JP2005044989A - 半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大径チップ(半導体チップ)3上に、複数の配線基板4と小径チップ(他の半導体チップ)3とがフェイスダウン実装された半導体パッケージ1である。大径チップ3上には放熱板を搭載しても良く、配線基板にはスリットを設けても良い。このような半導体パッケージ1の製造においては、大径チップ3毎に分割する前のウェハに対して、配線基板4や小径チップ3をフェイスダウン接続し、その後ウェハを大径チップ3毎に分割する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の半導体パッケージの第1例を示す断面図および平面図であり、図1(1)は図1(2)の平面図におけるA−A’断面に相当する。これらの図に示す半導体パッケージ1は、大径の半導体チップ(以下、大径チップと記す)2上に、これよりも小径の半導体チップ(以下、小径チップと記す)3および複数枚に分割された配線基板4を、バンプ5を介してフェイスダウンで実装してなるものである。
図4は、本発明の半導体パッケージの第2例を示す断面図および平面図であり、図4(1)は図4(2)の平面図におけるA−A’断面に相当する。これらの図に示す半導体パッケージ1’と、図1を用いて説明した第1例の半導体パッケージとの異なるところは、配線基板4’の平面形状にあり他の構成は同様であることとする。
図6は、本発明の半導体パッケージの製造方法に係る第1例を示す断面工程図であり、以下、この図に基づいて製造方法の第1例を説明する。尚、本第1例では、特に図1および図2に示した構成(第1例)の半導体パッケージの製造に好適な製造方法を説明する。
また、配線基板4−ウェハ20間については、予め配線基板4側に接着シートを貼り合わせた状態で、バンプ5を介してウェハ20上に配線基板4を実装することで、バンプ5を介しての電気的な接合と同時に接着シートからなる樹脂6による配線基板4−ウェハ20間の封止を行っても良い。
図7は、本発明の半導体パッケージの製造方法に係る第2例を示す断面工程図であり、以下、この図に基づいて製造方法の第2例を説明する。尚、本第2例では、特に図4および図5に示した構成(第2例)の半導体パッケージの製造に好適な製造方法を説明する。
図8は、本発明の半導体パッケージの製造方法に係る第3例を示す断面工程図であり、以下、この図に基づいて製造方法の第3例を説明する。尚、本第3例では、特に図4および図5に示した構成(第2例)の半導体パッケージの製造に好適な製造方法の他の例を説明する。
次に、上述した第1例〜第3例において行われる、大径チップ2に分割する前のウェハ20および小径チップ3に分割する前のウェハに対するバンプ5の形成について説明する。
次に、複数の配線基板が形成された基板の作製方法を説明する。尚、ここでは、分割前の配線基板が複数設けられた基板の作製までを説明する。
Claims (11)
- 半導体チップと、
前記半導体チップ上にフェイスダウン実装された配線基板とを備え、
前記配線基板が複数に分割されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1記載の半導体パッケージにおいて、
前記配線基板にスリットが設けられている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1記載の半導体パッケージにおいて、
前記半導体チップ上には、前記配線基板と共に他の半導体チップおよび放熱板の少なくとも一方が搭載されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 半導体チップと、
前記半導体チップ上にフェイスダウン実装された配線基板とを備え、
前記配線基板にスリットが設けられている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項4記載の半導体パッケージにおいて、
前記半導体チップ上には、前記配線基板と共に他の半導体チップおよび放熱板の少なくとも一方が搭載されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 複数の半導体チップ部分が形成されたウェハ上に配線基板をフェイスダウンで実装する工程と、
前記ウェハを前記半導体チップ毎に分割する工程とを行う
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 請求項6記載の半導体パッケージの製造方法において、
前記ウェハ上に配線基板を実装する工程では、予め前記半導体チップ部分毎に分割された各配線基板を当該ウェハ上に実装する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 請求項7記載の半導体パッケージの製造方法において、
前記ウェハ上に配線基板を実装する工程では、前記各半導体チップ部分に対してさらに複数に分割された配線基板を実装する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 請求項6記載の半導体パッケージの製造方法において、
前記ウェハを分割する工程で前記配線基板も同時に分割する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 請求項6記載の半導体パッケージの製造方法において、
前記ウェハ上に配線基板を実装した後、前記ウェハを前記半導体チップ毎に分割する前に、前記配線基板をダイシングすることによって、当該配線基板を複数に分割するかまたは当該配線基板にスリットを設ける
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 請求項6記載の半導体パッケージの製造方法において、
前記ウェハを前記半導体チップ毎に分割する前に、前記ウェハの各半導体チップ上に他の半導体チップおよび放熱板の少なくとも一方を実装する工程を行う
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
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