JP2010232371A - 半導体光増幅素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体からなる受動コア領域と、前記受動コア領域の両側に位置し、前記受動コア領域よりも屈折率が低い半導体活性層からなる能動クラッド領域と、を有する光増幅導波層を備え、前記光増幅導波層において光を増幅しながら導波する。好ましくは、前記光増幅導波層は、化合物半導体からなり、化合物半導体からなる基板上に、バットジョイント成長方法を用いて前記受動コア領域と前記能動クラッド領域とをモノリシックに集積して形成したものである。
【選択図】図1
Description
本実施の形態1に係る半導体光増幅素子は、光通信において用いられている波長1.55μm帯の光の入力を受付け、これを増幅して出力するものである。図1は、実施の形態1に係る半導体光増幅素子の模式的な断面図である。また、図2は、図1に示す半導体光増幅素子100のX−X線断面図である。図1、2に示すように、この半導体光増幅素子100は、裏面にn側電極1を形成したn型の基板2上に、光を増幅しながら導波するための光増幅導波層4を備えている。この光増幅導波層4は、受動コア領域4aと、この受動コア領域4aの両側に位置し、受動コア領域4aよりも屈折率が低い半導体活性層からなる能動クラッド領域4b、4bとを有する。
つぎに、図1に示す半導体光増幅素子100の製造方法の一例を説明する。図5〜7は、半導体光増幅素子100の製造方法の一例を説明する図である。まず、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)結晶成長装置を用い、成長温度を600℃として、図5(a)に示すように、基板2上の全面に、能動領域下部クラッド層3b、能動クラッド領域4b、能動領域上部クラッド層5b、コンタクト層6を結晶成長する。なお、能動領域下部クラッド層3bはバッファ層としての役割も果たしている。
2、22 基板
3a 受動領域下部クラッド層
3b 能動領域下部クラッド層
4 光増幅導波層
4a 受動コア領域
4b 能動クラッド領域
4ba 側壁
5a 受動領域上部クラッド層
5b 能動領域上部クラッド層
6、26 コンタクト層
7、27 保護膜
8、28 p側電極
9、29 外部電極
10a、10b 反射防止膜
11 SiN膜
12、14、15 レジスト
13 AuZn膜
23 下部クラッド層
24 半導体活性層
25a〜25c 上部クラッド層
30 電流阻止層
30a 下部電流阻止層
30b 上部電流阻止層
100、200 半導体光増幅素子
A 受動領域
B 能動領域
D 窪み部
L1〜L4 線
S1〜S5 成分
Claims (10)
- 半導体からなる受動コア領域と、
前記受動コア領域の両側に位置し、前記受動コア領域よりも屈折率が低い半導体活性層からなる能動クラッド領域と、
を有する光増幅導波層を備え、前記光増幅導波層において光を増幅しながら導波することを特徴とする半導体光増幅素子。 - 前記光増幅導波層は、化合物半導体からなり、化合物半導体からなる基板上に、バットジョイント成長方法を用いて前記受動コア領域と前記能動クラッド領域とをモノリシックに集積して形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体光増幅素子。
- 前記半導体活性層は、多重量子井戸構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光増幅素子。
- 前記半導体活性層は、バルク構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光増幅素子。
- 前記受動コア領域は、該受動コア領域よりも実効的な屈折率が低い2つの受動領域クラッド層の間に介挿され、3層のスラブ構造を形成していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
- 前記能動クラッド領域は、該能動クラッド領域よりも屈折率が低い2つの能動領域クラッド層の間に介挿され、3層のスラブ構造を形成していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
- 前記光増幅導波層は、前記光を単一横モードで導波するように、前記受動コア領域と前記能動クラッド領域との実効的な屈折率、ならびに前記受動コア領域の幅が設定されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
- 前記半導体活性層に電流を注入する電流注入構造を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
- 前記光の導波する方向に対して垂直または傾斜した2つの端面に形成した反射防止膜を備えたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
- 前記光をレーザ発振させる光共振器構造を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の半導体光増幅素子。
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