JP2005109116A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体装置のヒューズの断面積を小さくし、したがって、ヒューズに接続される配線の断面乃至線幅を小さくすることができるようにする。
【解決手段】 半導体装置の絶縁体層18を縦に貫通する導電性材料32からなるヒューズの製造方法であって、絶縁体層18を縦に貫通する孔24を形成し、孔24の壁面に側壁26を形成し、側壁26が形成された孔24を導電性材料32で埋める。側壁26は、基板12側が最も薄く、基板12から遠ざかるにつれ次第に大きくなるものであるのが望ましい。側壁26は、孔24の内面上に形成され、窒化珪素で形成された第1層28と、第1層の内側に形成され、酸化珪素で形成された第2層30とで構成されるのが望ましい。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体装置の絶縁体層18を縦に貫通する導電性材料32からなるヒューズの製造方法であって、絶縁体層18を縦に貫通する孔24を形成し、孔24の壁面に側壁26を形成し、側壁26が形成された孔24を導電性材料32で埋める。側壁26は、基板12側が最も薄く、基板12から遠ざかるにつれ次第に大きくなるものであるのが望ましい。側壁26は、孔24の内面上に形成され、窒化珪素で形成された第1層28と、第1層の内側に形成され、酸化珪素で形成された第2層30とで構成されるのが望ましい。
【選択図】 図1
Description
本発明はヒューズを備えた半導体装置、及びその製造方法に関する。
半導体装置において、ヒューズは、メモリにおける冗長置換による欠陥救済や、抵抗回路における抵抗値の調整、即ちトリミングのために用いられる。従来のヒューズの一例が下記の特許文献1に示されている。
このヒューズは、基板の表面に垂直に配置されたものであり、絶縁体層を貫通し、基板表面の導電性経路に接続されている。このように縦型にすることにより、半導体チップ上でヒューズが占める面積が小さいという利点を有する。
このヒューズは、ヒューズ自体に流れる電流のジュール熱により溶断されるものであり、断面積を小さくするほど、ジュール熱が大きくなり、また溶断しやすくなる。また、ヒューズが小さいほど、半導体装置を小さくすることができる。これはヒューズの寸法を小さくできるのみならず、ヒューズに接続されてヒューズ切断用の電流を流す部分の寸法をヒューズに合わせて小さくできるからである。
特に半導体装置を構成する集積回路の大規模化に伴い、1チップに搭載されるヒューズの数は増加する傾向にあり、個々のヒューズの寸法がチップ全体の寸法に与える影響はますます大きくなっている。
しかるに、従来のヒューズには、その断面積が、微細加工技術で規定される最小寸法までしか小さくすることができないという問題があった。
本発明は、ヒューズの断面積を小さくし、したがって、ヒューズに接続される配線の断面を小さくすることができるようにすることを目的とする。
提供することを目的とする。
提供することを目的とする。
本発明の半導体装置は、
基板と、
その上に形成された第1の絶縁体層と、
その上に形成された第1の導電体層と、
その上に形成された第2の絶縁体層と、
その上に形成された第2の導電体層と、
前記第2の絶縁体層を縦に貫通する孔の側面に形成された側壁と、
前記側壁の内側の空間を埋める導電性材料で形成され、下端が前記第1の導電体層に接続され、上端が前記第2の導電体層に接続されたヒューズと
を有する。
基板と、
その上に形成された第1の絶縁体層と、
その上に形成された第1の導電体層と、
その上に形成された第2の絶縁体層と、
その上に形成された第2の導電体層と、
前記第2の絶縁体層を縦に貫通する孔の側面に形成された側壁と、
前記側壁の内側の空間を埋める導電性材料で形成され、下端が前記第1の導電体層に接続され、上端が前記第2の導電体層に接続されたヒューズと
を有する。
本発明の半導体装置の製造方法は、
絶縁体層を縦に貫通する導電性材料からなるヒューズを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁体層を縦に貫通する孔を形成する工程と、
前記孔の壁面に側壁を形成する工程と、
前記側壁が形成された孔を前記導電性材料で埋めることによりヒューズを形成する工程と
を含む。
絶縁体層を縦に貫通する導電性材料からなるヒューズを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁体層を縦に貫通する孔を形成する工程と、
前記孔の壁面に側壁を形成する工程と、
前記側壁が形成された孔を前記導電性材料で埋めることによりヒューズを形成する工程と
を含む。
本発明によれば、絶縁体層にあけた貫通孔の内側に側壁を形成し、その内側のみを導電体で埋めることによりヒューズを形成しているので、ヒューズの断面積を貫通孔の断面積よりも小さくすることができ、従って、貫通孔を作成する際の微細加工技術上の寸法限界以下の断面積を有するヒューズを作成することができる。従って、ヒューズのみならずそれに接続されて溶断電流を流す部分の断面乃至は線幅を小さくすることができ、ひいては、半導体装置全体の寸法を小さくすることができる。
図1に、本発明の一実施の形態の半導体装置10を示す。この半導体装置10は、半導体基板12と、その上に形成された第1の絶縁体層14と、その上に形成された第1の導電体層16と、その上に形成された第2の絶縁体層18と、その上に形成された第2の導電体層20と、その上に形成された第3の絶縁体層22とを含む。
半導体基板12は、例えばシリコン基板である。第1の絶縁体層14は、例えば酸化珪素で形成されている。
第1の導電体層16は、金属、例えばアルミニウムで形成されており、配線を構成する。第2の絶縁体層18は、例えば酸化珪素で形成されている。
第2の導電体層20は、金属、例えばアルミニウムで形成されており、配線を形成する。第3の絶縁体層22は、例えば酸化珪素で形成されている。
第2の絶縁体層18には、絶縁体層18を縦に即ち基板12の表面に垂直な方向に貫通する貫通孔24が形成され、貫通孔24の壁面には、側壁26が形成されている。
この側壁26は、貫通孔24の壁面上の形成された第1層28と、第1層28上(第1層28の内側)に形成された第2層30とからなる。
この側壁26は、貫通孔24の壁面上の形成された第1層28と、第1層28上(第1層28の内側)に形成された第2層30とからなる。
第1層28は、例えば窒化珪素で構成され、第2層30は例えば酸化珪素で構成されている。
側壁26の内側に形成された空間を埋めるように導電体32が形成されている。この導電体32は、ヒューズを構成するものであり、第1の導電体層14と第2の導電体層18とを互いに接続する。
以下に上記のヒューズ32を含む半導体装置の製造方法を説明する。
まず、図2に示すように、基板12の上に第1の絶縁体層14を形成し、次に第1の導電体層16を形成する。導電体層16は、例えば全面に金属層を形成したのち、パターニングすることにより形成することができる。次に、第2の絶縁体層18を形成する。
まず、図2に示すように、基板12の上に第1の絶縁体層14を形成し、次に第1の導電体層16を形成する。導電体層16は、例えば全面に金属層を形成したのち、パターニングすることにより形成することができる。次に、第2の絶縁体層18を形成する。
次に、図4に示すように、第2の絶縁体層18に貫通孔24を形成する。この貫通孔24は断面が例えば円形である。
貫通孔24の形成はフォトリソグラフィーにより行なわれる。即ち、例えば、図3に示すように、絶縁体層16の全面にレジスト膜34を形成し、これを選択的に露光し、レジスト膜34をパターニングすることにより、貫通孔24(図4)の形成予定領域に貫通孔36を有するレジストパターン34を得る。このレジストパターン34をマスクにして絶縁体層16をエッチングすることにより、貫通孔24を形成する。レジストパターン34の貫通孔36のサイズは、選択的露光の解像度による制約を受ける。
貫通孔24の形成はフォトリソグラフィーにより行なわれる。即ち、例えば、図3に示すように、絶縁体層16の全面にレジスト膜34を形成し、これを選択的に露光し、レジスト膜34をパターニングすることにより、貫通孔24(図4)の形成予定領域に貫通孔36を有するレジストパターン34を得る。このレジストパターン34をマスクにして絶縁体層16をエッチングすることにより、貫通孔24を形成する。レジストパターン34の貫通孔36のサイズは、選択的露光の解像度による制約を受ける。
次に、図5に示すように、レジストパターン34を除去し、貫通孔24に側壁26の第1層28を形成する。例えば、側壁26の第1層28の材料となる窒化珪素の膜を例えば、SiH2Cl2とNH4をガスとしたLP−CVD(減圧CVD)により基板の全面に形成したのち、異方性エッチングを行うことにより第1層28を形成する。
次に、図6に示すように、貫通孔24の側壁26の第1層28の内側に第2層30を形成する。例えば、第2層30の材料となる酸化珪素の膜を例えば、SiH4とN2OをガスとしたLP−CVDにより基板の全面に形成したのち、異方性エッチングを行うことにより第2層30を形成する。
第1層28及び第2層30を上記のように形成することにより、側壁26が形成され、その内側に縦方向に延びた空間38が形成される。
第1層28及び第2層30を上記のように形成することにより、側壁26が形成され、その内側に縦方向に延びた空間38が形成される。
第1層28及び第2層30はともに、その厚さが、貫通孔24の上端部分(基板10に最も遠い部分)で最も小さく、下側ほど(基板10に近づくほど)次第に大きくなる。従って、側壁26の全体の厚さも、貫通孔24の上端部分で最も小さく、下側ほど次第に大きくなる。
空間38は、横断面が貫通孔24と同じく略円形であり、横断面積が貫通孔24よりも小さい。空間38の横断面積は、側壁26の厚さの変化に伴い、貫通孔24の上端部分で最も大きく、下側ほど次第に小さくなる。
次に、図7に示すように、側壁26の内側に形成された空間を、導電体材料、例えばアルミニウムで埋めることによりヒューズとなる導電体28を形成する。導電体28は、その下端において第1の導電体層16と接続されている。
次に、図8に示すように、第2の導電体層20を形成する。第2の導電体層20は、その下面において導電体28と接続されている。
次に、図1に示すように、第3の絶縁体層32を形成する。
次に、図1に示すように、第3の絶縁体層32を形成する。
ヒューズとなる導電体28の形状は、空間38の形状と同じであり、その横断面積は、貫通孔24の横断面積よりも小さい。従って、露光の解像度などで限界付けられる貫通孔24の最小寸法よりも小さい断面積を有するヒューズを得ることができる。
上記の例のように、側壁26を2層で形成し、貫通孔24の側面に接する第1層28を窒化珪素膜で形成すると、溶断により導電体例えばアルミニウムが溶断したとき、その成分が拡散するが、これを窒化珪素膜で止めることができる。
なお、上記の実施の形態で、ヒューズ32となる導電体材料と、第2の導電体層20の材料が同じものである場合には、ヒューズ32となる導電体材料を貫通孔24内の空間に埋める工程と、第2の導電体層20を形成する工程は一つの連続した工程とすることすることができる。
一方、ヒューズ32となる導電体材料と、第2の導電体層20の材料が異なるものである場合には、ヒューズ32となる導電体材料を貫通孔24内の空間に埋める工程の後、化学的機械的研磨(CMP:chemical mechanical polishing)などにより表面を平らにし、かつ空間38からはみ出している余分のヒューズ材料を除去した後、第2の導電体層20を形成する。
上記の実施の形態では、側壁26が、貫通孔24の上端部分で最も薄く、下側ほど次第に厚くなっており、これに伴い、側壁26の内側に形成される空間38、従ってそこを埋めることにより形成されるヒューズ32の横断面積は、上端部が最も小さく、下側ほど小さくなるものであるが、逆に、図9に示すように、下側で薄く、上側で厚い側壁26を形成し、下側で大きく、上側が小さい横断面を有するヒューズ32を形成することとしても良い。例えば、下端部分(基板10に最も近い部分)で最も薄く、上側ほど(基板10から遠ざかるほど)厚くなる側壁26を形成し、下端部で最も大きく、上側ほど小さくなる横断面を有するヒューズ32を形成することとしても良い。このようにすれば、ヒューズの溶断が一層容易となる。
図9に示す側壁26の第2層30を構成する酸化珪素の膜は、SiH4とO2をガスとしたAP−CVD(常圧CVD)で形成することができる。
図9に示す側壁26の第2層30を構成する酸化珪素の膜は、SiH4とO2をガスとしたAP−CVD(常圧CVD)で形成することができる。
なお、上記の実施の形態では、ヒューズ32を構成する導電体がアルミニウムで形成されているが、アルミニウムを主成分とする合金でもよく、銅(Cu)、チタニウム(Ti)、タングステン(W)またはこれらを主成分とする合金でもよい。
12 基板、 14 第1の絶縁体層、 16 第1の導電体層、18 第2の絶縁体層、 20 第2の導電体層、22 第3の絶縁体層、 24 貫通孔、 26 側壁、 28 第1層、 30 第2層、 32 ヒューズ。
Claims (9)
- 基板と、
その上に形成された第1の絶縁体層と、
その上に形成された第1の導電体層と、
その上に形成された第2の絶縁体層と、
その上に形成された第2の導電体層と、
前記第2の絶縁体層を縦に貫通する孔の側面に形成された側壁と、
前記側壁の内側の空間を埋める導電性材料で形成され、下端が前記第1の導電体層に接続され、上端が前記第2の導電体層に接続されたヒューズと
を有する半導体装置。 - 前記ヒューズと前記第2の導電体層とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記側壁は、前記貫通孔の内面上に形成された第1の層と、第2層の内側に形成された第2の層とを含み、前記第1層が窒化珪素で形成され、前記第2層が酸化珪素で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記側壁はその厚さが、前記基板側が最も小さく、前記基板から遠ざかるにつれ次第に大きくなるものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 絶縁体層を縦に貫通する導電性材料からなるヒューズを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁体層を縦に貫通する孔を形成する工程と、
前記孔の壁面に側壁を形成する工程と、
前記側壁が形成された孔を前記導電性材料で埋めることによりヒューズを形成する工程と
を含む半導体装置の製造方法。 - 基板の上に第1の絶縁体層を形成する工程と、
その上に第1の導電体層を形成する工程と、
その上に第2の絶縁体層を形成する工程と、
前記第1の絶縁体層を縦に貫通する孔を形成する工程と、
前記孔の壁面に側壁を形成する工程と、
前記側壁が形成された孔を前記導電性材料で埋めることにより、下端が前記第1の導電体層に接続されたヒューズを形成する工程と、
前記第2の絶縁体層の上に、下面において前記ヒューズの上端と接続された第2の導電体層を形成する工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記ヒューズと前記第2の導電体層とが同じ材料で形成されることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記側壁は、前記貫通孔の内面上に形成された第1の層と、第2層の内側に形成された第2の層とを含み、前記第1層が窒化珪素で形成され、前記第2層が酸化珪素で形成されることを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記側壁はその厚さが、前記基板側が最も小さく、前記基板から遠ざかるにつれ次第に大きくなるものであることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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