JP2005119264A - 樹脂フィルム付き金属箔及び配線基板並びにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶ポリマー層1の主面に熱硬化性樹脂からなる被覆層3を形成した絶縁フィルム5と、金属箔7からなる配線導体7と、前記絶縁フィルム5に形成された貫通孔8に導電材を充填して形成され、スズ及びインジウムを含有していないビア9とを具備し、前記ビア9と前記配線導体7とが接続されてなる配線基板であって、前記配線導体7が金属層7aの少なくとも一方の主面にスズまたはインジウムから選ばれる少なくとも1種の金属を含む被覆金属層7bが形成された金属箔7からなり、前記配線導体7の前記被覆金属層7bが前記ビア9と接続されたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
3・・・被覆層
5・・・絶縁フィルム
7・・・金属箔、配線導体
7a・・・金属層
7b・・・被覆金属層
8・・・貫通孔
9・・・ビア
11・・・樹脂フィルム付き金属箔
13・・・樹脂フィルム
15・・・接着層
Claims (10)
- 金属層の少なくとも一方の主面にスズまたはインジウムから選ばれる少なくとも1種の金属を含む被覆金属層が形成された金属箔が、樹脂フィルムの主面に形成されてなることを特徴とする樹脂フィルム付き金属箔。
- 金属層が金、銀、銅のうちいずれかを主成分としてなることを特徴とする請求項1記載の樹脂フィルム付き金属箔。
- 金属層の厚みが1μm以上、被覆金属層の厚みが5〜100nm、被覆金属層の表面粗さがRa:0.5〜2μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂フィルム付き金属箔。
- 液晶ポリマー層の主面に熱硬化性樹脂からなる被覆層を形成した絶縁フィルムと、金属箔からなる配線導体と、前記絶縁フィルムに形成された貫通孔に導電材を充填して形成され、スズ及びインジウムを含有していないビアとを具備し、前記ビアと前記配線導体とが接続されてなる配線基板であって、前記配線導体が金属層の少なくとも一方の主面にスズまたはインジウムから選ばれる少なくとも1種の金属を含む被覆金属層が形成された金属箔からなり、前記配線導体の前記被覆金属層が前記ビアと接続されたことを特徴とする配線基板。
- 金属層が金、銀、銅のうちいずれかを主成分としてなることを特徴とする請求項4記載の配線基板。
- ビアが6〜15質量%の熱硬化性樹脂、2.5〜10質量%の銀および75〜91.5質量%の銅を含有してなる導電材で形成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の配線基板。
- 金属層の厚みが1μm以上、被覆金属層の厚みが5〜100nm、被覆金属層の表面粗さがRa:0.5〜2μmであることを特徴とする請求項4乃至6のうちいずれかに記載の配線基板。
- 被覆金属層が電解めっきにより形成されたことを特徴とする請求項4乃至7のうちいずれかに記載の配線基板。
- 被覆層の厚みをh1、配線導体の厚みをh2としたときに、1μm<h1−h2<10μmであることを特徴とする請求項4乃至8のうちいずれかに記載の配線基板。
- (a)液晶ポリマー層の上下面に熱硬化性樹脂からなる被覆層を形成した絶縁フィルムを形成する工程と、(b)前記絶縁フィルムの所定箇所にレーザ光を照射して貫通孔を形成する工程と、(c)(b)で形成した貫通孔にスズ及びインジウムを含有していない導電材を充填してビアを形成する工程と、(d)金属層の少なくとも一方の主面にスズまたはインジウムから選ばれる少なくとも1種の金属を含む被覆金属層が形成された金属箔をパターン加工し、配線導体を形成する工程と、(e)該ビアが形成された前記絶縁フィルム上に、(d)で形成した配線導体を転写して、絶縁フィルム上に導体配線層を形成する工程と、(f)(a)〜(e)工程を繰り返して形成した複数の絶縁フィルムを積層、硬化して多層化する工程とを具備することを特徴とする配線基板の製造方法。
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Cited By (10)
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---|---|---|---|---|
JP2009267351A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-11-12 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板、電子部品、及び多層セラミック基板の製造方法 |
JP2010153700A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板および電子部品 |
JP2010232596A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Murata Mfg Co Ltd | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
JP2011216841A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 多層プリント配線板及び多層金属張積層板 |
JP2013150013A (ja) * | 2006-06-30 | 2013-08-01 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2016225611A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクター |
JP2018078291A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板及びプリント回路基板の製造方法 |
WO2018216597A1 (ja) * | 2017-05-26 | 2018-11-29 | 株式会社村田製作所 | 多層配線基板、電子機器、及び、多層配線基板の製造方法 |
US10147533B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-12-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor |
KR20190015914A (ko) * | 2017-08-07 | 2019-02-15 | 한국생산기술연구원 | 액체 금속을 이용한 다층 기판 및 그 제조 방법 |
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013150013A (ja) * | 2006-06-30 | 2013-08-01 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2009267351A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-11-12 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板、電子部品、及び多層セラミック基板の製造方法 |
CN101692442A (zh) * | 2008-04-02 | 2010-04-07 | 日立金属株式会社 | 多层陶瓷衬底、电子部件以及多层陶瓷衬底的制造方法 |
JP2010153700A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板および電子部品 |
JP2010232596A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Murata Mfg Co Ltd | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
JP2011216841A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 多層プリント配線板及び多層金属張積層板 |
JP2016225611A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクター |
US10147533B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-12-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor |
JP2018078291A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板及びプリント回路基板の製造方法 |
JP7163549B2 (ja) | 2016-11-08 | 2022-11-01 | サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板及びプリント回路基板の製造方法 |
WO2018216597A1 (ja) * | 2017-05-26 | 2018-11-29 | 株式会社村田製作所 | 多層配線基板、電子機器、及び、多層配線基板の製造方法 |
JPWO2018216597A1 (ja) * | 2017-05-26 | 2020-02-06 | 株式会社村田製作所 | 多層配線基板、電子機器、及び、多層配線基板の製造方法 |
US11257779B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-02-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer wiring board, electronic device and method for producing multilayer wiring board |
KR20190015914A (ko) * | 2017-08-07 | 2019-02-15 | 한국생산기술연구원 | 액체 금속을 이용한 다층 기판 및 그 제조 방법 |
KR102012946B1 (ko) | 2017-08-07 | 2019-08-21 | 한국생산기술연구원 | 액체 금속을 이용한 다층 기판 및 그 제조 방법 |
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