JP2005064474A - 位置決め機構、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1部材に対して第2部材を位置決めする位置決め機構であって、前記第1部材に対して前記第2部材を相対的に位置決め可能な位置決め部と、該位置決め部の周囲の少なくとも一部に設けられた減衰材料とを有する。
【選択図】 図4
Description
図2に本発明の光学素子1の保持手段3および姿勢調整機構(調整装置、位置決め装置)8が搭載される露光装置の全体概要図を示す。
1.床22から進入する外乱振動を低減する
2.外乱振動を除振装置(ダンパ)23で抑制する
3.光学素子保持・調整システム9の固有振動数が高くなるように構成する
4.光学素子保持・調整システム9の減衰率が大きくなるように減衰装置を付加する
この第1実施例においては、上の「4、光学素子保持・調整システム9の減衰率が大きくなるように減衰装置をつける」こととした。
本実施例では金属ベローズ19(以下、第1の金属ベローズと称する)に加えて、この第1の金属ベローズ19の外側に第2の金属ベローズ16を第1の金属ベローズと同心円上に設けている(厳密な意味で両者の中心同士が一致している必要は無く、両者の中心のずれが、いずれか一方のベローズの断面図の外接円の半径の1/5以下、好ましくは1/10以下であれば構わない)。さらに、この第1の金属ベローズと第2の金属ベローズとの間に減衰材料を封入することで、直接圧電素子に減衰材料が接することなく減衰要素を加えることができる。このような圧電素子と非接触である減衰材料封入型圧電アクチュエータの断面図を図7に示す。
図10に本発明の第3の実施例である差動型のパラレルリンク機構の概要斜視図を示す。この図10においては、図1に記載している光学素子や保持手段等は不図示としている。
図4に示したようなケース40に封入された形式の圧電アクチュエータは、断面(紙面に垂直でアクチュエータの駆動軸に直交する面)が円形状のものとして記載していたが、このようなアクチュエータを用いた、駆動機構を設計する場合、断面が矩形を代表とする多角形であることが省スペース化を図る上では望ましい。詳細に言うと、圧電アクチュエータが伸縮する方向に対して垂直な断面における、圧電アクチュエータの断面図が多角形(例えば四角形、八角形等)であることが望ましい。
次に、図14及び図15を参照して、上述の図2に記載の露光装置、或いは上述のパラレルリンク機構を用いて光学素子を駆動可能にしている構成を有する露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
以上述べたように、本実施例によれば真空中に配置される装置に、不要な脱ガスや発塵の問題を解決したクリーンな制振装置を提供することができる。特に比較的固有振動数が低く、かつ減衰率が小さな姿勢調整装置に適用することで、コンパクトに配置でき、高い位置精度を実現可能とする。
2 中間ブロック
3 保持手段
4 駆動手段
5 弾性ヒンジ
6 固定ブロック
7 可動部
8 姿勢調整機構
9 光学素子保持・調整システム
10 上部フランジ1
11 減衰材料
12 圧電素子
13 伸縮管1
14 下部フランジ1
15 上部フランジ2
16 伸縮管2
17 下部フランジ2
18 減衰機能付アクチュエータ
19 継手
20 Oリング
21 光軸
22 セル
23 床
24 除振装置
25 構造体フレーム
26 鏡筒
27 レンズ
28 板ばね押え
29 固定台
30 リング状板ばね
31 可動台
32 ベローズ
33 フランジ
34 支柱
35 粘性体
36 一体型差動リンク機構
37 入力リンク
38 連結リンク
39 出力リンク
40 ケース
41 スペーサ
61a、61b フランジ
62a、62b、62c 永久磁石
Claims (17)
- 第1部材に対して第2部材を位置決めする位置決め機構であって、
前記第1部材に対して前記第2部材を相対的に位置決め可能な位置決め部と、該位置決め部の周囲の少なくとも一部に設けられた減衰材料とを有することを特徴とする位置決め機構。 - 前記位置決め部が多角柱の形状をしていることを特徴とする請求項1記載の位置決め機構。
- 前記位置決め部が第1の方向に伸縮可能であって、該伸縮方向と垂直な平面における前記位置決め部の断面図が多角形であることを特徴とする請求項1又は2記載の位置決め機構。
- 前記位置決め部の外周を覆うように設けられた第1の伸縮部材とを有し、前記位置決め部と前記第1の伸縮部材との間に減衰材料を有することを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の位置決め機構。
- 前記減衰材料は前記位置決め部に密着して設けられていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の位置決め機構。
- 前記第1部材と前記第2部材とを連結しており、前記位置決め部の外周を覆うように設けられた第1の伸縮部材と、前記第1部材と前記第2部材とを連結しており、前記第1の伸縮部材の外周を覆うように設けられた第2の伸縮部材とを有し、前記第1の伸縮部材と前記第2の伸縮部材との間に減衰材料を有することを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の位置決め機構。
- 前記第1部材に固定され、第1の磁力を発生する第1磁力発生部材と、前記第2部材に固定され、前記第1の磁力に対して反発する第2の磁力を発生する第2磁力発生部材とを有しており、前記第1磁力発生部材及び前記第2磁力発生部材が、前記第1の伸縮部材の内部及び/又は前記第1の伸縮部材により囲まれた空間内に配置されていることを特徴とする請求項4又は6に記載の位置決め機構。
- 前記第1部材に固定され、第1の磁力を発生する第1磁力発生部材と、前記第2部材に固定され、前記第1の磁力に対して反発する第2の磁力を発生する第2磁力発生部材とを有することを特徴とする請求項1乃至3又は5いずれかに記載の位置決め機構。
- 前記第2の磁石の磁力線に垂直な面の面積と、前記第1の磁石の磁力線に垂直な面の面積とが互いに異なることを特徴とする請求項8記載の位置決め機構。
- 前記第2部材に固定され、前記第1の磁力に対して反発する第3の磁力を発生する第3磁力発生部材を有することを特徴とする請求項6記載の位置決め機構。
- 前記第1磁力発生部材及び前記第2磁力発生部材及び前記第3磁力発生部材が、前記第1の伸縮部材の内部及び/又は前記第1の伸縮部材により囲まれた空間内に配置されていることを特徴とする請求項10記載の位置決め装置。
- 前記位置決め機構が真空中に配置されていることを特徴とする請求項1乃至11いずれかに記載の位置決め機構。
- 被露光体を露光する露光装置であって、前記被露光体を載置したウエハステージを位置決めする、請求項1乃至12いずれか1項記載の位置決め機構を有することを特徴とする露光装置。
- 少なくとも1つの光学素子を用いて光源からの光を被露光体に導くことにより、前記被露光体を露光する露光装置であって、前記少なくとも1つの光学素子を位置決めする、請求項1乃至12いずれか1項記載の位置決め機構を有することを特徴とする露光装置。
- 前記露光装置は、13〜14nmの波長のEUV光を用いて露光を行う露光装置であって、該EUV光を前記被露光体に導く、少なくとも1つの反射光学素子を有することを特徴とする請求項13又は14に記載の露光装置。
- デバイスの製造方法であって、請求項14又は15に記載に露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と、前記露光した被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
- 所定の方向に伸縮する圧電アクチュエータであって、
前記所定の方向に伸縮する圧電素子と、該圧電素子の周囲の少なくとも一部を囲む減衰材料とを有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
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