KR100634902B1 - 진공 용기 - Google Patents

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세이지 오카베
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

LCD용 기판(S)의 처리 장치의 대형화에 수반하여 진공 예비실(1)의 커버체(1B)가 1500㎜를 초과하게 되면, 커버체(1B)의 수압(受壓) 면적도 비약적으로 커지기 때문에, 커버체(1B)는 하우징(1)내의 진공에 견딜 수 있도록 두께가 두꺼운 특수 사양의 것을 제작하는 것이 필요하게 되고, 그 제작 비용이 앙등하며, 게다가 커버체(1B)의 개방시의 높이(도약 높이)가 높아져서 유지 보수 등에 의한 개폐시의 안전 대책에 만전을 기할 필요가 있고, 전체 비용이 비약적으로 앙등한다.
본 발명의 진공 용기(10)는 상단에 개구부를 갖는 하우징(11)과, 이 하우징(11)의 상단 개구로부터 내부를 밀봉하는 개폐 가능한 커버체(12)를 구비하고, 커버체(12)를 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)로서 이분할하는 동시에 이러한 커버 부재(12A, 12B)와 하우징(11)의 상단면(11A)의 사이에 시일(seal) 보조 부재(28)를 설치했다.

Description

진공 용기{VACUUM CONTAINER}
도 1은 본 발명의 진공 용기의 일 실시 형태의 상부를 나타내는 도면으로서, (a)는 진공 용기의 커버체가 폐쇄된 상태를 나타내는 사시도이고, (b)는 커버체가 개방된 상태를 나타내는 사시도,
도 2는 도 1의 지지 부재 및 밀봉 보조 부재를 하우징으로부터 제거한 상태를 나타내는 사시도,
도 3은 도 1에 도시하는 진공 용기를 나타내는 도면으로서, (a)는 커버체의 일부를 파단하여 도시하는 평면도이고, (b)는 (a)의 커버체가 개방된 상태를 도시하는 지지 부재와 직교하는 방향의 단면도이고, (c)는 (a)의 지지 부재의 길이 방향에 따른 단면도,
도 4는 도 1의 진공 용기의 제 1 커버 부재를 개방한 상태를 나타내는 사시도,
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태의 요부를 나타내는 도면로서, (a)는 그 사시도이고, (b)는 밀봉 보조 부재를 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 형태를 나타내는 도면으로서, (a)는 그 평면도이고, (b)는 커버체를 폐쇄한 상태를 나타내는 힌지 기구에 따른 단면도이고, (c)는 (b)의 측면과는 직교하는 측면으로부터 커버체를 개방한 상태를 도시하는 단면도이고, (d)는 (c)의 상태로부터 커버체를 폐쇄하고자 하는 상태를 나타내는 단면도,
도 7은 종래의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실을 투시하여 나타내는 사시도,
도 8은 종래의 대형의 진공 예비실을 도시한 도면으로서, (a)는 그 커버체가 폐쇄된 상태를 나타내는 사시도이고, (b)는 커버체를 개방한 상태를 도시하는 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10, 20, 30 : 진공용기
11, 21, 31 : 하우징
11A, 21A, 31A : 하우징의 상단면
12, 22, 32 : 커버체
12A, 22A, 32A : 제 1 커버 부재
12B, 22B, 32B : 제 2 커버 부재
13, 23 : 제 1 시일 부재(밀봉 부재)
16 : 제 2 시일 부재(밀봉 부재)
17, 27, 37 : 지지 부재
18, 28, 38 : 시일 보조 부재(밀봉 보조 부재)
18A, 28A, 38A : 제 1 접촉부
18B, 28B, 38B : 제 2 접촉부
32C : 제 3 커버 부재
32D : 제 4 커버 부재
본 발명은 진공 용기에 관한 것이며, 보다 상세하게는, 예컨대 FPD용 기판 등의 처리 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실 등에 적합하게 사용할 수 있는 진공 용기에 관한 것이다.
진공 용기는 종래부터 각종 산업 분야에 있어서 널리 사용되고 있다. 예컨대 반도체 제조 공정에서는 에칭 처리 장치나 성막 처리 장치에 진공 용기가 널리 사용되고 있다. 이러한 종류의 처리 장치는 예컨대 웨이퍼나 FPD용 기판 등의 피처리 기판의 탑재 기구, 진공 예비실, 반송실 및 처리실을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 진공 예비실, 반송실 및 처리실은 각각 진공 용기로 형성되어 있다.
예컨대 도 7은 특허 문헌 1에 있어서 본 출원인이 제안한 FPD용 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실을 도시한 것이다. 이 진공 예비실(1)내에는 다관절형의 반송 기구(2)가 설치되고, 반송 기구(2)를 거쳐 탑재 기구(도시하지 않음)와 처리실(도시하지 않음) 사이에서 FPD용 기판(S)의 교환을 실행한다. 이 진공 예비실(1)은, 이동 기구(도시하지 않음)를 구비하고, 탑재 기구와 처리실 사이에서 왕 복 이동하며, 처리실과의 사이에서 FPD용 기판(S)의 교환을 실행할 경우에는 전방의 개구부가 처리실의 게이트 밸브측 측면에 접촉하여 진공 흡인할 수 있도록 되어 있다. 또한, 진공 예비실(1)의 후방에는 게이트 밸브(3)가 설치되고, 진공 예비실(1)과 탑재 기구 사이에서 FPD용 기판(S)의 교환을 실행하도록 하고 있다. 또한, 도 7에는 도시하지 않지만, 진공 예비실(1)은 하우징과 개폐 가능한 커버체와 커버체와 하우징의 사이에 개재된 밀봉 부재를 구비하고, 반송 기구(2)의 조립시나 유지 보수시에 커버체를 개방할 수 있도록 되어 있다. 또한, 1A는 FPD용 기판(S)의 반출 입구이다.
그런데, 최근의 FPD용 기판(S)의 대형화에 수반하여 진공 예비실(1)이 대형화하고 있다. 게다가 진공 예비실(1)은 예컨대 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속에 의해 형성되는 것과 함께 진공에 견딜 수 있는 강성이 커버체 자체에 요구되기 때문에, 커버체 자체가 중량화하여 수동으로 커버체를 개폐하는 것이 어려워지고 있다.
따라서, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이 실린더 기구 등에 의해 구성된 개폐 기구(6)를 진공 예비실(1)에 설치하고, 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이 이 개폐 기구(6)의 보조를 얻어서 중량화한 커버체(1B)를 개폐하도록 되어 있다.
그러나, FPD용 기판(S)은 앞으로도 점점 대형화하는 경향이 있고, 이에 수반하여 처리 장치가 대형화하며, 그 진공 예비실(1)의 커버체(1B)가 예컨대 1500㎜를 초과하게 되면, 커버체(1B)의 수압(受壓) 면적도 비약적으로 커지기 때문에, 커버체(1B)는 하우징(1)내의 진공에 견딜 수 있도록 두꺼운 특수 사양의 것을 제작하 는 것이 필요하게 되고, 그 제작 비용이 앙등하며, 게다가 커버체(1B)의 개방시의 높이(도약 높이)가 높아져 유지 보수 등에 의한 개폐시의 안전 대책에 만전을 기할 필요가 있고, 전체 비용이 비약적으로 앙등한다는 과제가 있었다. 또한, 커버체(1B)의 대형화에 의해 개폐 조작 자체가 어려워지는 과제가 발생하게 된다. 또한, 진공 예비실내에 존재하는 기구나 FPD용 기판 등의 취득 작업을 실행할 수 있도록 하우징 상면을 용이하게 개방할 수 있도록 할 필요가 있었다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 성립된 것으로 커버체를 소형화, 경량화하여 제작 비용을 절감할 수 있고, 도약 높이를 낮게 할 수 있으며, 하우징 상면의 일부 또는 전면을 하나의 개구로 할 수 있고, 나아가서는 유지 보수 등을 포함한 전체 비용을 절감할 수 있는 진공 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 제 1 발명에 기재된 진공 용기는, 하우징과 이 하우징의 상단 개구부로부터 내부를 밀봉하는 개폐 가능한 커버체를 구비한 진공 용기에 있어서, 상기 커버체를 복수의 커버 부재로 분할하는 동시에 이러한 커버 부재와 상기 하우징의 상단 사이에 밀봉 보조 부재를 개재하고, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 하우징과 상기 밀봉 보조 부재의 제 1 접촉부 사이 및 상기 각 커버 부재와 상기 밀봉 보조 부재 사이에 각각 밀봉 부재를 개재하고, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 하우징을 한 변이 적어도 1500㎜ 이상인 직사각형 형상으로 형성한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 제 2 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 밀봉 보조 부재는 상기 하우징의 상단면에 접촉하는 제 1 접촉부와, 제 1 접촉부와 일체화하고 또한 상기 하우징의 상단 개구부에서 상기 각 커버 부재와 접촉하는 제 2 접촉부를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 제 3 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 각 커버 부재를 상기 하우징의 상단 개구부로 지지하는 지지 부재를 상기 하우징의 상단 사이에 가설한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 제 4 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 밀봉 보조 부재와 상기 지지 부재를 일체화한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 제 5 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 밀봉 보조 부재 및 상기 커버체중 적어도 하나를 투명한 재료에 의해 형성한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 제 6 발명에 기재된 진공 용기는, 제 5 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 투명한 재료가 아크릴 수지 또는 폴리카보네이트 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 제 7 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 하우징내에 기판을 지지하는 기구를 설치한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 제 8 발명에 기재된 진공 용기는, 제 1 발명에 기재된 발명에 있어서, 상기 하우징내에 기판을 반송하는 기구를 설치한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1 발명 내지 제 8 발명에 기재된 발명에 의하면, 커버체를 소형화, 경량화하여 제작 비용을 절감할 수 있는 동시에 도약 높이를 낮출 수 있으며, 나아가서는 유지 보수 등을 포함시킨 전체 비용을 절감할 수 있는 진공 용기를 제공할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 7에 도시하는 실시 형태에 기초하여 본 발명을 설명한다. 본 실시 형태에서는 커버체를 복수로 분할함으로써 목적에 적합한 진공 용기를 얻을 수 있다. 본 실시 형태에서는 FPD용 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실에 적용한 경우를 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 대형의 진공 용기에 널리 적용할 수 있다.
실시예 1
본 실시예의 진공 용기(10)는 예컨대 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 상단에 개구부를 갖는 하우징(11)과, 이 하우징(11)의 개구부로부터 내부를 밀봉하는 개폐 가능한 커버체(12)를 구비하고, 예컨대 FPD용 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실로서 사용할 수 있다. 하우징(11)은 예컨대 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속에 의해 형성되어 있다.
그리고, 본 실시예에서는 커버체(12)에 주요 특징이 있다. 즉, 본 실시예에 사용되는 커버체(12)는 도 1의 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같이, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)로 이루어지는 2분할 구조로 구성되고, 각 커버 부재(12A, 12B)를 개별적으로 개폐할 수 있다. 이러한 커버 부재(12A, 12B)는 각각의 수압(受壓) 면적이 일체물과 비교하여 작기 때문에, 특수한 내압 수단을 필요로 하지 않고 경량화할 수 있다. 이러한 커버 부재(12A, 12B)는 하우징(11)과 동종의 재료에 의해 형성할 수 있다. 또한, 이러한 커버 부재(12A, 12B)는 경우에 따라서는 예컨대 아크릴 수지나 폴리카보네이트 수지 등의 투명하고 기계적 강도가 있는 합성 수지에 의해 형성되며, 내부를 확인할 수 있도록 한 것이어도 무방하다.
이러한 커버 부재(12A, 12B)는 기계 강도를 확보할 수 있으면, 중공 형상으로 형성한 것이어도 무방하다.
또한, 하우징(11)의 개구부를 둘러싸는 상단면(11A)에는 전체 주위에 걸쳐 가는 홈(도시하지 않음)이 형성되고, 이 홈내에 도 1의 (b) 및 도 2에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 예컨대 O링으로 이루어지는 제 1 시일(seal) 부재(13)가 밀봉 부재로서 장착되어 있다. 이 시일 부재(13)는 후술하는 밀봉 보조 부재와 협동하여 하우징(11)내를 소정의 진공도로 유지한다.
또한, 하우징(11)의 상단면(11A)에는 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)를 개폐하기 위한 개폐 기구(14)가 4개소에 설치되어 있다. 이러한 개폐 기구(14)는 예컨대 스프링 실린더 등의 실린더 기구에 의해 구성되고, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)에는 2개씩 설치되어 있다. 제 1 커버 부재(12A)에 속하는 2개의 개폐 기구(14)는 각각의 실린더(14A) 기단부가 힌지 기구(15)를 거쳐서 하우징(11)의 상단의 좌우에 장착되고, 각각의 실린더 로드(14B) 선단이 제 1 커버 부재(12A)의 자유 단부에 연결 부재(14C)를 거쳐서 연결되며, 각 개폐 기구(14)는 서로 평행하게 배치되어 있다. 다른 2개의 개폐 기구(14)는 각각 제 2 커버 부재(12B)에 속하고, 제 1 커버 부재(12A)에 각각 속하는 개폐 기구(14)와 대향하여 배치되어 있다. 예컨대 제 1 커버 부재(12A)를 수동으로 개방하는 경우에는, 제 1 커버 부재(12A)의 자유단을 좌우로부터 개폐 기구(14)의 사점을 넘는 위치까지 들어 올린 후, 개폐 기구(14)가 작동하여 힌지 기구(15)를 거쳐서 제 1 커버 부재(12A)를 선회시켜서 개방한다. 제 2 커버 부재(12B)도 동일하게 개방할 수 있다. 또한, 힌지 기구(15)에 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 개폐 조작을 실행하는 회전 구동 장치를 설치하고, 이 회전 구동 장치에 의해 커버 부재(12A, 12B)의 개폐 동작을 자동화 혹은 보조하도록 할 수도 있다. 또한, 개폐 기구(14)는 2개에 한정하지 않고, 2개 이상 설치할 수도 있다.
또한, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 내면의 외주 단부에는 전체 주위에 걸쳐 가는 홈(도시하지 않음)이 형성되고, 이 홈내에 밀봉 부재, 예컨대 O링으로 이루어지는 제 2 시일 부재(16)가 도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이 장착되어 있다. 이 시일 부재(16)는 제 1 시일 부재(13)와 마찬가지로 후술하는 밀봉 보조 부재와 협동하여 하우징(11)내를 소정의 진공도로 유지한다.
그리고, 도 1의 (b), 도 2, 도 3의 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같이, 하우징(11)의 개구부에는 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)를 지지하는 지지 부재(17)가 착탈 가능하게 가설되어 있다. 지지 부재(17)의 길이 방향의 양단에는 도 2, 도 3의 (c)에 도시하는 바와 같이 단부(17A)가 형성되고, 또한 하우징(11)의 개구 단면(11A)에는 지지 부재(17)의 단부(17A)와 결합하는 절결부(11B)[도 3의 (c) 참 조]가 형성되어 있다. 이 지지 부재(17)는 하우징(11)에 가설된 상태에서 지지 부재(17)의 상면과 하우징(11)의 상단면(11A)이 면일하게 되어 있다.
그리고, 시일 보조 부재(밀봉 보조 부재)(18)는 알루미늄이나 스테인리스 혹은 강성이 있고 또한 투명 또는 불투명한 합성 수지(예컨대, 아크릴 수지, 폴리카보네이트 수지 등) 등에 의해 형성되고, 도 2, 도 3의 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같이, 하우징(11)의 상단면(11A) 및 지지 부재(17)의 표면에 착탈 가능하게 설치되어 있다. 즉, 시일 보조 부재(18)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하우징(11)의 상단면(11A)에 접촉하는 직사각 형상의 제 1 접촉부(18A)와, 제 1 접촉부(18A)와 일체화하고 또한 하우징(11)의 개구부를 횡단하여 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 자유단부 내면과 접촉하는 제 2 접촉부(18B)를 갖고, 전체가 「日자」형상으로 형성되어 있다. 제 2 접촉부(18B)의 폭은 지지 부재(17)의 폭과 동일하거나 또는 이보다도 좁게 형성되고, 전면이 지지 부재(17)에 의해 지지되어 있다. 따라서, 시일 보조 부재(18)는 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)를 밀폐하여 하우징(11)의 내부를 흡인했을 때에, 하면이 도 2의 2점 쇄선으로 나타내는 하우징(11)의 상단면(11A)의 제 1 시일 부재(13)와 밀착하는 동시에 상면이 도 2의 2점 쇄선으로 나타내는 위치에서 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 제 2 시일 부재(16)와 각각 밀착하며, 하우징(11)의 내부를 외부로부터 밀봉한다.
그런데, 본 실시예의 진공 용기(10)는 FPD용 기판의 진공 예비실로서 사용하기 때문에, 도 7에 도시하는 FPD용 기판의 반송 기구 또는 FPD용 기판의 탑재대(도시하지 않음)가 하우징(11)의 내부에 수납되어 있다. 그리고, 하우징(11)의 전후 좌우에는 FPD용 기판의 반출 입구(도시하지 않음)가 형성되고, 이러한 반출 입구는 게이트 밸브를 거쳐서 하우징(11)내를 외부로부터 차단하여 밀봉하도록 되어 있다. 하우징(11)내에 반송 기구가 수납되어 있을 경우에는, 하우징(11)내의 반송 기구를 거쳐서 탑재 기구와 처리실의 사이에서 FPD용 기판의 교환을 실행한다. 또한, 하우징(11)내에 탑재대가 수납되어 있을 경우에는, 탑재 기구측 및 처리실측의 반송 기구를 거쳐서 진공 용기(10)를 중계 점으로서 FPD용 기판의 교환을 실행한다.
다음으로, 동작에 대하여 설명한다. 커버체(12)인 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)가 폐쇄되면, 진공 용기(10)는 FPD용 기판의 처리 장치의 진공 예비실로서 기능한다. 하우징(11)내에서 FPD용 기판을 수취한 후, 하우징(11)내의 공기를 질소 가스 등의 불활성 가스에 의해 세정한 후, 진공 펌프 등의 진공 장치를 이용하여 하우징(11)내를 감압하고, 하우징(11)내에서 처리실에 준한 진공 상태를 형성한다. 이 때, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)는 대기압에 의해 하우징(11)측으로 강하게 가압된다.
이 가압력으로 제 1 및 제 2 시일 부재(13, 16)가 시일 보조 부재(18)에 대하여 가압되고, 제 1 시일 부재(13)에 의해 하우징(11)의 상단면(11A)과 시일 보조 부재(18) 사이를 밀봉하는 동시에, 제 2 시일 부재(16)에 의해 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)와 시일 보조 부재(18) 사이를 밀봉하며, 하우징(11)내를 진공 상태로 한다.
하우징(11)의 내부가 진공 상태로 되면, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)가 대기압을 받지만, 각각의 수압 면적이 대략 반감하여 가압력이 대략 절반으로 되는 것과 함께, 하우징(11)의 개구부에서는 지지 부재(17)에 의해 커버 부재(12A, 12B)의 자유 단부를 지지하고 있기 때문에, 시일 보조 부재(18)를 거쳐서 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)와 하우징(11)의 상단면 사이를 확실하게 밀봉할 수 있으며, 나아가서는 하우징(11)의 내부를 소정의 진공도로 확실하게 유지할 수 있고, 하우징(11)과 처리실 사이의 FPD용 기판의 교환을 원활하게 실행할 수 있다. 또한, 이 때 지지 부재(17)가 제 1 및 제 2 커버 부재의 하우징(11) 내부로의 만곡을 확실하게 방지하고, 양호한 밀봉 성능을 발휘할 수 있다.
그리고, 진공 용기(10)를 계속해서 사용하면, 반송 기구 등의 구동부를 필요에 따라 유지 보수할 필요가 있다. 또한, FPD용 기판의 처리에 의한 부생성물 등이 파티클로서 진공 용기(10)의 하우징(11)내에 침입하여 파티클이 퇴적하기 때문에, 클리닝할 필요가 있다. 따라서, 진공 용기(10)의 하우징(11)의 내부의 진공을 해제한 후, 예컨대 하우징(11)의 좌우로부터 수동으로 제 1 커버 부재(12A)의 자유단측을 개폐 기구(14)의 사점을 넘는 위치까지 들어 올린 후, 개폐 기구(14)가 작동하면, 그 실린더 로드(14B)가 수축하고, 제 1 커버 부재(12A)가 힌지 기구(15)를 거쳐 선회하며, 하우징(11)의 개구부를 절반만 개방한다(도 4 참조). 또한, 제 2 커버 부재(12B)도 제 1 커버 부재(12A)와 같이 개방하여 하우징(11)의 개구부를 전면 개방한다.
이 상태에서는 시일 보조 부재(18) 및 지지 부재(17)가 방해되어 커버체(12)의 내부를 유지 보수할 수 없기 때문에, 시일 보조 부재(18) 및 지지 부재(17)를 순차적으로 제거함으로써 하우징(11)의 내부를 전면적으로 개방할 수 있고, 하우징 (11)내에 수납된 반송 기구 혹은 탑재대의 유지 보수를 실행할 수 있다. 또한, 하우징(11)의 내부의 클리닝을 실행할 수도 있다. 하우징(11)내의 유지 보수 및 클리닝이 종료한 후, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 클리닝을 실행한다. 진공 용기(10)가 1500㎜를 초과하는 대형의 것이면, 예컨대 도 4에 도시하는 바와 같이 제 2 커버 부재(12B)를 폐쇄한 상태에서 그 위로 올라가고, 제 2 커버 부재(12B)상에서 제 1 커버 부재(12A)의 내면 및 하우징(11)의 내부 클리닝을 실행할 수 있다. 제 2 커버 부재(12B)도 제 1 커버 부재(12A)와 동일한 순서로 클리닝을 한다. 또한, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)의 표면의 클리닝을 실행한다. 또한, 이러한 작업과 병행해서 제 1 및 제 2 시일 부재(13, 16), 개폐 기구(14) 및 힌지 기구(15) 등의 유지 보수를 실행한다.
진공 용기(10)의 유지 보수가 종료한 후, 각 부품을 복원한 후, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)를 폐쇄하고, 하우징(11)의 내부를 외부로부터 밀봉함으로써 진공 예비실로서 사용할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 커버체(12)를 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)로 분할하는 동시에 이러한 커버 부재(12A, 12B)와 하우징(11)의 상단면의 사이에 시일 보조 부재(18)를 설치했기 때문에, 커버체(12)를 2분할 구조의 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)로서 소형화, 경량화하여 제작 비용을 절감 할 수 있는 동시에 각 커버 부재(12A, 12B) 각각의 도약 높이를 낮게 할 수 있고, 게다가 커버체(12)가 2분할 구조이어도 시일 보조 부재(18)를 거쳐서 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)와 하우징(11)의 상단면(11A)의 사이를 확실히 밀봉할 수 있 다. 또한, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B) 각각의 도약 높이를 낮게 할 수 있기 때문에, 특별한 안전 대책도 불필요해지고, 진공 용기(10)의 유지 보수 등을 포함시킨 전체 비용을 크게 절감할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 시일 보조 부재(18)는 하우징(11)의 상단면(11A)에 접촉하는 제 1 접촉부(18A)와, 제 1 접촉부(18A)와 일체화하며 또한 하우징(11)의 개구부에서 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)와 접촉하는 제 2 접촉부(18B)를 갖기 때문에, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B) 각각의 전체 주위에 걸쳐 확실하게 하우징(11)의 내부를 밀봉하여 하우징(11)내의 진공도를 확실하게 유지할 수 있다. 또한, 본 실시예에 의하면, 예컨대 한변이 1500㎜를 초과하는 커버체(12)의 수압 면적이 큰 진공 용기(10)의 경우에 현저한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)를 하우징(11)의 개구부에서 지지하는 지지 부재(17)를 하우징(11)의 상단 사이에 가설했기 때문에, 제 1 및 제 2 커버 부재(12A, 12B)가 대기압을 받아도 이러한 커버 부재(12A, 12B)의 하우징(11)측으로의 만곡을 확실히 방지할 수 있고, 제 1 및 제 2 시일 부재(13, 16) 및 시일 보조 부재(18)의 기능을 최대한으로 살릴 수 있다. 또한, 진공 용기(10)의 하우징(11)내에 FPD용 기판의 반송 기구 또는 탑재대를 설치하도록 했기 때문에, 진공 용기(10)는 밀봉 기구 및 유지 보수성이 우수한 처리 장치의 진공 예비실로서 기능시킬 수 있다.
또한, 도시하지 않지만, 지지 부재(17)와 시일 보조 부재(18)를 일체화한 것을 제작해도 좋다. 이 경우에는 지지 부재(17) 및 시일 보조 부재(18)를 하우징(11)의 상단면(11A)에 동시에 장착할 수 있고, 게다가 상기 실시예와 같이 작용 효 과를 기할 수 있다.
실시예 2
본 실시예의 진공 용기(20)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 2분할 구조의 커버체(22)인 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B) 및 시일 보조 부재(28)의 형태가 상기 실시예와 상이한 동시에, 지지 부재를 생략하고 있는 점에 있어서 상기 실시예와 상이하다. 이러한 점 이외는 상기 실시 형태에 준하여 구성되어 있다. 따라서, 본 실시예의 특징을 중심으로 설명한다.
본 실시 형태에 사용되는 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)는, 도 5a에 도시하는 바와 같이, 각각의 두께가 기단부로부터 자유 단부를 향해서 점증하고 있다. 그 이유에 대해서는 후술한다. 이로써 커버 부재(22A, 22B)의 중량이 증대하는 경우에는, 각 커버 부재(22A, 22B)를 중공 형상으로 형성함으로써 경량화할 수 있다.
한편, 시일 보조 부재(28)는, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 제 1 접촉부(28A) 및 제 2 접촉부(28B)를 갖고 있다. 제 2 접촉부(28B)는 제 1 접촉부(28A)의 중간부[제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)의 자유단부에 해당하는 부분]로부터 수직 상방으로 연장 설치된 좌우의 수직부(28C)와, 이러한 수직부(28C)를 연결하는 수평부(28D)로 형성되어 있다. 제 2 접촉부(28B)의 양측에는 제 2 시일 부재(26)가 각각 장착되어 있다. 이 시일 부재(26)는 링 형상으로 형성되고, 제 1 접촉부(28A)의 상면, 수직부(28C) 및 수평부(28D)의 한쪽 면을 따라 배치되어 있다. 따라서, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)를 폐쇄하면, 이러한 커버 부재(22A, 22B) 의 두께의 자유 단면이 제 2 접촉부(28B)의 제 2 시일 부재(26)와 밀착하는 동시에, 이러한 커버 부재(22A, 22B)의 자유단부 이외의 내면 외측 둘레 가장자리부가 제 2 접촉부(28B)의 제 2 시일 부재(26)와 밀착한다.
또한, 하우징(21)의 상단면(21A)에는 상기 실시예와 같이 제 1 시일 부재(도시하지 않음)가 장착되고, 이 제 1 밀봉 부재가 시일 보조 부재(28)의 하면, 즉 제 1 접촉부(28A)의 하면과 접촉하게 되어 있다.
이와 같이 제 1 및 제 2커버 부재(22A, 22B)는 각각의 두께의 자유 단면이 시일 보조 부재(28)의 제 2 접촉부(28B)의 양측면에 접촉하기 때문에, 하우징(21)내가 진공 상태로 되어 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)에 강한 가압력이 작용해도, 이러한 커버 부재(22A, 22B)는 각각의 자유 단면이 시일 보조 부재(28)의 제 2 접촉부(28B)에 접촉하기 때문에, 가압력은 각각의 자유 단면으로부터 제 2 접촉부(28B)에 작용하여 상쇄되며, 커버 부재(22A, 22B)를 하우징(21)내로 만곡시키지 않는다.
즉, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)의 자유 단부를 다른 부분보다 두께를 두껍게 함으로써 대기압에 의한 가압력을 받는데 충분한 기계적 강도를 확보하고 있다. 이러한 관점에서, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)는 각각의 두께가 자유 단면을 향해서 점증하는 타입이 아닐 수도 있다. 요컨대, 자유 단면의 두께가 대기압에 의한 가압력에 견디는 두께를 갖고 있으면 좋고, 중량적으로 가능하면 커버 부재 전체를 균일한 두께로 할 수도 있으며, 또한 강도적으로 가능하면 자유 단면 부분 근방을 두껍게, 다른 부분을 이것보다 얇고 균일하게 할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시예에 의하면, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)는 각각의 자유 단면이 시일 보조 부재(28)의 제 1 접촉부(28A)로부터 상승하여 형성된 제 2 접촉부(28B)의 좌우 양면에 접촉하기 때문에, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)를 지지하는 지지 부재를 설치하지 않을 경우에도, 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)에 대기압에 의한 가압력을, 제 2 접촉부(28B)를 거쳐서 서로 접촉한 각 커버 부재(22A, 22B) 각각의 자유 단면에 있어서 상쇄하여 각각의 만곡을 방지할 수 있고, 상기 실시예와 같이 안정된 밀봉 성능을 발휘할 수 있다.
본 실시예에서는 제 2 시일 부재(26)를 시일 보조 부재(28)에 장착하고 있지만, 이 시일 부재(26)를 실시예 1 및 실시예 2의 경우와 같이 제 1 및 제 2 커버 부재(22A, 22B)의 해당 개소에 장착할 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 제 1 밀봉 부재를 하우징(21)에 장착하고 있지만, 이 밀봉 부재를 시일 보조 부재(28)의 제 1 접촉부(28A)의 하면에 장착할 수도 있다.
실시예 3
본 실시예의 진공 용기(30)는, 도 6a 내지 도 6d에 도시하는 바와 같이, 커버체(32)를 4분할된 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 커버 부재(32A, 32B, 32C, 32D)와, 이러한 커버 부재(32A, 32B, 32C, 32D)의 내면의 외주연부 중 하우징(31)의 개구부에 위치하는 부분을 지지하는 십자 형상의 지지 부재(37)와, 이 지지 부재(37)의 표면 및 하우징(31)의 상단면(31A)을 피복하는 「田자」형상으로 형성된 시일 보조 부재(38)를 구비하여 구성되고, 이들 이외에는 실시예 1에 준하여 구성되어 있다.
본 실시 형태에 사용되는 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 커버 부재(32A, 32B, 32C, 32D) 각각은, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 1개의 개폐 기구(34)가 설치되어 있다. 예컨대 제 1 커버 부재(32A)에 설치되는 개폐 기구(34)는 하우징(31)의 상단면(31A)상에 제 1 커버 부재(32A)의 측면을 따라 배치되어 있다. 그리고, 이 개폐 기구(34)의 실린더(34A)는 연결 부재(도시하지 않음)를 거쳐서 제 1 커버 부재(32A)의 측면의 자유 단부 근방에 연결되어 있다. 또한, 개폐 기구(34)의 실린더 로드(34B)의 선단은 제 1 커버 부재(32A)의 기단부를 따라 하우징(31)의 상단면에 배치된 힌지 기구(35)를 거쳐서 제 1 커버 부재(32A)에 연결되어 있다.
지지 부재(37)는 상술한 바와 같이 십자 형상으로 형성되고, 도 6b에 도시하는 바와 같이 십자 형상의 각 단면에 단부(37A)가 형성되어 있다. 지지 부재(37)의 각 단부(37A)는 하우징(31)의 상단면(31A)의 해당 개소에 형성된 절결부(31B)와 결합하고 있다. 그리고, 시일 보조 부재(38)는 하우징(31)의 상단면(31A)과 접촉하는 제 1 접촉부(38A)와, 지지 부재(37)와 접촉하는 십자 형상의 제 2 접촉부(38B)를 갖고 있다. 그 외는 실시예 1에 준하여 구성되어 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 커버체(32) 및 개폐 기구(34)를 상기 각 실시예보다도 더욱 소형화, 경량화할 수 있다.
또한, 상기 각 실시예에서는 커버체를 2분할 및 4분할한 것에 대해서 설명했지만, 필요에 따라 그 이상으로 분할할 수도 있다. 따라서, 지지 부재 및 밀봉 보조 부재의 형태도 커버체의 분할수에 기초하여 변한다. 또한, 제 1 밀봉 부재는 밀봉 보조 부재와 하우징 사이에 개재하고 있으면 좋고, 밀봉 보조 부재, 하우징 중 어디에 장착되어도 좋다. 마찬가지로, 제 2 밀봉 부재는 커버체와 밀봉 보조 부재 사이에 개재하고 있으면 좋고, 커버체, 밀봉 보조 부재 중 어디에 장착되어도 좋다. 또한, 하우징, 커버체 및 밀봉 보조 부재의 재료는 상기 각 실시예에 제한되는 것은 아니고 목적으로 따라 각종의 재료를 사용할 수 있다. 또한, 상기 각 실시예에서는 FPD용 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실에 적용한 진공 용기에 대하여 설명했지만, 본 발명의 목적에 맞는 그 밖의 각종의 진공 용기에도 널리 적용할 수 있다. 본 발명의 진공 용기는 예컨대 FPD용 기판의 처리 장치를 구성하는 진공 예비실 등의 대형의 진공 예비실 등의 대형 진공 용기에 대하여 적절히 이용할 수 있다.
본 발명의 진공 용기에 의하면, 커버체의 소형화와, 경량화화와, 커버체의 도약 높이를 낮출 수 있는 효과가 있으며, 또한 장치 전체의 경량화와, 커버체의 개폐에 필요한 유지 보수 공간의 감소와, 안정성의 향상과, 유지 보수 작업의 효율화의 효과도 있으며, 결과적으로는 장치 제작 비용, 장치 유지 비용을 절감할 수 있다.

Claims (8)

  1. 하우징과, 이 하우징의 상단 개구부로부터 내부를 밀봉하는 개폐 가능한 커버체를 구비한 진공 용기에 있어서,
    상기 커버체를 복수의 커버 부재로 분할하는 동시에, 이러한 커버 부재와 상기 하우징의 상단 사이에 밀봉 보조 부재를 개재하고,
    상기 하우징과 상기 밀봉 보조 부재 사이에 그리고 상기 각 커버 부재와 상기 밀봉 보조 부재 사이에 각각 밀봉 부재를 개재하고,
    상기 하우징이 한 변이 적어도 1500㎜ 이상의 직사각형 형상으로서 형성되고,
    상기 밀봉 보조 부재는 상기 하우징의 상단면에 접촉하는 제 1 접촉부와, 제 1 접촉부와 일체화하고 또한 상기 하우징의 상단 개구부에서 상기 각 커버 부재와 접촉하는 제 2 접촉부를 갖는 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 상단 개구부에 상기 각 커버 부재를 지지하는 지지 부재를 가설한 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉 보조 부재와 상기 지지 부재를 일체화한 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉 보조 부재 및 상기 커버체중 적어도 하나를 투명한 재료로 형성한 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 투명한 재료가 아크릴 수지 또는 폴리카보네이트 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징내에 기판을 지지하는 기구를 설치한 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징내에 기판을 반송하는 기구를 설치한 것을 특징으로 하는
    진공 용기.
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