JP2005072579A - 光検出器を備える半導体光増幅器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1導電型の半導体基板201と、半導体基板の上に形成された水平方向レージング構造を有する半導体光増幅器と、半導体光増幅器の入力信号及び出力信号の強度を測定するために、半導体光増幅器の入力側及び出力側から水平方向に離隔して半導体基板の上にそれぞれ形成された第1及び第2の光検出器220−1,220−2と、を備える。
【選択図】 図2
Description
201,301 半導体基板
202,312 ブラッグ格子層
203,303 n-InP下部クラッド層
204,310 光導波路層
205 n-InP上部クラッド層
206,302 利得層
207 p-InPクラッド層
208,309 電流遮断層
209,315 電極
220−1,220−2 光検出器
220−1 第1の光検出器
220−2 第2の光検出器
210,320 位相変換領域
211,316 位相変換用電極
320 利得層形成領域(利得層領域)
340 光検出器領域
317 光検出器用電極
319 絶縁層
Claims (20)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された水平方向レージング構造を有する半導体光増幅器と、
前記半導体光増幅器の入力信号及び出力信号の強度を測定するために、前記半導体光増幅器の入力側及び出力側から水平方向に離隔して前記半導体基板の上にそれぞれ形成された第1及び第2の光検出器と、
を備えることを特徴とする光検出器を備える半導体光増幅器。 - 前記半導体光増幅器は、リッジ導波路型(ridge waveguide-type)である請求項1記載の半導体光増幅器。
- p−InP層及びn−InP層を構成する電流遮断層をさらに備える請求項2記載の半導体光増幅器。
- 前記半導体光増幅器は、
所定の利得層領域以外の前記半導体基板の上に選択的に形成されたブラッグ格子(Bragg lattice)と、
前記ブラッグ格子を囲むように前記半導体基板の上面に形成された第1導電型の下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の上に形成された光導波路層と、
前記光導波路層の上に形成された第1導電型の上部クラッド層と、
光信号を増幅するために所定の利得層領域に該当する前記第1導電型の上部クラッド層の上に形成された利得層と、
前記利得層に電流を供給する第1電極と、
前記利得層以外の領域への電流の流れを遮断する電流遮断層と、
備える請求項2記載の半導体光増幅器。 - 前記第1及び第2の光検出器は、
前記半導体光増幅器の入力側及び出力側と水平方向に離隔して前記第1導電型の上部クラッド層の上にそれぞれ形成される請求項4記載の半導体光増幅器。 - 前記第1及び第2の光検出器は、
前記利得層構成物質層からなる活性層と、
前記活性層の上に形成された第2導電型のクラッド層と、
前記第2導電型のクラッド層の上に形成された第2電極と、を備える請求項2記載の半導体光増幅器。 - 前記第1及び第2の光検出器は、
前記利得層構成物質層からなる活性層と、
前記活性層の上に形成された第2導電型のクラッド層と、
前記第2導電型のクラッド層の上に形成された第2電極と、を備える請求項5記載の半導体光増幅器。 - 前記光導波路層は、前記ブラッグ格子の上または下に形成される請求項7記載の半導体光増幅器。
- 前記ブラッグ格子の間に形成された位相変換領域をさらに備える請求項4記載の半導体光増幅器。
- 前記位相変換領域に電流を供給する位相変換用電極をさらに備える請求項9記載の半導体光増幅器。
- 前記位相変換用電極は、前記位相変換領域に該当する電流遮断層の上に形成される請求項10記載の半導体光増幅器。
- 前記半導体光増幅器は、
埋め込みヘテロ構造(buried hetero-structure)を有する半導体光増幅器を備える請求項1記載の半導体光増幅器。 - 前記半導体光増幅器は、
電流遮断層をさらに備える請求項12記載の半導体光増幅器。 - (a) 所定の利得層及び所定の光検出器領域以外の第1導電型の半導体基板の上にブラッグ格子を形成するステップと、
(b) 前記ブラッグ格子が形成された第1導電型の半導体基板の上に第1導電型の下部クラッド層、光導波路層、第1導電型の上部クラッド層、利得物質層、及び第2導電型のクラッド層を形成するステップと、
(c) 所定の利得層領域と前記所定の利得層領域から水平方向に所定距離で離隔して、利得層の前端部及び後端部にそれぞれマスクパターンを形成するように、前記第2導電型のクラッド層の上にマスクパターンを形成するステップと、
(d) 前記マスクパターンをエッチングマスクとして使用したエッチング工程を通じて、前記第2導電型のクラッド層及び利得物質層を選択的にエッチングした後に、前記マスクパターンを除去するステップと、
(e) 前記利得層以外の領域への電流の流れを遮断する電流遮断層を形成するステップと、
(f) 前記利得層及び光検出器領域に電流を供給する電極を形成するステップと、
を備えることを特徴とする光検出器を備える半導体光増幅器の製造方法。 - 前記ステップ(a)は、
所定の利得層領域、所定の光検出器領域、及び所定の位相変換領域の以外の前記半導体基板の上にブラッグ格子を形成する請求項14記載の半導体光増幅器の製造方法。 - 前記ステップ(f)は、
前記利得層領域、光検出器領域、及び位相変換領域に電流を供給する電極を形成するステップを備える請求項14記載の半導体光増幅器の製造方法。 - 別途の光検出器の成長工程を遂行せず、単結晶半導体基板の上に半導体光増幅器を集積する過程をさらに備える請求項14記載の半導体光増幅器の製造方法。
- (a) 第1導電型の半導体基板に利得物質層及び第2導電型の下部クラッド層を形成するステップと、
(b) 所定の利得層領域及び所定の光検出器領域に該当する前記第2導電型の下部クラッド層の上にマスクパターンを形成し、これをエッチングマスクとして使用したエッチング工程を通じて、前記第2導電型の下部クラッド層、利得物質層、及び半導体基板を選択的に除去してメサ構造(mesa structure)の利得層、光検出器の活性層及びエッチンググルーブを形成するステップと、
(c) 前記エッチングホールに電流遮断層を形成するステップと、
(d) 前記電流遮断層の上に前記半導体基板の屈折率より高い屈折率を有する物質で構成された光導波路層を形成するステップと、
(e) 前記光導波路層の上にブラッグ格子を形成するステップと、
(f) 前記ブラッグ格子が形成された構造の全体の上面に第2導電型の上部クラッド層を形成するステップと、
(g) 前記利得層及び前記光検出器の活性層に電流を供給するための電極をそれぞれ形成するステップと、
を備えることを特徴とする光検出器を備える半導体光増幅器の製造方法。 - 前記ステップ(e)は、
ブラッグ格子層にブラッグ格子が一部存在しないようにして位相変換領域が形成されるようにする請求項18記載の半導体光増幅器の製造方法。 - 前記ステップ(g)は、
前記利得層、前記光検出器の活性層、及び前記位相変換領域に電流を供給するための第1、第2、及び第3電極を形成するステップを備える請求項19記載の半導体光増幅器の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030057706A KR100617693B1 (ko) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 광검출기를 구비하는 반도체 광증폭 장치 및 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005072579A true JP2005072579A (ja) | 2005-03-17 |
JP3895342B2 JP3895342B2 (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=34192166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004235718A Expired - Fee Related JP3895342B2 (ja) | 2003-08-20 | 2004-08-13 | 光検出器を備える半導体光増幅器及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7110170B2 (ja) |
JP (1) | JP3895342B2 (ja) |
KR (1) | KR100617693B1 (ja) |
CN (1) | CN1323469C (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2023119364A1 (ja) * | 2021-12-20 | 2023-06-29 | 日本電信電話株式会社 | 光デバイス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20050041280A1 (en) | 2005-02-24 |
KR20050023124A (ko) | 2005-03-09 |
CN1323469C (zh) | 2007-06-27 |
CN1584652A (zh) | 2005-02-23 |
US7110170B2 (en) | 2006-09-19 |
KR100617693B1 (ko) | 2006-08-28 |
JP3895342B2 (ja) | 2007-03-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060608 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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