電極３１の極数は、電極パターン３０の極数（圧力室１２の個数に等しい）に比べて少なくなっている（図示５本）。各外部電極３１は、ＦＰＣ等を介してプリンタの制御回路（図示せず）に接続される。

振動板２６上の圧電材料層２７にはその厚み方向に分極するように分極処理が施されており、駆動回路ＩＣによって上部電極３０Ａ（及び接続部３０Ｂ）の電位が下部電極である振動板２６より高い電位とされると、圧電材料層２７にその分極方向（厚み方向）に電界が印加される。そして、圧電材料層２７が厚み方向に膨らむとともに、面方向に収縮する。これにより、図３の左部に示すように、圧電材料層２７と振動板２６と（即ちアクチュエータプレート１４）が、圧力室１２側に凸となるように局所的に変形する（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１２の容積が低下して、インク１１の圧力が上昇し、ノズル２４からインク１１が噴射される。その後、上部電極３０Ａが下部電極である振動板２６と同じ電位に戻されると、圧電材料層２７と振動板２６とが元の形状になって圧力室１２の容積が元の容積に戻るので、インク１１をマニホールド２２より吸い込む。

振動板２６の延出部２８は、図１に示すように、流路ユニット１３寄りの曲げ部２８Ａを断面Ｕ字状に曲げることで、先端が流路ユニット１３側へ折り返され、これにより延出部２８先端に設けられた駆動回路ＩＣが流路ユニット１３の上方に重なるように配置されている。従って、この液体移送装置１０全体を平面視した（流路ユニット１３の板面に垂直方向から視た）ときの大きさ（面積）は、流路ユニット１３のみを平面視したときの大きさ（面積）と大きな差がなく、僅かに流路ユニット１３の長辺から張り出た曲げ部２８Ａの分大きいだけである。

次に、本実施形態の液体移送装置１０の製造方法について説明する。
はじめにアクチュエータプレート１４の圧電材料層２７をエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）で形成する場合を説明する。まず圧電材料、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の微粒子粉体をエアロゾルチェンバ内に充填して撹拌し、このエアロゾルチェンバ内に窒素ガス、ヘリウムガス等のキャリアガスを送り込むことで、微粒子粉体をガス中に浮遊させてエアロゾル化する。そして、このエアロゾルをノズルからステンレス等の振動板２６に向けて高速で噴射して、振動板２６の表面に堆積させ圧電材料膜を形成する。

次に、圧電材料層２７を圧電体膜形成工程（ゾルゲル法）で形成する場合を説明する。まず、圧電材料の金属アルコキシドを溶液系で加水分解・重縮合させる。この原料溶液としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の場合には、例えば酢酸鉛三水和物、ジルコニウムプロポキシド、チタンイソプロポキシドをメトキシエタノールに溶解させたものが用いられる。この溶液を、振動板２６上にスピンコートを用いて薄膜状に塗布し、乾燥・加熱する。この塗布・乾燥・加熱の工程を繰り返すことにより圧電材料層２７を所望の膜厚に形成する。

次に、圧電材料層２７を接合工程によって形成する場合を説明する。まず、アルミナ等の基板上に、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等のセラミック粉末をバインダ樹脂に混合分散させたスラリー溶液を塗布して、グリーンシートを形成する。そして、このグリーンシートを焼成した後、ダイサー等で分断する。続いて、こうして形成された圧電材料のシート片の表面に導電性の接着剤を塗布し、その接着剤塗布面に振動板２６を押し付ける。そして、振動板２６と基板とを引き離すと、振動板２６に接着したシート片が基板から剥離して振動板２６上に圧電材料層２７が形成される。
なお、以上には、圧電材料層をチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成する例を示したが、これに限られるものではなく、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ロッシェル塩等のあらゆる圧電材料が使用できる。

続いて、圧電材料層２７の上面に電極パターン３０を形成する。例えば、フォトリソグラフィ・エッチング法を利用して電極パターン３０を形成する場合には、まず圧電材料層２７上に導体膜を形成した後、その上面に感光性樹脂よりなるレジスト膜を形成する。そして、そのレジスト膜に対しパターンの描かれたフォトマスクを通して紫外線を照射し、レジスト膜にパターンを転写する。その露光処理の後，レジスト膜の可溶性となった部分を現像液で溶かす。このようにしてできたレジスト膜のパターンをエッチングマスクとして、導体膜の必要部分だけをエッチングし、圧電材料層２７上に目的のパターンを形成する。なお、電極パターン３０は、上記以外でも、例えば圧電材料層２７上に直接印刷して形成しても良く、あるいは圧電材料層２７上に導体膜を形成した後、レーザによって導体膜をパターン状に分割することにより形成しても良い。

上記のようにして電極パターン３０を形成した後、上部電極３０Ａ及び下部電極である振動板２６間に通常のインク噴射動作時よりも強い電界を印加して、両電極間の圧電材料層２７を厚み方向に分極させる。
続いて、振動板２６上に駆動回路ＩＣを固着する。駆動回路ＩＣは、例えばリフローにより、圧電材料層２７上の接続部３０Ｂ及び外部電極３１に半田付けし固着する。

一方、ノズルプレート１６、マニホールドプレート１７、流路プレート１８及び圧力室プレート１９を互いに位置合わせした状態で積層し接着する。このとき、各プレート１６，１７，１８，１９には、ノズル２４、圧力室１２、マニホールド２２等に相当する孔をエッチングにより予め設けておく。
そして、アクチュエータプレート１４の振動板２６を流路ユニット１３の圧力室プレート１９の上面に位置合わせした状態で重ねて接着する。
最後に、流路ユニット１３から延出した延出部２８を流路ユニット１３側に折り返して、延出部２８上の駆動回路ＩＣを流路ユニット１３の上方に配置する。以上により、液体移送装置１０が完成する。

以上のように、本実施形態によれば、振動板２６に、圧電材料層２７に電界を印加するための駆動回路ＩＣと電極パターン３０とを設けたことによって、配線構造が簡素化される。これにより、圧電材料層の電極と駆動回路とを接続するためのＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材を省略できるため、部品費や、各部の接続工程にかかる費用等のコストを低減できる。また、ＦＰＣやＴＡＢ等の配線部材の引き回しスペースが要らないため、装置１０の小型化を図ることができる。

また、振動板２６には、流路ユニット１３より延出した延出部２８が設けられ、この延出部２８に駆動回路ＩＣが実装されると共に、延出部２８が流路ユニット１３側に折り返されていることで、装置１０全体を平面視したときの面積を小さくすることができ、ひいてはプリンタ筺体（図示せず）の小型化を図ることができる。

また、延出部２８が矩形状の流路ユニット１３における幅の広い長辺側から延出していることにより、延出部２８上の駆動回路ＩＣと流路ユニット１３上の圧電材料層２７との間に延びる電極パターン３０の各接続部３０Ｂ間のピッチを大きくとることができる。

また、振動板２６が導電性材料よりなり、この振動板２６と圧電材料層２７に重ねて形成した電極パターン３０との間に電界を印加する構成としたことで、振動板２６が電極としての機能を兼ねる。特に、本実施形態では、圧電材料層２７が電極パターン３０と振動板２６とに挟まれた領域の全域に設けられていることから、圧電材料層２７が電極パターン３０と振動板２６との間の絶縁層を兼ねている。
なお、本実施形態では、圧電材料層２７が振動板２６の全面に形成されているが、例えば電極パターン３０と振動板２６とに挟まれる領域のみに設けても良い。少なくともこの領域に圧電材料層２７を形成すれば、電極パターン３０の接続部３０Ｂと振動板２６とが直接接触せず、これらのショートが防止される。

また、圧電材料層２７をエアロゾルデポジション法によって振動板２６上に形成したことにより、圧電材料層２７を短時間で形成することができる。

また、圧電材料層２７を、原料溶液の塗布および加熱による圧電体膜形成工程（ゾルゲル法）によって振動板２６上に形成したことにより、圧電材料層２７を均一に形成することができる。

また、圧電材料層２７を、グリーンシートを焼成したものを振動板に接合する接合工程によって振動板２６上に形成したことにより、圧電材料層の形成工程によって振動板２６がダメージを受けるのを防止できる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態を図５によって説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態と同様の構成には、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の液体移送装置４０においては、アクチュエータプレート４１の振動板２６の上面のうち、流路ユニット１３に対応した略半分の領域に圧電材料層４２が積層され、延出部２８に対応した略半分の領域には合成樹脂材等からなる絶縁層４３が積層して形成されている。また、電極パターン４４は、絶縁層４３の領域から圧電材料層４２の領域の双方にわたって形成されている。

本実施形態によれば、振動板２６が導電性材料よりなり、かつ電極パターン４４が振動板２６上に設けた圧電材料層４２と絶縁層４３との双方にわたって形成されることで、電極パターン４４と振動板２６との間に挟まれた圧電材料層４２（強誘電体）の領域を小さくできるため、静電容量を低減することができる。
なお、本実施形態において、圧電材料層４２は、少なくとも圧力室１２に対応する領域の一部に重ねて形成すれば良く、また絶縁層４３は、電極パターン４４が存在する領域のうち圧電材料層４２が存在しない領域に形成すれば良く、これにより、電極パターン４４の接続部と振動板２６とのショートが防止される。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態を図６によって説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態と同様の構成には、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の液体移送装置５０では、アクチュエータプレート５１の振動板５２がポリイミド系の合成樹脂等の絶縁性材料からなる。この振動板５２の上面には、少なくとも各圧力室１２に対応した領域の一部を占めるとともに連続した一つの層をなす下層電極５３が形成されている。この下層電極５３は、振動板５２上に形成された図示しない接続部を介して、延出部２８上の駆動回路ＩＣのグランドに接続されている。また、振動板５２の上面には、流路ユニット１３に対応した略半分程度の領域に、圧電材料層５４が下層電極５３を振動板５２との間に挟むようにして形成されている。さらに、その上層に電極パターン５５が形成されており、この電極パターン５５は、圧電材料層５４の表面における各圧力室１２に対応した位置に設けられた上部電極５５Ａと、各上部電極５５Ａから引き出されて振動板５２の延出部２８上に延びて駆動回路ＩＣに接続される接続部５５Ｂとから構成されている。
本実施形態によれば、振動板５２が絶縁性材料からなるため、電極パターン５５の接続部５５Ｂと振動板５２の延出部２８との間で、特に絶縁構造を設ける必要がない。
なお、本実施形態において、圧電材料層５４は、少なくとも圧力室１２に対応する領域の一部に重ねて形成すれば良いが、圧電材料層５４が圧力室１２に対応する領域にのみ形成される場合は、電極パターン５５の接続部５５Ｂと下層電極５３とのショートを防止するため、これらの間に絶縁層を形成する必要がある。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態を図７から図１５によって説明する。本実施形態の液体移送装置６０は、インクジェットプリンタ（図示せず）のインクジェットヘッドに用いられるものである。なお、以下の説明において、第１実施形態と概ね同様の構成には、同一の符号を付して説明を省略し、主として第１実施形態と異なるところについて説明する。

液体移送装置６０は、図７に示すように、ステンレス等の導電性の金属材料からなる長方形の振動板６２を備え、その振動板６２の一方の面（振動板６２の下面）に流路ユニット１３が接合されている。振動板６２は、流路ユニット１３の一方の長辺（ノズル２４列に平行な辺）から側方に延出する延出部６３を備えており、この延出部６３はその先端部が流路ユニット１３の上方に重なるようにＵ字状に折り曲げられている。また、振動板６２における流路ユニット１３の接合面と反対側の面（振動板６２の上面）には、全域にわたって絶縁層６４が積層して形成されている。この絶縁層６４は、例えばアルミナなど、絶縁性を有しかつ熱伝導性が高いセラミックス材料により形成されている。絶縁層６４の上面には、流路ユニット１３に対応した領域のほぼ全域にわたって圧電材料層６５が積層して形成されている。また、絶縁層６４の上面には、延出部６３の先端部に絶縁性の接着剤６６によって駆動回路ＩＣが固着されている。

また、絶縁層６４の上面には、電極パターン６７として、各圧力室１２に対応した位置に設けられた複数の下部個別電極６７Ａと、各下部個別電極６７Ａから延出部６３上に延びて駆動回路ＩＣに半田付けにより接続される複数の接続部６７Ｂとが形成されている。さらに、圧電材料層６５の上面には、ほぼ全域にわたって上部共通電極６８（本発明の「上層電極」に相当）が形成され、絶縁層６４の上面には、この上部共通電極６８から延出部６３上に延びて駆動回路ＩＣのグランドに半田付けにより接続される接続部（図示せず）が形成されている。また、延出部６３の先端には、絶縁層６４の上面に駆動回路ＩＣに接続された複数の外部電極６９が形成されており、この外部電極６９には駆動回路ＩＣとプリンタの制御回路（図示せず）とを接続するためのＦＰＣ７０（図８参照）が半田付けにより接続されるようになっている。

また、延出部６３の先端部には、駆動回路ＩＣの実装面とは反対側の面（即ち流路ユニット１３が接合された側の面）に、駆動回路ＩＣから発生する熱を逃がすための放熱部材７２が設けられている。この放熱部材７２は、駆動回路ＩＣよりも一回り大きな長方形状の金属板を振動板６２上に３枚重ねて接合した構成になっている。ここでは、放熱部材７２を構成するこれらの金属板を振動板６２側から順に、第１放熱板７３Ａ、第２放熱板７３Ｂ、第３放熱板７３Ｃという。この放熱部材７２は、流路ユニット１３の一部を構成する各プレート１９，１８，１７と同様の層構造をなしている。即ち、第１放熱板７３Ａは圧力室プレート１９と、第２放熱板７３Ｂは流路プレート１８と、第３放熱板７３Ｃはマニホールドプレート１７と、それぞれ同一の材質でかつ同一の厚さ寸法を有する金属板材によって形成されている（詳細は後述する）。また、放熱部材７２の最外面に位置する第３放熱板７３Ｃには、流路ユニット１３の長辺（ノズル２４列に平行な辺）方向に沿った溝状の放熱用凹部７４が複数形成されている。

また、図８に示すように、上記のように構成された液体移送装置６０はケーシング７５内に組み込まれている。ケーシング７５は、例えば合成樹脂製であって、互いに嵌合可能な外ケース７６と内ケース７７とからなる。外ケース７６は、上下に開口した箱形をなしており、その下端面に設けられた長方形の開口部７８の内側に流路ユニット１３が緊密に嵌合されることで、液体移送装置６０がノズルプレート１６をケーシング７５の外面に露出した状態で保持されている。内ケース７７は、全体として板状をなし、外ケース７６の上側の開口を覆うようにして外ケース７６の内側に嵌合されている。内ケース７７の内面には流路ユニット１３へ向けて突当部７９が突設され、その突当部７９の先端が上部共通電極６８の上面に突き当てられている。また、外ケース７６には開口部７８の周縁部に支持縁部８０が内側へ張り出して形成され、この支持縁部８０の上面にノズルプレート１６が当接している。流路ユニット１３は、このように突当部７９と支持縁部８０との間に緊密に挟まれることで上下方向に位置決めされている。また、外ケース７６と内ケース７７との間には、上下に貫通した挿通孔８１が設けられており、延出部６３の折り返し部分がここに挿通され、延出部６３の先端側が上方に引き出されている。内ケース７７の上面には、段差状に凹んだ装着凹部８２が設けられ、ここに延出部６３の先端部が、駆動回路ＩＣを装着凹部８２の底面に当接させ、放熱部材７２を外面に露出させた姿勢で接着剤８３によって固着されている。

次に本実施形態の液体移送装置６０の製造方法について図９から図１５を参照して説明する。
まず振動板６２の母材となる金属板にエッチングによる穿設加工を施して、図９に示す形状の板体８５を形成する。この板体８５は、長方形の振動板６２と、その振動板６２を囲うように配された長方形の枠体８５Ａとを複数の連結部８５Ｂを介して連結したものである。なお、振動板６２には、外部のインクタンク（図示せず）からマニホールド２２にインクを流入させるためのインク供給口８６が形成されている。

また、圧力室プレート１９の母材となる金属板に同じくエッチングによる穿設加工を施して、図１０に示す形状の板体８７を形成する。この板体８７は、圧力室プレート１９と、第１放熱板７３Ａと、長方形の枠体８７Ａとを複数の連結部８７Ｂ，８７Ｃにより一体に連結したものである。なお、圧力室プレート１９と第１放熱板７３Ａとは、枠体８７Ａに連結した状態において液体移送装置６０を振動板６２が真っ直ぐになるように展開させたときと同じ位置関係になるように配置されている。圧力室プレート１９には、千鳥状に並んだ複数の圧力室１２と、外部からマニホールド２２にインクを流入させるためのインク供給口８８とが形成されている。

また、流路プレート１８についても同様に、母材となる金属板にエッチングによる穿設加工を施して、図１１に示す形状の板体９０を形成する。この板体９０は、流路プレート１８と、第２放熱板７３Ｂと、長方形の枠体９０Ａとを複数の連結部９０Ｂ，９０Ｃにより一体に連結したものである。流路プレート１８と第２放熱板７３Ｂとは、液体移送装置６０を展開させたときと同じ位置関係になるように配置されている。また、流路プレート１８には、各圧力室１２に対応したマニホールド流路２０及びプレッシャ流路２１と、マニホールド２２に連通するインク供給口９１とが形成されている。

さらに、マニホールドプレート１７についても同様に、母材となる金属板にエッチングによる穿設加工を施して、図１２に示す形状の板体９２を形成する。この板体９２は、マニホールドプレート１７と、第３放熱板７３Ｃと、長方形の枠体９２Ａとを複数の連結部９２Ｂ，９２Ｃにより一体に連結したものである。マニホールドプレート１７と第３放熱板７３Ｃとは、液体移送装置６０を展開させたときと同じ位置関係になるように配置されている。マニホールドプレート１７には、インク供給口８６，８８，９１を介して外部のインクタンクに連通するマニホールド２２と、プレッシャ流路２１に接続するノズル流路２３とが形成されている。また、第３放熱板７３Ｃには、複数の放熱用凹部７４が形成されている。なお、以上説明した板体８７，９０，９２が本発明の「加工板材」に相当し、マニホールドプレート１７、流路プレート１８及び圧力室プレート１９が本発明の「両路ユニット形成プレート」に相当し、第１放熱板７３Ａ、第２放熱板７３Ｂ及び第３放熱板７３Ｃが本発明の「放熱部材形成プレート」に相当する。

ノズルプレート１６については、ポリイミド系の樹脂材料にエキシマレーザによる穿設加工を施して、図１３に示すように、各ノズル流路２３に対応する位置にノズル２４を形成する。

次に、上記のように形成された各板体８５，８７，９０，９２の互いの接合面にエポキシ系の熱硬化性の接着剤等を塗布した後、図１４（Ａ）に示すように、各板体８５，８７，９０，９２を互いに位置合わせした状態で順に重ね、治具９４Ａ，９４Ｂで上下から挟圧保持しつつ加熱することで、接着剤を硬化させる。この接合工程により、流路ユニット１３側における振動板６２、圧力室プレート１９、流路プレート１８、マニホールドプレート１７の積層接合と、放熱部材７２側における振動板６２、第１〜第３放熱板７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃの積層接合とが同時に行われる。これにより、流路ユニット１３の一部と放熱部材７２が形成されるとともに、これらが振動板６２の一方の面に接合される。

続いて、図１４（Ｂ）に示すように、振動板６２を含んだ板体８５の上面全域に、前述したエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）、ゾルゲル法、スパッタ法、ＣＶＤ法などの手段を用いて、アルミナ等の絶縁材料を積層して絶縁層６４を形成する。
そして、図１４（Ｃ）に示すように、絶縁層６４の上面に、前述したフォトリソグラフィ・エッチング法などの手段を用いて、電極パターン６７及び外部電極６９を形成する。

次に、図１５（Ａ）に示すように、絶縁層６４及び電極パターン６７の上面に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）、ゾルゲル法、スパッタ法、ＣＶＤ法、水熱合成法などの手段を用いて、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料を積層することで圧電材料層６５を形成する。
そして、圧電材料層６５及び絶縁層６４の上面に、前述したフォトリソグラフィ・エッチング法などの手段を用いて、上部共通電極６８とそれに連なる接続部とを形成する。

続いて、図１５（Ｂ）に示すように、マニホールドプレート１７の下面に熱硬化性の接着剤等によりノズルプレート１６を接合する。
そして、図１５（Ｃ）に示すように、延出部６３の先端において絶縁層６４上に絶縁性の接着剤６６により駆動回路ＩＣを固着するとともに、リフロー等により駆動回路ＩＣを電極パターン６７の各接続部６７Ｂ、上部共通電極６８の接続部及び外部電極６９と半田付けにより接続する。

最後に、図１５（Ｄ）に示すように、各板体８５，８７，９０，９２の連結部８５Ｂ，８７Ｂ，８７Ｃ，９０Ｂ，９０Ｃ，９２Ｂ，９２Ｃを除去して、各枠体８５Ａ，８７Ａ，９０Ａ，９２Ａを切り離す。これは例えば、切断線に対応するエッジを有する一対の型で各板材８５，８７，９０，９２を両面から挟み込み、剪断力を加えることで行われる。以上により、本実施形態の液体移送装置６０が完成する。

以上のように本実施形態によれば、延出部６３における駆動回路ＩＣの近傍に放熱部材７２を設けたことにより、駆動回路ＩＣから発生する熱を放熱部材７２から逃がすことができる。

また、金属材料からなる振動板６２にセラミック材料からなる絶縁層６４を重ねて形成し、その絶縁層６４上に駆動回路ＩＣを実装し、放熱部材７２が振動板６２における駆動回路ＩＣの実装面とは反対側の面に接合されているため、駆動回路ＩＣから発生する熱が、伝熱性が良好な金属製の振動板６２と、同じく伝熱性が良好なセラミック材料の絶縁層６４とを伝って、放熱部材７２に効率よく伝わる。

また、金属製の振動板６２上に絶縁性を有するセラミック材料よりなる絶縁層６４を設け、さらにその上層に圧電材料層６５や電界を印加するための電極パターン６７等を設けるようにしたので、電極パターン６７と振動板６２とが確実に絶縁される。

また、放熱部材７２が流路ユニット１３と同じ材料の金属板材（８７，９０，９２）により形成されているため、流路ユニット１３と放熱部材７２の材料を共通化することでコストを削減することができる。

また、流路ユニット１３が複数の金属板材を積層してなり、放熱部材７２は、その流路ユニット１３と同じ金属板材（８７，９０，９２）を同様に積層して形成されるため、流路ユニット１３の形成と放熱部材７２の形成とを同時に行うことができ、製造工程数を低減できる。

また、放熱部材７２の外面に複数の放熱用凹部７４が形成されるため、放熱部材７２の表面積が増え、より効率よく放熱が行われる。

また、放熱部材７２がケーシング７５の外面に露出した状態で保持されるため、放熱性が良好になる。

また、振動板６２に対し、流路ユニット１３側の金属板材と放熱部材７２側の金属板材との接合を同時に行えるため、製造工程数を減らすことができる。尚、本実施形態においては、上部共通電極６８を形成した後に、ノズルプレート１６をマニホールドプレート１７の下面に接合していたが、図１４（Ａ）に示す積層接合の際にノズルプレート１６をマニホールドプレート１７に接合しても良い。この場合、ノズルプレート１６は、母材が金属板でエッチングによりノズル２４が形成されたものであった方が良い。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態を図１６によって説明する。なお、以下の説明において、第１、第４実施形態と同様の構成には、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の液体移送装置６０Ａにおいては、延出部６３が略９０度に折り曲げられており、液体移送装置６０Ａはこの姿勢でインクジェットヘッドのケーシングに組み込まれる（図示せず）。これによっても装置全体を平面視したときの面積を小さくすることができ、小型化を図ることができる。また、放熱部材７２には、第４実施形態の放熱用凹部に相当する部位は設けられていない。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態を図１７によって説明する。なお、以下の説明において、第１、第４実施形態と同様の構成には、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の液体移送装置６０Ｂにおいては、放熱部材９５を構成する３枚の放熱板のうち、第２、第３放熱板７３Ｂ，７３Ｃは延出部６３の先端部のみに設けられているが、第１放熱板９６は延出部６３の全域にわたって設けられ、その一端が流路ユニット１３の圧力室プレート１９に連なっている。また、第１放熱板９６の外面（流路ユニット１３と第２放熱板７３Ｂとの中間領域）には、ノズル２４列に平行方向に沿った溝状の放熱用凹部９７が複数形成されている。これらの凹部９７は放熱効果を高めるだけでなく、延出部６３を安定した曲率で湾曲させる効果もある。このように、放熱部材や放熱用凹部の形状は適宜変更可能である。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１） 上記各実施形態では、液体移送装置がインクジェットヘッドとして用いられるものを示したが、本発明は、例えば圧電セラミックスを利用して液体を移送するマイクロポンプの製造方法等にも適用することができる。
（２） 本発明による液体移送装置は、圧力室に連なる開孔から、滴状、霧状等を含むあらゆる状態の液体を移送するものを含み、また、液体の移送形態は吐出、噴出、噴射等のあらゆる形態を含むものとする。

本発明の第１実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した部分拡大断面図 液体移送装置を圧力室の配列方向と平行に切断した部分拡大断面図 液体移送装置を展開した状態の平面図 第２実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 第３実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 第４実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 インクジェットヘッドを圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 振動板を構成する板体の平面図 圧力室プレート及び第１放熱板を構成する板体の平面図 流路プレート及び第２放熱板を構成する板体の平面図 マニホールドプレート及び第３放熱板を構成する板体の平面図 ノズルプレートの平面図 （Ａ）振動板に対し、流路ユニット側の金属板材と放熱部材側の金属板材とを同時に接合させる共通接合工程を示す断面図 （Ｂ）絶縁層を形成した状態を示す断面図 （Ｃ）電極パターン及び外部電極を形成した状態を示す断面図 （Ａ）圧電材料層を形成した状態を示す断面図 （Ｂ）ノズルプレートを接合した状態を示す断面図 （Ｃ）駆動回路を実装した状態を示す断面図 （Ｄ）板体の枠体を除去した状態を示す断面図 第５実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図 第６実施形態の液体移送装置を圧力室の長手方向に沿って切断した断面図

符号の説明

１０，４０，５０，６０，６０Ａ，６０Ｂ…液体移送装置
１１…インク（液体）
１２…圧力室
１３…流路ユニット
２４…ノズル（開孔）
２６，５２，６２…振動板
２７，４２，５４，６５…圧電材料層
２８，６３…延出部
３０，４４，５５，６７…電極パターン
４３，６４…絶縁層
５３…下層電極
６８…上部共通電極（上層電極）
７２，９５…放熱部材
７４，９７…放熱用凹部
７５…ケーシング
８７，９０，９２…板体（共通の金属板材）
ＩＣ…駆動回路

Claims (18)

1. 開孔に連通した圧力室が設けられた流路ユニットと、前記圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、この振動板に積層して設けられ電界が印加されたときに変形して前記振動板を撓ませることで前記圧力室内の液体を前記開孔から移送させる圧電材料層とを備えてなる液体移送装置において、前記振動板に、前記圧電材料層に電界を印加するための駆動回路と電極パターンとを設けたことを特徴とする液体移送装置。
2. 前記振動板は、板状をなした前記流路ユニットより延出した延出部を備えており、この延出部に前記駆動回路が実装されるとともに、この延出部が前記流路ユニット側に折り返されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
3. 前記延出部は矩形状をなす前記流路ユニットの長辺から延出されていることを特徴とする請求項２記載の液体移送装置。
4. 前記振動板は導電性材料からなると共に、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に重ねて形成され、その圧電材料層に重ねて形成した前記電極パターンと前記振動板との間に電界を印加する構成とされていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の液体移送装置。
5. 前記振動板は導電性材料からなり、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に重ねて形成されると共に、その他の領域の一部に絶縁層が形成され、前記圧電材料層及び前記絶縁層の双方にわたって形成した前記電極パターンと前記振動板との間に電界を印加する構成とされていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の液体移送装置。
6. 前記振動板は絶縁性材料からなると共に、前記圧電材料層は前記振動板の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に下層電極を前記振動板との間に挟むようにして形成され、その圧電材料層に重ねて形成した前記電極パターンと前記下層電極との間に電界を印加する構成とされていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の液体移送装置。
7. 前記圧電材料層はエアロゾルデポジション法により前記振動板上に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の液体移送装置。
8. 前記圧電材料層は、原料溶液の塗布及び加熱による圧電体膜形成工程によって前記振動板上に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の液体移送装置。
9. 前記圧電材料層は、原材料のグリーンシートを焼成したものを前記振動板上に接合する接合工程によって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の液体移送装置。
10. 前記振動板は、板状をなした前記流路ユニットから延出した延出部を備えており、この延出部上には、前記駆動回路が実装されるとともに、その駆動回路の近傍に放熱部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
11. 前記振動板は金属材料からなるとともに、前記放熱部材は、前記振動板における前記駆動回路の実装面とは反対側の面に接合されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体移送装置。
12. 前記振動板には、絶縁性を有するセラミック材料からなる絶縁層が重ねて形成され、さらにその絶縁層上に前記駆動回路が実装されていることを特徴とする請求項１１に記載の液体移送装置。
13. 前記絶縁層上には前記電極パターンが形成されると共に、前記圧電材料層は前記絶縁層上の少なくとも前記圧力室に対応する領域の一部に前記電極パターンを前記絶縁層との間に挟むようにして形成され、その圧電材料層に重ねて形成された上層電極と前記電極パターンとの間に電界を印加する構成とされていることを特徴とする請求項１２に記載の液体移送装置。
14. 前記放熱部材は、前記流路ユニットの少なくとも一部を構成する金属材料と同じ金属材料により形成されていることを特徴とする請求項１１から請求項１３のいずれかに記載の液体移送装置。
15. 前記流路ユニットは流路を形成するための孔が形成された複数の金属板材を積層してなり、前記放熱部材は、前記流路ユニットを構成する金属板材と同じ金属板材を積層して形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の液体移送装置。
16. 前記放熱部材の表面には、複数の放熱用凹部が形成されていることを特徴とする請求項１０から請求項１５のいずれかに記載の液体移送装置。
17. 前記流路ユニット及び前記振動板を内部に収納するケーシングを更に備え、前記ケーシングは前記放熱部材を外部に露出させた状態で保持することを特徴とする請求項１０から請求項１６のいずれかに記載の液体移送装置。
18. 開孔に連通した圧力室が設けられた流路ユニットと、
    前記流路ユニットに接合され前記圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
    この振動板上に設けられ、電界が印加されたときに変形して前記振動板を撓ませることで前記圧力室内の液体を前記開孔から移送させる圧電材料層とを含む液体移送装置の製造方法であって、
    金属板材に穿設加工を施すことにより、枠体とこの枠体から取り出し可能な前記流路ユニットを形成するための流路ユニット形成プレートと放熱部材を形成するための放熱部材形成プレートとを含む加工板材を複数枚形成する工程と、
    前記加工板材を積層接合して、前記流路ユニットの少なくとも一部と前記放熱部材とを形成するとともに、前記振動板の一方の面に当該流路ユニットの少なくとも一部と当該放熱部材をそれぞれ接合する工程と、
    前記振動板の他方の面に絶縁層と電極パターンと前記圧電材料層を順次形成する工程と、
    前記振動板の他方の面に駆動回路を実装する工程と、
    前記流路プレートと前記放熱プレートを前記枠体から切り離す工程と、
    を備えたことを特徴とする液体移送装置の製造方法。

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