JP2005101485A - 静電気放電保護素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第2のPウエル20a内には、グラウンドコンタクトとなるラッチアップ防止用P+層22が形成され、Nウエル21内には、ウエルコンタクトのN+層23と、トリガ電流供給用のN+層24と、サイリスタのアノードとなるP+層25とが形成され、第1のPウエル20b内には、サイリスタのカソードとなるN+層27と、NMOSトランジスタのソース28及びドレイン29が形成されている。NMOSトランジスタ40のドレインはトリガ電流供給用N+層24に接続されており、ソースはグランド線Vssに接続されている。カソード及びP+層22はグランドに接続されている。
【選択図】 図1
Description
2、21、21a、21b、62:Nウエル
3、3a、3b、20a、20b:Pウエル
4、7、10:P+領域
5、5a、5b、9:N+領域
11:横型NPNバイポーラ素子
12:縦型PNPバイポーラ素子
22:P+層(ラッチアップ防止用ガードリング)
23、23a、23b:N+層(Nウエル電位固定用電極)
24:N+層(トリガ電流供給用)
25、64:P+層(アノード)
26、26a、26b:P+層(トリガ電流供給用)
27、27a、27b、65:N+層(カソード)
28:ソース
29:ドレイン
8、30、68:ゲート電極
31:P+層(Pウエル電位固定用電極)
32、63:N+層(コンタクト形成用)
33、40:NMOSトランジスタ
35:コンタクト
36:アノード−Nウエルエッジ間距離
37:トリガ層幅
38:メタル
41:直列接続したダイオード
42;ダイオード用P+層
43;ダイオード用N+層
51:パッド
52、53:抵抗素子
60:シリサイド
61:シリサイド未形成領域
66:P+層(基板コンタクト)
67:STI(浅溝埋め込み分離)
Claims (35)
- 第1導電型基板又は第1導電型層の表面に形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域、第2高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第3高濃度第2導電型領域と、を有し、前記第1高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第3高濃度第2導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域は前記第1電源とは異なる電位に設定されることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第2導電型領域に電流を流すことにより、前記第1導電型基板又は前記第1導電型層、前記第2導電型ウエル及び前記第1高濃度第1導電型領域により構成されるバイポーラ素子に電流が流れることを特徴とする請求項1に記載の静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に相互に隣接して形成された第2導電型ウエル及び第1の第1導電型ウエルと、前記第1導電型基板又は第1導電型層の表面に形成された第2の第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域、第2高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域と、前記第1の第1導電型ウエルの表面に形成された第3高濃度第2導電型領域と、前記第2の第1導電型ウエルの表面に形成された第2高濃度第1導電型領域とを有し、前記第1高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第3高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第1導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域はトリガ電流供給用回路に接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記トリガ電流供給回路は、前記第2高濃度第2導電型領域と前記第2の電源との間に接続されたMOSトランジスタを有することを特徴とする請求項3に記載の静電気放電保護素子。
- 前記トリガ電流供給回路は、前記第2高濃度第2導電型領域と前記第2の電源との間に接続されたダイオードを有することを特徴とする請求項3に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域とは隣接していることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度第2導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域とは隣接していることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第2導電型領域は、夫々複数個の分割領域からなり、前記第1高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第2導電型領域の各分割領域は、前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に交互に配置されており、各分割領域間に前記第1高濃度第1導電型領域が延出していることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域は2分割されて前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、前記第2高濃度第2導電型領域は前記第1高濃度第2導電型領域の分割領域間に配置され、前記第1高濃度第2導電型領域の分割領域と前記第2高濃度第2導電型領域間の前記第1高濃度第1導電型領域が延出していることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第3高濃度第2導電型領域は2分割されて前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、前記第2導電型ウエルが前記第3高濃度第2導電型領域の分割領域間に延出しており、前記第2高濃度第2導電型領域はこの第2導電型ウエルの延出領域に配置されていることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域及び前記第3高濃度第2導電型領域は夫々2分割されて前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、前記第2導電型ウエルが前記第3高濃度第2導電型領域の分割領域間に延出しており、前記第2高濃度第2導電型領域はこの第2導電型ウエルの延出領域に配置されていると共に、前記第1高濃度第1導電型領域は前記第1高濃度第2導電型領域の分割領域間に延出していることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域は2分割されて前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、前記第1高濃度第1導電型領域は前記第1高濃度第2導電型領域の分割方向の中央部の前記第3高濃度第2導電型領域寄りの部分が切りかかれており、前記第2高濃度第2導電型領域がこの切欠部に配置されていることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層の表面に形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域、第2高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第3高濃度第2導電型領域及び第3高濃度第1導電型領域と、を有し、前記第1高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第3高濃度第2導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域と前記第3高濃度第1導電型領域とはダイオードを介して接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に相互に隣接して形成された第2導電型ウエル及び第1の第1導電型ウエルと、前記第1導電型基板又は第1導電型層の表面に形成された第2の第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域、第2高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域と、前記第1の第1導電型ウエルの表面に形成された第3高濃度第2導電型領域及び第3高濃度第1導電型領域と、前記第2の第1導電型ウエルの表面に形成された第2高濃度第1導電型領域とを有し、前記第1高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第3高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第1導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域と前記第3高濃度第1導電型領域とはダイオードを介して接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第3高濃度第2導電型領域は2分割されて前記第2高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、前記第2導電型ウエルが前記第3高濃度第2導電型領域の分割領域間に延出しており、前記第2高濃度第2導電型領域はこの第2導電型ウエルの延出領域に配置されていると共に、前記第3高濃度第1導電型領域は2分割されて前記第1高濃度第1導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域との対向領域の外側に配置されていることを特徴とする請求項14に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第2導電型ウエルは前記第3高濃度第1導電型領域の分割領域と前記第2高濃度第2導電型領域との対向領域の背後まで延出していることを特徴とする請求項15に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度第2導電型領域と前記第3高濃度第2導電型領域とは隣接していることを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 前記前記第2高濃度第2導電型領域の幅は、設計ルールで許容される範囲内でコンタクトを形成することができる最小の幅であることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- P型基板又はP型層と、このP型基板又はP型層の表面に形成されたNウエルと、前記Nウエルの表面に形成された第1高濃度N型領域、第2高濃度N型領域及び第1高濃度P型領域と、前記P型基板又はP型層の表面に形成された第3高濃度N型領域、第2高濃度P型領域及び第3高濃度P型領域と、前記第1高濃度P型領域と前記第2高濃度N型領域との間に接続された第1抵抗素子と、前記第2高濃度P型領域と前記第3高濃度P型領域との間に接続された第2抵抗素子と、を有し、前記第1高濃度N型領域及び第1高濃度P型領域は第1電源に接続され、前記第3高濃度N型領域及び前記第2高濃度P型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度N型領域はトリガ電流供給用回路に接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度N型領域と前記第3高濃度N型領域とは隣接していることを特徴とする請求項19に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度N型領域の幅は、設計ルールで許容される範囲内でコンタクトを形成することができる最小の幅であることを特徴とする請求項19又は20に記載の静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に相互に隣接して形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域、第1高濃度第1導電型領域及び第2高濃度第1導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第2高濃度第2導電型領域及び第3高濃度第1導電型領域とを有し、前記第1高濃度第2導電型領域及び第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域及び前記第3高濃度第1導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第2高濃度第1導電型領域はトリガ電流供給用回路に接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度第1導電型領域と前記第2高濃度第2導電型領域とは隣接していることを特徴とする請求項22に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域及び前記第1高濃度第1導電型領域は、夫々複数個に分割されて前記第1高濃度第2導電型領域と前記第1高濃度第1導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、各分割領域間に前記第2高濃度第1導電型領域が延出していることを特徴とする請求項22又は23に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第2高濃度第1導電型領域は、前記分割領域間に延出している部分は設計ルールで許容される範囲内でコンタクトを形成することができる最小の幅であり、前記分割領域間に延出している部分以外の部分は前記最小の幅未満であることを特徴とする請求項24に記載の静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に相互に隣接して形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第1導電型領域及び第1高濃度第2導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第2高濃度第2導電型領域及び第2高濃度第1導電型領域とを有し、第1高濃度第1導電型領域は第1電源に接続され、前記第2高濃度第2導電型領域及び前記第2高濃度第1導電型領域は前記第1の電源とは異なる電位の第2の電源に接続され、前記第1高濃度第2導電型領域はトリガ電流供給用回路に接続されていることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域と前記第2高濃度第2導電型領域とは隣接していることを特徴とする請求項26に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第2導電型領域は、設計ルールで許容される範囲内でコンタクトを形成することができる最小の幅であることを特徴とする請求項26又は27に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第1導電型領域は、夫々複数個に分割されて前記第2高濃度第2導電型領域と前記第2高濃度第1導電型領域との対向方向に直交する方向に離れて配置されており、各分割領域間に前記第1高濃度第2導電型領域が延出していることを特徴とする請求項26又は27に記載の静電気放電保護素子。
- 前記第1高濃度第1導電型領域は、前記分割領域間に延出している部分は設計ルールで許容される範囲内でコンタクトを形成することができる最小の幅であり、前記分割領域間に延出している部分以外の部分は前記最小の幅未満であることを特徴とする請求項29に記載の静電気放電保護素子。
- 隣接する高濃度領域の間にはシリサイドが形成されていない領域が設けられていることを特徴とする請求項1乃至30のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 隣接する高濃度領域の間にはゲート電極が設けられていることを特徴とする請求項1乃至30のいずれか1項に記載の静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に相互に隣接して形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1高濃度第2導電型領域及び高濃度第1導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第2高濃度第2導電型領域と、を有し、前記第2導電型ウエル及び前記第1導電型ウエルはトリガ電流供給用回路に接続されており、前記第1導電型基板又は前記第1導電型層、前記第2導電型ウエル及び前記高濃度第1導電型領域により構成されるバイポーラ素子と、前記第1高濃度第2導電型領域、前記高濃度第1導電型領域及び前記第2高濃度第2導電型領域により構成されるバイポーラ素子の各ウエルに同時に電流が流れることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 第1導電型基板又は第1導電型層と、この第1導電型基板又は第1導電型層の表面に形成された第2導電型ウエル及び第1導電型ウエルと、前記第2導電型ウエルの表面に形成された第1の電極と、前記第2導電型ウエルの表面に形成され前記第1の電極と同じ電位が印加される第1高濃度第2導電型領域と、前記第2導電型ウエルの表面に形成されトリガ素子に接続されている第2高濃度第2導電型領域と、前記第1導電型ウエルの表面に形成された第2の電極と、前記第1導電型ウエルの表面に形成され前記第1の電極と同じ電位が印加される第1高濃度第1導電型領域と、を有し、前記第2導電型ウエル中にトリガ電流が流れることを特徴とする静電気放電保護素子。
- 前記第1導電型ウエルの表面には第2高濃度第1導電型領域が設けられており、この第2高濃度第1導電型領域はトリガ素子に接続されていることを特徴とする請求項34に記載の静電気放電保護素子。
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