JP5577185B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
前記真空チャンバは、開口部が設けられた外壁と、回動軸を有し前記回動軸を中心として重力に抗する向きの第1の回動方向と前記第1の回動方向と逆の第2の回動方向とにそれぞれ回動することで前記開口部を開閉する蓋とを有し、内部を真空雰囲気に排気可能である。
前記操作部は、入力軸を有し、前記入力軸を中心とする第1の方向と前記第1の方向とは逆の第2の方向に回動可能である。
前記開閉機構は、前記操作部に入力される前記第1の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第1の回動方向に回動させ、前記操作部に入力される前記第2の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第2の回動方向に回動させる。
前記規制機構は、前記入力軸から前記回動軸への前記回転操作力の伝達を規制する第1の状態と、前記回転操作力の伝達の規制を解除する第2の状態とを有し、前記操作部に前記第1の方向への回転操作力が入力されたときは前記第2の状態に切り替え、前記操作部に前記第2の方向への回転操作力が入力されたときは前記第1の状態に切り替える。
前記真空チャンバは、開口部が設けられた外壁と、回動軸を有し前記回動軸を中心として重力に抗する向きの第1の回動方向と前記第1の回動方向と逆の第2の回動方向とにそれぞれ回動することで前記開口部を開閉する蓋とを有し、内部を真空雰囲気に排気可能である。
前記操作部は、入力軸を有し、前記入力軸を中心とする第1の方向と前記第1の方向とは逆の第2の方向に回動可能である。
前記開閉機構は、前記操作部に入力される前記第1の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第1の回動方向に回動させ、前記操作部に入力される前記第2の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第2の回動方向に回動させる。
前記規制機構は、前記入力軸から前記回動軸への前記回転操作力の伝達を規制する第1の状態と、前記回転操作力の伝達の規制を解除する第2の状態とを有し、前記操作部に前記第1の方向への回転操作力が入力されたときは前記第2の状態に切り替え、前記操作部に前記第2の方向への回転操作力が入力されたときは前記第1の状態に切り替える。
[基板処理装置]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る真空処理装置としての搬送処理装置を含む、基板処理装置の構成例を示す図である。
本実施形態に係る真空処理装置である搬送処理装置3について詳しく説明する。図2は、搬送処理装置3の真空チャンバ6の上面を示す模式的な斜視図である。図3は、真空チャンバ6の上面に配置された蓋と蓋開閉部とを示す模式的な側面図である。
本実施形態に係る搬送処理装置3に設けられた蓋15の開閉動作を説明する。図7は、蓋15が開けられ、開口部14が開放されている状態を示す模式的な側面図である。
本発明の第2の実施形態に係る真空処理装置について説明する。これ以降の説明では、上記の実施形態で説明した真空処理装置である搬送処理装置3における構成及び作用と同様な部分については、その説明を省略又は簡略化する。
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、種々変更され得る。
P…第2の回動方向
Q…第1の方向
R…第2の方向
2…処理装置
3…搬送処理装置
6、206…搬送処理装置の真空チャンバ
11…処理装置の真空チャンバ
13、213…外壁
14、214…開口部
15、215…蓋
17、217…シール部材
18、318…回動軸
19…アーム部
20、220…蓋部
27、327…操作部
28…開閉機構
29、429…規制機構
31、331、431…入力軸
32、332…ハンドル
38…センサ機構
39、439…クラッチ部
40、440…規制部
100…基板処理装置
242…センサ機構
Claims (5)
- 開口部が設けられた外壁と、回動軸を有し前記回動軸を中心として重力に抗する向きの第1の回動方向と前記第1の回動方向と逆の第2の回動方向とにそれぞれ回動することで前記開口部を開閉する蓋とを有し、内部を真空雰囲気に排気可能な真空チャンバと、
入力軸を有し、前記入力軸を中心とする第1の方向と前記第1の方向とは逆の第2の方向に回動可能な操作部と、
前記操作部に入力される前記第1の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第1の回動方向に回動させ、前記操作部に入力される前記第2の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第2の回動方向に回動させる開閉機構と、
前記入力軸から前記回動軸への前記回転操作力の伝達を規制する第1の状態と、前記回転操作力の伝達の規制を解除する第2の状態とを有し、前記操作部に前記第1の方向への回転操作力が入力されたときは前記第2の状態に切り替え、前記操作部に前記第2の方向への回転操作力が入力されたときは前記第1の状態に切り替える規制機構と
を具備し、
前記規制機構は、
前記入力軸に設けられたクラッチ部であって、前記クラッチ部に対する前記入力軸の前記第1の方向への回転を許容し、前記クラッチ部に対する前記入力軸の前記第2の方向への回転を許容せず、前記操作部に前記第2の方向への回転操作力が入力されたときは前記第2の方向へ前記入力軸とともに回転するクラッチ部と、
前記クラッチ部の前記第2の方向への回転を規制する規制部とを有する
真空処理装置。 - 開口部が設けられた外壁と、回動軸を有し前記回動軸を中心として重力に抗する向きの第1の回動方向と前記第1の回動方向と逆の第2の回動方向とにそれぞれ回動することで前記開口部を開閉する蓋とを有し、内部を真空雰囲気に排気可能な真空チャンバと、
入力軸を有し、前記入力軸を中心とする第1の方向と前記第1の方向とは逆の第2の方向に回動可能な操作部と、
前記操作部に入力される前記第1の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第1の回動方向に回動させ、前記操作部に入力される前記第2の方向への回転操作力を前記入力軸から前記回動軸に伝達することで前記蓋を前記第2の回動方向に回動させる開閉機構と、
前記入力軸から前記回動軸への前記回転操作力の伝達を規制する第1の状態と、前記回転操作力の伝達の規制を解除する第2の状態とを有し、前記操作部に前記第1の方向への回転操作力が入力されたときは前記第2の状態に切り替え、前記操作部に前記第2の方向への回転操作力が入力されたときは前記第1の状態に切り替える規制機構と
を具備し、
前記規制機構は、
前記回動軸に設けられたクラッチ部であって、前記クラッチ部に対する前記回動軸の前記第1の回動方向への回転を許容し、前記クラッチ部に対する前記回動軸の前記第2の回動方向への回転を許容せず、前記入力軸から前記回動軸に前記第2の方向への回転操作力が伝達されたときは前記第2の回動方向へ前記回動軸とともに回転するクラッチ部と、
前記クラッチ部の前記第2の回動方向への回転を規制する規制部とを有する
真空処理装置。 - 請求項1又は2に記載の真空処理装置であって、
前記開閉機構は、前記入力軸に設けられたウォームギアと、前記ウォームギアの回転力を、回転方向を変換して伝達可能なギア機構とを有する
真空処理装置。 - 請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の真空処理装置であって、
前記真空チャンバは、前記開口部の周縁に設けられたシール部材を有し、
前記蓋は、前記回動軸を有するアーム部と、前記アーム部に連結され前記開口部を開閉する蓋部とを有し、
前記蓋部は、前記真空チャンバの内部が前記真空雰囲気に排気される前の状態と、前記真空チャンバの内部が前記真空雰囲気に排気された後の状態とで、前記アーム部に対して移動可能であるように前記アーム部に連結される
真空処理装置。 - 請求項4に記載の真空処理装置であって、
前記真空処理装置は、前記真空チャンバの内部が前記真空雰囲気に排気され前記シール部材が変形した後の状態を検出するセンサ機構をさらに具備する
真空処理装置。
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