JP2005064213A - 真空容器 - Google Patents

Abstract

【課題】蓋体を小型／軽量化でき、かつメンテナンス性を含めたトータルコストを低減することができる真空容器を提供する。
【解決手段】真空容器１０は、上端に開口部を有する筐体１１と、この筐体１１の上端開口から内部を封止する開閉可能な蓋体１２とを備え、蓋体１２を第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂとして二分割すると共にこれらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂと筐体１１の上端面１１Ａとの間にシール補助部材１８を設けた。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空容器に関し、更に詳しくは、例えばＦＰＤ用基板等の処理基板の処理装置を構成する真空予備室等に好適に用いられる真空容器に関するものである。

真空容器は、従来から種々の産業分野において広く用いられている。例えば半導体製造工程ではエッチング処理装置や成膜処理装置に真空容器が広く用いられている。この種の処理装置は、例えばウエハやＦＰＤ用基板等の被処理基板の載置機構、真空予備室、搬送室及び処理室を備えて構成されている。そして、真空予備室、搬送室及び処理室はそれぞれ真空容器として形成されている。

例えば図７は特許文献１において本出願人が提案したＦＰＤ用基板の処理装置を構成する真空予備室を図示したものである。この真空予備室１内には多関節型の搬送機構２が設けられ、搬送機構２を介して載置機構（図示せず）と処理室（図示せず）間でＦＰＤ用基板Ｓの受け渡しを行う。この真空予備室１は、移動機構（図示せず）を備え、載置機構と処理室間で往復移動し、処理室との間でＦＰＤ用基板Ｓの受け渡しを行う場合には前方の開口部が処理室のゲートバルブ側側面に当接して真空引きできるようになっている。また、真空予備室１の後方にはゲートバルブ３が設けられ、真空予備室１と載置機構間でＦＰＤ用基板Ｓの受け渡しを行うようにしている。また、図７には図示してないが、真空予備室１は、筐体と、開閉可能な蓋体と、蓋体と筐体との間に介装されたシール部材とを備え、搬送機構２の組み立て時やメンテナンス時に蓋体を開放できるようにしてある。尚、１ＡはＦＰＤ用基板Ｓの搬出入口である。

ところが、近年のＦＰＤ用基板Ｓの大型化に伴って真空予備室１が大型化している。しかも真空予備室１は例えばアルミニウムやステンレス等の金属によって形成されていることと相俟って真空に耐え得る剛性が蓋体自体に要求されるため、蓋体自体が重量化して人手で蓋体を開閉することが困難になってきている。

そこで、図８の（ａ）に示すようにシリンダ機構等によって構成された開閉機構６を真空予備室１に設け、同図に（ｂ）で示すようにこの開閉機構６の補助を得て重量化した蓋体１Ｂを開閉するようになってきている。

特開平１１−３４５８５９号公報

しかしながら、ＦＰＤ用基板Ｓは今後も益々大型化する傾向にあり、これに伴って処理装置が大型化し、その真空予備室１の蓋体１Ｂが例えば１５００ｍｍを超えるようになると、蓋体１Ｂの受圧面積も飛躍的に大きくなるため、蓋体１Ｂは筐体１内の真空に耐え得るように肉厚の厚い特殊仕様のものを製作することが必要になり、その製作コストが高騰し、しかも蓋体１Ｂの開放時の高さ（跳ね上げ高さ）が高くなってメンテナンス等による開閉時の安全対策に万全を期する必要があり、トータルコストが飛躍的に高騰するという課題があった。また、蓋体１Ｂの大型化によって開閉操作自体が難しくなるという課題も生じてくる。また、真空予備室内に存在する機構やＦＰＤ用基板等の取り出し作業を行えるように筐体上面を容易に開放できるようにする必要があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、蓋体を小型化、軽量化して製作コストを低減することができると共に跳ね上げ高さを低くできると共に筐体上面の一部または全面を一つの開口とすることができ、延いてはメンテナンス等を含めたトータルコストを低減することができる真空容器を提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載の真空容器は、筐体と、この筐体の上端開口部から内部を封止する開閉可能な蓋体とを備えた真空容器において、上記蓋体を複数の蓋部材に分割すると共にこれらの蓋部材と上記筐体の上端との間に封止補助部材を介装したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載の真空容器は、請求項１に記載の発明において、上記封止補助部材は、上記筐体の上端面に当接する第１の当接部と、第１の当接部と一体化し且つ上記筐体の上端開口部で上記各蓋部材と当接する第２の当接部とを有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載の真空容器は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記各蓋部材を上記筐体の上端開口部で支持する支持部材を上記筐体の上端間に架設したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載の真空容器は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記筐体と上記封止補助部材の第１の当接部との間及び上記各蓋部材と上記封止補助部材との間に、それぞれ封止部材を介装したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載の真空容器は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記封止補助部材と上記支持部材とを一体化したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項６に記載の真空容器は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記筐体を、一辺が少なくとも１５００ｍｍの矩形状として形成したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項７に記載の真空容器は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記封止補助部材及び／または上記蓋体を透明な材料によって形成したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項８に記載の真空容器は、請求項７に記載の発明において、上記透明な材料がアクリル樹脂またはポリカーボネート樹脂からなることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項９に記載の真空容器は、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記筐体内に基板を保持する機構を設けたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１０に記載の真空容器は、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記筐体内に基板を搬送する機構を設けたことを特徴とするものである。

本発明の請求項１〜請求項９に記載の発明によれば、蓋体を小型化、軽量化して製作コストを低減することができると共に跳ね上げ高さを低くでき、延いてはメンテナンス等を含めたトータルコストを低減することができる真空容器を提供することができる。

以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本実施形態では、蓋体を複数に分割することにより目的に適った真空容器を得ることができる。本実施形態ではＦＰＤ用基板の処理装置を構成する真空予備室に適用した場合を例に挙げて説明するが、本発明は大型の＾真空容器に広く適用することができる。

本実施例の真空容器１０は、例えば図１の（ａ）に示すように、上端に開口部を有する筐体１１と、この筐体１１の開口部から内部を封止する開閉可能な蓋体１２とを備え、例えばＦＰＤ用基板の処理装置を構成する真空予備室として用いられる。筐体１１は、例えばアルミニウムやステンレス等の金属によって形成されている。

而して、本実施例では蓋体１２に主たる特徴がある。即ち、本実施例に用いられる蓋体１２は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂからなる二分割構造として構成され、各蓋部材１２Ａ、１２Ｂを個別に開閉することができる。これらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂは、それぞれの受圧面積が一体物と比較して小さいため、特殊な耐圧仕様を必要とせず軽量化することができる。これらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂは、筐体１１と同種の材料によって形成することができる。また、これらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂは、場合によっては例えばアクリル樹脂やポリカーボネート樹脂等の透明で機械的強度のある合成樹脂によって形成され、内部を確認できるようにしたものであっても良い。これらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂは機械強度を確保できれば、中空状に形成したものであっても良い。

また、筐体１１の開口部を囲む上端面１１Ａには全周に渡って細い溝（図示せず）が形成され、この溝内に図１の（ｂ）及び図２に二点鎖線で示すように例えばＯリングからなる第１のシール部材１３が封止部材として装着されている。このシール部材１３は、後述の封止補助部材と協働して筐体１１内を所定の真空度に保持する。

また、筐体１１の上端面１１Ａには第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを開閉するための開閉機構１４が４箇所に設けられている。これらの開閉機構１４は、例えばバネシリンダ等のシリンダ機構によって構成され、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂには２個ずつ付帯している。第１の蓋部材１２Ａに属する２個の開閉機構１４は、それぞれのシリンダ１４Ａ基端部がヒンジ機構１５を介して筐体１１の上端の左右に取り付けられ、それぞれのシリンダロッド１４Ｂ先端が蓋部材１２Ａの自由端部に連結部材１４Ｃを介して連結され、各開閉機構１４は互に平行に配置されている。他の２個の開閉機構１４はそれぞれ第２の蓋部材１２Ｂに属し、第１の蓋部材１２Ａにそれぞれ属する開閉機構１４と向かい合って配置されている。例えば第１の蓋部材１２Ａを人手によって開く場合には、第１の蓋部材１２Ａの自由端を左右から開閉機構１４の死点を超える位置まで持ち上げた後、開閉機構１４が作動しヒンジ機構１５を介して第１の蓋部材１２Ａを旋回させて開く。第２の蓋部材１２Ｂも同様にして開くことができる。尚、ヒンジ機構１５に第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂの開閉操作を行う回転駆動機構を設け、この回転駆動機構によって蓋部材１２Ａ、１２Ｂの開閉動作を自動化あるいは補助するようにしても良い。また、開閉機構１４は２個に限らず、２個以上設けても良い。

また、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂの内面の外周端部には全周に渡って細い溝（図示せず）が形成され、この溝内に封止部材、例えばＯリングからなる第２のシール部材１６が図１の（ｂ）に示すように装着されている。このシール部材１６は、第１のシール部材１３と同様に後述の封止補助部材と協働して筐体１１内を所定の真空度に保持する。

而して、図１の（ｂ）及び図２、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、筐体１１の開口部には第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを支持する支持部材１７が着脱自在に架設されている。支持部材１７の長手方向の両端には図２、図３の（ｃ）に示すように段部１７Ａが形成され、また、筐体１１の開口端面１１Ａには支持部材１７の段部１７Ａと係合する切り欠き部１１Ｂ（図３の（ｃ）参照）が形成されている。この支持部材１７は、筐体１１に架設された状態で支持部材１７の上面と筐体１１の上端面１１Ａとが面一になっている。

而して、封止補助部材（シール補助部材）１８は、アルミニウムやステンレス、あるいは剛性があり且つ透明または不透明な合成樹脂（例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等）等によって形成され、図２、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、筐体１１の上端面１１Ａ及び支持部材１７の表面に着脱自在に取り付けられている。即ち、シール補助部材１８は、図２に示すように、筐体１１の上端面１１Ａに当接する矩形状の第１の当接部１８Ａと、第１の当接部１８Ａと一体化し且つ筐体１１の開口部を横切って第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂの自由端部内面と当接する第２の当接部１８Ｂとを有し、全体が「日の字」状に形成されている。第２の当接部１８Ｂの幅は支持部材１７の幅と同一またはこれよりも狭く形成され、全面が支持部材１７によって支持されている。従って、シール補助部材１８は、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを閉じて筐体１１の内部を真空引きした時に、下面が図２の二点鎖線で示す筐体１１の上端面１１Ａの第１のシール部材１３と密着すると共に上面が図２の二点鎖線で示す位置で第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂの第２のシール部材１６とそれぞれ密着し、筐体１１の内部を外部から封止する。

ところで、本実施例の真空容器１０はＦＰＤ用基板の真空予備室として使用するため、図７に示すようなＦＰＤ用基板の搬送機構またはＦＰＤ用基板の載置台（図示せず）が筐体１１の内部に収納されている。そして、筐体１１の前後左右にはＦＰＤ用基板の搬出入口（図示せず）が形成され、これらの搬出入口はゲートバルブを介して筐体１１内を外部から遮断して封止するようになっている。筐体１１内に搬送機構が収納されている場合には、筐体１１内の搬送機構を介して載置機構と処理室との間でＦＰＤ用基板の受け渡しを行う。また、筐体１１内に載置台が収納されている場合には、載置機構側及び処理室側の搬送機構を介して真空容器１０を中継点としてＦＰＤ用基板の受け渡しを行う。

次に、動作について説明する。蓋体１２である第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを閉じると、真空容器１０はＦＰＤ用基板の処理装置の真空予備室として機能する。筐体１１内でＦＰＤ用基板を受け取った後、筐体１１内の空気を窒素ガス等の不活性ガスによってパージした後、真空ポンプ等の真空装置を用いて筐体１１内を減圧し、筐体１１内で処理室に準じた真空状態を形成する。この際、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂは大気圧により筐体１１側に強く押圧される。この押圧力で第１、第２のシール部材１３、１６がシール補助部材１８に対して押し潰され、第１のシール部材１３によって筐体１１の上端面１１Ａとシール補助部材１８間を封止すると共に第２のシール部材１６によって第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂとシール補助部材１８間を封止し、筐体１１内を真空状態にする。

筐体１１の内部が真空状態になると、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂが大気圧を受けるが、それぞれの受圧面積が略半減して押圧力が略半分になることと相俟って筐体１１の開口部では支持部材１７によって蓋部材１２Ａ、１２Ｂの自由端部を支持しているため、シール補助部材１８を介して第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂと筐体１１の上端面間を確実に封止することができ、延いては筐体１１の内部を所定の真空度に確実に保持することができ、筐体１１と処理室間のＦＰＤ用基板の受け渡しを円滑に行うことができる。また、この際、支持部材１７が第１、第２の蓋部材の筐体１１内部への湾曲を確実に防止し、良好なシール性能を発揮することができる。

而して、真空容器１０を継続して使用すると、搬送機構等の駆動部を必要に応じてメンテナンスする必要がある。また、ＦＰＤ用基板の処理による副生成物等がパーティクルとして真空容器１０の筐体１１内に侵入するなどしてパーティクルが堆積するため、クリーニングする必要がある。そこで、真空容器１０の筐体１１の内部の真空を解除した後、例えば筐体１１の左右から人手によって第１、第２の蓋部材１２Ａの自由端側を開閉機構１４の死点を超える位置まで持ち上げた後、開閉機構１４が作動すると、そのシリンダロッド１４Ｂが縮み、第１の蓋部材１２Ａがヒンジ機構１５を介して旋回し、筐体１１の開口部を半分だけ開く（図４参照）。また、第２の蓋部材１２Ｂも第１の蓋部材１２Ａと同様に開いて筐体１１の開口部を全面開放する。

この状態ではシール補助部材１８及び支持部材１７が邪魔になって蓋体１２の内部をメンテナンスできないため、シール補助部材１８及び支持部材１７を順次取り外すことによって筐体１１の内部を全面的に開放することができ、筐体１１内に収納された搬送機構あるいは載置台のメンテナンスを行うことができる。また、筐体１１の内部のクリーニングを行うこともできる。筐体１１内のメンテナンス及びクリーニングが終了した後、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂのクリーニングを行う。真空容器１０が１５００ｍｍを超える大型のものであれば例えば図４に示すように第２の蓋部材１２Ｂを閉じた状態でその上に上り、第２の蓋部材１２Ｂ上で第１の蓋部材１２Ａの内面及び筐体１１の内部のクリーニングを行うことができる。第２の蓋部材１２Ｂも第１の蓋部材１２Ａと同様の手順でクリーニングする。更に、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂの表面のクリーニングを行う。また、これらの作業と並行して第１、第２のシール部材１３、１６、開閉機構１４及びヒンジ機構１５等のメンテナンスを行う。

真空容器１０のメンテナンスが終了した後、各部品を復元した後、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを閉じ、筐体１１の内部を外部から封止することによって真空予備室として使用することができる。

以上説明したように本実施例によれば、蓋体１２を第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂに分割すると共にこれらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂと筐体１１の上端面との間にシール補助部材１８を設けたため、蓋体１２を二分割構造の第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂとして小型化、軽量化して製作コストを低減することができると共に各蓋部材１２Ａ、１２Ｂそれぞれの跳ね上げ高さを低くすることができ、しかも蓋体１２が二分割構造であってもシール補助部材１８を介して第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂと筐体１１の上端面１１Ａとの間を確実に封止することができる。また、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂそれぞれの跳ね上げ高さを低くできるため、特別の安全対策も不要となり、真空容器１０のメンテナンス等を含めたトータルコストを格段に低減することができる。

また、本実施例によれば、シール補助部材１８は、筐体１１の上端面１１Ａに当接する第１の当接部１８Ａと、第１の当接部１８Ａと一体化し且つ筐体１１の開口部で第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂと当接する第２の当接部１８Ｂとを有するため、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂそれぞれの全周に渡って確実に筐体１１の内部を封止して筐体１１内の真空度を確実に保持することができる。また、本実施例によれば、例えば一辺が１５００ｍｍを超える蓋体１２の受圧面積が大きい真空容器１０の場合に顕著な効果を奏し得る。また、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂを筐体１１の開口部で支持する支持部材１７を筐体１１の上端間に架設したため、第１、第２の蓋部材１２Ａ、１２Ｂが大気圧を受けてもこれらの蓋部材１２Ａ、１２Ｂの筐体１１側への湾曲を確実に防止することができ、第１、第２のシール部材１３、１６及びシール補助部材１８の機能を最大限に活かすことができる。また、真空容器１０の筐体１１内にＦＰＤ用基板の搬送機構または載置台を設けるようにしたため、真空容器１０はシール機構及びメンテナンス性に優れた処理装置の真空予備室として機能させることができる。

尚、図示してないが、支持部材１７とシール補助部材１８を一体化したものを作製しても良い。この場合には支持部材１７及びシール補助部材１８を筐体１１の上端面１１Ａに同時に装着することができ、しかも上記実施例と同様に作用効果を期することができる。

本実施例の真空容器２０は、図５に示すように、二分割構造の蓋体２２である第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂ及びシール補助部材２８の形態が上記実施例と異なると共に、支持部材を省略している点において上記実施例と異なる。これらの点以外は上記実施形態に準じて構成されている。そこで、本実施例の特徴を中心に説明する。

本実施形態に用いられる第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂは、図５の（ａ）に示すように、それぞれの肉厚が基端部から自由端部に向けて漸増している。この理由については後述する。これにより蓋部材２２Ａ、２２Ｂの重量が増大する場合には、各蓋部材２２Ａ、２２Ｂを中空状に形成することによって軽量化することができる。

一方、シール補助部材２８は、図５の（ｂ）に示すように、第１の当接部２８Ａ及び第２の当接部２８Ｂを有している。第２の当接部２８Ｂは、第１の当接部２８Ａの中間部（第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂの自由端部に該当する部分）から垂直上方に延設された左右の垂直部２８Ｃと、これらの垂直部２８Ｃを連結する水平部２８Ｄとから形成されている。第２の当接部２８Ｂの両側には第２のシール部材２６がそれぞれ装着されている。このシール部材２６はリング状に形成され、第１の当接部２８Ａの上面、垂直部２８Ｃ及び水平部２８Ｄの片面に沿って配置されている。従って、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂを閉じると、これらの蓋部材２２Ａ、２２Ｂの肉厚の自由端面が第２の当接部２８Ｂの第２のシール部材２６と密着すると共に、これらの蓋部材２２Ａ、２２Ｂの自由端部以外の内面外周縁部が第２の当接部２８Ｂの第２のシール部材２６と密着する。

また、筐体２１の上端面２１Ａには上記実施例と同様に第１のシール部材（図示せず）が装着され、この第１のシール部材がシール補助部材２８の下面、即ち第１の当接部２８Ａの下面と接触するようになっている。

このように第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂは、それぞれの肉厚の自由端面がシール補助部材２８の第２の当接部２８Ｂの両側面に当接するため、筐体２１内が真空状態になって第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂに強い押圧力が働いても、これらの蓋部材２２Ａ、２２Ｂはそれぞれの自由端面がシール補助部材２８の第２の当接部２８Ｂに接触するため、押圧力はそれぞれの自由端面から第２の当接部２８Ｂに作用して相殺され、蓋部材２２Ａ、２２Ｂを筐体２１内へ湾曲させることはない。

つまり、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂの自由端部を他の部分より肉厚を厚くすることによって大気圧による押圧力を受けるに十分な機械的強度を確保している。このような観点から、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂは、それぞれの肉厚が自由端面に向けて漸増するタイプでなくても良い。要は、自由端面の肉厚が大気圧による押圧力に耐える厚さを有しておればよく、重量的に可能であれば蓋部材全体を均一な厚さにしても良く、また強度的に可能であれば自由端面部分近傍を厚く、他の部分をこれより薄く均一にしても良い。

以上説明したように本実施例によれば、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂは、それぞれの自由端面がシール補助部材２８の第１の当接部２８Ａから持ち上がって形成された第２の当接部２８Ｂの左右両面に接触するため、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂを支持ずる支持部材を設けない場合であっても、第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂに大気圧による押圧力を、第２の当接部２８Ｂを介して互に接触した各蓋部材２２Ａ、２２Ｂそれぞれの自由端面において相殺してそれぞれの湾曲を防止することができ、上記実施例と同様に安定したシール性能を発揮することができる。

本実施例では、第２のシール部材２６をシール補助部材２８に装着しているが、このシール部材２６を実施例１、２の場合と同様に第１、第２の蓋部材２２Ａ、２２Ｂの該当箇所に装着しても良い。また、本実施例では第１のシール部材を筐体２１に装着しているが、このシール部材をシール補助部材２８の第１の当接部２８Ａの下面に装着しても良い。

本実施例の真空容器３０は、図６の（ａ）〜（ｄ）に示すように、蓋体２２を４分割された第１、第２、第３、第４の蓋部材３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄと、これらの蓋部材３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄの内面の外周縁部のうち筐体３１の開口部に位置する部分を支持する十字状の支持部材３７と、この支持部材３７の表面及び筐体３１の上端面３１Ａを被覆する「田の字」状に形成されたシール補助部材３８を備えて構成され、これら以外は実施例１に準じて構成されている。

本実施形態に用いられる第１、第２、第３、第４の蓋部材３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄそれぞれには、図６の（ａ）に示すように、１個の開閉機構３４が付帯している。例えば第１の蓋部材３２Ａに付帯する開閉機構３４は、筐体３１の上端面３１Ａ上に第１の蓋部材３２Ａの側面に沿って配置されている。そして、この開閉機構３４のシリンダ３４Ａは、連結部材（図示せず）を介して第１の蓋部材３２Ａの側面の自由端部近傍に連結されている。また、開閉機構３４のシリンダロッド３４Ｂの先端は、第１の蓋部材３２Ａの基端部に沿って筐体３１の上端面に配置されたヒンジ機構３５を介して第１の蓋部材３２Ａに連結されている。

支持部材３７は上述のように十字状に形成され、図６の（ｂ）に示すように十字状の各端面に段部３７Ａが形成されている。支持部材３７の各段部３７Ａは、筐体３１の上端面３１Ａの該当箇所に形成された切り欠き部３１Ｂと係合している。そして、シール補助部材３８は、筐体３１の上端面３１Ａと当接する第１の当接部３８Ａと、支持部材３７と当接する十字状の第２の当接部３８Ｂとを有している。その他は実施例１に準じて構成されている。

以上説明したように本実施例によれば、蓋体３２及び開閉機構３４を上記各実施例よりも更に小型化、軽量化することができる。

尚、上記各実施例では蓋体を２分割及び４分割したものについて説明したが、必要に応じてそれ以上に分割しても良い。従って、支持部材及びシール補助部材の形態も蓋体の分割数に即して変わる。また、第１のシール部材は、シール補助部材と筐体の間に介在しておれば良く、シール補助部材、筐体のいずれに装着されても良い。同様に第２のシール部材は蓋体とシール補助部材の間に介在しておれば良く、蓋体、シール補助部材のいずれに装着されても良い。また、筐体、蓋体及びシール補助部材の材料は上記各実施例に制限されるものではなく目的に応じて各種の材料を使用することができる。更に、上記各実施例ではＦＰＤ用基板の処理装置を構成する真空予備室に適用した真空容器について説明したが、本発明の目的に適ったその他の各種の真空容器にも広く適用することができる。

本発明の真空容器は、例えばＦＰＤ用基板の処理装置を構成する真空予備室等の大型の真空容器に対して好適に利用することができる。

本発明の真空容器の一実施形態の上部を示す図で、（ａ）は真空容器の蓋体が閉じた状態を示す斜視図、（ｂ）は蓋体が開いた状態を示す斜視図である。 図１の支持部材及び封止補助部材を筐体から取り外した状態を示す斜視図である。 図１に示す真空容器を示す図で、（ａ）は蓋体の一部を破断して示す平面図、（ｂ）は（ａ）の蓋体が開いた状態を示す支持部材と直交する方向の断面図、（ｃ）は（ａ）の支持部材の長手方向に沿う断面図である。 図１の真空容器の第１の蓋部材を開いた状態を示す斜視図である。 本発明の他の実施形態の要部を示す図で、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は封止補助部材を示す斜視図である。 本発明の更に他の実施形態を示す図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）は蓋体を閉じた状態を示すヒンジ機構に沿う断面図、（ｃ）は（ｂ）の側面とは直交する側面から蓋体を開いた状態を示す断面図、（ｄ）は（ｃ）の状態から蓋体を閉じたい状態を示す断面図である。 従来の処理装置を構成する真空予備室を透視して示す斜視図である。 従来の大型の真空予備室を示す図で、（ａ）はその蓋体が閉じた状態を示す斜視図、（ｂ）は蓋体を開いた状態を示す斜視図である。

符号の説明

１０、２０、３０ 真空容器
１１、２１、３１ 筐体
１１Ａ、２１Ａ、３１Ａ 筐体の上端面
１２、２２、３２ 蓋体
１２Ａ、２２Ａ、３２Ａ 第１の蓋部材
１２Ｂ、２２Ｂ、３２Ｂ 第２の蓋部材
１３、２３ 第１のシール部材（封止部材）
１６ 第２のシール部材（封止部材）
１７、２７、３７ 支持部材
１８、２８、３８ シール補助部材（封止補助部材）
１８Ａ、２８Ａ、３８Ａ 第１の当接部
１８Ｂ、２８Ｂ、３８Ｂ 第２の当接部
３２Ｃ 第３の蓋部材
３２Ｄ 第４の蓋部材

Claims (10)

1. 筐体と、この筐体の上端開口部から内部を封止する開閉可能な蓋体とを備えた真空容器において、上記蓋体を複数の蓋部材に分割すると共にこれらの蓋部材と上記筐体の上端との間に封止補助部材を介装したことを特徴とする真空容器。
2. 上記封止補助部材は、上記筐体の上端面に当接する第１の当接部と、第１の当接部と一体化し且つ上記筐体の上端開口部で上記各蓋部材と当接する第２の当接部とを有することを特徴とする請求項１に記載の真空容器。
3. 上記各蓋部材を上記筐体の上端開口部で支持する支持部材を上記筐体の上端間に架設したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空容器。
4. 上記筐体と上記封止補助部材の第１の当接部との間及び上記各蓋部材と上記封止補助部材との間に、それぞれ封止部材を介装したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の真空容器。
5. 上記封止補助部材と上記支持部材とを一体化したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の真空容器。
6. 上記筐体を、一辺が少なくとも１５００ｍｍの矩形状として形成したことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の真空容器。
7. 上記封止補助部材及び／または上記蓋体を透明な材料によって形成したことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の真空容器。
8. 上記透明な材料がアクリル樹脂またはポリカーボネート樹脂からなることを特徴とする請求項７に記載の真空容器。
9. 上記筐体内に基板を保持する機構を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の真空容器。
10. 上記筐体内に基板を搬送する機構を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の真空容器。
    

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