JPS61284350A - 微動機構 - Google Patents

微動機構

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JPS61284350A
JPS61284350A JP60122779A JP12277985A JPS61284350A JP S61284350 A JPS61284350 A JP S61284350A JP 60122779 A JP60122779 A JP 60122779A JP 12277985 A JP12277985 A JP 12277985A JP S61284350 A JPS61284350 A JP S61284350A
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JP
Japan
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piezoelectric element
piezo
electric element
bellows
high vacuum
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Masaru Otsuka
勝 大塚
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Canon Inc
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Canon Inc
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］。
本発明は電子ビーム露光装置、電子顕微鏡等、真空中で
微小な動きを要求する装置に用いる微小変位アクチュエ
ーターに関するものである。
［従来の技術］ 印加電圧に応じて伸縮する圧電素子を利用した微小変位
発生用アクチュエーターは大気中に於て多用されてきた
が、真空内で使用すると絶縁破壊を生じるため高真空領
域（１０トル以上）で用いることができなかった。
［発明が解決しようとする問題点と解決手段１本発明の
目的は、高真空領域において使用できる圧電素子を利用
した微小変位発生用アクチュエーターを提供することに
ある。
この目的は本発明に従って圧電素子を圧電素子の伸縮方
向に伸縮することのできる気密ハウジーングに圧電素子
を収容することによって達成される。
すなわち、本発明の微動機構は、外部から電圧を印加さ
れるようになっている圧電素子、この圧電素子の伸縮方
向における圧電素子の上面と下面に取付けた上板と下板
、及びこの上板と下板とを密封包囲し、前記の伸縮方向
に移動できる側壁を備えており、特に前記の側壁はベロ
ーズ、またはＯリングを介して入れ子になっている２つ
の包囲壁から成っている。
［実施例１ 第１図は本発明の実施例の縦断面図である。この図で１
は圧電素子の上面を取付ける上板、２は圧電素子の下面
を取付ける下板、３は圧電素子、４は上板１と下板２を
つなぎあわせ圧電素子３を包囲、密封するべ０−ズ、モ
して５は圧電素子に印加する電圧を供給する電極である
。上、下板とへローズで密封される空間には、例えば空
気、不活性ガス等の気体、または絶縁油等の流体を封入
しておく。
電極５に外部電源より電圧を印加することにより圧電素
子３は伸縮するが、この際上下板１，２及びベローズ４
によって外気の雰囲気（高真空領域）としゃ断されてい
るため外気の雰囲気とは無関係に所要の機能を果すこと
ができる。
第２図は本発明の別の実施例の縦断面図である。
第１図の実施例と同じ部分には同じ参照数字を付して示
している。第２図にＪ３いて、６は上方の包囲壁であり
、７はＦ方の包囲壁であって、これらの包囲壁はＯリン
グ８を介して相互に入れ子になっている。、Ｏリング８
は包囲壁６の内壁に沿って活動して気密を保つ。
いずれの実施例でも圧電素子３に外部電源（図示せず）
から電極５を介して電圧を加えるとこれに応じて側壁は
圧電素子の伸縮とともに上下動して上下いずれかの板に
接続している部材へ微小変位を与える。
本発明の微動機構では圧電素子を外気雰囲気に無関係に
動作させることができるため外気雰囲気は真空に限らず
例えば海水のような導電性の液体であってもよいし、ま
たは圧電素子を使用できない雰囲気であってもよい。
［発明の効果］ 圧電素子を外気としゃ断したハウジング中に収容するこ
とにより高真空中や導電性液体中に置いても圧電素子を
利用した微小変位アクチュエーターを使用できるように
なった。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例の縦断面図である。 第２図は本発明の別の実施例の縦断面図である。 図中； １：上板、２：下板、３：圧電素子、４：ベローズ、５
：電極、６：上方包囲壁、７：下方包囲壁、８：Ｏリン
グ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、外部から電圧を印加されるようになつている圧電素
    子、 この圧電素子の伸縮方向における圧電素子の上面と下面
    に取付けた上板と下板、及びこの上板と下板とを密封包
    囲し、前記の伸縮方向に移動できる側壁を備えているこ
    とを特徴とする微動機構。 ２、前記の側壁がベローズである特許請求の範囲第１項
    に記載の微動機構。 ３、前記の側壁がＯリングを介して入れ子になつている
    ２つの包囲壁から成り、Ｏリングが摺動することにより
    前記圧電素子の伸縮方向に移動する特許請求の範囲第１
    項に記載の微動機構。
JP60122779A 1985-06-07 1985-06-07 微動機構 Expired - Lifetime JPH0628832B2 (ja)

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